JP6494459B2 - 振動分布測定方法及び振動分布測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、光ファイバを用いた振動センサによる振動分布測定方法及び振動分布測定装置に関する。

光ファイバ技術を用いた干渉型のセンサは種々のものが研究、開発されてきた。干渉型のセンサは光の位相変化を測定し、温度や歪など様々な物理量を高感度に測定することができる。例えば、測定物の保全、異常検知を目的とした、構造物に対する振動を検知する振動センサが考えられている。

分布センサ技術としては、光ファイバ内部の各点からの反射光を測定するものなどが研究されている。干渉型のセンサとしてはリング型のファイバでの振動検知方式が検討されている（例えば、非特許文献１、参照。）。

この方法では、リング型ファイバの両端から光を入射し、それぞれにおける振動等での位相変化時の変化量の違いを元に振動位置を検知するものである。この方法では位置が特定できるが、両端から光を入射する必要があり、また振動箇所を見つける方式なので、本質的に分布測定ではない。

反射光を測定するものとして、光ファイバでの光反射時間領域測定法（ＯＴＤＲ：Ｏｐｔｉｃａｌ Ｔｉｍｅ Ｄｏｍａｉｎ Ｒｅｆｌｅｃｔｏｍｅｔｒｙ）を用いたものが検討されている。この方法では光ファイバ内部の各点からの反射光を測定し、それぞれの反射光を受光した時間により反射位置を特定し、その反射光の位相から振動を検知する（例えば、非特許文献２、参照。）。

ただし、パルスの被試験ファイバへの入射は、最初に入れたパルスがファイバ遠端で反射されて戻ってくるまで待ってからでなければ次のパルスを入射できないため、測定時間が長くなる、その入射間隔よりも高速な状態変化は測定できないなどの課題がある。

Ｐ． Ｒ． Ｈｏｆｆｍａｎ， ｅｔ ａｌ， "Ｐｏｓｉｔｉｏｎ ｄｅｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎ ｏｆ ａｎ ａｃｏｕｓｔｉｃ ｂｕｒｓｔ ａｌｏｎｇ ａ Ｓａｇｎａｃ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ，" Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， ｖｏｌ．２２， Ｎｏ．２， Ｆｅｂｒｕａｒｙ， ２００４ Ｙ． Ｌｕ， ｅｔ ａｌ， "Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ ｖｉｂｒａｔｉｏｎ ｓｅｎｓｏｒ ｂａｓｅｄ ｏｎ ｃｏｈｅｒｅｎｔ ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ ｏｆ ｐｈａｓｅ−ＯＴＤＲ，" Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， ｖｏｌ． ２８， Ｎｏ． ２２， Ｎｏｖｅｍｂｅｒ， ２０１０

既存の振動センサにおいて、干渉を用いる方法では、振動検知が可能であるが、分布測定になっていない。分布測定を行う関連技術のＯＴＤＲの方法では、片端からのパルス入射で可能だが、ファイバ１往復分の時間ごとにしかパルスを入射できないため、測定できる振動の最大の周波数が往復時間以下の速度のものに限られてしまう。

前記課題を解決するために、本発明は、被試験光ファイバの長さに依存することなく、該光ファイバ中の高速な振動の周波数と位置を精度よく測定することができる光ファイバ振動センサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明では、光反射時間領域測定法（ＯＴＤＲ）を用い、光ファイバ内部の各点からの反射光の位相変化から振動の長手方向分布を測定する方法において、試験光として、所望の測定周波数範囲の最大値の逆数以下の時間間隔を有する互いに周波数の異なるパルス列を用いる。

