TW202033309A - 吸附緩衝裝置 - Google Patents

Abstract

吸附緩衝裝置具備殼體、驅動軸、從動軸、磁石及密封構件。以不同磁極磁化磁石的互相對向之面，藉此磁石為未接觸且使軸向之磁極的重疊偏位，一面使欲回復之軸向的吸引力作用於該可動軸一面可於該軸向移動。從動軸的鄰接於可動軸之前端部及密封構件的對向於從動軸之基端部可抵接。於從動軸之前端部及密封構件的對向於從動軸之基端部的至少任一者，設置連通密封構件的對向於從動軸之側的外周與內周的連通道。

Description

吸附緩衝裝置

本發明是關於吸附電子零件等移送對象物之吸附緩衝裝置。

一般而言，吸附電子零件等移送對象物之吸附緩衝裝置安裝有致動器。吸附緩衝裝置具有吸附移送對象物之吸附部。而且，於藉由吸附部吸附移送對象物時，使致動器驅動令吸附緩衝裝置朝向移送對象物移動，吸附部被推壓於移送對象物。此時，若對移送對象物作用之推壓力過大，則有使過剩之壓力作用於移送對象物之虞。然而，若對移送對象物作用之推壓力過小，則有無法藉由吸附部吸附移送對象物之虞。

此處，例如於日本特開2018－85457號公報，揭示有於將吸附部推壓於移送對象物時，吸收作用於吸附部之推壓反作用力，藉此抑制推壓力對移送對象物過剩地作用，且使作用於移送對象物之推壓力為恆定。

日本特開2018－85457號公報之吸附緩衝裝置構成為，可動軸與從動軸可一體地於軸向移動，可動軸與從動軸可一體地旋轉。可動軸具有於自殼體突出之前端部吸附移送對象物之吸附部，並且具有以與吸附部連通之方式於軸向貫通之軸道。從動軸與可動軸連結，藉此軸道之與從動軸連結的端部被封閉。然後，於吸附緩衝裝置中，將吸附部推壓於移送對象物，並且對軸道供給真空壓力，藉此於吸附部吸附移送對象物。

又，上述吸附緩衝裝置具備環狀之兩個密封構件，用於將殼體之內周面與可動軸之外周面之間進行密封。於吸附部被推壓於移送對象物之狀態下對軸道供給真空壓力時，以軸道成為真空狀態之方式，藉由各密封構件確保氣密性。此種密封構件中的一個密封構件被配設在可動軸之鄰接於從動軸的外周面，藉由真空壓力與大氣壓之壓力差而沿著軸向推抵於設置在無殼體之周面的階差面。該密封構件在從動軸沿著軸向於可動軸側移動時，亦作為從動軸之可動軸側的端部所抵接之緩衝構件而發揮功能。

然而，上述吸附緩衝裝置中，於從動軸之連結於可動軸的端部抵接於密封構件之對向於從動軸的端部之狀態下軸道為真空狀態時，有從動軸之連結於可動軸的端部被吸附於密封構件之對向於從動軸的端部之情形。作為如此吸附之原因，在於因將可動軸設為可於軸向移動的關係，必須於可動軸之鄰接於從動軸的外周面與密封構件的內周面之間設置少許的間隙，經由該間隙對從動軸與密封構件之間供給真空壓力。而且，於將吸附部推壓於移送對象物時，為了緩衝推壓反作用力，必須使從動軸沿著軸向移動，但有必須額外地施加用於將從動軸之連結於可動軸的端部拉離密封構件之對向於從動軸的端部的力，而作用於移送對象物之推壓力變大之虞。

本發明之目的在於提供一種吸附緩衝裝置，可藉由使適當的推壓力作用於移送對象物，穩定移送對象物而進行吸附之吸附緩衝狀裝置。

達成上述目的之吸附緩衝裝置具備：殼體；驅動軸，被收納於該殼體內，被可旋轉地支承；從動軸，被收納於該殼體內，可於該驅動軸之徑向外側或徑向內側相對於該驅動軸在軸向移動；可動軸，與該從動軸連結，可與該從動軸一體地在該軸向移動，且該可動軸具有：連結於該從動軸之基端部、位於與該基端部相反之側且自該殼體突出之前端部、於該前端部吸附移送對象物之吸附部、及以與該吸附部連通之方式於該軸向延伸的軸道；磁石，於該驅動軸與該從動軸中在與該軸向正交的方向互相對向之面被磁化；及環狀的密封構件，與鄰接於該可動軸之外周面抵接，將該外周面與該殼體之間進行密封。對該可動軸之該軸道供給真空壓力，藉此於該吸附部吸附移送對象物。該從動軸及該可動軸構成為容許向該軸向之移動以及將於該軸向延伸的中心軸線作為中心之旋轉。以不同的磁極磁化該磁石之互相對向的面，藉此該磁石為未接觸且使軸向之磁極的重疊偏位（offset），一面使欲回復之軸向的吸引力作用於該可動軸一面可於該軸向移動。該從動軸的鄰接於該可動軸之前端部與該密封構件的對向於該從動軸之基端部可抵接。於該從動軸之該前端部及該密封構件之該基端部的至少任一者，設置連通該密封構件的與該從動軸對向之側的外周與內周的連通道。

上述吸附緩衝裝置中，較佳該連通道設置於該從動軸之該前端部。

上述吸附緩衝裝置中，較佳於該驅動軸及該從動軸之一者，設有於與該軸向正交之方向延伸的突出部，於該驅動軸及該從動軸之另一者，設有於該軸向延伸之引導槽，該突出部相對於與該軸向正交之方向而抵接於該引導槽，並且該突出部沿著該引導槽被引導至該軸向。

