JPH11223217A - 直動軸受 - Google Patents
直動軸受Info
- Publication number
- JPH11223217A JPH11223217A JP10025495A JP2549598A JPH11223217A JP H11223217 A JPH11223217 A JP H11223217A JP 10025495 A JP10025495 A JP 10025495A JP 2549598 A JP2549598 A JP 2549598A JP H11223217 A JPH11223217 A JP H11223217A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- linear motion
- retainer
- motion bearing
- shaft
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/306—Means to synchronise movements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 相対的に、外輪に対して軸を軸方向に往復
動させることができると共に、円周方向に回転させるこ
とができる直動軸受を提供すること。 【解決手段】 外輪１は、保持器３に保持されたボール
２を介して軸４を支持している。外輪１には、押さえリ
ング１５を軸方向に往復動自在に嵌合している。外輪１
に固定した蓋１３と押さえリング１５との間に、円周方
向１２０°間隔の３箇のコイルスプリング１４を縮装し
て、押さえリング１５を保持器３に向けて押圧してい
る。さらに、上記蓋１３には軸方向に突出するスプリン
グピン１７を固定し、このスプリングピン１７の先端を
押さえリング１５の穴１８に進退自在に嵌合して、押さ
えリング１５の回転を防止している。
動させることができると共に、円周方向に回転させるこ
とができる直動軸受を提供すること。 【解決手段】 外輪１は、保持器３に保持されたボール
２を介して軸４を支持している。外輪１には、押さえリ
ング１５を軸方向に往復動自在に嵌合している。外輪１
に固定した蓋１３と押さえリング１５との間に、円周方
向１２０°間隔の３箇のコイルスプリング１４を縮装し
て、押さえリング１５を保持器３に向けて押圧してい
る。さらに、上記蓋１３には軸方向に突出するスプリン
グピン１７を固定し、このスプリングピン１７の先端を
押さえリング１５の穴１８に進退自在に嵌合して、押さ
えリング１５の回転を防止している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転と往復運動を
行うたとえば半導体の研磨装置等に使用すれば好適な直
動軸受に関する。
行うたとえば半導体の研磨装置等に使用すれば好適な直
動軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、直動軸受としては、図２に示すよ
うなものがある。この直動軸受は、軸５１をボール５
６,５６,...を介して支持するスリーブ５２を備えてい
る。この軸５１とスリーブ５２とにそれぞれスプライン
溝５３,５４を設け、このスプライン溝５３,５４の間に
上記ボール５６,５６,...を配置している。上記ボール
５６,５６,...を保持する保持器５５を軸方向の両側か
らコイルスプリング５７,５７によって付勢している。
うなものがある。この直動軸受は、軸５１をボール５
６,５６,...を介して支持するスリーブ５２を備えてい
る。この軸５１とスリーブ５２とにそれぞれスプライン
溝５３,５４を設け、このスプライン溝５３,５４の間に
上記ボール５６,５６,...を配置している。上記ボール
５６,５６,...を保持する保持器５５を軸方向の両側か
らコイルスプリング５７,５７によって付勢している。
【０００３】そして、上記軸５１に軸方向の力が加わっ
て軸５１が移動すると、スプライン溝５３,５４上のボ
ール５６,５６,...がスプライン溝５３,５４に沿って転
動して、保持器５５がボール５６,５６,...と共にコイ
ルスプリング５７,５７に抗して軸方向に移動する。
て軸５１が移動すると、スプライン溝５３,５４上のボ
ール５６,５６,...がスプライン溝５３,５４に沿って転
動して、保持器５５がボール５６,５６,...と共にコイ
ルスプリング５７,５７に抗して軸方向に移動する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の直動軸受では、軸５１は軸方向に往復動できるが、
軸５１に円周方向に回転する力が加わった場合には、ボ
ール５６はスプライン溝５３,５４を越えて円周方向に
移動できないので、軸５１は円周方向に回転できないと
いう問題があった。
来の直動軸受では、軸５１は軸方向に往復動できるが、
軸５１に円周方向に回転する力が加わった場合には、ボ
ール５６はスプライン溝５３,５４を越えて円周方向に