具体的には、本発明に係る振動分布測定方法は、
複数の被試験光ファイバからの後方散乱光の反射率分布を測定する振動分布測定方法において、
光源がコヒーレント光を発する発光手順と、
前記光源からの出力光を２分岐して局発光と試験光とを生成する分岐手順と、
前記試験光の周波数を予め定めた時間間隔ごとに周波数を変化させる光周波数制御手順と、
光サーキュレータが前記光周波数制御手順で周波数を変化した試験光を前記被試験光ファイバに入射し、前記被試験光ファイバの各地点で発生した前記後方散乱光を取り込み出力する光出力手順と、
前記光サーキュレータで出力した前記後方散乱光と、前記分岐手順で生成した前記局発光とを光結合し光信号として出力する光結合手順と、
前記光信号を光受信して電流信号を取得する光受信手順と、
前記電流信号を数値化する数値化手順と、
前記数値化手順で数値化した電流信号を数値演算処理によって複数の周波数成分毎に分離し、前記試験光の複数の周波数成分による前記被試験光ファイバからの後方散乱光のそれぞれの位相分布を測定する演算処理手順と、を行い、
前記光周波数制御手順において、
予め定めた測定周波数範囲の最大値の逆数以下の時間間隔を周波数の異なる試験光の間に設定し、前記時間間隔を有するパルス列を構成し、
前記演算処理手順において、
前記光周波数制御手順で構成されたパルス列を有する試験光が入射された前記複数の被試験光ファイバからの各受光時間ごとの後方散乱光のそれぞれの位相分布波形を比較し、比較結果から前記被試験光ファイバの各地点からの後方散乱光の位相の変化量を抽出して前記被試験光ファイバの振動位置と前記振動位置の周波数を検出する。

本発明に係る振動分布測定方法では、
前記光周波数制御手順は、
周波数の異なる試験光の間の時間間隔において、利用するすべての試験光の周波数と、それぞれのパルス列の幅による周波数範囲の全てと重ならない周波数の補填光で埋めることにより、入射試験光全体の中での光強度の変化をなくし、測定誤差へつながる光ファイバ中の非線形現象を防いでもよい。

本発明に係る振動分布測定方法では、
前記演算処理手順は、
前記被試験光ファイバの各地点からの後方散乱光の時間変化から振動周波数を計算する場合、入射した試験光において一つのパルス列中の周波数の異なる試験光のパルスからの後方散乱光を比較するとともに演算処理し、演算値が他の周波数の試験光による後方散乱光の演算値と予め定められた閾値を超過する場合に前記演算値の後方散乱光を除外又は２πの倍数の補正処理を行うことにより、後方散乱光の位相が２πの倍数だけ不定なことによる演算結果のずれを補正してもよい。

本発明に係る振動分布測定方法では、
前記光周波数制御手順は、
予め定められた周波数範囲の試験光パルス列を連続して入射する場合、周波数範囲が繰り返されるタイミングごとに異なる長さの時間間隔を加えることにより、入射する試験光パルス列の周波数の繰り返し間隔を不等間隔にし、前記数値演算処理により周波数分離をして、前記被試験光ファイバの各地点からの後方散乱光の時間変化を計算する際に、それぞれの試験光の周波数に依存した周波数成分が等間隔で繰り返されることを防ぎ、振動周波数の計算に対して、振動とは関係のない周波数成分が現れるのを防いでもよい。

本発明に係る振動分布測定方法では、
前記光周波数制御手順は、
入射する試験光への周波数変調の順番をランダムにする制御指示を前記演算処理手順に対し行うことにより、前記演算処理手順における数値演算処理により周波数分離をして、前記被試験光ファイバの各地点からの後方散乱光の時間変化を計算する際に、それぞれの試験光の周波数に依存した周波数成分が等間隔で繰り返されることを防ぎ、振動周波数の計算に対して、振動とは関係のない周波数成分が現れるのを防いでもよい。

本発明に係る振動分布測定方法では、
前記演算処理手順は、
被試験光ファイバの各地点からの後方散乱光の時間変化の波形において、短時間離散フーリエ変換処理でスペクトルの時間変化を計算することにより、前記被試験光ファイバ中の時間的に一定ではない振動の非定常的な時間変化を、前記被試験光ファイバ中の各地点で測定してもよい。

