CN111660320A - 吸附缓冲装置 - Google Patents

Abstract

吸附缓冲装置具备壳体、驱动轴、从动轴、磁石及密封构件。磁石的互相对向的面以不同磁极被磁化，从而磁石为非接触且使轴向的磁极的重叠偏位，一面使欲复归的轴向的吸引力作用于该可动轴一面可于该轴向移动。从动轴的邻接于可动轴的前端部及密封构件的对向于从动轴的基端部可抵接。于从动轴的前端部及密封构件的对向于从动轴的基端部的至少任一者，设置将密封构件的对向于从动轴的侧的外周与内周连通的连通道。

Description

吸附缓冲装置

技术领域

本发明涉及吸附电子零件等移送对象物的吸附缓冲装置。

背景技术

一般而言，吸附电子零件等移送对象物的吸附缓冲装置安装有致动器。吸附缓冲装置具有吸附移送对象物的吸附部。而且，在通过吸附部吸附移送对象物时，使致动器驱动，而使吸附缓冲装置朝向移送对象物移动，吸附部被推压于移送对象物。此时，若对移送对象物作用的推压力过大，则有可能对移送对象物作用过剩的压力。然而，若对移送对象物作用的推压力过小，则有可能无法通过吸附部吸附移送对象物。

于是，例如在日本特开2018－85457号公报，公开了一种技术，将吸附部推压于移送对象物时，吸收作用于吸附部的推压反作用力，从而抑制推压力对移送对象物过剩地作用，且使作用于移送对象物的推压力为恒定。

日本特开2018－85457号公报的吸附缓冲装置构成为，可动轴与从动轴能一体地于轴向移动，可动轴与从动轴能一体地旋转。可动轴具有在从壳体突出的前端部吸附移送对象物的吸附部，并且具有以与吸附部连通的方式于轴向贯通的轴道。从动轴与可动轴连结，从而轴道的与从动轴连结的端部被封闭。然后，在吸附缓冲装置中，将吸附部推压于移送对象物，并且对轴道供给真空压力，从而在吸附部吸附移送对象物。

又，上述吸附缓冲装置具备环状的两个密封构件，用于将壳体的内周面与可动轴的外周面之间进行密封。在吸附部被推压于移送对象物的状态下对轴道供给真空压力时，以轴道成为真空状态的方式，通过各密封构件确保气密性。此种密封构件中的一个密封构件被配设在可动轴的邻接于从动轴的外周面，通过真空压力与大气压的压力差而沿着轴向抵接于设置在无壳体的周面的台阶面。该密封构件在从动轴沿着轴向于可动轴侧移动时，亦作为从动轴的可动轴侧的端部所抵接的缓冲构件而发挥功能。

然而，上述吸附缓冲装置中，在从动轴的连结于可动轴的端部抵接于密封构件的对向于从动轴的端部的状态下轴道为真空状态时，有从动轴的连结于可动轴的端部被吸附于密封构件的对向于从动轴的端部的情形。作为如此吸附的原因，在于因将可动轴设为能于轴向移动的关系，必须在可动轴的邻接于从动轴的外周面与密封构件的内周面之间设置少许的间隙，经由该间隙对从动轴与密封构件之间供给真空压力。而且，在将吸附部推压于移送对象物时，为了缓冲推压反作用力，需要使从动轴沿着轴向移动，但必须额外地施加用于将从动轴的连结于可动轴的端部拉离密封构件的对向于从动轴的端部的力，作用于移送对象物的推压力变大。

发明内容

本发明的目的在于提供一种吸附缓冲装置，可藉由使适当的推压力作用于移送对象物，稳定移送对象物而进行吸附的吸附缓冲状装置。

达成上述目的的吸附缓冲装置具备：壳体；驱动轴，被收纳于所述壳体内，被能旋转地支承；从动轴，被收纳于所述壳体内，能在所述驱动轴的径向外侧或径向内侧相对于所述驱动轴在轴向移动；可动轴，与所述从动轴连结，能与所述从动轴一体地在所述轴向移动，且所述可动轴具有：连结于所述从动轴的基端部、位于与所述基端部相反的一侧且从所述壳体突出的前端部、在所述前端部吸附移送对象物的吸附部、以及以与所述吸附部连通的方式在所述轴向延伸的轴道；磁石，在所述驱动轴和所述从动轴中于与所述轴向正交的方向互相对向的面被磁化；及环状的密封构件，与所述可动轴的邻接于所述从动轴的外周面抵接，将所述外周面与所述壳体之间进行密封。通过对所述可动轴的所述轴道供给真空压力，从而移送对象物被所述吸附部吸附。所述从动轴及所述可动轴构成为被容许向所述轴向移动以及以沿着所述轴向延伸的中心轴线为中心旋转，通过所述磁石的互相对向的面以不同的磁极被磁化，从而所述磁石为非接触且使轴向的磁极的重叠偏位，一面使欲复归的轴向的吸引力作用于所述可动轴一面能于所述轴向移动。所述从动轴的邻接于所述可动轴的前端部与所述密封构件的对向于所述从动轴的基端部能抵接。在所述从动轴的所述前端部及所述密封构件的所述基端部的至少任一者，设置将所述密封构件的与所述从动轴对向的一侧的外周与内周连通的连通道。

