KR20230073097A

KR20230073097A - 지지점 개폐형 에어 척

Info

Publication number: KR20230073097A
Application number: KR1020220147699A
Authority: KR
Inventors: 료스케 오쿠시마
Original assignee: 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2021-11-18
Filing date: 2022-11-08
Publication date: 2023-05-25
Also published as: CN116135489A; JP2023074709A; US20230150123A1; TW202333922A; EP4183519A1

Abstract

지지점 개폐형 에어 척
지지점 개폐형 에어 척(10)은 몸체(12)에 부착되어 핑거(80)와 접촉하는 다공질체(94, 96, 110)를 구비하고, 퍼지용 에어가 다공질체를 통과하여 외부로 배출된다.

Description

지지점 개폐형 에어 척 {FULCRUM OPENING/CLOSING TYPE AIR CHUCK}

본 발명은 회전운동하는 한 쌍의 파지 부재를 구비한 지지점 개폐형 에어 척, 특히 방진 기능을 갖는 지지점 개폐형 에어 척에 관한 것이다.

종래, 축 주위에서 회전운동하는 한 쌍의 파지 부재를 사용하여 워크피스를 파지하는 지지점 개폐형 에어 척이 알려져 있다. 예를 들어, 일본 공개특허 평10-80888호 공보에는, 몸체에 회전운동 가능하게 지지된 한 쌍의 파지 부재를 실린더 기구에 의해 구동하는 척 장치가 기재되어 있다.

일본 공개특허 평10-80888호 공보의 척 장치에서는, 몸체의 일단부에 커버 부재를 부착하는 것에 의해, 몸체의 내부에 먼지가 침입하는 것을 방지하고 있다. 구체적으로는, 파지 부재의 회전운동부에 구비된 제1 만곡부를 몸체의 모서리부에 접촉시키고, 파지 부재의 회전운동부에 구비된 제2 만곡부를 커버 부재의 오목부에 접촉시키고 있다.

그렇지만, 파지 부재의 회전운동부를 몸체 및 커버 부재에 접촉시켜 간극을 없애기 위해서는, 각 부재의 치수 정밀도를 매우 높게 해야 한다. 또한, 완전히 간극 없이 접촉시키려고 하면, 파지 부재가 회전운동할 때의 슬라이딩 저항이 커져 버린다.

방진 대책으로서, 파지 부재의 외측을 덮는 고무제의 더스트 커버를 몸체에 부착하는 것을 생각할 수 있다. 단, 파지 부재를 슬라이딩 시키는 평행 개폐형 에어 척의 파지 부재와 달리, 지지점 개폐형 에어 척의 파지 부재는 가동 범위가 크다. 따라서, 더스트 커버가 파지 부재에 접촉하여 찢어지는 것을 회피하기 위해, 큰 더스트 커버가 필요하고, 장치가 대형화되어 버린다.

또 다른 방진 대책으로서, 파지 부재와 몸체 사이에 개스킷 등의 고무제의 밀봉재를 배치하는 것도 생각할 수 있다. 그렇지만, 고무로 제조된 밀봉재를 사용하면, 파지 부재가 회전운동 할 때의 슬라이딩 저항이 커져 버린다.

본 발명은 상기 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 한 쌍의 핑거가 몸체에 부착된 회전운동 지지축을 중심으로 회전운동 가능하게 지지되는 지지점 개폐형 에어 척이며, 한 쌍의 핑거를 개폐 구동하는 구동부가 몸체 내부에 배치된다. 이 지지점 개폐형 에어 척은 몸체에 부착되어 핑거와 접촉하는 다공질체를 구비하고, 퍼지용 에어가 다공질체를 통과하여 외부로 배출된다.

본 발명에 따른 지지점 개폐형 에어 척에 의하면, 몸체에 부착되어 핑거에 접촉하는 다공질체를 구비하고, 퍼지용 에어가 다공질체를 통과하여 외부로 배출된다. 이 때문에, 핑거의 슬라이딩 저항을 증가시킴 없이, 몸체의 내부에 먼지가 침입하는 것을 방지할 수 있다.