具体的には、本発明に係る振動分布測定装置は、
複数の被試験光ファイバからの後方散乱光の反射率分布を測定する振動分布測定装置において、
コヒーレント光を発する光源と、
前記光源からの出力光を２分岐して局発光と試験光とを生成する分岐部と、
前記試験光の周波数を予め定めた時間間隔ごとに周波数を変化させる周波数変調部と、
前記周波数変調部で周波数を変化した試験光を前記被試験光ファイバに入射し、前記被試験光ファイバの各地点で発生した前記後方散乱光を取り込み出力する光サーキュレータと、
前記光サーキュレータで出力した前記後方散乱光と、前記分岐部で生成した前記局発光とを光結合し、光結合した光信号を電流信号に変換するバランスフォトディテクタと、
前記電流信号を数値化し、数値化した電流信号を数値演算処理によって複数の周波数成分毎に分離し、前記試験光の複数の周波数成分による前記被試験光ファイバからの後方散乱光のそれぞれの位相分布を測定する計算処理部と、を備え、
前記周波数変調部は、
予め定めた測定周波数範囲の最大値の逆数以下の時間間隔を周波数の異なる試験光の間に設定し、前記時間間隔を有するパルス列を構成し、
前記計算処理部は、前記周波数変調部で構成されたパルス列を有する試験光が入射された前記複数の被試験光ファイバからの各受光時間ごとの後方散乱光のそれぞれの位相分布波形を比較し、比較結果から前記被試験光ファイバの各地点からの後方散乱光の位相の変化量を抽出して前記被試験光ファイバの振動位置と前記振動位置の周波数を検出する。

なお、上記各発明は、可能な限り組み合わせることができる。

本発明によれば、被試験光ファイバの長さに依存することなく、該光ファイバ中の高速な振動の周波数と位置を精度よく測定することができる光ファイバ振動センサを提供することができる。

本実施形態１に係る光ファイバ振動センサのブロック図の一例を示す。 本実施形態に係る光ファイバ振動センサで用いるパルス列の模式図の一例を示す。 受信信号の短時間離散フーリエ変換後のスペクトルの一例を示す。 周波数多重されたＯＴＤＲ波形の一例を示す。 受信される順番に並び替えた多重化ＯＴＤＲ波形の一例を示す。 並び替えたＯＴＤＲ波形の各地点における散乱光の時間変化の一例を示す。 並び替えたＯＴＤＲ波形の各地点における散乱光の時間変化のスペクトルの一例を示す。 並び替えたＯＴＤＲ波形の各地点からの散乱光の時間変化で誤差を含む点を修正する方法の一例を示す。 散乱光の周波数の繰返し周期を等間隔にしないための試験光パルス列の構成の一例を示す。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、以下に示す実施形態に限定されるものではない。これらの実施の例は例示に過ぎず、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。

（実施形態１）
図１は本発明の測定方法を採用する本実施形態に係る振動分布測定装置として機能する試験装置を示すブロック構成図である。１１はコヒーレント光を発する光源である。分岐部１２で光源１１からの光を分岐し、片方を周波数変調部１３で周波数を変調し、光増幅器１４で増幅する。この増幅された周波数変調光は光サーキュレータ１５を通して被試験光ファイバ１６へ入射される。

被試験光ファイバ１６からの散乱光、反射光が光サーキュレータ１５に戻ってきて、前記分岐部１２で分岐されたもう一方の光と合波され、バランスフォトディテクタ１８で受光される。受光された信号は数値化装置１９によりデジタルデータに変換され、計算処理部２１で数値計算処理される。周波数変調部１３の制御、測定のタイミング制御をタイミング制御信号発生器１７で行う。

以下に説明する方法により、被試験光ファイバ１６に加わった振動の周波数と位置を特定する。図１の構成で測定を行うと、以下の式（１）に示すように電流ｉが測定される。Ｃは受光器による定数、Ｅ_ｌは参照光の電界である。ｎは周波数多重させた多重数、ｔは時間、Ｔは周波数多重させた各周波数のパルスの時間間隔、Δｆは周波数多重の周波数間隔（ｆｉ＋１−ｆｉ）である。

