JP2005121119A - 緩衝装置 - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000035939 shock Effects 0.000 claims description 84
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 82
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 6
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 16
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】 先端部に吸着パッド12を備えた可動軸13が筒状のボディ11内に摺動可能に挿入され、そのボディ11と可動軸13には磁気バネ20を構成する永久磁石21,22がそれぞれに取り付けられ、吸着パッド12を移送対象物に押し当てることにより可動軸13が受ける反力を磁気バネ20のバネ力によって吸収するようにしたものであって、可動軸13には、その軸芯部に吸着パッド12の吸着面12aと連通する縦孔14aとその縦孔に連通する横孔14bとが形成され、ボディ11内には、可動軸13の横孔14bから真空ポート37までを連通するボディ側流路35,33,36,38,39が形成され、その横孔14bを軸方向に挟むようにして可動軸13に対して設けられたシール部材25,26により、横孔14bとボディ側流路33…とが気密な状態で接続された緩衝装置1。
【選択図】 図1
Description
また、本発明の緩衝装置は、前記シール部材が前記横孔のストローク範囲を挟むように配置された一対のV型パッキンであって、そのV型パッキンの広がり方向が互いに反対になる向きに設けられたものであることが望ましい。
更に、本発明の緩衝装置は、前記シール部材が前記横孔のストローク範囲を挟むように配置され、一方は径方向に移動可能なものであり、他方は固定されて軸受けとしても機能するものであることが望ましい。
また、本発明によれば、シール部材が、常に可動軸と接していながらもそれに追随して径方向に変形あるいは変位する所謂フローティング構造になっているので、可動軸の反りや可動軸にかかる径方向の外力が作用しても、軸方向の移動に対する抵抗は極めて小さく抑えられ、可動軸のスムーズな移動を確保した緩衝装置を提供することが可能となった。
更に、本発明によれば、可動軸の縦孔からボディの真空ポートまで、磁気バネを構成する永久磁石に形成された横孔を介して連通するようにしたので、装置全体の軸方向寸法を短くして小型化することができた。
なお、緩衝装置1には、ボディ11に内に閉じこめられたエアが可動軸13の軸方向の移動に対する抵抗とならないように、呼吸孔41,42が形成されている。
更に、真空引きされたエアは貫通孔33を通って保持ブロック38外側の空間36へと流れ、貫通孔38から貫通孔39を通って真空ポート37へと流れる。
なお、この緩衝装置1は、図示する状態で軸方向長さが70.7mm、ボディ11の径が12mmであり、真空圧を受ける可動軸13の重さは8gである。そして、こうした緩衝装置1内の流路を通して、到達真空度が−80kPaになるように真空引きされる。
従って、この緩衝装置2では、真空ポート74が貫通孔73を介して保持ブロック56の貫通孔73に、そしてその貫通孔73に連続する空間72,71に連通し、更に可動軸53の横孔53bから縦孔53aへと連通している。
なお、緩衝装置2には、ボディ51に内に閉じこめられたエアが可動軸53の軸方向の移動に対する抵抗とならないように、保持ブロック56に呼吸孔77が形成されている。
そして、本実施形態の緩衝装置3では特に、横孔96,98をマグネット91,92に形成して流路を構成するようにし、更にボディ81の側部に真空ポート99を設けるようにしたので、第1及び第2実施形態と比べても明らかなように、軸方向の寸法を短くして装置全体を小型化することができた。
11 ボディ
12 吸着パッド
13 可動軸
20 磁気バネ
21,22 マグネット
27,28 保持ブロック
14a パイプ孔
14b 横孔
35,36 空間
33,38,39 貫通孔
37 真空ポート
Claims (5)
- 先端部に吸着パッドを備えた可動軸が筒状のボディ内に摺動可能に挿入され、そのボディと可動軸には磁気バネを構成する永久磁石がそれぞれに取り付けられ、吸着パッドを移送対象物に押し当てることにより可動軸が受ける反力を磁気バネのバネ力によって吸収するようにした緩衝装置において、
前記可動軸には、その軸芯部に前記吸着パッドの吸着面と連通する縦孔とその縦孔に連通する横孔とが形成され、前記ボディ内には、当該可動軸の横孔から真空ポートまでを連通するボディ側流路が形成され、その横孔を軸方向に挟むようにして前記可動軸に対して設けられたシール部材により、当該横孔とボディ側流路とが気密な状態で接続されたものであることを特徴とする緩衝装置。 - 請求項1に記載する緩衝装置において、
前記可動軸は、軸受けとシール部材によって摺動可能に支持されたものであって、そのシール部材は、常に可動軸と接していながら径方向に変形あるいは変位可能なものであることを特徴とする緩衝装置。 - 請求項2に記載する緩衝装置において、
前記シール部材は、前記横孔のストローク範囲を挟むように配置された一対のV型パッキンであって、そのV型パッキンの広がり方向が互いに反対になる向きに設けられたものであることを特徴とする緩衝装置。 - 請求項2に記載する緩衝装置において、