전술한 목적, 특징 및 이점은 첨부된 도면을 참조하여 설명된 다음 실시형태의 설명으로부터 용이하게 이해 될 것이다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 지지점 개폐형 에어 척의 사시도이다.
도 2는 도 1의 지지점 개폐형 에어 척의 평면도이다.
도 3은 도 2의 III-III 선을 따른 단면도이다.
도 4는 도 2의 IV-IV 선을 따른 단면도이다.
도 5는 도 1의 지지점 개폐형 에어 척의 제1 다공질체의 부착 상태를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 1의 지지점 개폐형 에어 척의 제2 다공질체의 사시도이다.
도 7은 도 1의 지지점 개폐형 에어 척의 제3 다공질체의 사시도이다.
도 8은 도 1의 지지점 개폐형 에어 척의 제3 다공질체의 부착 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 도 1의 지지점 개폐형 에어 척에 있어서의 퍼지용 에어의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 10은 도 1의 지지점 개폐형 에어 척의 한 쌍의 핑거가 개방되었을 때의 도 3에 대응하는 도면이다.
도 11은 도 1의 지지점 개폐형 에어 척의 한 쌍의 핑거가 폐쇄되었을 때의 도 3에 대응하는 도면이다.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시형태에 따른 지지점 개폐형 에어 척(10)은, 몸체(12)와, 한 쌍의 핑거(80)와, 구동부(58)와, 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)를 구비한다. 한 쌍의 핑거(80)는 몸체(12)에 회전운동 가능하게 지지된다. 구동부(58)는 피스톤(60) 및 피스톤(60)에 일체로 연결되는 구동 로드(70)를 포함하고, 몸체(12)의 내부에 배치된다. 한 쌍의 핑거(80)는 구동부(58)에 의해 개폐 구동된다. 이하의 설명에 있어서, 상하에 관한 단어를 사용할 때는, 편의상, 도 3에 있어서의 방향을 말하는 것이며, 부재 등의 실제의 배치를 한정하는 것은 아니다.

몸체(12)는, 몸체 본체(14) 및 엔드 플레이트(48)를 포함한다. 엔드 플레이트(48)는 나사 부재(52)에 의해 몸체 본체(14)의 상단에 부착된다. 사각기둥 형상의 몸체 본체(14)는 내부에 실린더 구멍(16)을 갖고, 피스톤(60)이 실린더 구멍(16)에 슬라이딩 가능하게 배치된다. 실린더 구멍(16)의 하단은 캡(54)에 의해 폐쇄된다. 실린더 구멍(16)에 의해 형성되는 실린더실은 피스톤(60) 위쪽의 제1 압력실(18)과 피스톤(60) 아래쪽의 제2 압력실(20)로 구획된다. 몸체 본체(14)는 제1 압력실(18)에 에어를 공급 및 배출하는 제1 포트(22) 및 제2 압력실(20)에 에어를 공급 및 배출하는 제2 포트(24)를 구비한다.

몸체 본체(14)는, 실린더 구멍(16)의 위쪽에 있어서, 한 쌍의 폭이 좁은 측면(34)의 일측으로부터 타측에 이르기까지, 폭이 넓은 측면(30)과 평행하게 절결되어 있다. 즉, 몸체 본체(14)는 실린더 구멍(16)의 위쪽에 있어서, 한 쌍의 측벽(28)을 구비한다. 참조부호 47로 표시된 것은, 몸체(12)를 도시하지 않은 반송 장치 등에 부착하기 위한 부착 구멍이다.