図２に入射する試験光のパルス列の模式図を示す。Ｔの間で、実際に散乱光を受信するのは幅Ｗの試験光であり、Ｔ−Ｗの時間存在するｆ０の周波数の光は、その間試験光がないと試験光全体でのパワーの変動により、試験光入射時に非線形現象が発生し、周波数変調への雑音となることを防ぐために埋めている。

また、このように試験に使わないｆ０の光である補填光を埋めることで、実際の試験光の変調において、ＳＳＢ変調器などの周波数変調手段１つのみで済み、強度変調器などの追加の物品を使わなくて済むというメリットもある。式（１）に示すＥｒ（ｔ）は、被試験光ファイバ１６の各点からの反射光及び後方散乱光の電界である。周波数多重させた光に対し時間差をつけて入射しているため、それぞれについて、（ｔ−（ｉ−１）Ｔ）の遅延がある。

一般的に、光ファイバに振動が加わると、加振部の長さが微小に変動する。この長さの変動が光の通過時間に遅延を与え、それにより光の位相が変化する。これは一般的な光位相変調器と同じ原理である。

厳密にはこの位相の変化量は光の周波数により変化するが、本発明で与える周波数変調は、大きくてもＧＨｚ程度のオーダーであり、光の搬送波が本来持っている２００ＴＨｚに比べて非常に小さいため、この周波数変調による位相変化の違いは無視できる。

このため、周波数を変えた光を多重させてもそれらの位相変化は全て同じとみなすことができる。したがって、この複数の周波数の光の位相変化により振動を検知できる。なお、本発明での測定では、光の位相を測定するため、光源１１のコヒーレンス長よりも長いファイバの場合、スペクトルが広がり位相測定が困難になる。そのため、光源１１のコヒーレンスがファイバ長の限界を決定する。

また、上記はバランスＰＤで受信した交流信号を測定しているが、このとき、光９０°ハイブリッド回路を用いるか、受信したデータをヒルベルト変換するなどして、交流信号の複素振幅と位相を測定することにより、以下の処理の精度を上げることも可能である。

この受信された電流波形に対して、ある時間幅ごとに区切り、短時間離散フーリエ変換を行う。短時間離散フーリエ変換によって計算された値は一般的に複素数であるため、この計算結果の複素数の振幅を並べれば、図３のようなスペクトルが各測定時間について計算できる（この最初の周波数成分に分解する短時間離散フーリエ変換をＦＦＴ（１）と呼ぶことにする。）。

このとき、例えば１．２５Ｇ／ｓのサンプリング速度で受信した波形に対して、１２５点ずつ短時間離散フーリエ変換の計算をすると（１００ｎｓ）、１０ＭＨｚの分解能となる。このとき、横軸に設定した各変調周波数での値を、各時間での値で並べていくと図４のような遅延を持ったいわゆるＯＴＤＲ波形が繰り返される波形となる（ｎ個の周波数多重で、それぞれの周波数でｍ個の波形を受信したとしている。また、Ａは下記で説明する波形を区別するための名前である。）。

しかし、光ファイバの振動は一般的に光損失を伴わず、ファイバ中の光に対して位相変調を及ぼすだけである。したがって短時間離散フーリエ変換の計算結果の複素数の振幅ではなく、位相を計算する必要がある。

短時間離散フーリエ変換の計算結果の複素数の位相は、物理的には、その周波数の光の計算範囲での初期位相を表し、短時間離散フーリエ変換で求められる位相の時間変化はその周波数の光の、その周波数そのものには依存しない光の位相変化を表し、本発明で求める振動による位相変調を検出することに適した物理量である。

次に、図４のように計算されるそれぞれの周波数の試験光による散乱光の波形群を並べ替える。並べ替える具体的な方法について説明する。入射する試験光のパルス列の数をｍとする。測定時間は、被試験光ファイバ長をＬ、光ファイバ中の光速をｖとすると、以下の式（２）に示す関係を有する。

このとき、それぞれの周波数の光試験パルスによるＯＴＤＲ波形は一つの周波数につきｍ個となり、周波数がｎ個多重されているため、ＯＴＤＲ波形はｎ×ｍ個測定できる。この波形それぞれに対して、

