JPH11223217A - 直動軸受 - Google Patents
直動軸受Info
- Publication number
- JPH11223217A JPH11223217A JP10025495A JP2549598A JPH11223217A JP H11223217 A JPH11223217 A JP H11223217A JP 10025495 A JP10025495 A JP 10025495A JP 2549598 A JP2549598 A JP 2549598A JP H11223217 A JPH11223217 A JP H11223217A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- linear motion
- retainer
- motion bearing
- shaft
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/306—Means to synchronise movements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 相対的に、外輪に対して軸を軸方向に往復
動させることができると共に、円周方向に回転させるこ
とができる直動軸受を提供すること。 【解決手段】 外輪1は、保持器3に保持されたボール
2を介して軸4を支持している。外輪1には、押さえリ
ング15を軸方向に往復動自在に嵌合している。外輪1
に固定した蓋13と押さえリング15との間に、円周方
向120°間隔の3箇のコイルスプリング14を縮装し
て、押さえリング15を保持器3に向けて押圧してい
る。さらに、上記蓋13には軸方向に突出するスプリン
グピン17を固定し、このスプリングピン17の先端を
押さえリング15の穴18に進退自在に嵌合して、押さ
えリング15の回転を防止している。
動させることができると共に、円周方向に回転させるこ
とができる直動軸受を提供すること。 【解決手段】 外輪1は、保持器3に保持されたボール
2を介して軸4を支持している。外輪1には、押さえリ
ング15を軸方向に往復動自在に嵌合している。外輪1
に固定した蓋13と押さえリング15との間に、円周方
向120°間隔の3箇のコイルスプリング14を縮装し
て、押さえリング15を保持器3に向けて押圧してい
る。さらに、上記蓋13には軸方向に突出するスプリン
グピン17を固定し、このスプリングピン17の先端を
押さえリング15の穴18に進退自在に嵌合して、押さ
えリング15の回転を防止している。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転と往復運動を
行うたとえば半導体の研磨装置等に使用すれば好適な直
動軸受に関する。
行うたとえば半導体の研磨装置等に使用すれば好適な直
動軸受に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、直動軸受としては、図2に示すよ
うなものがある。この直動軸受は、軸51をボール5
6,56,...を介して支持するスリーブ52を備えてい
る。この軸51とスリーブ52とにそれぞれスプライン
溝53,54を設け、このスプライン溝53,54の間に
上記ボール56,56,...を配置している。上記ボール
56,56,...を保持する保持器55を軸方向の両側か
らコイルスプリング57,57によって付勢している。
うなものがある。この直動軸受は、軸51をボール5
6,56,...を介して支持するスリーブ52を備えてい
る。この軸51とスリーブ52とにそれぞれスプライン
溝53,54を設け、このスプライン溝53,54の間に
上記ボール56,56,...を配置している。上記ボール
56,56,...を保持する保持器55を軸方向の両側か
らコイルスプリング57,57によって付勢している。
【0003】そして、上記軸51に軸方向の力が加わっ
て軸51が移動すると、スプライン溝53,54上のボ
ール56,56,...がスプライン溝53,54に沿って転
動して、保持器55がボール56,56,...と共にコイ
ルスプリング57,57に抗して軸方向に移動する。
て軸51が移動すると、スプライン溝53,54上のボ
ール56,56,...がスプライン溝53,54に沿って転
動して、保持器55がボール56,56,...と共にコイ
ルスプリング57,57に抗して軸方向に移動する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の直動軸受では、軸51は軸方向に往復動できるが、
軸51に円周方向に回転する力が加わった場合には、ボ
ール56はスプライン溝53,54を越えて円周方向に
移動できないので、軸51は円周方向に回転できないと
いう問題があった。
来の直動軸受では、軸51は軸方向に往復動できるが、
軸51に円周方向に回転する力が加わった場合には、ボ
ール56はスプライン溝53,54を越えて円周方向に