上述吸附緩衝裝置中，較佳該突出部為滾珠軸承。

上述吸附緩衝裝置中，較佳該從動軸為該驅動軸插入內側並且可相對於該驅動軸於軸向移動的筒狀之軸，該磁石包括筒狀之驅動軸磁石及筒狀之從動軸磁石，該筒狀之驅動軸磁石設置於該驅動軸之外周面，該筒狀之從動軸磁石設置於該從動軸之內周面並且配置為相對於該驅動軸磁石於與該軸向正交之方向對向。

上述吸附緩衝裝置中，較佳該磁石包括筒狀之驅動軸磁石及筒狀之從動軸磁石，該筒狀之驅動軸磁石設置於該驅動軸之外周面，該筒狀之從動軸磁石設置於該從動軸之內周面並且配置為相對於該驅動軸磁石於與該軸向正交之方向對向，該驅動軸磁石及該從動軸磁石以於周向作為磁極被分割為複數個之方式，N極與S極交互地被磁化，以不同之磁極磁化該驅動軸磁石的外周面與該從動軸磁石的內周面之互相對向的面，藉此該驅動軸與該從動軸為未接觸且可於旋轉方向一體地旋轉，該驅動軸磁石及該從動軸磁石為未接觸且使軸向之磁極的重疊偏位，一面使欲回復之軸向的吸引力作用於該可動軸一面可於軸向移動。

上述吸附緩衝裝置中，較佳該殼體具有支承該密封構件之階差面，該密封構件於與該密封構件之該基端部相反之側具有前端部，該密封構件之該前端部與該階差面抵接，該密封構件之該基端部可與該從動軸之該前端部抵接。

根據本發明，可使適當的推壓力作用於移送對象物，藉此穩定移送對象物而進行吸附。

以下，根據圖1～圖3說明將吸附緩衝裝置具體化之實施方式。本實施方式之吸附緩衝裝置會吸附電子零件等移送對象物。再者，圖1中將下側定義為吸附緩衝裝置的前端側，將上側定義為吸附緩衝裝置的基端側。

如圖1所示，吸附緩衝裝置10的殼體11具有馬達殼體12與連結於馬達殼體12之筒狀的本體殼體13。於馬達殼體12內，內設有具有旋轉軸14a之轉子14。本體殼體13以本體殼體13之軸向與旋轉軸14a之軸向一致的方式，連結於馬達殼體12。

旋轉軸14a相對於馬達殼體12，經由軸承12a而可旋轉地被支承。旋轉軸14a之兩端貫通馬達殼體12而向馬達殼體12之外部突出。旋轉軸14a之被收納於本體殼體13的端部貫通馬達殼體12而突出於本體殼體13之內部。

吸附緩衝裝置10具備連結於旋轉軸14a並且與旋轉軸14a一體地旋轉的驅動軸15。驅動軸15的軸向與旋轉軸14a之軸向一致。驅動軸15具有連結於旋轉軸14a之圓筒狀的大徑部15a、及與大徑部15a為連續並且外徑小於大徑部15a之圓柱狀的小徑部15b。小徑部15b自大徑部15a朝向與旋轉軸14a相反之側延伸。

大徑部15a之內側插入有旋轉軸14a之收納於本體殼體13的端部。於旋轉軸14a之被插入於大徑部15a的內側之部位的外周面，形成有平坦面14b。又，旋轉軸14a之徑向中，在大徑部15a之對向於平坦面14b的部分，形成有陰螺孔15h。於陰螺孔15h螺合有螺釘14c。螺釘14c之前端抵接於旋轉軸14a之平坦面14b。藉此，旋轉軸14a與驅動軸15經由螺釘14c而連結。

吸附緩衝裝置10具備有驅動軸15插入內側之有底圓筒狀的從動軸16。從動軸16之軸向與驅動軸15之軸向一致。從動軸16可相對於驅動軸15於軸向移動。驅動軸15及從動軸16被收納於本體殼體13內部中鄰接於馬達殼體12而形成的收納室13a內。驅動軸15之外周面與從動軸16之內周面之間存在間隙。

吸附緩衝裝置10具備連結於從動軸16而可與從動軸16於軸向一體地移動之可動軸17。可動軸17具有連結於從動軸16之基端部及位於與該基端部相反之側的前端部。可動軸17之軸向與從動軸16之軸向一致。於從動軸16之底部16e形成有螺釘插通孔16h。在可動軸17之聯繫於從動軸16的基端部形成有陰螺孔17h。然後，插通於螺釘插通孔16h之緊固螺釘18螺合於陰螺孔17h，藉此，可動軸17經由緊固螺釘18連結於從動軸16之底部16e。

於本體殼體13形成有可動軸17所插通之插通孔13h。可動軸17之與基端部相反之側的前端部經由插通孔13h向本體殼體13之外部突出。可動軸17可自插通孔13出現沒入。可動軸17為具有吸引口17a及軸內通道17b之中空狀，該軸內通道17b連通吸引口17a與插通孔13h之內部。吸引口17a開口於可動軸17之作為前端部的突出端部之前端面17e。