と名前をつける。

このとき、各周波数が時間的に順番にＴの間隔で入射されるため、Ａ_ｉｊとＡ_{（ｉ＋１）ｊ}は、Ｔの時間差でＡ_{（ｉ＋１）ｊ}の方が遅い。また、パルス列が繰り返されて入射されるため、Ａ_ｉｍとＡ_{（ｉ＋１）１}はＴの時間差でＡ_{（ｉ＋１）１}の方が遅い。このように考えると波形の順番は、

という順番になり、それぞれの間隔は等間隔でＴとなる。

通常ＯＴＤＲ波形では、散乱位置と散乱時間が一対一の関係があるが、本発明では、この並べ替えをした時点で、散乱位置と散乱時間が独立としたものと考えることが可能になる。また、それぞれの波形のもととなる試験光の周波数も波形を識別するためのパラメータのみの意味になる。この様子を図５に示す。

この波形の並べ替えにより、被試験光ファイバ１６のある位置からの散乱光がＴという時間間隔でサンプリングされ、それが被試験光ファイバ１６のあらゆる位置について測定できているということになる。図５ではイメージをわかりやすくするため、短時間離散フーリエ変換の結果の複素数の振幅、つまり散乱光の振幅で書いているが、実際の振動の計算では、複素数の位相によって波形を計算する。

複素数の位相は２πの倍数の不定性があるが、振動による位相変調は、散乱光の周波数による位相とは関係なく加わるため、２πを超えた位相の動きを正しく計算する必要がある。そして、散乱光の位相はその散乱光を発生させる試験光の周波数にも依存する。

したがって、２πを超える位相を計算するための位相接続を、試験光のそれぞれの周波数で別個に処理する必要がある。具体的には、図５のｎ×ｍ個の波形の中から、例えばｆ１の周波数の試験光による波形Ａ１ｊ（ｊ＝１〜ｍ）を抽出する。この波形は当然ｍ個ある。

このｍ個の波形において、振動による影響を受ける位相の変化を正しく検出するためには、ある一定の位置からの散乱光の位相の連続性が重要であるため、ある散乱位置での位相の時間変化に対して、位相接続の処理が必要となる。つまり、Ａ１１（ｚ）〜Ａ１ｍ（ｚ）のｍ個の点で位相接続を行う。

ここでいう位相接続処理は具体的には、π以上の変化に対して、２πの補正を加えてπ以上の変化をなくした上で、±２π以上の値を位相が持つようにする処理であり、ｘ（ｉ）（ｉ＝１〜Ｎ）という位相列が位相接続によりｙ（ｉ）という位相列に変化すると、以下の式（３）に示す処理である。ここで、

は、ｘ以下の最大の整数という意味である。

この処理を被試験光ファイバ１６のすべての点の波形において行い、それらの値による波形を再び図５の順番に戻す。そして、この処理をすべての試験光の周波数において行う。この処理により、散乱光の位相を正しく評価することが可能となる。以下の説明はこの処理を行った位相に対して行う。

図５のある散乱位置ｚ_１での各Ａの値を時間軸方向に並べると図６のようになる。各Ａの点がＴ間隔で並ぶ。この波形をＦＦＴすると、スペクトルが計算される。もしこのスペクトルにおいて、図７のようにある強さを持ったピークなどが検出されると、それはこの散乱位置において、その周波数の振動が加わっていることを意味する。この振動の周波数を計算するＦＦＴをＦＦＴ（２）と呼ぶことにする。

また、上記の処理において、位相の変化量が振動として検出されるため、位相接続後の位相ではなく、その時間変化（Ａ１１（ｚ）〜Ａ１ｍ（ｚ）を時間波形とみなしたときの時間微分）を図５のように並べてもよい。また、パルスの往復で測定する本測定では、振動の位置より先から散乱される光は振動を２回受けるため、位相変調を２回受けることにより、ある程度の大きさで図７のようなピークを持つ。