移動できないので、軸５１は円周方向に回転できないと
いう問題があった。
【０００５】そこで、本発明の目的は、相対的に、外輪
に対して軸を軸方向に往復動させることができると共
に、円周方向に回転させることができる直動軸受を提供
することにある。
に対して軸を軸方向に往復動させることができると共
に、円周方向に回転させることができる直動軸受を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明の直動軸受は、外輪と、軸を往復動
可能に上記外輪に支持するための複数の転動体と、上記
転動体を保持する保持器と、上記外輪内に往復動自在に
設けた押さえリングと、上記外輪に固定された蓋と、上
記押さえリングと上記蓋との間に設けられて、上記押さ
えリングを上記保持器に向けて付勢する弾性部材と、上
記押さえリングの回転を防止する回転防止部材とを備え
ていることを特徴としている。
め、請求項１の発明の直動軸受は、外輪と、軸を往復動
可能に上記外輪に支持するための複数の転動体と、上記
転動体を保持する保持器と、上記外輪内に往復動自在に
設けた押さえリングと、上記外輪に固定された蓋と、上
記押さえリングと上記蓋との間に設けられて、上記押さ
えリングを上記保持器に向けて付勢する弾性部材と、上
記押さえリングの回転を防止する回転防止部材とを備え
ていることを特徴としている。
【０００７】請求項１の発明の直動軸受において、上記
軸を外輪に対して相対的に軸方向に移動させる力が作用
すると、外輪に支持された複数の転動体が転動して、軸
が軸方向に移動すると共に、その転動体を保持する保持
器も軸方向に移動する。そして、上記保持器が押さえリ
ングに当接した場合には、弾性部材に抗して押さえリン
グを押圧して、軸は軸方向に移動する。このようにし
て、軸は軸方向に往復動する。
軸を外輪に対して相対的に軸方向に移動させる力が作用
すると、外輪に支持された複数の転動体が転動して、軸
が軸方向に移動すると共に、その転動体を保持する保持
器も軸方向に移動する。そして、上記保持器が押さえリ
ングに当接した場合には、弾性部材に抗して押さえリン
グを押圧して、軸は軸方向に移動する。このようにし
て、軸は軸方向に往復動する。
【０００８】一方、上記軸を外輪に対して相対的に円周
方向に回転させると、上記複数の転動体が円周方向に転
動して、転動体を保持する保持器も円周方向に回転す
る。また、上記保持器が押さえリングに当接していると
きは、保持器は、押さえリングに当接している面の上を
スライドし、円周方向に回転する。このとき、上記回転
防止部材は、押さえリングが円周方向に保持器と共につ
れ回るのを防止する。このため、上記押さえリングと上
記蓋との間に設けられた弾性部材が円周方向に捩れある
いは傾くことはない。したがって、この直動軸受は、軸
に軸方向の往復動と円周方向の回転運動とをさせること
ができる。
方向に回転させると、上記複数の転動体が円周方向に転
動して、転動体を保持する保持器も円周方向に回転す
る。また、上記保持器が押さえリングに当接していると
きは、保持器は、押さえリングに当接している面の上を
スライドし、円周方向に回転する。このとき、上記回転
防止部材は、押さえリングが円周方向に保持器と共につ
れ回るのを防止する。このため、上記押さえリングと上
記蓋との間に設けられた弾性部材が円周方向に捩れある
いは傾くことはない。したがって、この直動軸受は、軸
に軸方向の往復動と円周方向の回転運動とをさせること
ができる。
【０００９】請求項２の発明の直動軸受は、請求項１に
記載の直動軸受において、上記外輪には上記押さえリン
グが当接するストッパ−を設けていることを特徴として
いる。
記載の直動軸受において、上記外輪には上記押さえリン
グが当接するストッパ−を設けていることを特徴として
いる。
【００１０】請求項２の発明の直動軸受においては、弾
性部材によって付勢された上記押さえリングは、外輪の
ストッパーに係止する。したがって、押さえリングの停
止位置が定まる。
性部材によって付勢された上記押さえリングは、外輪の
ストッパーに係止する。したがって、押さえリングの停
止位置が定まる。
【００１１】請求項３の発明の直動軸受は、請求項１に
記載の直動軸受において、保持器または押さえリングの
一方は、上記保持器または押さえリングの他方に対して
摺動性が良い部材でできていることを特徴としている。
記載の直動軸受において、保持器または押さえリングの
一方は、上記保持器または押さえリングの他方に対して
摺動性が良い部材でできていることを特徴としている。
【００１２】請求項３の発明の直動軸受によれば、保持
器または押さえリングの一方は、上記保持器または押さ
えリングの他方に対して摺動性が良い部材でできている
ので、保持器は押さえリングに対して滑らかに滑動でき
る。
器または押さえリングの一方は、上記保持器または押さ
えリングの他方に対して摺動性が良い部材でできている
ので、保持器は押さえリングに対して滑らかに滑動でき
る。