軸內通道17b具有於可動軸17之軸向延伸的軸道171b與於可動軸17之徑向延伸的路徑172b。與軸道171b之從動軸16相反之側的開口相當於上述吸引口17a。又，軸道171b之鄰接於從動軸16的部分與陰螺孔17h為連續，藉由緊固螺釘18與從動軸16連結，軸道171b之鄰接於從動軸16的端部被封閉。如此，透過從動軸16與可動軸17經由緊固螺釘18被連結，從而藉由與可動軸17連結之從動軸16及緊固螺釘18，可動軸17之基端部被封閉。即，藉由從動軸16及緊固螺釘18，可動軸17之軸道171b的鄰接於從動軸16之開口被封閉。路徑172b連通軸道171b中靠近從動軸16之部分與插通孔13h之內部。

於驅動軸15之小徑部15b的外周面設有圓筒狀的驅動軸磁石20。於從動軸16之內周面設有圓筒狀的從動軸磁石21。從動軸磁石21配置為相對於驅動軸磁石20於與軸向正交的方向對向。驅動軸磁石20之軸向的長度與從動軸磁石21之軸向的長度為相同。驅動軸磁石20的外周面與從動軸磁石21的內周面之間存在間隙。驅動軸磁石20具有前端面及基端面。驅動軸磁石20之前端面位於較驅動軸磁石20的基端面更靠近可動軸17之位置。從動軸磁石21具有前端面及基端面。從動軸磁石21之前端面位於較從動軸磁石21的基端面更靠近可動軸17之位置。

如圖2（a）所示，驅動軸磁石20以於周向作為磁極被分割為複數個（本實施方式中為4個）之方式，N極20a與S極20b交互地磁化而構成。從動軸磁石21以於周向被分割為複數個（本實施方式中為4個），N極21a與S極21b交互地被磁化之方式構成。驅動軸磁石20之各N極20a的外周面對向於從動軸磁石21之各S極21b的內周面。驅動軸磁石20之各S極20b的外周面對向於從動軸磁石21之各N極21a的內周面。如此，驅動軸磁石20的外周面與從動軸磁石21的內周面之相互對向的面以不同的磁極被磁化，藉此，於驅動軸磁石20的外周面與從動軸磁石21的內周面之相互對向的面，不同的磁極彼此藉由磁力而相對向，作為相吸之未接觸狀態，驅動軸15與從動軸16可一體地旋轉。驅動軸磁石20的外周面與從動軸磁石21的內周面之間設有間隙，即使存在驅動軸15與從動軸16之偏心，驅動軸磁石20的外周面與從動軸磁石21的內周面也可成為未接觸之構成。

如圖2（b）所示，至驅動軸15的旋轉角度成為已定角度（本實施方式中為90度）為止，與驅動軸15之旋轉角度成比例，施加於從動軸16的扭矩變大。另一方面，驅動軸15之旋轉角度若超過已定角度（本實施方式中為90度），則施加於從動軸16之扭矩變成逆向，並且與驅動軸15之旋轉角度成比例，該扭矩變小。

如圖3（a）所示，插通孔13h具有與收納室13a為連續之圓孔狀的收納孔131h、及與收納孔131h中收納室13a之相反側為連續並且小於收納孔131h之孔徑的小徑孔132h。而且，於收納孔131h與小徑孔132h之間，形成有於可動軸17之徑向延伸的環狀之階差面135h。又，插通孔13h具有與小徑孔132h中收納孔131h之相反側為連續並且相較於小徑孔132h孔徑為大徑的軸承收納孔133h、及與軸承收納孔133h中小徑孔132h之相反側為連續並且相較於軸承收納孔133h孔徑為大徑的圓孔狀之收納孔134h。而且，於收納孔134h與軸承收納孔133h之間，形成有於可動軸17之徑向延伸的環狀之階差面136h。

於可動軸17的外周面與軸承收納孔133h的內周面之間，設有軸承30。軸承30具有配置於可動軸17的外周面與軸承收納孔133h的內周面之間的圓筒狀之軸承外筒31、配置於軸承外筒31的內周面與可動軸17的外周面之間並且接觸軸承外筒31的內周面與可動軸17的外周面之複數個滾珠32、與保持複數個滾珠32之圓筒狀的保持構件33。保持構件33被配置於軸承外筒31的內周面與可動軸17的外周面之間。保持構件33的軸向之長度較軸承外筒31的軸向之長度短。保持構件33將複數個滾珠32可轉動地保持。

由於複數個滾珠32接觸軸承外筒31的內周面與可動軸17的外周面，故可動軸17於插通孔13h之內部，以預壓作用於可動軸17之徑向的狀態下決定位置。又，因複數個滾珠32可轉動地被保持構件33所保持，故於插通孔13h之內部，可動軸17可進行向可動軸17的軸向之移動及旋轉。因此，軸承30在相對於本體殼體13於與可動軸17之軸向正交的方向支承可動軸17的狀態下，容許可動軸17向可動軸17之軸向的移動及可動軸17的旋轉。

本體殼體13連通插通孔13h之內部，並且具有吸引口17a、軸內通道17b、及清除插通孔13h內部之空氣的真空吸引用口13b。真空吸引用口13b連通小徑孔132h及軸承收納孔133h。真空吸引用口13b經由軸承外筒31中鄰接於小徑孔132h之開口連通軸承外筒31的內側。軸承外筒31的內側存在藉由複數個滾珠32隔開的可動軸17與軸承外筒31之間的排出空間31k。又，排出空間31k連通路徑172b。於真空吸引用口13b經由切換閥13c而連接有擠出器等真空產生器13d。由此，排出空間31k經由真空吸引用口13b連接於切換閥13c。又，排出空間31k經由真空吸引用口13b及切換閥13c連接於真空產生器13d。於排出空間31k（真空吸引用口13b），藉由切換閥13c的切換，可切換地供給大氣壓力與真空壓力。