これは、厳密な振動位置の測定の誤差になる可能性があるため、図７で求まった振動スペクトルを並べて距離方向の分布を求める場合、距離方向で微分して振動スペクトルの大きさの変化量として分布測定をすることで、振動が加わった位置を際立たせることが可能である。

以上の処理により被試験光ファイバ１６に加わっている振動を、その振動による試験光の位相変調という形で測定することが可能である。このときの測定できる振動の周波数の最大値は、各位置での散乱光のサンプリング速度Ｔ（サンプリングレート１／Ｔ）に依存し、つまり試験光パルス列の周波数多重させたパルスの間隔で決まる。

通常のＯＴＤＲでは、一つのパルスの往復時間２Ｌ／ｖの間隔が最低必要であったが、本発明の方法では、それよりも十分早く、かつ被試験光ファイバ長Ｌに依存しない、Ｔでサンプリングすることが可能であり、より高速な振動を測定することが可能である。

また、関連技術に係るＯＴＤＲでは、散乱光の大きさの変化を測定するために、雑音よりも十分大きなパワーの散乱光が必要であるため、平均化処理による信号対雑音比の改善が必要であった。しかし、本発明では散乱光の位相のみを利用するため、散乱光が少しでも雑音の大きさよりも大きければ十分に位相を測定可能であり、また位相に対する雑音の影響はそれなりにあるが、一般的に雑音は白色雑音のような、測定される周波数範囲で一定の値の雑音とみなせる。

このため、測定される位相に雑音は含まれているが、それらはどの周波数においても定数のようなものであるため、位相の変化を測定する本発明では無視することが可能である。したがって、ＯＴＤＲに必須である平均化を全く行わなくても測定することが可能である。

次に、具体的なパラメータの設計等について説明する。まず、測定する際の距離分解能Δｚは、以下の式（４）となる。このときＦＦＴ（１）での計算範囲をこのΔｚよりも広くしてしまうとその分、距離分解能は劣化する。このため、ＦＦＴ（１）での計算範囲、つまりは測定されるデジタルデータのポイント数を小さくすればよいが、のちに説明する振動の周波数を測定するときの条件から制限が加わる。

本発明の方法では、周波数多重により、最初に入射した周波数の試験光が戻ってくる前に次の周波数の光を次々と入射できることが利点であるが、その周波数の数は、その数だけ試験光がファイバ内に収まる数でなければならない。その数に足りないと、同じ周波数の試験光がファイバ内に２つ存在して混ざってしまうからである。

このため、以下の式（５）となる。したがって、ＦＦＴ（１）で周波数分離するときには、最低でもこの数の周波数成分に分解できなければならない。信号受信のサンプリングレートをＳ、ＦＦＴ（１）するデータのポイント数をＮとすると、ＦＦＴ（１）で周波数分解するときの周波数の最大値は、Ｓ／２となり、分解されたスペクトルの周波数間隔は、Ｓ／Ｎとなる。

ここで、データ数の関係から、以下の式（６）〜（８）に示す関係である必要がある。また、入射する試験光のそれぞれの周波数の間隔は測定したい振動の周波数の２倍以上離れていなければならない。なお、ｋは任意の正の整数を示す。

振動よりも小さい間隔の場合、振動により各試験光のビート周波数の並びが入れ替わり、識別ができなくなる。測定したい振動の最大値をｆ_ｖｍａｘとすると、以下の式（９）の関係式として示すことができる。

一方、各地点からの散乱光はＴごとの時間変化を取得できることになるため、このＴずつの時間変化よりも早い振動は測定できない。この条件により、ｆ_ｖｍａｘは、以下の式（１０）の関係式を示すこととなる。

変調されたパルスはその時間幅Ｗによりスペクトルに幅がある。このそれぞれのパルスのスペクトルが重なると、各周波数の散乱光が混ざり分離ができなくなるため、以下の式（１１）の関係式を満たすことが必要である。