【００１３】請求項４の発明の直動軸受は、請求項１に
記載の直動軸受において、上記弾性部材はコイルスプリ
ング、波形板ばねまたは磁石のいずれか１つであること
を特徴としている。
記載の直動軸受において、上記弾性部材はコイルスプリ
ング、波形板ばねまたは磁石のいずれか１つであること
を特徴としている。
【００１４】請求項４の発明の直動軸受によれば、上記
弾性部材はコイルスプリング、波形板ばねまたは磁石の
いずれか１つであるので、簡単、安価かつコンパクトな
構造でもって、押さえリングを停止位置に復帰させるこ
とがでがきる。
弾性部材はコイルスプリング、波形板ばねまたは磁石の
いずれか１つであるので、簡単、安価かつコンパクトな
構造でもって、押さえリングを停止位置に復帰させるこ
とがでがきる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
により詳細に説明する。
により詳細に説明する。
【００１６】図１は、本発明の一実施の形態の直動軸受
の断面図である。この直動軸受は、外輪１と、転動体と
しての複数のボール２,２,...と、これらのボール２,
２,...を保持するテフロン(商標名)製の保持器３とを備
える。上記外輪１は複数のボール２を介して軸４(想像
線で示す)を支持している。
の断面図である。この直動軸受は、外輪１と、転動体と
しての複数のボール２,２,...と、これらのボール２,
２,...を保持するテフロン(商標名)製の保持器３とを備
える。上記外輪１は複数のボール２を介して軸４(想像
線で示す)を支持している。
【００１７】上記外輪１は、軌道面である中径の内周面
５の両側に大径内周面１１と小径内周面１０とを設け
て、ストッパーとしての段６,７を形成している。上記
大径内周面１１には、押さえリング１５を軸方向に往復
動自在に嵌合している。上記外輪１の大径内周面１１側
の端部には、リング状の蓋１３を円周方向１２０°間隔
の３箇所のボルト１６(１個のみを示す。)で固定してい
る。上記蓋１３と押さえリング１５との間には、円周方
向１２０°間隔に設けた３個のコイルスプリング１４
(１個のみを示す。)を縮装して、押さえリング１５を上
記段６に当接するまで押圧するようにしている。こうし
て、押さえリング１５を段６に係止させて、押さえリン
グ１５および保持器３の静止位置を定めている。なお、
上記段７は、保持器３の抜け止めのためにある。
５の両側に大径内周面１１と小径内周面１０とを設け
て、ストッパーとしての段６,７を形成している。上記
大径内周面１１には、押さえリング１５を軸方向に往復
動自在に嵌合している。上記外輪１の大径内周面１１側
の端部には、リング状の蓋１３を円周方向１２０°間隔
の３箇所のボルト１６(１個のみを示す。)で固定してい
る。上記蓋１３と押さえリング１５との間には、円周方
向１２０°間隔に設けた３個のコイルスプリング１４
(１個のみを示す。)を縮装して、押さえリング１５を上
記段６に当接するまで押圧するようにしている。こうし
て、押さえリング１５を段６に係止させて、押さえリン
グ１５および保持器３の静止位置を定めている。なお、
上記段７は、保持器３の抜け止めのためにある。
【００１８】さらに、上記蓋１３の円周方向１２０°間
隔の３箇所には夫々回転防止部材としてのスプリングピ
ン１７を軸方向に突出するように固定している(図１で
は１箇所のみを示す。)。このスプリングピン１７の突出
部を、押さえリング１５に設けた穴１８に進退自在に嵌
合して、押さえリング１５が回転するのを防止してい
る。
隔の３箇所には夫々回転防止部材としてのスプリングピ
ン１７を軸方向に突出するように固定している(図１で
は１箇所のみを示す。)。このスプリングピン１７の突出
部を、押さえリング１５に設けた穴１８に進退自在に嵌
合して、押さえリング１５が回転するのを防止してい
る。
【００１９】上記構成の直動軸受において、上記軸４を
外輪１に対して相対的に軸方向に移動させる力が作用す
ると、外輪１に支持された複数のボール２,２,...が転
動して、軸４が軸方向に移動する。ボール２,２,...の
転動と共に、これらのボール２,２,...を保持する保持
器３も軸方向に移動する。そして、上記保持器３が押さ
えリング１５に当接した場合には、コイルスプリング１
４に抗して押さえリング１５を押圧して、軸４は軸方向
に移動する。このようにして、軸４は軸方向に往復動す
る。
外輪１に対して相対的に軸方向に移動させる力が作用す
ると、外輪１に支持された複数のボール２,２,...が転
動して、軸４が軸方向に移動する。ボール２,２,...の
転動と共に、これらのボール２,２,...を保持する保持
器３も軸方向に移動する。そして、上記保持器３が押さ
えリング１５に当接した場合には、コイルスプリング１
４に抗して押さえリング１５を押圧して、軸４は軸方向
に移動する。このようにして、軸４は軸方向に往復動す
る。
【００２０】一方、上記軸４を外輪１に対して相対的に
円周方向に回転させると、上記複数のボール２,２,...