上述吸附缓冲装置中，优选所述连通道设置于所述从动轴的所述前端部。

上述吸附缓冲装置中，优选在所述驱动轴及所述从动轴的一者，设有在与所述轴向正交的方向延伸的突出部，在所述驱动轴及所述从动轴的另一者，设有在所述轴向延伸的引导槽，所述突出部在与所述轴向正交的方向抵接于所述引导槽，并且所述突出部沿着所述引导槽于所述轴向被引导。

上述吸附缓冲装置中，优选所述突出部为滚珠轴承。

上述吸附缓冲装置中，优选所述从动轴为能使所述驱动轴插入于所述从动轴的内侧并且能相对于所述驱动轴于轴向移动的筒状的轴，所述磁石包括筒状的驱动轴磁石及筒状的从动轴磁石，所述筒状的驱动轴磁石设置于所述驱动轴的外周面，所述筒状的从动轴磁石设置于所述从动轴的内周面并且配置为相对于所述驱动轴磁石在与所述轴向正交的方向对向。

上述吸附缓冲装置中，优选所述磁石包括筒状的驱动轴磁石及筒状的从动轴磁石，所述筒状的驱动轴磁石设置于所述驱动轴的外周面，所述筒状的从动轴磁石设置于所述从动轴的内周面并且配置为相对于所述驱动轴磁石在与所述轴向正交的方向对向，所述驱动轴磁石及所述从动轴磁石以于周向作为磁极被分割为多个的方式，N极和S极交互地被磁化，所述驱动轴磁石的外周面与所述从动轴磁石的内周面的互相对向的面以不同的磁极被磁化，从而所述驱动轴与所述从动轴为非接触且能于旋转方向一体地旋转，所述驱动轴磁石及所述从动轴磁石为非接触且使轴向的磁极的重叠偏位，一面使欲复归的轴向的吸引力作用于所述可动轴一面能于轴向移动。

上述吸附缓冲装置中，优选所述壳体具有支承所述密封构件的台阶面，所述密封构件在与所述密封构件的所述基端部相反的侧具有前端部，所述密封构件的所述前端部与所述台阶面抵接，所述密封构件的所述基端部能与所述从动轴的所述前端部抵接。

根据本发明，可使适当的推压力作用于移送对象物，藉此稳定移送对象物而进行吸附。

附图说明

图1为表示实施方式的吸附缓冲装置的截面图。

图2(a)为表示驱动轴磁石与从动轴磁石的关系的截面图。

图2(b)为表示驱动轴的旋转角度与施加于从动轴的转矩的关系的截面图。

图3(a)为将吸附缓冲装置的一部分放大的截面图。

图3(b)为从动轴的仰视图。

图4为表示实施方式的吸附缓冲装置的截面图。

图5(a)为将吸附缓冲装置的一部分放大的侧视图。

图5(b)为将吸附缓冲装置的一部分放大的侧视图。

具体实施方式

以下，根据图1～图3(b)说明将吸附缓冲装置具体化的实施方式。本实施方式的吸附缓冲装置会吸附电子零件等移送对象物。再者，图1中将下侧定义为吸附缓冲装置的前端侧，将上侧定义为吸附缓冲装置的基端侧。

如图1所示，吸附缓冲装置10的壳体11具有马达壳体12和连结于马达壳体12的筒状的本体壳体13。在马达壳体12内，内设有具有旋转轴14a的转子14。本体壳体13以本体壳体13的轴向与旋转轴14a的轴向一致的方式，连结于马达壳体12。

旋转轴14a经由轴承12a而能旋转地被支承于马达壳体12。旋转轴14a的两端贯通马达壳体12而向马达壳体12的外部突出。旋转轴14a的被收纳于本体壳体13的端部贯通马达壳体12而突出于本体壳体13的内部。

吸附缓冲装置10具备连结于旋转轴14a并且与旋转轴14a一体地旋转的驱动轴15。驱动轴15的轴向与旋转轴14a的轴向一致。驱动轴15具有连结于旋转轴14a的圆筒状的大径部15a、及与大径部15a连续并且外径小于大径部15a的圆柱状的小径部15b。小径部15b从大径部15a朝向与旋转轴14a相反的侧延伸。

大径部15a的内侧插入有旋转轴14a的收纳于本体壳体13的端部。在旋转轴14a的被插入于大径部15a的内侧的部位的外周面，形成有平坦面14b。又，在旋转轴14a的径向，在大径部15a的对向于平坦面14b的部分，形成有阴螺孔15h。在阴螺孔15h螺合有螺钉14c。螺钉14c的前端抵接于旋转轴14a的平坦面14b。藉此，旋转轴14a与驱动轴15经由螺钉14c而连结。

吸附缓冲装置10具备有底圆筒状的从动轴16，驱动轴15插入于从动轴16的内侧。从动轴16的轴向与驱动轴15的轴向一致。从动轴16可相对于驱动轴15于轴向移动。驱动轴15及从动轴16被收纳于本体壳体13内部中邻接于马达壳体12而形成的收纳室13a内。驱动轴15的外周面与从动轴16的内周面之间存在间隙。

吸附缓冲装置10具备连结于从动轴16而能与从动轴16于轴向一体地移动的可动轴17。可动轴17具有连结于从动轴16的基端部及位于与该基端部为相反侧的前端部。可动轴17的轴向与从动轴16的轴向一致。在从动轴16的底部16e形成有螺钉插通孔16h。在可动轴17的与从动轴16联系的基端部形成有阴螺孔17h。然后，插通于螺钉插通孔16h的紧固螺钉18螺合于阴螺孔17h，藉此，可动轴17经由紧固螺钉18连结于从动轴16的底部16e。