收納孔134h內收納有樹脂製的第一密封構件41。由此，收納孔134h為收納第一密封構件41的第一收納部。第一密封構件41設置於可動軸17的外周面與插通孔13h的內周面之間較真空吸引用口13b及軸承30更靠近吸引口17a之位置。即，第一密封構件41設置於軸承30與吸引口17a之間。第一密封構件41為圓板狀。可動軸17以可動軸17的外周面滑接於第一密封構件41的內周面之狀態插入第一密封構件41的內側，可動軸17的外周面與第一密封構件41的內周面之間被密封。由此，第一密封構件41的內周面為構成與可動軸17的外周面之間隙密封物的第一內周面41a。

又，第一密封構件41於由真空吸引用口13b供給真空壓力時，由真空壓力與大氣壓力之壓力差造成的力作用於第一密封構件41的軸向，抵接於階差面136h。藉此，階差面136h與第一密封構件41之間被密封。由此，第一密封構件41之抵接於階差面136h的端面為與第一內周面41a正交的第一端面41b，藉由使大氣壓力與真空壓力之壓力差作用，於第一端面41b之密封力會作用。第一密封構件41之軸向的厚度被設定為較收納孔134h之深度更薄，於未產生壓力差之狀態下，厚度方向的力不會產生。

第一密封構件41的外徑較收納孔134h的內徑小，於第一密封構件41的外周面與收納孔134h的內周面之間存在間隙。由此，由於在徑向亦設有間隙，故第一密封構件41不受限制而可將對可動軸17的滑動阻力抑制為小，並且排除可動軸17與第一密封構件41之軸偏離的影響。因此，第一密封構件41的外形及厚度方向的尺寸，為不受收納孔134h限制之形狀或尺寸。

於本體殼體13之與馬達殼體12相反之側的端面，安裝有防止第一密封構件41自收納孔134h之脫落的防脫落用之蓋39。蓋39與本體殼體13之外形為相同形狀，於中央具有貫通孔39h。可動軸17通過蓋39之貫通孔39h。

於收納孔131h收納有樹脂製的第二密封構件42。由此，收納孔131h為收納第二密封構件42的第二收納部。第二密封構件42設置於可動軸17的外周面與插通孔13h的內周面之間較真空吸引用口13b更靠近收納室13a之位置。即，第二密封構件42設置於真空吸引用口13b與收納室13a之間。第二密封構件42為圓板狀。可動軸17以可動軸17的外周面滑接於第二密封構件42的內周面之狀態插入第二密封構件42的內側，可動軸17的外周面與第二密封構件42的內周面之間被密封。由此，第二密封構件42的內周面為構成與可動軸17的外周面之間隙密封物的第二內周面42a。再者，本實施方式中，因為將從動軸16及可動軸17設為可於軸向移動的關係，於可動軸17之鄰接於從動軸16的外周面與第二密封構件42的內周面之間，雖然僅為少許但設置有間隙。第二密封構件42具有對向於從動軸16之基端部、及位於與該基端部為反對之側的前端部。

又，第二密封構件42於由真空吸引用口13b供給真空壓力時，由真空壓力與大氣壓力之壓力差造成的力作用於第二密封構件42的軸向，抵接於階差面135h。藉此，階差面135h與第二密封構件42之間被密封。由此，第二密封構件42之抵接於階差面135h的端面（前端部）為與第二內周面42a垂直的第二端面42b，藉由使大氣壓力與真空壓力之壓力差作用，於第二端面42b之密封力會作用。

第二密封構件42的外徑較收納孔131h的內徑小，於第二密封構件42的外周面與收納孔131h的內周面之間存在間隙。由此，由於在徑向亦設有間隙，故第二密封構件42不受限制而可將對可動軸17的滑動阻力抑制為小，並且排除可動軸17與第二密封構件42之軸偏離。因此，第二密封構件42的外形及厚度方向的尺寸，為不受收納孔131h限制之形狀或尺寸。

如圖1所示，從動軸16之鄰接於可動軸17的端面可抵接於第二密封構件42。由此，第二密封構件42之與第二端面42b相反之側的端面成為從動軸16之鄰接於可動軸17的前端面可抵接的抵接面42c，作為從動軸16的前端面之緩衝構件發揮功能。於從動軸16之前端面抵接於第二密封構件42之抵接面42c的狀態中，從動軸磁石21之前端面較驅動軸磁石20之前端面更遠離可動軸17。

從動軸16之前端面抵接於第二密封構件42的抵接面42c之狀態，為可動軸17自插通孔13h最為突出的狀態。又，從動軸16的基端面抵接於馬達殼體12之狀態，為可動軸17自插通孔13h最為沒入的狀態。即使是可動軸17自插通孔13h最為沒入的狀態，可動軸17之前端部亦經由插通孔13h向本體殼體13之外部突出。

於從動軸16之軸向可移動之範圍中，從動軸磁石21被配置為較驅動軸磁石20可更靠近馬達殼體12。軸向的吸引力作用於從動軸磁石21與驅動軸磁石20之端部為一致的方向。也就是說，吸引力作用於可動軸17所突出的方向，吸引力作為推壓力而作用於從動軸16之底部16e對第二密封構件42之端面。作為吸引力之此推壓力於從動軸16之可動範圍中，以與位置無關而成為恆定之方式，使從動軸磁石21與驅動軸磁石20於軸向偏位而構成。驅動軸磁石20與從動軸磁石21為未接觸且使軸向之磁極的重疊偏位，一面使欲回復之軸向的吸引力作用於該可動軸17一面可於軸向移動。