피스톤(60)의 외주부에는 피스톤 패킹(62)과, 마그넷(64)과, 웨어 링(66)이 장착되어 있다. 피스톤 패킹(62)은 제1 압력실(18)과 제2 압력실(20) 사이를 밀봉한다. 바디 본체(14)의 폭이 넓은 측면(30)은 센서 홈(32)을 갖는다. 마그넷(64)의 자속은 센서 홈(32)에 부착되는 자기 센서(도시하지 않음)에 의해 검출 가능하다. 피스톤(60)의 상단에는 댐퍼(68)가 부착되어 있다. 댐퍼(68)는 피스톤(60)이 상단까지 이동할 때의 충격을 흡수한다.

구동 로드(70)는 실린더 구멍(16)에 장착된 부시(72)에 삽입되어, 상하로 이동 가능하게 지지된다. 실린더 구멍(16)의 상단에는 구동 로드(70)에 슬라이딩 접촉하는 로드 패킹(74)이 장착되어 있다. 로드 패킹(74)은 제1 압력실(18)을 기밀로 유지한다. 캡(54)의 외주부에는, 제2 압력실(20)을 외부로부터 기밀로 유지하는 시일재(56)가 장착되어 있다. 구동 로드(70)는 실린더 구멍(16)으로부터 위쪽으로 연장된다. 구동 로드(70)의 상단부는 각 핑거(80)를 향하는 한 쌍의 아암부(76)를 구비한다. 각 아암부(76)의 선단에는, 원기둥 형상의 전동체(78)가 자전 가능하게 지지되어 있다.

각 핑거(80)는 부채꼴 형상의 회전운동부(82)와 가늘고 긴 파지부(92)로 구성된다. 회전운동부(82) 및 파지부(92)는 일정 폭(W0)을 갖는다. 회전운동부(82)는 몸체 본체(14)의 한 쌍의 측벽(28) 사이에 배치된다. 몸체 본체(14)의 한 쌍의 측벽(28)에 걸쳐서 회전운동 지지축(40)이 설치되고, 회전운동 지지축(40)은 회전운동부(82)의 중심에 장착된 부시(88)에 삽입된다. 이것에 의해, 핑거(80)는 회전운동 지지축(40) 주위에서 회전운동 가능하게 지지된다.

회전운동부(82)는, 엔드 플레이트(48)와 마주하는 제1 만곡면(84) 및 후술하는 몸체 본체(14)의 끼워맞춤 오목부(42)와 마주하는 제2 만곡면(86)을 갖는다. 제1 만곡면(84) 및 제2 만곡면(86)은 회전운동 지지축(40)의 축선 주위에서 각각 일정한 곡률 반경을 갖는다. 제1 만곡면(84)의 곡률 반경은 제2 만곡면(86)의 곡률 반경보다 크다. 또, 회전운동부(82)는 몸체 본체(14)의 측벽(28)과 마주하는 2개의 끝면을 갖는다. 회전운동부(82)의 끝면은 회전운동 지지축(40)의 축선에 수직이다. 파지부(92)는 회전운동부(82)의 제1 만곡면(84)의 원주방향 일단부로부터 반경방향 외측으로 연장한다.

회전운동부(82)는 제1 만곡면(84)의 둘레방향 타단부로부터 소정 깊이까지 연장하는 홈부(90)를 갖는다. 구동 로드(70)의 아암부(76)에 지지된 전동체(78)는 회전운동부(82)의 홈부(90)에 배치되어, 구름 운동하면서 홈부(90) 내에서 이동 가능하다. 이것에 의해, 구동 로드(70)의 상하방향의 직선운동은 핑거(80)의 회전운동으로 변환된다. 구동 로드(70)가 위쪽으로 이동하면, 한 쌍의 파지부(92)가 열리는 방향으로 한 쌍의 핑거(80)가 회전운동하고, 구동 로드(70)가 아래쪽으로 이동하면, 한 쌍의 파지부(92)가 닫히는 방향으로 한 쌍의 핑거(80)가 회전운동한다.