移動できないので、軸51は円周方向に回転できないと
いう問題があった。
【0005】そこで、本発明の目的は、相対的に、外輪
に対して軸を軸方向に往復動させることができると共
に、円周方向に回転させることができる直動軸受を提供
することにある。
に対して軸を軸方向に往復動させることができると共
に、円周方向に回転させることができる直動軸受を提供
することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明の直動軸受は、外輪と、軸を往復動
可能に上記外輪に支持するための複数の転動体と、上記
転動体を保持する保持器と、上記外輪内に往復動自在に
設けた押さえリングと、上記外輪に固定された蓋と、上
記押さえリングと上記蓋との間に設けられて、上記押さ
えリングを上記保持器に向けて付勢する弾性部材と、上
記押さえリングの回転を防止する回転防止部材とを備え
ていることを特徴としている。
め、請求項1の発明の直動軸受は、外輪と、軸を往復動
可能に上記外輪に支持するための複数の転動体と、上記
転動体を保持する保持器と、上記外輪内に往復動自在に
設けた押さえリングと、上記外輪に固定された蓋と、上
記押さえリングと上記蓋との間に設けられて、上記押さ
えリングを上記保持器に向けて付勢する弾性部材と、上
記押さえリングの回転を防止する回転防止部材とを備え
ていることを特徴としている。
【0007】請求項1の発明の直動軸受において、上記
軸を外輪に対して相対的に軸方向に移動させる力が作用
すると、外輪に支持された複数の転動体が転動して、軸
が軸方向に移動すると共に、その転動体を保持する保持
器も軸方向に移動する。そして、上記保持器が押さえリ
ングに当接した場合には、弾性部材に抗して押さえリン
グを押圧して、軸は軸方向に移動する。このようにし
て、軸は軸方向に往復動する。
軸を外輪に対して相対的に軸方向に移動させる力が作用
すると、外輪に支持された複数の転動体が転動して、軸
が軸方向に移動すると共に、その転動体を保持する保持
器も軸方向に移動する。そして、上記保持器が押さえリ
ングに当接した場合には、弾性部材に抗して押さえリン
グを押圧して、軸は軸方向に移動する。このようにし
て、軸は軸方向に往復動する。
【0008】一方、上記軸を外輪に対して相対的に円周
方向に回転させると、上記複数の転動体が円周方向に転
動して、転動体を保持する保持器も円周方向に回転す
る。また、上記保持器が押さえリングに当接していると
きは、保持器は、押さえリングに当接している面の上を
スライドし、円周方向に回転する。このとき、上記回転
防止部材は、押さえリングが円周方向に保持器と共につ
れ回るのを防止する。このため、上記押さえリングと上
記蓋との間に設けられた弾性部材が円周方向に捩れある
いは傾くことはない。したがって、この直動軸受は、軸
に軸方向の往復動と円周方向の回転運動とをさせること
ができる。
方向に回転させると、上記複数の転動体が円周方向に転
動して、転動体を保持する保持器も円周方向に回転す
る。また、上記保持器が押さえリングに当接していると
きは、保持器は、押さえリングに当接している面の上を
スライドし、円周方向に回転する。このとき、上記回転
防止部材は、押さえリングが円周方向に保持器と共につ
れ回るのを防止する。このため、上記押さえリングと上
記蓋との間に設けられた弾性部材が円周方向に捩れある
いは傾くことはない。したがって、この直動軸受は、軸
に軸方向の往復動と円周方向の回転運動とをさせること
ができる。
【0009】請求項2の発明の直動軸受は、請求項1に
記載の直動軸受において、上記外輪には上記押さえリン
グが当接するストッパ−を設けていることを特徴として
いる。
記載の直動軸受において、上記外輪には上記押さえリン
グが当接するストッパ−を設けていることを特徴として
いる。
【0010】請求項2の発明の直動軸受においては、弾
性部材によって付勢された上記押さえリングは、外輪の
ストッパーに係止する。したがって、押さえリングの停
止位置が定まる。
性部材によって付勢された上記押さえリングは、外輪の
ストッパーに係止する。したがって、押さえリングの停
止位置が定まる。
【0011】請求項3の発明の直動軸受は、請求項1に
記載の直動軸受において、保持器または押さえリングの
一方は、上記保持器または押さえリングの他方に対して
摺動性が良い部材でできていることを特徴としている。
記載の直動軸受において、保持器または押さえリングの
一方は、上記保持器または押さえリングの他方に対して
摺動性が良い部材でできていることを特徴としている。
【0012】請求項3の発明の直動軸受によれば、保持
器または押さえリングの一方は、上記保持器または押さ
えリングの他方に対して摺動性が良い部材でできている
ので、保持器は押さえリングに対して滑らかに滑動でき
る。
器または押さえリングの一方は、上記保持器または押さ
えリングの他方に対して摺動性が良い部材でできている
ので、保持器は押さえリングに対して滑らかに滑動でき
る。