式（１１）とＷ＜Ｔであることを用いて、式（９）と式（１０）を比べると、式（１２）を示す関係であるため、測定できる最大の振動周波数の条件は、式（１０）のみとなる。また、式（１１）と式（４）より、以下に示す式（１３）を満たすようにΔｆを設定することになる。測定する波形の個数ｍは図７の振動のスペクトルの分解能１／（Ｔ×ｎ×ｍ）にのみ影響を与える。つまりどれだけ細かく振動の周波数を求めたいかによって決まる。

以上により、測定ファイバＬと測定したい距離分解能Δｚ、測定したい振動の最大周波数ｆ_ｖｍａｘを決めると、式（４）より各周波数のパルスの時間幅、式（１０）より多重させるパルスの時間間隔、式（５）より変調させる周波数の数、式（１３）より変調する周波数の間隔、式（８）より受信するサンプリングレート、式（６）及び（７）より、ＦＦＴ（１）する点の数、各パラメータの条件が決まる。

例えば、ファイバ長Ｌ＝５ｋｍ、距離分解能Δｚ＝１０ｍ、測定したい振動の最大値を１００ｋＨｚとするとｗ＝１００ｎｓ、Ｔ≦５ｕｓ、ｎ≧１０、Δｆ≧２０ＭＨｚ、Ｓ≧４００ＭＳ／ｓ、Ｎ≧２０となる。このように設計したパラメータで上記の測定、処理を行うことで、被試験光ファイバ１６上の振動の周波数と位置を測定することができる。

（実施形態２）
実施形態１の測定と信号処理をする際に、図６に示すような、ある位置での散乱光の位相を時間的に並べた波形では、それぞれの散乱を起こす変調周波数は計算上どの値にも影響しないはずではあるが、そもそもの光の周波数が異なるため、その変調周波数に依存した影響を完全には除去することはできない。

したがって、わずかでも変調周波数に依存した影響が存在することで、図６の点は、ｎ点ずつ同じような傾向を持つ繰り返しになる成分が存在する。このため図６の波形をＦＦＴ（２）した図７の波形は、１／ｎＴの周波数とその倍数の周波数の成分がスペクトルのピークとして存在する（このピークを繰り返し周波数ピークと呼ぶことにする）。

振動によるスペクトルピークに対してこの繰り返し周波数ピークがどの程度の値になるかはその時の振動によるが、振動の周波数が繰り返し周波数ピークの周波数に等しい場合に正しく検出できない、繰り返し周波数ピークの周波数に振動がなくても振動があると誤検出するなど、この繰り返し周波数ピークは大きな誤差になり得る。

この繰り返し周波数ピークの影響を除去するための、実施形態１の処理に更なる修正を加える方法を説明する。大きく分けて３つの方法がある。ここでは１つ目の方法について説明する。実施形態１の測定と信号処理をする際に、試験光パルスの変調した周波数それぞれの波形において、位相接続の処理を行うが、位相の２πの不定性が完全に除去できるわけではない。

本発明での位相接続はπ以上の変化に対して補正を加えてπ以下の動きになるようにしているため、例えば、本当にπ以上の動きがあった場合に誤った２πの補正を加えることになる。また、例えば２つの点の間で位相が１回転以上している場合、その回転数は検出できず、２πの補正が誤って加わってしまうことになる。

この不定性は本質的には除去できず、また本発明での位相接続はそれぞれの変調周波数での波形ごとに行うため、この位相接続による誤差はそれぞれの変調周波数ごとに異なる傾向を示すことになり、この周波数依存性が上記の繰り返し周波数ピークを発生させる原因となる。この位相接続の不確定性による誤差は、時間的に近傍の点と比較することにより不自然な値をする場合に更なる補正をすることで修正することが可能である。

図５の、各波形を正しい時間的順番で並べたものから、ある一定の散乱位置の点を抽出する。この抽出された波形は、図６のように各波形からの点が並ぶ。この中で、それぞれの周波数の波形ｍ個のうち、ｋ番目の波形から抽出された点ｎ個を比較する。具体的には、Ａ１ｋ（ｚ）〜Ａｎｋ（ｚ）のｎ個の点である。