엔드 플레이트(48)는 핑거(80)의 회전운동시에 파지부(92)를 통과하는 절결부(50)를 양단에 갖는다. 바디 본체(14)의 폭이 좁은 측면(34)은 한 쌍의 측벽(28) 사이에서 개방되는 개구부(36)를 갖는다. 핑거(80)의 회전운동부(82) 및 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)는, 몸체 본체(14)의 개구부(36) 및 엔드 플레이트(48)의 절결부(50)를 통해 몸체(12)의 내부가 외부와 직접 연결되는 것을 방지하고 있다. 즉, 실린더 구멍(16)의 위쪽에 있어서, 외부로부터 격리된 퍼지 에어 저장공간(38)이 형성되어 있다.

제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)는 섬유 복합체인 윤활 리테이너로 구성된다. 단, 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)에 윤활제는 함침되어 있지 않다. 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)는 내부에 간극을 갖는 성질상, 그 자체로는 미세한 먼지가 내부로 침입하는 것을 방지할 수 없다. 그러나, 후술하는 에어 퍼지를 행하는 것에 의해, 외부로부터 미세한 먼지가 침입하는 것을 방지할 수 있다.

핑거(80)와 접촉하는 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)는 변형 저항이 작고, 용이하게 변형된다. 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)와 핑거(80) 사이의 간극을 확실하게 메우기 위해, 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)를 소정의 압력으로 핑거(80)와 접촉시켜도, 핑거(80)가 움직일 때의 저항(슬라이딩 저항)은 작다. 본 실시형태에서는, 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)를 윤활 리테이너로 구성하였지만, 펠트 또는 스펀지로 구성할 수도 있다.

도 5에 도시된 바와 같이, 제1 다공질체(94)는, 일정한 폭(W1)을 갖는 가늘고 긴 직사각형 판 형상으로 형성된다. 제1 다공체(94)는 예를 들어 접착제를 사용하여 엔드 플레이트(48)의 하면에 부착된다. 제1 다공체(94)의 폭(W1)은 핑거(80)의 회전운동부(82)의 폭(W0)과 같거나 그보다 약간 크다. 핑거(80)의 모든 회전운동 범위에서, 핑거(80)의 회전운동부(82)의 제1 만곡면(84)은 제1 다공체(94)의 길이방향 단부와 접촉한다(도 3 참조). 제1 다공질체(94)가 제1 만곡면(84)과 접촉하는 부위는 제1 만곡면(84)에 눌려 변형된다.

도 6에 도시된 바와 같이, 제2 다공질체(96)는, 가늘고 긴 판 형상의 베이스부(98)와, 베이스부(98)의 양단으로부터 L자 형상으로 절곡되는 한 쌍의 계단부(106)를 갖는다. 베이스부(98)는, 그 길이방향 중앙에 있어서, 구동 로드(70)가 삽입되는 제1 구멍부(100)를 구비한다. 또, 베이스부(98)는, 그 길이방향의 일측 단부에 있어서, 퍼지용 에어의 통로가 되는 제2 구멍부(102)를 구비한다. 베이스부(98)는 제1 구멍부(100)의 근방으로부터 양측으로 돌출하는 한 쌍의 돌출부(104)를 구비한다. 제1 구멍부(100)에 구동 로드(70)가 삽입되기 전의 상태에서, 제1 구멍부(100)의 내경은 구동 로드(70)의 외경보다 작다. 다시 말해서, 제1 구멍부(100)에 구동 로드(70)가 삽입되면, 제1 구멍부(100)가 넓어진다.

도 3에 도시된 바와 같이, 제2 다공질체(96)는 핑거(80)의 회전운동부(82)의 제2 만곡면(86)과 마주보도록 몸체 본체(14)에 부착된다. 몸체 본체(14)는 실린더 구멍(16)의 상단이 개구하는 면을 저면으로 하는 끼워맞춤 오목부(42)를 갖는다. 계단부(106)를 갖는 제2 다공체(96)는 몸체 본체(14)의 끼워맞춤 오목부(42)에 끼워맞춰진다. 몸체 본체(14)는 한 쌍의 폭이 넓은 측면(30)의 내측에 오목 홈(44)을 갖고, 제2 다공질체(96)의 돌출부(104)는 이 오목 홈(44)에 끼워진다(도 4 참조). 제2 다공질체(96)의 돌출부(104)가 몸체 본체(14)의 오목 홈(44)에 끼워맞춰지는 것에 의해, 제1 구멍부(100)에 삽입된 구동 로드(70)에 이끌려 제2 다공질체(96)의 중앙이 들리는 것이 저지된다.