【0013】請求項4の発明の直動軸受は、請求項1に
記載の直動軸受において、上記弾性部材はコイルスプリ
ング、波形板ばねまたは磁石のいずれか1つであること
を特徴としている。
記載の直動軸受において、上記弾性部材はコイルスプリ
ング、波形板ばねまたは磁石のいずれか1つであること
を特徴としている。
【0014】請求項4の発明の直動軸受によれば、上記
弾性部材はコイルスプリング、波形板ばねまたは磁石の
いずれか1つであるので、簡単、安価かつコンパクトな
構造でもって、押さえリングを停止位置に復帰させるこ
とがでがきる。
弾性部材はコイルスプリング、波形板ばねまたは磁石の
いずれか1つであるので、簡単、安価かつコンパクトな
構造でもって、押さえリングを停止位置に復帰させるこ
とがでがきる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
により詳細に説明する。
により詳細に説明する。
【0016】図1は、本発明の一実施の形態の直動軸受
の断面図である。この直動軸受は、外輪1と、転動体と
しての複数のボール2,2,...と、これらのボール2,
2,...を保持するテフロン(商標名)製の保持器3とを備
える。上記外輪1は複数のボール2を介して軸4(想像
線で示す)を支持している。
の断面図である。この直動軸受は、外輪1と、転動体と
しての複数のボール2,2,...と、これらのボール2,
2,...を保持するテフロン(商標名)製の保持器3とを備
える。上記外輪1は複数のボール2を介して軸4(想像
線で示す)を支持している。
【0017】上記外輪1は、軌道面である中径の内周面
5の両側に大径内周面11と小径内周面10とを設け
て、ストッパーとしての段6,7を形成している。上記
大径内周面11には、押さえリング15を軸方向に往復
動自在に嵌合している。上記外輪1の大径内周面11側
の端部には、リング状の蓋13を円周方向120°間隔
の3箇所のボルト16(1個のみを示す。)で固定してい
る。上記蓋13と押さえリング15との間には、円周方
向120°間隔に設けた3個のコイルスプリング14
(1個のみを示す。)を縮装して、押さえリング15を上
記段6に当接するまで押圧するようにしている。こうし
て、押さえリング15を段6に係止させて、押さえリン
グ15および保持器3の静止位置を定めている。なお、
上記段7は、保持器3の抜け止めのためにある。
5の両側に大径内周面11と小径内周面10とを設け
て、ストッパーとしての段6,7を形成している。上記
大径内周面11には、押さえリング15を軸方向に往復
動自在に嵌合している。上記外輪1の大径内周面11側
の端部には、リング状の蓋13を円周方向120°間隔
の3箇所のボルト16(1個のみを示す。)で固定してい
る。上記蓋13と押さえリング15との間には、円周方
向120°間隔に設けた3個のコイルスプリング14
(1個のみを示す。)を縮装して、押さえリング15を上
記段6に当接するまで押圧するようにしている。こうし
て、押さえリング15を段6に係止させて、押さえリン
グ15および保持器3の静止位置を定めている。なお、
上記段7は、保持器3の抜け止めのためにある。
【0018】さらに、上記蓋13の円周方向120°間
隔の3箇所には夫々回転防止部材としてのスプリングピ
ン17を軸方向に突出するように固定している(図1で
は1箇所のみを示す。)。このスプリングピン17の突出
部を、押さえリング15に設けた穴18に進退自在に嵌
合して、押さえリング15が回転するのを防止してい
る。
隔の3箇所には夫々回転防止部材としてのスプリングピ
ン17を軸方向に突出するように固定している(図1で
は1箇所のみを示す。)。このスプリングピン17の突出
部を、押さえリング15に設けた穴18に進退自在に嵌
合して、押さえリング15が回転するのを防止してい
る。
【0019】上記構成の直動軸受において、上記軸4を
外輪1に対して相対的に軸方向に移動させる力が作用す
ると、外輪1に支持された複数のボール2,2,...が転
動して、軸4が軸方向に移動する。ボール2,2,...の
転動と共に、これらのボール2,2,...を保持する保持
器3も軸方向に移動する。そして、上記保持器3が押さ
えリング15に当接した場合には、コイルスプリング1
4に抗して押さえリング15を押圧して、軸4は軸方向
に移動する。このようにして、軸4は軸方向に往復動す
る。
外輪1に対して相対的に軸方向に移動させる力が作用す
ると、外輪1に支持された複数のボール2,2,...が転
動して、軸4が軸方向に移動する。ボール2,2,...の
転動と共に、これらのボール2,2,...を保持する保持
器3も軸方向に移動する。そして、上記保持器3が押さ
えリング15に当接した場合には、コイルスプリング1
4に抗して押さえリング15を押圧して、軸4は軸方向
に移動する。このようにして、軸4は軸方向に往復動す
る。
【0020】一方、上記軸4を外輪1に対して相対的に
円周方向に回転させると、上記複数のボール2,2,...