在本体壳体13形成有可动轴17所插通的插通孔13h。可动轴17的与基端部为相反侧的前端部经由插通孔13h向本体壳体13的外部突出。可动轴17能从插通孔13出没。可动轴17为具有吸引口17a及轴内通道17b的中空状，该轴内通道17b连通吸引口17a与插通孔13h的内部。吸引口17a开口于可动轴17的作为前端部的突出端部的前端面17e。

轴内通道17b具有在可动轴17的轴向延伸的轴道171b和在可动轴17的径向延伸的路径172b。轴道171b的与从动轴16为相反侧的开口相当于上述吸引口17a。又，轴道171b的邻接于从动轴16的部分与阴螺孔17h为连续，通过紧固螺钉18而与从动轴16连结，轴道171b的邻接于从动轴16的端部被封闭。如此，通过从动轴16与可动轴17经由紧固螺钉18被连结，从而可动轴17的基端部借由与可动轴17连结的从动轴16及紧固螺钉18而被封闭。即，通过从动轴16及紧固螺钉18，可动轴17的轴道171b的邻接于从动轴16的开口被封闭。路径172b将轴道171b中靠近从动轴16的部分与插通孔13h的内部连通。

在驱动轴15的小径部15b的外周面设有圆筒状的驱动轴磁石20。在从动轴16的内周面设有圆筒状的从动轴磁石21。从动轴磁石21配置为相对于驱动轴磁石20在与轴向正交的方向对向。驱动轴磁石20的轴向的长度与从动轴磁石21的轴向的长度为相同。驱动轴磁石20的外周面与从动轴磁石21的内周面之间存在间隙。驱动轴磁石20具有前端面及基端面。驱动轴磁石20的前端面位于比驱动轴磁石20的基端面更靠近可动轴17的位置。从动轴磁石21具有前端面及基端面。从动轴磁石21的前端面位于比从动轴磁石21的基端面更靠近可动轴17的位置。

如图2(a)所示，驱动轴磁石20构成为于周向被分割为多个磁极(本实施方式中为4个)，N极20a和S极20b交互地磁化。从动轴磁石21构成为于周向被分割为多个磁极(本实施方式中为4个)，N极21a和S极21b交互地被磁化。驱动轴磁石20的各N极20a的外周面与从动轴磁石21的各S极21b的内周面对向。驱动轴磁石20的各S极20b的外周面与从动轴磁石21的各N极21a的内周面对向。如此，驱动轴磁石20的外周面与从动轴磁石21的内周面的相互对向的面以不同的磁极被磁化，从而在驱动轴磁石20的外周面与从动轴磁石21的内周面的相互对向的面，作为不同的磁极彼此藉由磁力而相对向且相吸的未接触状态，驱动轴15与从动轴16能一体地旋转。驱动轴磁石20的外周面与从动轴磁石21的内周面之间设有间隙，即使驱动轴15与从动轴16之间发生轴偏心，驱动轴磁石20的外周面与从动轴磁石21的内周面也可成为未接触的构成。

如图2(b)所示，至驱动轴15的旋转角度成为预定角度(本实施方式中为90度)为止，与驱动轴15的旋转角度成比例地，施加于从动轴16的转矩变大。另一方面，驱动轴15的旋转角度若超过预定角度(本实施方式中为90度)，则施加于从动轴16的转矩变成逆向，并且与驱动轴15的旋转角度成比例地，该转矩变小。

如图3(a)所示，插通孔13h具有与收纳室13a连续的圆孔状的收纳孔131h、及与收纳孔131h中的与收纳室13a相反的侧连续并且小于收纳孔131h的孔径的小径孔132h。而且，在收纳孔131h与小径孔132h之间，形成有于可动轴17的径向延伸的环状的台阶面135h。又，插通孔13h具有与小径孔132h中的与收纳孔131h相反的侧连续并且相较于小径孔132h的孔径为大径的轴承收纳孔133h、及与轴承收纳孔133h中的与小径孔132h相反的侧为连续并且相较于轴承收纳孔133h孔径为大径的圆孔状的收纳孔134h。而且，在收纳孔134h与轴承收纳孔133h之间，形成有于可动轴17的径向延伸的环状的台阶面136h。

在可动轴17的外周面与轴承收纳孔133h的内周面之间，设有轴承30。轴承30具有：配置于可动轴17的外周面与轴承收纳孔133h的内周面之间的圆筒状的轴承外筒31；配置于轴承外筒31的内周面与可动轴17的外周面之间并且与轴承外筒31的内周面和可动轴17的外周面接触的多个滚珠32；以及保持多个滚珠32的圆筒状的保持构件33。保持构件33被配置于轴承外筒31的内周面与可动轴17的外周面之间。保持构件33的轴向的长度比轴承外筒31的轴向的长度短。保持构件33将多个滚珠32能转动地保持。

由于多个滚珠32接触轴承外筒31的内周面和可动轴17的外周面，故可动轴17在插通孔13h的内部以预压作用于可动轴17的径向的状态下定位。又，因多个滚珠32能转动地被保持构件33所保持，故在插通孔13h的内部，可动轴17能进行向可动轴17的轴向的移动及旋转。因此，轴承30在与可动轴17的轴向正交的方向将可动轴17支承于本体壳体13的状态下，容许可动轴17向可动轴17的轴向的移动及可动轴17的旋转。