제2 다공질체(96)의 계단부(106)의 폭(W2)은 핑거(80)의 회전운동부(82)의 폭(W0)과 같거나 그보다 약간 크다. 핑거(80)의 모든 회전운동 범위에서, 핑거(80)의 회전운동부(82)의 제2 만곡면(86)은 제2 다공체(96)의 계단부(106)에 있어서의 모서리부(108)와 접촉한다(도 3 참조). 제2 다공질체(96)가 제2 만곡면(86)과 접촉하는 부위는 제2 만곡면(86)에 눌려 변형된다.

도 7에 도시된 바와 같이, 제3 다공질체(110)는 가늘고 긴 직사각형 판 형상으로 형성되어 있다. 제3 다공질체(110)는 핑거(80)의 회전운동부(82)의 끝면과 마주보도록 몸체 본체(14)에 부착된다. 도 8에 도시된 바와 같이, 몸체 본체(14)는 한 쌍의 측벽(28)의 내측에 끼워맞춤 홈(46)을 갖고, 제3 다공질체(110)는 끼워맞춤 홈(46)에 끼워맞춰진다. 제3 다공질체(110)는 각 핑거(80)의 회전운동부(82)의 2개의 끝면에 대응하여, 합계 4개소에 배치된다. 핑거(80)의 모든 회전운동 범위에서, 핑거(80)의 회전운동부(82)의 끝면은 제3 다공체(110)에 소정의 압력으로 면상(面狀)으로 접촉한다. 제3 다공질체(110)는, 길이방향 중앙에 있어서, 회전운동 지지축(40)이 삽입되는 구멍부(112)를 구비한다.

몸체 본체(14)는, 퍼지용 에어가 공급되는 제3 포트(26)와, 제3 포트(26)를 제2 다공질체(96)의 제2 구멍부(102)에 연통시키는 연통로(27)를 구비한다(도 3 참조). 제3 포트(26)로부터 공급된 퍼지용 에어는, 몸체 본체(14)의 연통로(27) 및 제2 다공질체(96)의 제2 구멍부(102)를 통과하여, 퍼지 에어 저장공간(38)에 들어가, 퍼지 에어 저장공간(38)의 압력을 높인다.

퍼지 에어 저장공간(38)에 충전된 에어는, 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)의 내부를 통과한 후, 외부로 배출된다. 이 때, 엔드 플레이트(48)와 회전운동부(82)의 제1 만곡면(84)과의 사이에서 외부로 노출되는 제1 다공질체(94)의 표면을 에어가 통과한다(도 1 및 도 9 참조). 또한, 몸체 본체(14)와 회전운동부(82)의 제2 만곡면(86)과의 사이에서 외부로 노출되는 제2 다공질체(96)의 표면을 에어가 통과한다(도 1 및 도 9 참조). 또한, 몸체 본체(14)와 회전운동부(82)의 끝면과의 사이에서 외부로 노출되는 제3 다공질체(110)의 표면을 에어가 통과한다(도 1 참조).

다음으로, 도 10 및 도 11을 참조하면서, 지지점 개폐형 에어 척(10)의 개폐 동작에 대하여 설명한다. 지지점 개폐형 에어 척(10)은, 예를 들어, 워크피스를 반송하는 반송 장치에 설치된다. 도 10에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 핑거(80)가 일직선 형상으로 열린 상태를 초기 상태로 한다.