が円周方向に転動する。このボール2,2,...の転動に
伴って、ボール2,2,...を保持する保持器3も円周方
向に回転する。また、上記保持器3が押さえリング15
に当接しているときは、保持器3は押さえリング15に
当接している面の上をスライドし、円周方向に回転す
る。このとき、保持器3は、テフロンで製造されている
から、摺動性が良い。したがって、保持器3は押さえリ
ング15に対して滑らかにスライドできる。また、上記
スプリングピン17は穴18に嵌合しているため、押さ
えリング15が円周方向に保持器3と共につれ回るのを
防止する。このため、上記押さえリング15と上記蓋1
3との間に設けられたコイルスプリング14が円周方向
に捩れあるいは傾くことはない。
円周方向に回転させると、上記複数のボール2,2,...
が円周方向に転動する。このボール2,2,...の転動に
伴って、ボール2,2,...を保持する保持器3も円周方
向に回転する。また、上記保持器3が押さえリング15
に当接しているときは、保持器3は押さえリング15に
当接している面の上をスライドし、円周方向に回転す
る。このとき、保持器3は、テフロンで製造されている
から、摺動性が良い。したがって、保持器3は押さえリ
ング15に対して滑らかにスライドできる。また、上記
スプリングピン17は穴18に嵌合しているため、押さ
えリング15が円周方向に保持器3と共につれ回るのを
防止する。このため、上記押さえリング15と上記蓋1
3との間に設けられたコイルスプリング14が円周方向
に捩れあるいは傾くことはない。
【0021】したがって、この直動軸受は、軸4に軸方
向の往復動と円周方向の回転運動、あるいはそれらの組
み合わさった螺旋運動をすることができる。
向の往復動と円周方向の回転運動、あるいはそれらの組
み合わさった螺旋運動をすることができる。
【0022】なお、上記実施の形態では、上記押さえリ
ング15の回転の防止するのに、スプリングピン17を
用いているが、スプリングピン17の代わりに、蓋13
と押さえリング15とが互いに周方向に係合し、軸方向
に相対移動できるような凹凸係合部を設けてもよい。
ング15の回転の防止するのに、スプリングピン17を
用いているが、スプリングピン17の代わりに、蓋13
と押さえリング15とが互いに周方向に係合し、軸方向
に相対移動できるような凹凸係合部を設けてもよい。
【0023】また、上記実施の形態では、上記蓋13と
コイルスプリング14と押さえリング15とを外輪1の
片側に設けているが、外輪1の両側に設けてもよい。
コイルスプリング14と押さえリング15とを外輪1の
片側に設けているが、外輪1の両側に設けてもよい。
【0024】さらに、上記実施の形態では、上記保持器
3は、テフロン製であるが、押さえリングをテフロンで
形成してもよく、また、それらは摺動性に優れた砲金製
やベークライト製であってもよく、あるいは摺動性に優
れた材料をコーティングしたものであってもよい。
3は、テフロン製であるが、押さえリングをテフロンで
形成してもよく、また、それらは摺動性に優れた砲金製
やベークライト製であってもよく、あるいは摺動性に優
れた材料をコーティングしたものであってもよい。
【0025】また、上記実施の形態では、弾性部材とし
てコイルスプリングを使用したが、波形板ばねまたは磁
石であってもよい。これらの弾性部材は簡単、安価かつ
コンパクトな構造であって、押さえリングを停止位置に
復帰させることがでがきる。
てコイルスプリングを使用したが、波形板ばねまたは磁
石であってもよい。これらの弾性部材は簡単、安価かつ
コンパクトな構造であって、押さえリングを停止位置に
復帰させることがでがきる。
【0026】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1の発明の直動軸受は、押さえリングを保持器に向けて
付勢する弾性部材を備え、上記押さえリングの回転を防
止する回転防止部材を備えているので、軸が外輪に対し
て回転し、保持器が押さえリングに対して回転しても、
押さえリングがつれ回るのを防止でき、したがって、軸
方向の往復動と、回転運動とを行うことができる。
1の発明の直動軸受は、押さえリングを保持器に向けて
付勢する弾性部材を備え、上記押さえリングの回転を防
止する回転防止部材を備えているので、軸が外輪に対し
て回転し、保持器が押さえリングに対して回転しても、
押さえリングがつれ回るのを防止でき、したがって、軸
方向の往復動と、回転運動とを行うことができる。
【0027】請求項2の発明の直動軸受は、外輪に押さ
えリングが当接するストッパーを設けたので、押さえリ
ングの停止位置を定めることができる。
えリングが当接するストッパーを設けたので、押さえリ
ングの停止位置を定めることができる。
【0028】請求項3の発明の直動軸受は、保持器また
は押さえリングの一方は他方に対して、摺動性が良い部
材でできているので、保持器は押さえリングに対して滑
らかに滑動できる。