が円周方向に転動する。このボール２,２,...の転動に
伴って、ボール２,２,...を保持する保持器３も円周方
向に回転する。また、上記保持器３が押さえリング１５
に当接しているときは、保持器３は押さえリング１５に
当接している面の上をスライドし、円周方向に回転す
る。このとき、保持器３は、テフロンで製造されている
から、摺動性が良い。したがって、保持器３は押さえリ
ング１５に対して滑らかにスライドできる。また、上記
スプリングピン１７は穴１８に嵌合しているため、押さ
えリング１５が円周方向に保持器３と共につれ回るのを
防止する。このため、上記押さえリング１５と上記蓋１
３との間に設けられたコイルスプリング１４が円周方向
に捩れあるいは傾くことはない。
円周方向に回転させると、上記複数のボール２,２,...
が円周方向に転動する。このボール２,２,...の転動に
伴って、ボール２,２,...を保持する保持器３も円周方
向に回転する。また、上記保持器３が押さえリング１５
に当接しているときは、保持器３は押さえリング１５に
当接している面の上をスライドし、円周方向に回転す
る。このとき、保持器３は、テフロンで製造されている
から、摺動性が良い。したがって、保持器３は押さえリ
ング１５に対して滑らかにスライドできる。また、上記
スプリングピン１７は穴１８に嵌合しているため、押さ
えリング１５が円周方向に保持器３と共につれ回るのを
防止する。このため、上記押さえリング１５と上記蓋１
３との間に設けられたコイルスプリング１４が円周方向
に捩れあるいは傾くことはない。
【００２１】したがって、この直動軸受は、軸４に軸方
向の往復動と円周方向の回転運動、あるいはそれらの組
み合わさった螺旋運動をすることができる。
向の往復動と円周方向の回転運動、あるいはそれらの組
み合わさった螺旋運動をすることができる。
【００２２】なお、上記実施の形態では、上記押さえリ
ング１５の回転の防止するのに、スプリングピン１７を
用いているが、スプリングピン１７の代わりに、蓋１３
と押さえリング１５とが互いに周方向に係合し、軸方向
に相対移動できるような凹凸係合部を設けてもよい。
ング１５の回転の防止するのに、スプリングピン１７を
用いているが、スプリングピン１７の代わりに、蓋１３
と押さえリング１５とが互いに周方向に係合し、軸方向
に相対移動できるような凹凸係合部を設けてもよい。
【００２３】また、上記実施の形態では、上記蓋１３と
コイルスプリング１４と押さえリング１５とを外輪１の
片側に設けているが、外輪１の両側に設けてもよい。
コイルスプリング１４と押さえリング１５とを外輪１の
片側に設けているが、外輪１の両側に設けてもよい。
【００２４】さらに、上記実施の形態では、上記保持器
３は、テフロン製であるが、押さえリングをテフロンで
形成してもよく、また、それらは摺動性に優れた砲金製
やベークライト製であってもよく、あるいは摺動性に優
れた材料をコーティングしたものであってもよい。
３は、テフロン製であるが、押さえリングをテフロンで
形成してもよく、また、それらは摺動性に優れた砲金製
やベークライト製であってもよく、あるいは摺動性に優
れた材料をコーティングしたものであってもよい。
【００２５】また、上記実施の形態では、弾性部材とし
てコイルスプリングを使用したが、波形板ばねまたは磁
石であってもよい。これらの弾性部材は簡単、安価かつ
コンパクトな構造であって、押さえリングを停止位置に
復帰させることがでがきる。
てコイルスプリングを使用したが、波形板ばねまたは磁
石であってもよい。これらの弾性部材は簡単、安価かつ
コンパクトな構造であって、押さえリングを停止位置に
復帰させることがでがきる。
【００２６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１の発明の直動軸受は、押さえリングを保持器に向けて
付勢する弾性部材を備え、上記押さえリングの回転を防
止する回転防止部材を備えているので、軸が外輪に対し
て回転し、保持器が押さえリングに対して回転しても、
押さえリングがつれ回るのを防止でき、したがって、軸
方向の往復動と、回転運動とを行うことができる。
１の発明の直動軸受は、押さえリングを保持器に向けて
付勢する弾性部材を備え、上記押さえリングの回転を防
止する回転防止部材を備えているので、軸が外輪に対し
て回転し、保持器が押さえリングに対して回転しても、
押さえリングがつれ回るのを防止でき、したがって、軸
方向の往復動と、回転運動とを行うことができる。
【００２７】請求項２の発明の直動軸受は、外輪に押さ
えリングが当接するストッパーを設けたので、押さえリ
ングの停止位置を定めることができる。
えリングが当接するストッパーを設けたので、押さえリ
ングの停止位置を定めることができる。
【００２８】請求項３の発明の直動軸受は、保持器また
は押さえリングの一方は他方に対して、摺動性が良い部
材でできているので、保持器は押さえリングに対して滑
らかに滑動できる。
は押さえリングの一方は他方に対して、摺動性が良い部
材でできているので、保持器は押さえリングに対して滑