반송 장치(도시하지 않음)가 구동되어, 지지점 개폐형 에어 척(10)이 워크피스(도시하지 않음)를 파지 가능한 위치까지 반송된다. 그 후, 전환 밸브(도시하지 않음)가 소정의 동작 위치로 전환되어, 제1 포트(22)는 에어 공급원(도시하지 않음)에 접속되고, 제2 포트(24)는 배기구(도시하지 않음)에 접속된다. 이것에 의해, 제1 압력실(18)에 에어가 공급됨과 함께 제2 압력실(20)의 에어가 배출되어, 피스톤(60) 및 구동 로드(70)가 아래쪽으로 이동한다.

구동 로드(70)가 아래쪽으로 이동하면, 한 쌍의 파지부(92)가 폐쇄되는 방향으로 한 쌍의 핑거(80)가 회전운동한다. 한 쌍의 핑거(80)는 한 쌍의 파지부(92)가 엔드 플레이트(48)에 맞닿는 위치까지 회전운동하여 닫힌 상태가 되고(도 11 참조), 워크피스가 한 쌍의 핑거(80) 사이에 끼워진다. 또한, 워크피스의 형상 및 사이즈에 따라, 파지부(92)에 구비된 부착 구멍(93)에 도시하지 않은 어태치먼트 부재를 부착시킬 수 있다.

다시 반송 장치가 구동되어, 지지점 개폐형 에어 척(10)이 워크피스를 해방하는 장소까지 반송시킨다. 그 후, 전환 밸브가 별개의 작동 위치로 전환되어, 제1 포트(22)는 배기구에 접속되고, 제2 포트(24)는 에어 공급원에 접속된다. 이것에 의해, 제2 압력실(20)에 에어가 공급됨과 함께 제1 압력실(18)의 에어가 배출되어, 피스톤(60) 및 구동 로드(70)가 위쪽으로 이동한다. 구동 로드(70)가 위쪽으로 이동하면, 한 쌍의 파지부(92)가 개방되는 방향으로 한 쌍의 핑거(80)가 회전운동하여, 워크피스가 해방된다. 피스톤(60)은, 댐퍼(68)가 부시(72)에 접촉할 때까지 위쪽으로 이동하고, 한 쌍의 핑거(80)는 다시 일직선 형상으로 열린 상태가 된다(도 10 참조).

다음으로, 지지점 개폐형 에어 척(10)에 있어서의 방진 기능에 대하여 설명한다. 퍼지 에어 저장공간(38)은 핑거(80)의 회전운동부(82) 및 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)에 의해 외부로부터 격리되어 있다. 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)의 내부에 존재하는 간극보다 큰 외부의 먼지는, 당연히 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)의 내부에 침입할 수 없다. 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)의 내부에 존재하는 간극보다 작은 외부의 먼지는, 퍼지용 에어의 공급에 의해, 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)의 내부에 침입할 수 없다. 이하, 퍼지용 에어의 공급에 의한 방진 작용에 대하여 설명한다.

제3 포트(26)는 항상 에어 공급원에 접속되어 있다. 즉, 제3 포트(26)에는 항상 퍼지 에어가 공급되고 있다. 제3 포트(26)로부터 공급되는 퍼지 에어는 퍼지 에어 저장공간(38)에 들어가 퍼지 에어 저장공간(38)의 압력을 증가시킨다. 그리고 퍼지 에어 저장공간(38)에 충전된 에어는, 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)의 내부를 통과한 후, 외부로 배출된다. 이 때, 몸체(12)와 회전운동부(82) 사이에서 외부로 노출되는 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)의 표면을 에어가 통과한다.

퍼지 에어 저장공간(38)의 압력은 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)가 외부에 노출되는 표면의 압력(대기압)보다 충분히 높다. 이 때문에, 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)의 내부에 존재하는 간극보다 작은 외부의 먼지도, 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)의 내부에 침입할 수 없다. 미세한 먼지가 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)의 내부에 침입하더라도 퍼지용 에어와 함께 외부로 배출된다.