未圖示之致動器進行驅動，藉由致動器之驅動，吸附緩衝裝置10朝向載置於載置面W1的移送對象物W移動。若如此，則可動軸17之前端面17e自軸向被推壓於移送對象物W。此情形時，雖然來自移送對象物W之推壓反作用力作用於可動軸17，但至超越由上述吸引力造成的推壓力為止，可動軸17不會進行移動。進而，若進行推壓動作，則上述推壓反作用力成為與由吸引力造成之推壓力一致的平衡狀態，於對移送對象物W施加恆定的推壓力之狀態下，可動軸17可朝向馬達殼體12移動。由於上述推壓力是因恆定的吸引力所造成，故即使移送對象物W之高度方向的尺寸有變化，也會作為恆定的推壓力所作用之緩衝功能而進行作用。又，於移送目的地，對於載置移送對象物W之載置面W1，例如與需要壓入等作業之情形時相同，作為恆定之推壓力所作用的緩衝功能而進行作用。

又，切換閥13c進行驅動，真空吸引用口13b與真空產生器13d連接，吸引口17a與移送對象物W之間的空氣自吸引口17a被吸引，自吸引口17a被吸引之空氣流經軸內通道17b及排出空間31k而自真空吸引用口13b被吸出。藉此，推壓於移送對象物W之可動軸17的前端面17e與移送對象物W之間成為真空狀態，移送對象物W被吸附於可動軸17之前端面17e。由此，吸引口17a為了在可動軸17之前端面17e吸附移送對象物W而吸引空氣。而且，可動軸17之前端面17e作為吸附移送對象物W之吸附部而發揮功能。

接著，於移送對象物W被吸附於可動軸17之前端面17e的狀態下，致動器於Z軸方向驅動，藉由致動器之驅動，吸附緩衝裝置10向與載置面W1相反之側，即遠離載置面W1之方向移動。若如此，則藉由驅動軸磁石20與從動軸磁石21之間作用的吸引力，至從動軸16之前端面抵接於第二密封構件42的抵接面42c為止，於藉由因吸引力產生的恆定之力將移送對象物W推壓於載置面W1的狀態下，可動軸17及從動軸16一體地移動。然後，成為從動軸16之前端面抵接於第二密封構件42的抵接面42c之狀態，移送對象物W以被吸附於可動軸17之前端面17e的狀態離開載置面W1。之後，將移送對象物W向目標之移送位置移送。

此時，對移送對象物W之將可動軸17的中心軸線作為旋轉中心之旋轉方向的面向進行調整。具體而言，吸附緩衝裝置10中，轉子14進行驅動，旋轉軸14a旋轉，驅動軸15伴隨旋轉軸14a之旋轉而與旋轉軸14a一體地旋轉。此處，以不同的磁極磁化驅動軸磁石20的外周面與從動軸磁石21的內周面之相互對向的面。因此，於驅動軸磁石20的外周面與從動軸磁石21的內周面之相互對向的面中不同的磁極彼此相對向之狀態下，驅動軸15與從動軸16一體地旋轉。藉此，可動軸17亦與從動軸16一體地旋轉，移送對象物W之將可動軸17的中心軸線作為旋轉中心之旋轉方向的面向被調整。

且說，如圖3（b）所示，從動軸16的前端面中，於與螺釘插通孔16h同軸上，設有內徑大於螺釘插通孔16h之圓筒狀的可動軸收納部16a。於可動軸收納部16a的內側收納有可動軸17之基端部。該可動軸收納部16a作為與可動軸17連結之連結部而發揮功能。

再者，可動軸收納部16a之內側經由可動軸17之陰螺孔17h與軸道171b連通。緊固螺釘18以插通於螺釘插通孔16h及可動軸收納部16a之狀態螺合於陰螺孔17h。藉由緊固螺釘18，軸道171b之鄰接於從動軸16的端部被封閉。尤其，本實施方式中，為了防止緊固螺釘18之鬆弛，於螺釘插通孔16h及陰螺孔17h填充接著劑，緊固螺釘18以上述狀態螺合於陰螺孔17h。因此，即使從動軸16與可動軸17為個別物體，於從動軸16與可動軸17之間，也不會產生由陰螺孔17h及可動軸收納部16a組成之間隙。

於可動軸收納部16a之對向於可動軸17的端面，設有C字狀之抵接面16b。抵接面16b可抵接第二密封構件42之與第二端面42b相反之側地端面。該抵接面16b相當於抵接部。

於從動軸16，設有在抵接面16b之徑向延伸，且將可動軸收納部16a之內周與外周連通的連通道16c。可動軸收納部16a之外周側成為大氣壓力，藉由設置連通道16c，可動軸收納部16a的內周側也成為大氣壓力。本實施方式中，可動軸收納部16a之深度為0.5 mm，連通道16c之寬度為約2 mm，但只要為對可動軸收納部16a之內周側平順地供給大氣壓力之程度，則可動軸收納部16a之深度及連通道16c之寬度不在此限。

接著，針對本實施方式之作用進行說明。

若真空產生器13d進行驅動，則排出空間31k之空氣被真空吸引用口13b吸出，若可動軸17之前端面17e被推壓於移送對象物W，則被推壓於移送對象物W的可動軸17之前端面17e與移送對象物W之間成為真空狀態，移送對象物W被吸附於可動軸17之前端面17e。雖有真空壓力經由可動軸17之鄰接於從動軸16的外周面與第二密封構件42的內周面之間的少許間隙，繞進從動軸16與第二密封構件42之間的疑慮，但由於在從動軸16的前端部形成有連通道16c，故大氣壓力被供給至從動軸16與第二密封構件42之間。如此，於由真空吸引用口13b供給真空壓力之狀態下，即使可動軸17的前端面17e被推壓於移送對象物W，亦可抑制從動軸16的底部16e被吸附於第二密封構件42之抵接面42c，從動軸16之底部16e離開第二密封構件42的抵接面42c。