らかに滑動できる。
【００２９】請求項４の発明の直動軸受は、上記弾性部
材はコイルスプリング、波形板ばねまたは磁石のいずれ
か１つであるので、簡単、安価かつコンパクトな構造で
もって、押さえリングを停止位置に復帰させることがで
がきる。
材はコイルスプリング、波形板ばねまたは磁石のいずれ
か１つであるので、簡単、安価かつコンパクトな構造で
もって、押さえリングを停止位置に復帰させることがで
がきる。
【図１】 本発明の一実施の形態の直動軸受の断面図で
ある。
ある。
【図２】 従来の直動軸受の断面図である。
１…外輪、 ２…ボール、 ３…保持器、 ４…軸、
６…段、１３…蓋、 １４…コイルスプリング、 １５
…押さえリング、１７…スプリングピン。
６…段、１３…蓋、 １４…コイルスプリング、 １５
…押さえリング、１７…スプリングピン。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山川 和芳 大阪府大阪市中央区南船場三丁目５番８号 光洋精工株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 外輪と、軸を往復動可能に上記外輪に支
持するための複数の転動体と、上記転動体を保持する保
持器と、上記外輪内に往復動自在に設けた押さえリング
と、上記外輪に固定された蓋と、上記押さえリングと上
記蓋との間に設けられて、上記押さえリングを上記保持
器に向けて付勢する弾性部材と、上記押さえリングの回
転を防止する回転防止部材とを備えていることを特徴と
する直動軸受。 - 【請求項２】 請求項１に記載の直動軸受において、上
記外輪には上記押さえリングが当接するストッパ−を設
けていることを特徴とする直動軸受。 - 【請求項３】 請求項１に記載の直動軸受において、上
記保持器または押さえリングの一方は、上記保持器また
は押さえリングの他方に対して摺動性が良い部材ででき
ていることを特徴とする直動軸受。 - 【請求項４】 請求項１に記載の直動軸受において、上
記弾性部材はコイルスプリング、波形板ばねまたは磁石
のいずれか１つであることを特徴とする直動軸受。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10025495A JPH11223217A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 直動軸受 |
| US09/243,792 US6203201B1 (en) | 1998-02-06 | 1999-02-03 | Linear bearing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10025495A JPH11223217A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 直動軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11223217A true JPH11223217A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12167653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10025495A Pending JPH11223217A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 直動軸受 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6203201B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11223217A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008082512A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Ckd Corp | 往復動装置 |
| TWI660812B (zh) * | 2016-11-24 | 2019-06-01 | 喜開理股份有限公司 | 吸附緩衝裝置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114412920B (zh) * | 2022-02-24 | 2024-02-09 | 西安航天动力研究所 | 一种具有游隙结构的多排滚珠直线旋转复合行程轴承 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54137542A (en) | 1978-04-18 | 1979-10-25 | Nachi Fujikoshi Corp | Stroke bearing |
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