본 실시형태에 따른 지지점 개폐형 에어 척(10)은, 엔드 플레이트(48)에 부착되어 핑거(80)와 접촉하는 제1 다공질체(94)를 구비한다. 또, 지지점 개폐형 에어 척(10)은, 몸체 본체(14)에 부착되어 핑거(80)와 접촉하는 제2 다공질체(96) 및 제3 다공질체(110)를 구비한다. 또, 퍼지용 에어는 제1 내지 제3 다공질체(94, 96, 110)를 통과하여 외부로 배출된다. 따라서, 핑거(80)의 슬라이딩 저항을 증가시킴 없이, 몸체(12)의 내부에 먼지가 침입하는 것을 방지할 수 있다. 먼지의 침입을 방지함으로써, 실린더 구멍(16) 내에 배치되는 로드 패킹(74), 피스톤 패킹(62) 등의 내구성이 향상된다.

본 실시형태에서는, 퍼지용 에어가 항상 공급되고 있지만, 외부에 존재하는 먼지가 적은 환경 하에서 지지점 개폐형 에어 척(10)을 사용하는 경우에는, 퍼지용 에어를 간헐적으로 공급할 수도 있다.

본 발명에 따른 지지점 개폐형 에어 척은, 전술한 실시형태로 한정되지 않으며, 본 발명의 요지를 일탈함 없이, 여러 가지 구성을 채택할 수 있다.

Claims

한 쌍의 핑거(80)가 몸체(14, 48)에 설치된 회전운동 지지축(40) 주위에서 회전운동 가능하게 지지되고, 한 쌍의 상기 핑거를 개폐 구동하는 구동부(60, 70) 상기 몸체의 내부에 배치되는 지지점 개폐형 에어 척(10)으로서,
상기 몸체에 부착되어 상기 핑거와 접촉하는 다공질체(94, 96, 110)를 포함하고, 퍼지용 에어가 상기 다공질체를 통과하여 외부로 배출되는, 지지점 개폐형 에어 척.
청구항 1에 있어서,
상기 핑거는 회전운동부(82) 및 파지부(92)로 구성되고, 상기 회전운동부는 제1 만곡면(84) 및 제2 만곡면(86)을 갖고, 상기 바디는 바디 본체(14) 및 엔드 플레이트(48)를 포함하고, 상기 제1 만곡면과 접촉하는 제1 다공질체(94)가 상기 엔드 플레이트에 부착되고, 상기 제2 만곡면과 접촉하는 제2 다공질체(96)가 상기 몸체 본체에 부착되는, 지지점 개폐형 에어 척.
청구항 2에 있어서,
직사각 형상의 제2 다공질체는 끼워맞춤에 의해 상기 몸체 본체에 부착되기 위한 계단부(106)를 양단에 구비하고, 상기 제2 만곡면은 상기 제2 다공질체의 상기 계단부에 있어서의 모서리부(108)에 접촉하는, 지지점 개폐형 에어 척.
청구항 2에 있어서,
상기 제2 다공질체는 퍼지용 에어의 통로가 되는 구멍부(102)를 포함하는, 지지점 개폐형 에어 척.
청구항 2에 있어서,
상기 구동부는 피스톤(60)에 연결되는 구동 로드(70)를 포함하고, 제2 다공질체는 구동 로드가 삽입되는 구멍부(100)를 포함하는, 지지점 개페형 에어 척.
청구항 2에 있어서,
상기 회전운동부는 상기 회전운동 지지축의 축선에 수직인 끝면을 갖고, 상기 회전운동부의 상기 끝면과 접촉하는 제3 다공질체(110)가 상기 몸체 본체에 부착되는, 지지점 개폐형 에어 척.
청구항 6에 있어서,
상기 제3 다공질체는 상기 회전운동 지지축이 삽입되는 구멍부(112)를 포함하는, 지지점 개폐형 에어 척.