上述實施方式可獲得以下之效果。

（1）於從動軸16之鄰接於可動軸17的前端部，設置連通第二密封構件42之對向於從動軸16之側的外周與內周之連通道16c，藉此，可將大氣壓力供給至從動軸16之前端部與第二密封構件42之對向於從動軸16的端部之間。因此，即使在從動軸16之前端部抵接於第二密封構件42之對向於從動軸16的端部之狀態下軸道171b為真空狀態，也能夠抑制第二密封構件42之鄰接於從動軸16的端部被吸附於從動軸16之前端部。因此，不需要考慮用於將從動軸16的前端部拉離第二密封構件42之鄰接於從動軸16的端部之力，可藉由使適當的推壓力作用於移送對象物W來穩定移送對象物W而進行吸附。又，與吸引口17a連通並且於軸向貫通的軸道171b，作為與吸引口17a連通的通道而易於形成。

（2）第二密封構件42被階差面135h支承，藉由真空壓力與大氣壓力之壓力差而被推抵於朝向可動軸17而凹陷之階差面135h。因此，第二密封構件42以沿著可動軸17之軸向而可朝向從動軸16移動的狀態被設置，對於設置連通道16c之可用性變高。

（3）第二密封構件42為樹脂製，第二密封構件42之加工面的精度越高，第二密封構件42之第二端面42b的密封力越容易作用，反之，第二密封構件42之對向於從動軸16的端部越容易吸附於從動軸16的前端部。因此，第二密封構件42之加工面的精度越高，對於設置連通道16c的可用性變高。

（4）為了抑制從動軸16與第二密封構件42之吸附，於從動軸16設有連通道16c。因此，如在第二密封構件42形成有連通道之情形般，即使將第二密封構件42之內外反轉而組裝，也因為連通道而可防止第二密封構件42與階差面135h之間的密封物未發揮功能的情況。

接著，針對將本發明具體化之第二實施方式進行說明。第二實施方式中，例如構成為伴隨驅動軸15之旋轉而使從動軸16平順地旋轉。以下說明中，針對與已說明之實施方式相同的構成及相同控制內容標註相同符號，省略或簡略該重複之說明。

如圖4及圖5所示，吸附緩衝裝置100中，驅動軸15具有作為突出部之滾珠軸承15c，滾珠軸承15c藉由自驅動軸15之大徑部15a的外周面於徑向突出之軸桿而被支承。本實施方式中，使用凸輪從動件（cam follower）作為滾珠軸承15c。又，軸桿之基端部抵接於旋轉軸14a，旋轉軸14a與驅動軸15連結。

從動軸16具有設為於從動軸16之軸向延伸的引導槽16d。朝向從動軸16之軸向的引導槽16d的尺寸雖較可動軸17及從動軸16之行程更長，但也可為相同。從動軸16的引導槽16d之內側面對向於滾珠軸承15c之外周面， 滾珠軸承15c被設為貫通引導槽16d之狀態。滾珠軸承15c之外周面抵接於引導槽16d之內側面，藉此，從動軸16伴隨驅動軸15之旋轉而連動。從動軸16可沿著引導槽16d所延伸的方向，相對於驅動軸15而於軸向移動。

如圖5（a）所示，滾珠軸承15c的外周面抵接於引導槽16d的內側面。因此，驅動軸15與從動軸16將於軸向延伸的中心軸線作為中心一體地旋轉。

又，如圖5（b）所示，若可動軸17之前端面17e自軸向被推壓於移送對象物W，可動軸17朝向馬達殼體12移動，則以滾珠軸承15c沿著引導槽16d之方式，從動軸16及可動軸17可相對於驅動軸15在軸向移動。

接著，針對本實施方式的作用進行說明。

於將可動軸17之吸引口17a推抵於移送對象物W之前且未對軸道171b供給真空壓力的狀態下，根據預先決定的旋轉模式，旋轉軸14將於軸向延伸的中心軸線作為中心而旋轉，驅動軸15與旋轉軸14a一體地將於軸向延伸的中心軸線作為中心而旋轉。本實施方式中，作為預先決定的旋轉模式，是在小於已定角度（本實施方式中為90度）之預定角度（例如加減30度）的範圍內，持續旋轉複數次之模式，但不限於此。

藉由驅動軸15將於軸向延伸的中心軸線作為中心而旋轉，滾珠軸承15c之外周面的一部分相對於驅動軸15的周向，與從動軸16的引導槽16d之內側面抵接，從動軸16及可動軸17與驅動軸15一體地將於軸向延伸的中心軸線作為中心而旋轉。如此，即使為第二密封構件42之對向於從動軸16的端部被吸附於從動軸16的前端部之情形，藉由從動軸16將於軸向延伸的中心軸線作為中心而旋轉，亦可將從動軸16拉離第二密封構件42。因此，可抑制第二密封構件42之對向於從動軸16的端部被吸附於從動軸16的前端部。

然後，若可動軸17之前端面17e被推壓於移送對象物W，則對可動軸17及從動軸16施加朝向軸向的驅動軸15之力，以驅動軸15之滾珠軸承15c沿著從動軸16之引導槽16d的方式，可動軸17及從動軸16相對於驅動軸15朝向軸向之驅動軸15移動。