本体壳体13与插通孔13h的内部连通，并且具有吸引口17a、轴内通道17b、及清除插通孔13h内部的空气的真空吸引用口13b。真空吸引用口13b与小径孔132h及轴承收纳孔133h连通。真空吸引用口13b经由轴承外筒31中的邻接于小径孔132h的开口而与轴承外筒31的内侧连通。轴承外筒31的内侧存在藉由多个滚珠32隔开的可动轴17与轴承外筒31之间的排出空间31k。又，排出空间31k与路径172b连通。在真空吸引用口13b经由切换阀13c而连接有喷射器(ejector)等真空产生器13d。由此，排出空间31k经由真空吸引用口13b连接于切换阀13c。又，排出空间31k经由真空吸引用口13b及切换阀13c连接于真空产生器13d。通过切换阀13c的切换，能切换对排出空间31k(真空吸引用口13b)的大气压力和真空压力的供给。

收纳孔134h内收纳有树脂制的第一密封构件41。由此，收纳孔134h为收纳第一密封构件41的第一收纳部。第一密封构件41设置于可动轴17的外周面与插通孔13h的内周面之间比真空吸引用口13b及轴承30更靠近吸引口17a的位置。即，第一密封构件41设置于轴承30与吸引口17a之间。第一密封构件41为圆板状。可动轴17以可动轴17的外周面滑接于第一密封构件41的内周面的状态插入于第一密封构件41的内侧，可动轴17的外周面与第一密封构件41的内周面之间被密封。由此，第一密封构件41的内周面为构成与可动轴17的外周面之间的间隙密封物的第一内周面41a。

又，第一密封构件41在由真空吸引用口13b供给真空压力时，由真空压力与大气压力的压力差产生的力作用于第一密封构件41的轴向，抵接于台阶面136h。藉此，台阶面136h与第一密封构件41之间被密封。由此，第一密封构件41的抵接于台阶面136h的端面为与第一内周面41a正交的第一端面41b，藉由使大气压力与真空压力的压力差作用，从而在第一端面41b处作用密封力。第一密封构件41的轴向的厚度被设定为比收纳孔134h的深度薄，在不产生压力差的状态下，厚度方向的力不会产生。

第一密封构件41的外径比收纳孔134h的内径小，在第一密封构件41的外周面与收纳孔134h的内周面之间存在间隙。由此，由于在径向亦设有间隙，故第一密封构件41不受限制而可将对可动轴17的滑动阻力抑制为小，并且排除可动轴17与第一密封构件41之间的轴偏离。因此，第一密封构件41的外形及厚度方向的尺寸，为不受收纳孔134h限制的形状或尺寸。

在本体壳体13的与马达壳体12为相反侧的端面，安装有防止第一密封构件41从收纳孔134h脱落的防脱落用的盖39。盖39与本体壳体13的外形为相同形状，在中央具有贯通孔39h。可动轴17穿过盖39的贯通孔39h。

在收纳孔131h收纳有树脂制的第二密封构件42。由此，收纳孔131h为收纳第二密封构件42的第二收纳部。第二密封构件42设置于可动轴17的外周面与插通孔13h的内周面之间比真空吸引用口13b靠近收纳室13a的位置。即，第二密封构件42设置于真空吸引用口13b与收纳室13a之间。第二密封构件42为圆板状。可动轴17以可动轴17的外周面滑接于第二密封构件42的内周面的状态插入于第二密封构件42的内侧，可动轴17的外周面与第二密封构件42的内周面之间被密封。由此，第二密封构件42的内周面为构成与可动轴17的外周面之间的间隙密封物的第二内周面42a。再者，本实施方式中，因为将从动轴16及可动轴17设为可于轴向移动的关系，在可动轴17的邻接于从动轴16的外周面与第二密封构件42的内周面之间，虽然仅为少许但设置有间隙。第二密封构件42具有与从动轴16对向的基端部、及位于该基端部相反侧的前端部。

又，第二密封构件42在由真空吸引用口13b供给真空压力时，由真空压力与大气压力的压力差产生的力作用于第二密封构件42的轴向，抵接于台阶面135h。藉此，台阶面135h与第二密封构件42之间被密封。由此，第二密封构件42的抵接于台阶面135h的端面(前端部)为与第二内周面42a垂直的第二端面42b，藉由使大气压力与真空压力的压力差作用，从而在第二端面42b处作用密封力。

第二密封构件42的外径比收纳孔131h的内径小，在第二密封构件42的外周面与收纳孔131h的内周面之间存在间隙。由此，由于在径向亦设有间隙，故第二密封构件42不受限制而可将对可动轴17的滑动阻力抑制为小，并且排除可动轴17与第二密封构件42之间的轴偏离的影响。因此，第二密封构件42的外形及厚度方向的尺寸，为不受收纳孔131h限制的形状或尺寸。

如图1所示，从动轴16的邻接于可动轴17的端面能抵接于第二密封构件42。由此，第二密封构件42的第二端面42b相反侧的端面成为从动轴16的邻接于可动轴17的前端面能抵接的抵接面42c，作为从动轴16的前端面的缓冲构件发挥功能。在从动轴16的前端面抵接于第二密封构件42的抵接面42c的状态下，从动轴磁石21的前端面比驱动轴磁石20的前端面更远离可动轴17。