は押さえリングの一方は他方に対して、摺動性が良い部
材でできているので、保持器は押さえリングに対して滑
らかに滑動できる。
【0029】請求項4の発明の直動軸受は、上記弾性部
材はコイルスプリング、波形板ばねまたは磁石のいずれ
か1つであるので、簡単、安価かつコンパクトな構造で
もって、押さえリングを停止位置に復帰させることがで
がきる。
材はコイルスプリング、波形板ばねまたは磁石のいずれ
か1つであるので、簡単、安価かつコンパクトな構造で
もって、押さえリングを停止位置に復帰させることがで
がきる。
【図1】 本発明の一実施の形態の直動軸受の断面図で
ある。
ある。
【図2】 従来の直動軸受の断面図である。
1…外輪、 2…ボール、 3…保持器、 4…軸、
6…段、13…蓋、 14…コイルスプリング、 15
…押さえリング、17…スプリングピン。
6…段、13…蓋、 14…コイルスプリング、 15
…押さえリング、17…スプリングピン。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山川 和芳 大阪府大阪市中央区南船場三丁目5番8号 光洋精工株式会社内
Claims (4)
- 【請求項1】 外輪と、軸を往復動可能に上記外輪に支
持するための複数の転動体と、上記転動体を保持する保
持器と、上記外輪内に往復動自在に設けた押さえリング
と、上記外輪に固定された蓋と、上記押さえリングと上
記蓋との間に設けられて、上記押さえリングを上記保持
器に向けて付勢する弾性部材と、上記押さえリングの回
転を防止する回転防止部材とを備えていることを特徴と
する直動軸受。 - 【請求項2】 請求項1に記載の直動軸受において、上
記外輪には上記押さえリングが当接するストッパ−を設
けていることを特徴とする直動軸受。 - 【請求項3】 請求項1に記載の直動軸受において、上
記保持器または押さえリングの一方は、上記保持器また
は押さえリングの他方に対して摺動性が良い部材ででき
ていることを特徴とする直動軸受。 - 【請求項4】 請求項1に記載の直動軸受において、上
記弾性部材はコイルスプリング、波形板ばねまたは磁石
のいずれか1つであることを特徴とする直動軸受。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10025495A JPH11223217A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 直動軸受 |
US09/243,792 US6203201B1 (en) | 1998-02-06 | 1999-02-03 | Linear bearing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10025495A JPH11223217A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 直動軸受 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11223217A true JPH11223217A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12167653
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10025495A Pending JPH11223217A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 直動軸受 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6203201B1 (ja) |
JP (1) | JPH11223217A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008082512A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Ckd Corp | 往復動装置 |
TWI660812B (zh) * | 2016-11-24 | 2019-06-01 | 喜開理股份有限公司 | 吸附緩衝裝置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114412920B (zh) * | 2022-02-24 | 2024-02-09 | 西安航天动力研究所 | 一种具有游隙结构的多排滚珠直线旋转复合行程轴承 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54137542A (en) | 1978-04-18 | 1979-10-25 | Nachi Fujikoshi Corp | Stroke bearing |
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