上述實施方式可獲得以下之效果。

（5）於驅動軸15設有於與驅動軸15之軸向正交的方向延伸的滾珠軸承15c，於驅動軸15之外周側的從動軸16設有於從動軸16之軸向延伸的引導槽16d，滾珠軸承15c抵接於引導槽16d，並且滾珠軸承15c沿著引導槽16d於軸向被引導。因此，可藉由滾珠軸承15c與引導槽16d，將驅動軸15之旋轉直接傳達至從動軸之旋轉，能夠使從動軸16平順地旋轉。

（6）又，除此之外，即使於驅動軸15以小角度旋轉的情形，相較於與圖2（b）所示之角度成比例的扭矩，可將大的扭矩傳達至從動軸16，藉由驅動軸15之旋轉，可抑制第二密封構件42之對向於從動軸16的端部被吸附於從動軸16的前端部。因此，不需要考慮用於將從動軸16的前端部拉離第二密封構件42之鄰接於從動軸16的端部之力，可藉由使適當的推壓力作用於移送對象物W來穩定移送對象物W而進行吸附。

（7）又，於驅動軸15超過已定角度而旋轉之情形時，藉由滾珠軸承15c與引導槽16d之抵接，驅動軸15與從動軸16之角度不會變化（偏離），不須再度調整驅動軸15與從動軸16之角度而可使移送對象物W正確地旋轉。

（8）又，藉由使用滾珠軸承15c，可使從動軸16平順地在軸向移動。

再者，上述實施方式亦可以如下方式變更。

第二實施方式中，例如，亦可不將驅動軸磁石及從動軸磁石於周向作為磁極分割為複數個，而將驅動軸磁石及從動軸磁石之一者作為N極，將驅動軸磁石及從動軸磁石之另一者作為S極。由此，以不同之磁極磁化驅動軸磁石及從動軸磁石之相互對向的面，藉此，驅動軸磁石及從動軸磁石為未接觸且使軸向之磁極的重疊偏位，一面使欲回復之軸向的吸引力作用於可動軸一面可於軸向移動。

第二實施方式中，例如亦可設置突起部取代滾珠軸承15c。

第二實施方式中，例如亦可於驅動軸15設置引導槽，於從動軸16設置滾珠軸承。也就是說，可於驅動軸15與從動軸16之一者設置滾珠軸承，於驅動軸15與從動軸16之另一者設置引導槽。

上述實施方式中，例如亦可具備從動軸插入內側並且可相對於從動軸在軸向移動之筒狀的驅動軸。也就是說，關於驅動軸與從動軸，只要設為各自的外周面與內周面為相對，則任一者之軸均可插入內側。換言之，只要從動軸設置於驅動軸之徑向外側或徑向內側即可。

上述實施方式中，例如，藉由貫通可動軸收納部16a，可動軸收納部16a的內周側與外周側所連通之連通孔亦可作為連通道而形成。

上述實施方式中，例如，亦可於第二密封構件42設置連通外周與內周之連通道。此情形時，可於從動軸16之可動軸收納部16a 設置連通道16c，亦可不設置。也就是說，只要從動軸16及第二密封構件42之至少任一者中，於從動軸16之前端部與第二密封構件42之對向於從動軸16的端部抵接的抵接部設置連通第二密封構件42之對向於從動軸16的外周與內周的連通道即可。

上述實施方式中，例如即使不在從動軸16形成可動軸收納部16a，此情形時，可於從動軸16之端面設置連通道，亦可於第二密封構件42設置連通道。

上述實施方式中，例如亦可為如下之構成，即，不使用緊固螺釘18，而將從動軸16與可動軸17連接，封閉可動軸17的軸道171b之鄰接於從動軸16的端部。若舉具體之一例，不於螺釘插通孔16h形成從動軸16，可動軸收納部16a可為有底圓筒狀。此情形時，亦可於形成可動軸收納部16a之內周面與可動軸17之前端部的外周面形成螺紋，藉由螺合該等螺紋，連結從動軸16與可動軸17，封閉可動軸17的軸道171b之鄰接於從動軸16的端部。

上述實施方式中，於從動軸16之前端面抵接於第二密封構件42之狀態下，從動軸磁石21之前端面與驅動軸磁石20之前端面於可動軸17之軸向為相同位置亦可。

上述實施方式中，第一密封構件41及第二密封構件42亦可為橡膠製或金屬製。

上述實施方式中，亦可為如下構成，即馬達可不內設於殼體11，將設置於殼體11之外部的馬達之馬達軸的旋轉，經由動力傳達機構傳達至旋轉軸14a。

10:吸附緩衝裝置 11:殼體 12:馬達殼體 12a:軸承 13:本體殼體 13a:收納室 13b:真空吸引用口 13c:切換閥 13d:真空產生器 13h:插通孔 14:轉子 14a:旋轉軸 14b:平坦面 14c:螺釘 15:驅動軸 15a:大徑部 15b:小徑部 15c:滾珠軸承 15h:陰螺孔 16:從動軸 16a:可動軸收納部 16b:抵接面 16c:連通道 16d:引導槽 16e:底部 16h:螺釘插通孔 17:可動軸 17a:吸引口 17b:軸內通道 17e:前端面 17h:陰螺孔 18:緊固螺釘 20:驅動軸磁石 20a:N極 20b:S極 21:從動軸磁石 21a:N極 21b:S極 30:軸承 31:軸承外筒 31k:排出空間 32:滾珠 33:保持構件 39:蓋 39h:貫通孔 41:第一密封構件 41a:第一內周面 41b:第一端面 42:第二密封構件 42a:第二內周面 42b:第二端面 42c:抵接面 100:吸附緩衝裝置 131h:收納孔 132h:小徑孔 133h:軸承收納孔 134h:收納孔 135h:階差面 136h:階差面 171b:軸道 172b:路徑 N:N極 S:S極 W:移送對象物 W1:載置面