从动轴16的前端面抵接于第二密封构件42的抵接面42c的状态，为可动轴17从插通孔13h最突出的状态。又，从动轴16的基端面抵接于马达壳体12的状态，为可动轴17从插通孔13h最没入的状态。即使是可动轴17从插通孔13h最没入的状态，可动轴17的前端部亦经由插通孔13h向本体壳体13的外部突出。

在从动轴16的在轴向上能移动的范围中，从动轴磁石21被配置为能比驱动轴磁石20更靠近马达壳体12。轴向的吸引力作用于从动轴磁石21与驱动轴磁石20的端部为一致的方向。也就是说，吸引力作用于可动轴17所突出的方向，吸引力作为推压力而作用于从动轴16的底部16e对第二密封构件42的端面。作为吸引力的此推压力于从动轴16的可动范围中，以与位置无关而为恒定的方式，使从动轴磁石21与驱动轴磁石20于轴向偏位。驱动轴磁石20与从动轴磁石21为非接触且使轴向的磁极的重叠错位，一面使欲复归的轴向的吸引力作用于该可动轴17一面可于轴向移动。

未图标的致动器驱动，通过致动器的驱动，吸附缓冲装置10朝向载置于载置面W1的移送对象物W移动。若如此，则可动轴17的前端面17e从轴向被推压于移送对象物W。此情形时，虽然来自移送对象物W的推压反作用力作用于可动轴17，但至超越由上述吸引力产生的推压力为止，可动轴17不会进行移动。进而，若进行推压动作，则上述推压反作用力成为与由吸引力产生的推压力一致的平衡状态，在对移送对象物W施加恒定的推压力的状态下，可动轴17能朝向马达壳体12移动。由于上述推压力由恒定的吸引力产生，故即使移送对象物W的高度方向的尺寸有变化，也会作为恒定的推压力所作用的缓冲功能而进行作用。又，在移送目的地，对于载置移送对象物W的载置面W1，例如与需要压入等作业的情形时相同，作为恒定的推压力所作用的缓冲功能而进行作用。

又，切换阀13c进行驱动，真空吸引用口13b与真空产生器13d连接，吸引口17a与移送对象物W之间的空气从吸引口17a被吸引，从吸引口17a被吸引的空气流经轴内通道17b及排出空间31k而从真空吸引用口13b被吸出。藉此，推压于移送对象物W的可动轴17的前端面17e与移送对象物W之间成为真空状态，移送对象物W被吸附于可动轴17的前端面17e。由此，吸引口17a为了在可动轴17的前端面17e吸附移送对象物W而吸引空气。而且，可动轴17的前端面17e作为吸附移送对象物W的吸附部而发挥功能。

接着，在移送对象物W被吸附于可动轴17的前端面17e的状态下，致动器于Z轴方向驱动，通过致动器的驱动，吸附缓冲装置10向载置面W1相反侧、即远离载置面W1的方向移动。若如此，则通过驱动轴磁石20与从动轴磁石21之间作用的吸引力，至从动轴16的前端面抵接于第二密封构件42的抵接面42c为止，利用由吸引力产生的恒定的力将移送对象物W推压于载置面W1的状态下，可动轴17及从动轴16一体地移动。然后，成为从动轴16的前端面抵接于第二密封构件42的抵接面42c的状态，移送对象物W以被吸附于可动轴17的前端面17e的状态离开载置面W1。之后，将移送对象物W向目标的移送位置移送。

此时，对移送对象物W的以可动轴17的中心轴线作为旋转中心的旋转方向的朝向进行调整。具体而言，吸附缓冲装置10中，转子14进行驱动，旋转轴14a旋转，驱动轴15伴随旋转轴14a的旋转而与旋转轴14a一体地旋转。此处，驱动轴磁石20的外周面与从动轴磁石21的内周面的相互对向的面以不同的磁极被磁化。因此，在驱动轴磁石20的外周面与从动轴磁石21的内周面的相互对向的面中不同的磁极彼此相对向的状态下，驱动轴15与从动轴16一体地旋转。藉此，可动轴17亦与从动轴16一体地旋转，移送对象物W的以可动轴17的中心轴线作为旋转中心的旋转方向的朝向被调整。

且说，如图3(b)所示，从动轴16的前端面中，以与螺钉插通孔16h为同轴的方式，设有内径大于螺钉插通孔16h的圆筒状的可动轴收纳部16a。在可动轴收纳部16a的内侧收纳有可动轴17的基端部。该可动轴收纳部16a作为与可动轴17连结的连结部而发挥功能。

再者，可动轴收纳部16a的内侧经由可动轴17的阴螺孔17h而与轴道171b连通。紧固螺钉18以插通于螺钉插通孔16h及可动轴收纳部16a的状态螺合于阴螺孔17h。藉由紧固螺钉18，轴道171b的邻接于从动轴16的端部被封闭。尤其，本实施方式中，为了防止紧固螺钉18的松弛，在螺钉插通孔16h及阴螺孔17h填充有接着剂的状态下，紧固螺钉18螺合于阴螺孔17h。因此，即使从动轴16与可动轴17相互独立，在从动轴16与可动轴17之间，也不会产生由阴螺孔17h及可动轴收纳部16a组成的间隙。

在可动轴收纳部16a的对向于可动轴17的端面，设有C字状的抵接面16b。抵接面16b能与第二密封构件42的第二端面42b相反侧的端面抵接。该抵接面16b相当于抵接部。