前記シール部材は、前記横孔のストローク範囲を挟むように配置され、一方は径方向に移動可能なものであり、他方は固定されて軸受けとしても機能するものであることを特徴とする緩衝装置。 - 先端部に吸着パッドを備えた可動軸が筒状のボディ内に摺動可能に挿入され、そのボディと可動軸には磁気バネを構成する永久磁石がそれぞれに取り付けられ、吸着パッドを移送対象物に押し当てることにより可動軸が受ける反力を磁気バネのバネ力によって吸収するようにした緩衝装置において、
前記可動軸には、その軸芯部に前記吸着パッドの吸着面と連通する縦孔とその縦孔に連通する前記永久磁石を貫通した横孔とが形成され、その可動軸の横孔には、ボディ側の永久磁石にも形成された横孔を介してボディの真空ポートが連通し、前記ボディ内には、可動軸の横孔を軸方向に挟むようにしてシール部材が設けられ、永久磁石に形成された横孔同士を気密な状態で接続したものであることを特徴とする緩衝装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003356315A JP4235078B2 (ja) | 2003-10-16 | 2003-10-16 | 緩衝装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003356315A JP4235078B2 (ja) | 2003-10-16 | 2003-10-16 | 緩衝装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005121119A true JP2005121119A (ja) | 2005-05-12 |
JP4235078B2 JP4235078B2 (ja) | 2009-03-04 |
Family
ID=34613596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003356315A Expired - Lifetime JP4235078B2 (ja) | 2003-10-16 | 2003-10-16 | 緩衝装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4235078B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013027961A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 吸着ノズル |
CN111660320A (zh) * | 2019-03-07 | 2020-09-15 | 喜开理株式会社 | 吸附缓冲装置 |
CN112975792A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-06-18 | 天津金海通半导体设备股份有限公司 | 一种高精度对准可随动自适应浮动吸头 |
KR102402205B1 (ko) * | 2021-10-26 | 2022-05-26 | (주)브이텍 | 진공 시스템용 완충기 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102340888B1 (ko) * | 2021-07-09 | 2021-12-20 | (주)브이텍 | 진공 시스템용 완충기 |
-
2003
- 2003-10-16 JP JP2003356315A patent/JP4235078B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013027961A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 吸着ノズル |
CN111660320A (zh) * | 2019-03-07 | 2020-09-15 | 喜开理株式会社 | 吸附缓冲装置 |
CN111660320B (zh) * | 2019-03-07 | 2022-12-06 | 喜开理株式会社 | 吸附缓冲装置 |
CN112975792A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-06-18 | 天津金海通半导体设备股份有限公司 | 一种高精度对准可随动自适应浮动吸头 |
CN112975792B (zh) * | 2021-05-18 | 2021-09-07 | 天津金海通半导体设备股份有限公司 | 一种高精度对准可随动自适应浮动吸头 |
KR102402205B1 (ko) * | 2021-10-26 | 2022-05-26 | (주)브이텍 | 진공 시스템용 완충기 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4235078B2 (ja) | 2009-03-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060418 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080620 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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