圖1為表示實施方式之吸附緩衝裝置的截面圖。 圖2（a）為表示驅動軸磁石與從動軸磁石之關係的截面圖。 圖2（b）為表示驅動軸之旋轉角度與施加於從動軸的扭矩之關係的截面圖。 圖3（a）為將吸附緩衝裝置的一部分放大之截面圖。 圖3（b）為從動軸之底視圖。 圖4為表示實施方式之吸附緩衝裝置的截面圖。 圖5（a）為將吸附緩衝裝置的一部分放大的側視圖。 圖5（b）為將吸附緩衝裝置的一部分放大的側視圖。

16a:可動軸收納部

13:本體殼體

13a:收納室

13b:真空吸引用口

13c:切換閥

13d:真空產生器

13h:插通孔

16:從動軸

16a:可動軸收納部

16b:抵接面

16c:連通道

16e:底部

16h:螺釘插通孔

17:可動軸

17b:軸內通道

17h:陰螺孔

30:軸承

31:軸承外筒

31k:排出空間

32:滾珠

33:保持構件

39:蓋

39h:貫通孔

41:第一密封構件

41a:第一內周面

41b:第一端面

42:第二密封構件

42a:第二內周面

42b:第二端面

42c:抵接面

131h:收納孔

132h:小徑孔

133h:軸承收納孔

134h:收納孔

135h:階差面

136h:階差面

171b:軸道

172b:路徑

Claims (7)

1. 一種吸附緩衝裝置，其特徵在於，具備： 殼體； 驅動軸，被收納於該殼體內，被可旋轉地支承； 從動軸，被收納於該殼體內，可於該驅動軸之徑向外側或徑向內側相對於該驅動軸在軸向移動； 可動軸，與該從動軸連結，可與該從動軸一體地在該軸向移動，且該可動軸具有：連結於該從動軸之基端部、位於與該基端部相反之側且自該殼體突出之前端部、於該前端部吸附移送對象物之吸附部、及以與該吸附部連通之方式於該軸向延伸的軸道； 磁石，於該驅動軸與該從動軸中在與該軸向正交的方向互相對向之面被磁化；及 環狀的密封構件，與該可動軸之鄰接於該從動軸的外周面抵接，將該外周面與該殼體之間進行密封； 對該可動軸之該軸道供給真空壓力，藉此於該吸附部吸附移送對象物， 該從動軸及該可動軸構成為容許向該軸向之移動以及將於該軸向延伸的中心軸線作為中心之旋轉， 以不同的磁極磁化該磁石之互相對向的面，藉此該磁石為未接觸且使軸向之磁極的重疊偏位，一面使欲回復之軸向的吸引力作用於該可動軸一面可於該軸向移動， 該從動軸的鄰接於該可動軸之前端部與該密封構件的對向於該從動軸之基端部可抵接， 於該從動軸之該前端部及該密封構件之該基端部的至少任一者，設置連通該密封構件的與該從動軸之側對向的外周與內周的連通道。
2. 如請求項1記載的吸附緩衝裝置，其中，該連通道設置於該從動軸之該前端部。
3. 如請求項1或2記載的吸附緩衝裝置，其中，於該驅動軸及該從動軸之一者，設有於與該軸向正交之方向延伸的突出部， 於該驅動軸及該從動軸之另一者，設有於該軸向延伸之引導槽， 該突出部相對於與該軸向正交之方向而抵接於該引導槽，並且該突出部沿著該引導槽於軸向被引導。
4. 如請求項3記載的吸附緩衝裝置，其中，該突出部為滾珠軸承。
5. 如請求項1或2記載的吸附緩衝裝置，其中，該從動軸為該驅動軸插入內側並且可相對於該驅動軸於軸向移動的筒狀之軸， 該磁石包括筒狀之驅動軸磁石及筒狀之從動軸磁石，該筒狀之驅動軸磁石設置於該驅動軸之外周面，該筒狀之從動軸磁石設置於該從動軸之內周面並且配置為相對於該驅動軸磁石於與該軸向正交之方向對向。
6. 如請求項1或2記載的吸附緩衝裝置，其中，該磁石包括筒狀之驅動軸磁石及筒狀之從動軸磁石，該筒狀之驅動軸磁石設置於該驅動軸之外周面，該筒狀之從動軸磁石設置於該從動軸之內周面並且配置為相對於該驅動軸磁石於與該軸向正交之方向對向， 該驅動軸磁石及該從動軸磁石以於周向作為磁極被分割為複數個之方式，N極與S極交互地被磁化，以不同之磁極磁化該驅動軸磁石的外周面與該從動軸磁石的內周面之互相對向的面，藉此該驅動軸與該從動軸為未接觸且可於旋轉方向一體地旋轉，該驅動軸磁石及該從動軸磁石為未接觸且使軸向之磁極的重疊偏位，一面使欲回復之軸向的吸引力作用於該可動軸一面可於軸向移動。
7. 如請求項1或2記載的吸附緩衝裝置，其中，該殼體具有支承該密封構件之階差面， 該密封構件於與該密封構件之該基端部相反之側具有前端部， 該密封構件之該前端部與該階差面抵接， 該密封構件之該基端部可與該從動軸之該前端部抵接。

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