在从动轴16，设有在抵接面16b的径向延伸且将可动轴收纳部16a的内周与外周连通的连通道16c。可动轴收纳部16a的外周侧成为大气压力，藉由设置连通道16c，可动轴收纳部16a的内周侧也成为大气压力。本实施方式中，可动轴收纳部16a的深度为0.5mm，连通道16c的宽度为约2mm，但只要为对可动轴收纳部16a的内周侧圆滑地供给大气压力的程度，则可动轴收纳部16a的深度及连通道16c的宽度不限于此。

接着，针对本实施方式的作用进行说明。

若真空产生器13d进行驱动，则排出空间31k的空气被真空吸引用口13b吸出，若可动轴17的前端面17e被推压于移送对象物W，则被推压于移送对象物W的可动轴17的前端面17e与移送对象物W之间成为真空状态，移送对象物W被吸附于可动轴17的前端面17e。虽然真空压力有可能经由可动轴17的邻接于从动轴16的外周面与第二密封构件42的内周面之间的少许间隙，绕进从动轴16与第二密封构件42之间，但由于在从动轴16的前端部形成有连通道16c，故大气压力被供给至从动轴16与第二密封构件42之间。如此，在由真空吸引用口13b供给真空压力的状态下，即使可动轴17的前端面17e被推压于移送对象物W，亦可抑制从动轴16的底部16e被吸附于第二密封构件42的抵接面42c，从动轴16的底部16e离开第二密封构件42的抵接面42c。

上述实施方式可获得以下的效果。

(1)在从动轴16的邻接于可动轴17的前端部，设置将第二密封构件42的对向于从动轴16的侧的外周与内周连通的连通道16c，藉此，能够将大气压力供给至从动轴16的前端部与第二密封构件42的对向于从动轴16的端部之间。因此，即使在从动轴16的前端部抵接于第二密封构件42的对向于从动轴16的端部的状态下轴道171b为真空状态，也能够抑制第二密封构件42的邻接于从动轴16的端部被吸附于从动轴16的前端部。因此，不需要考虑用于将从动轴16的前端部拉离第二密封构件42的邻接于从动轴16的端部的力，通过使适当的推压力作用于移送对象物W，从而能够稳定地吸附移送对象物W。又，与吸引口17a连通并且于轴向贯通的轴道171b，作为与吸引口17a连通的通道而易于形成。

(2)第二密封构件42被支承于台阶面135h，藉由真空压力与大气压力的压力差而被推抵于朝向可动轴17而凹陷的台阶面135h。因此，第二密封构件42以能够沿着可动轴17的轴向而朝向从动轴16移动的状态被设置，对于设置连通道16c的可用性变高。

(3)第二密封构件42为树脂制，第二密封构件42的加工面的精度越高，第二密封构件42的第二端面42b的密封力越容易作用，反之，第二密封构件42的对向于从动轴16的端部越容易吸附于从动轴16的前端部。因此，第二密封构件42的加工面的精度越高，对于设置连通道16c的可用性变高。

(4)为了抑制从动轴16与第二密封构件42之间的吸附，在从动轴16设有连通道16c。因此，如在第二密封构件42形成有连通道的情形般，即使将第二密封构件42的内外反转而组装，也因为连通道而可防止第二密封构件42与台阶面135h之间的密封不发挥功能的情况。

接着，针对将本发明具体化的第二实施方式进行说明。第二实施方式中，例如构成为伴随驱动轴15的旋转而使从动轴16圆滑地旋转。以下说明中，针对与已说明的实施方式相同的构成及相同控制内容标注相同符号，省略或简略该重复的说明。

如图4及图5(a)、图5(b)所示，吸附缓冲装置100中，驱动轴15具有作为突出部的滚珠轴承15c，滚珠轴承15c藉由从驱动轴15的大径部15a的外周面于径向突出的轴杆而被支承。本实施方式中，使用凸轮从动件(camfollower)作为滚珠轴承15c。又，轴杆的基端部抵接于旋转轴14a，旋转轴14a与驱动轴15连结。

从动轴16具有设为在从动轴16的轴向延伸的引导槽16d。沿着从动轴16的轴向的引导槽16d的尺寸虽比可动轴17及从动轴16的行程更长，但也可为相同。从动轴16的引导槽16d的内侧面对向于滚珠轴承15c的外周面，滚珠轴承15c被设为贯通引导槽16d的状态。滚珠轴承15c的外周面抵接于引导槽16d的内侧面，藉此，从动轴16伴随驱动轴15的旋转而连动。从动轴16可沿着引导槽16d所延伸的方向，相对于驱动轴15而于轴向移动。

如图5(a)所示，滚珠轴承15c的外周面抵接于引导槽16d的内侧面。因此，驱动轴15与从动轴16以于轴向延伸的中心轴线作为中心一体地旋转。

又，如图5(b)所示，若可动轴17的前端面17e从轴向被推压于移送对象物W，可动轴17朝向马达壳体12移动，则以滚珠轴承15c沿着引导槽16d的方式，从动轴16及可动轴17可相对于驱动轴15在轴向移动。

接着，针对本实施方式的作用进行说明。

在将可动轴17的吸引口17a推抵于移送对象物W之前且未对轴道171b供给真空压力的状态下，根据预先决定的旋转模式，旋转轴14以在轴向延伸的中心轴线作为中心而旋转，驱动轴15与旋转轴14a一体地以在轴向延伸的中心轴线作为中心而旋转。本实施方式中，作为预先决定的旋转模式，是在小于预定角度(本实施方式中为90度)的预定角度(例如加减30度)的范围内，持续旋转多次的模式，但不限于此。

通过驱动轴15以于轴向延伸的中心轴线作为中心而旋转，在驱动轴15的周向，滚珠轴承15c的外周面的一部分与从动轴16的引导槽16d的内侧面抵接，从动轴16及可动轴17与驱动轴15一体地以于轴向延伸的中心轴线作为中心而旋转。如此，即使为第二密封构件42的对向于从动轴16的端部被吸附于从动轴16的前端部的情形，通过从动轴16以于轴向延伸的中心轴线作为中心而旋转，亦可将从动轴16拉离第二密封构件42。因此，可抑制第二密封构件42的对向于从动轴16的端部被吸附于从动轴16的前端部。

然后，若可动轴17的前端面17e被推压于移送对象物W，则对可动轴17及从动轴16施加朝向轴向的驱动轴15的力，以驱动轴15的滚珠轴承15c沿着从动轴16的引导槽16d的方式，可动轴17及从动轴16相对于驱动轴15朝向轴向的驱动轴15移动。

上述实施方式能够得到如下的效果。

(5)在驱动轴15设有于与驱动轴15的轴向正交的方向延伸的滚珠轴承15c，在驱动轴15的外周侧的从动轴16设有于从动轴16的轴向延伸的引导槽16d，滚珠轴承15c抵接于引导槽16d，并且滚珠轴承15c沿着引导槽16d在轴向被引导。因此，可藉由滚珠轴承15c和引导槽16d，将驱动轴15的旋转直接传达至从动轴的旋转，能够使从动轴16圆滑地旋转。

(6)又，除此之外，即使在驱动轴15以小角度旋转的情形，相比于与图2(b)所示的角度成比例的转矩，可将大的转矩传达至从动轴16，通过驱动轴15的旋转，可抑制第二密封构件42的对向于从动轴16的端部被吸附于从动轴16的前端部。因此，不需要考虑用于将从动轴16的前端部拉离第二密封构件42的邻接于从动轴16的端部的力，可藉由使适当的推压力作用于移送对象物W来稳定移送对象物W而进行吸附。

(7)又，在驱动轴15超过预定角度而旋转的情形时，藉由滚珠轴承15c与引导槽16d的抵接，驱动轴15与从动轴16之间的角度不会变化(偏离)，无需再次调整驱动轴15与从动轴16之间的角度而能够使移送对象物W正确地旋转。

(8)又，藉由使用滚珠轴承15c，能够使从动轴16圆滑地在轴向移动。

再者，上述实施方式亦可以如下方式变更。

在第二实施方式中，例如，亦可不将驱动轴磁石及从动轴磁石于周向作为磁极分割为多个，而将驱动轴磁石及从动轴磁石的一者作为N极，将驱动轴磁石及从动轴磁石的另一者作为S极。由此，以不同的磁极磁化驱动轴磁石及从动轴磁石的相互对向的面，藉此，驱动轴磁石及从动轴磁石为非接触且使轴向的磁极的重叠偏位，一面使欲复归的轴向的吸引力作用于可动轴一面可于轴向移动。

第二实施方式中，例如亦可设置突起部取代滚珠轴承15c。

第二实施方式中，例如亦可在驱动轴15设置引导槽，在从动轴16设置滚珠轴承。也就是说，可在驱动轴15和从动轴16的一者设置滚珠轴承，在驱动轴15和从动轴16的另一者设置引导槽。

上述实施方式中，例如亦可具备从动轴插入内侧并且可相对于从动轴在轴向移动的筒状的驱动轴。也就是说，关于驱动轴和从动轴，只要设为各自的外周面与内周面为相对，则哪个轴插入内侧都可以。换言之，只要从动轴设置于驱动轴的径向外侧或径向内侧即可。

上述实施方式中，例如，通过贯通可动轴收纳部16a，可动轴收纳部16a的内周侧与外周侧所连通的连通孔亦可作为连通道而形成。

上述实施方式中，例如，亦可在第二密封构件42设置连通外周与内周的连通道。此情形时，可在从动轴16的可动轴收纳部16a设置连通道16c，亦可不设置。也就是说，只要从动轴16及第二密封构件42的至少任一者中，在从动轴16的前端部与第二密封构件42的对向于从动轴16的端部抵接的抵接部设置连通第二密封构件42的对向于从动轴16的外周与内周的连通道即可。

上述实施方式中，例如即使不在从动轴16形成可动轴收纳部16a，此情形时，可在从动轴16的端面设置连通道，亦可在第二密封构件42设置连通道。

上述实施方式中，例如亦可为如下的构成，即，不使用紧固螺钉18，而将从动轴16与可动轴17连接，封闭可动轴17的轴道171b的邻接于从动轴16的端部。若举具体的一例，不在螺钉插通孔16h形成从动轴16，可动轴收纳部16a为有底圆筒状。此情形时，亦可在形成可动轴收纳部16a的内周面与可动轴17的前端部的外周面形成螺纹，藉由螺合该等螺纹，连结从动轴16与可动轴17，封闭可动轴17的轴道171b的邻接于从动轴16的端部。

上述实施方式中，在从动轴16的前端面抵接于第二密封构件42的状态下，从动轴磁石21的前端面与驱动轴磁石20的前端面于可动轴17的轴向为相同位置亦可。

上述实施方式中，第一密封构件41及第二密封构件42亦可为橡胶制或金属制。

上述实施方式中，亦可为如下构成，即马达可不内设于壳体11，将设置于壳体11的外部的马达的马达轴的旋转，经由动力传达机构传达至旋转轴14a。

符号说明

10 吸附缓冲装置

11 壳体

12 马达壳体

12a 轴承

13 本体壳体

13a 收纳室

13b 真空吸引用口

13c 切换阀

13d 真空产生器

13h 插通孔

14 转子

14a 旋转轴

14b 平坦面

14c 螺钉

15 驱动轴

15a 大径部

15b 小径部

15c 滚珠轴承

15h 阴螺孔

16 从动轴

16a 可动轴收纳部

16b 抵接面

16c 连通道

16d 引导槽

16e 底部

16h 螺钉插通孔

17 可动轴

17a 吸引口

17b 轴内通道

17e 前端面

17h 阴螺孔

18 紧固螺钉

20 驱动轴磁石

20a N极

20b S极

21 从动轴磁石

21a N极

21b S极

30 轴承

31 轴承外筒

31k 排出空间

32 滚珠

33 保持构件

39 盖

39h 贯通孔

41 第一密封构件

41a 第一内周面

41b 第一端面

42 第二密封构件

42a 第二内周面

42b 第二端面

42c 抵接面

100 吸附缓冲装置

131h 收纳孔

132h 小径孔

133h 轴承收纳孔

134h 收纳孔

135h 台阶面

136h 台阶面

171b 轴道

172b 路径

N N极

S S极

W 移送对象物

W1 载置面

Claims (7)

1.一种吸附缓冲装置，其特征在于，具备：

壳体；

驱动轴，被收纳于所述壳体内，被能旋转地支承；

从动轴，被收纳于所述壳体内，能在所述驱动轴的径向外侧或径向内侧相对于所述驱动轴在轴向移动；

可动轴，与所述从动轴连结，能与所述从动轴一体地在所述轴向移动，且所述可动轴具有：连结于所述从动轴的基端部、位于与所述基端部相反的一侧且从所述壳体突出的前端部、在所述前端部吸附移送对象物的吸附部、以及以与所述吸附部连通的方式在所述轴向延伸的轴道；

磁石，在所述驱动轴和所述从动轴中于与所述轴向正交的方向互相对向的面被磁化；及

环状的密封构件，与所述可动轴的邻接于所述从动轴的外周面抵接，将所述外周面与所述壳体之间进行密封；

通过对所述可动轴的所述轴道供给真空压力，从而移送对象物被所述吸附部吸附，

所述从动轴及所述可动轴构成为被容许向所述轴向移动以及以沿着所述轴向延伸的中心轴线为中心旋转，

通过所述磁石的互相对向的面以不同的磁极被磁化，从而所述磁石为非接触且使轴向的磁极的重叠偏位，一面使欲复归的轴向的吸引力作用于所述可动轴一面能于所述轴向移动，

所述从动轴的邻接于所述可动轴的前端部与所述密封构件的对向于所述从动轴的基端部能抵接，

在所述从动轴的所述前端部及所述密封构件的所述基端部的至少任一者，设置将所述密封构件的与所述从动轴对向的一侧的外周与内周连通的连通道。

2.如权利要求1所述的吸附缓冲装置，其中，所述连通道设置于所述从动轴的所述前端部。

3.如权利要求1或2所述的吸附缓冲装置，其中，在所述驱动轴及所述从动轴的一者，设有在与所述轴向正交的方向延伸的突出部，

在所述驱动轴及所述从动轴的另一者，设有在所述轴向延伸的引导槽，

所述突出部在与所述轴向正交的方向抵接于所述引导槽，并且所述突出部沿着所述引导槽于所述轴向被引导。

4.如权利要求3所述的吸附缓冲装置，其中，所述突出部为滚珠轴承。

5.如权利要求1或2所述的吸附缓冲装置，其中，所述从动轴为能使所述驱动轴插入于所述从动轴的内侧并且能相对于所述驱动轴于轴向移动的筒状的轴，

所述磁石包括筒状的驱动轴磁石及筒状的从动轴磁石，所述筒状的驱动轴磁石设置于所述驱动轴的外周面，所述筒状的从动轴磁石设置于所述从动轴的内周面并且配置为相对于所述驱动轴磁石在与所述轴向正交的方向对向。

6.如权利要求1或2所述的吸附缓冲装置，其中，所述磁石包括筒状的驱动轴磁石及筒状的从动轴磁石，所述筒状的驱动轴磁石设置于所述驱动轴的外周面，所述筒状的从动轴磁石设置于所述从动轴的内周面并且配置为相对于所述驱动轴磁石在与所述轴向正交的方向对向，

所述驱动轴磁石及所述从动轴磁石以于周向作为磁极被分割为多个的方式，N极和S极交互地被磁化，所述驱动轴磁石的外周面与所述从动轴磁石的内周面的互相对向的面以不同的磁极被磁化，从而所述驱动轴与所述从动轴为非接触且能于旋转方向一体地旋转，所述驱动轴磁石及所述从动轴磁石为非接触且使轴向的磁极的重叠偏位，一面使欲复归的轴向的吸引力作用于所述可动轴一面能于轴向移动。

7.如权利要求1或2所述的吸附缓冲装置，其中，所述壳体具有支承所述密封构件的台阶面，

所述密封构件在与所述密封构件的所述基端部相反的侧具有前端部，

所述密封构件的所述前端部与所述台阶面抵接，

所述密封构件的所述基端部能与所述从动轴的所述前端部抵接。

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