このｎ個の点は時間的間隔Ｔでサンプリングされた、同じ点ｚからの散乱光の位相である。ただし、それらはそれぞれの周波数での波形Ａｉｊ（ｚ）（ｊ：１〜ｍ）の点で位相接続された点のｊ＝ｋの点である。位相接続をそれぞれの周波数の波形で行ったことにより、具体的な位相の値はその周波数により異なる。

この異なるというのは、振動による変化以外の違いが存在するという意味である。物理的にはこのｎ個の点はＴごとにサンプリングされた点であり、１／Ｔよりも高速で振動している場合でも、または、極端に遅い、もしくは振動が加わっていない場合でも、このｎ個の点は一定、もしくは同じような値の繰り返しに近い値になるはずである。

したがって、ｎ個の点の中のある一つの値を選び、その値以外のｎ−１個の値からもっともらしい範囲を求めたときに、その除外した１点がそこから逸脱した値であった場合、その値が正しい位相の値である可能性は非常に低い。

以上の考えを用いて修正する方法を説明する。このｎ個の点で、まず、Ａ１ｋ以外のＡ２ｋ〜Ａｎｋのｎ−１個の点で、例えば、平均と標準偏差を計算し、平均±３×標準偏差の範囲を求める。この３という数字は正規分布の場合で利用される値であり、本発明でのｎ点は正規分布ではないが、明らかに不自然な値を検出するためとしては大きく誤った値ではない。

このもっともらしい範囲を計算する手段は統計学での様々な計算が利用できるもので、上記の平均±３×標準偏差に限ったものではない。そして、除外していたＡ１ｋの点がこの範囲にあるかどうかを比較し、入っていなければ、このＡ１ｋの点に対して、範囲に入るよう２πを加えるか引くかする、もしくは０にするなどの処理をする。

この処理により、ｎ個の点が大きくばらつくことはなくなる。したがって、この処理によりほかのｎ−１点の平均の範囲外にある点を補正、削除することで、２πの倍数の不定性に由来するような大きな変化を除外することが可能であり、これをすべてのｎ点の組で行うことで、周波数に依存する位相の変化を低減させることができる。

この様子を図８に示す。図８ではＡ３ｋが著しくずれた値であった場合の図である。この処理を実施形態１の処理中に行うことで位相接続による周波数依存成分を低減して繰り返し周波数ピークを低減することができる。ここで、上述した著しくずれた値は、図８に示すようにＡ３ｋ以外のｎ−１点の平均と標準偏差から求まる範囲αを閾値として用いることで、当該閾値と比較しずれの可否を判断してもよい。

（実施形態３）
繰り返し周波数ピークを低減させる２つ目の方法について説明する。図６のある点からの散乱光の位相の時系列波形において、変調周波数が異なる点が同じ順番かつ等間隔で現れるために、周波数依存成分の繰り返しがスペクトルに現れる。したがって、周波数依存成分を低減するのではなく、それらが等間隔ではないようにする方法である。

試験光は図２の周波数の順番でｍ回、被試験光ファイバ１６へ入射される。この時、Ｔの間隔のｎ点がｍ回繰り返されることで、１／ｎＴの周波数が図６の波形に存在する。したがって、ｍ回の入射する際にそれぞれの間に少しずつ値の異なる時間差をつける。

例えば１回目のパルス列の後は何も挟まず、２回目の後にはΔｔだけｆ０の時間を追加する。３回目の後には２Δｔだけ時間を追加する。このように、ｍ個の波形の間が非等間隔の時間差をつける。このとき、例えばΔｔをＷ／２やＷなどのＷの倍数、約数の値にするとサンプリングレートなどの調整がしやすくなり、計算量はそれほど変わらない。

また、全体で増える測定時間は（ｍ−１）Δｔ×ｍ／２であるため、Ｗと共に小さい値に設定すれば測定時間などへの影響も小さくすることが可能である。この処理を行えば、図６の波形で、ｎ個の周波数によるｎ点は等間隔ではなくなるため、繰り返し周波数ピークを低減させることができる。この説明では、Δｔずつ増やしていく方法を用いたが、この非等間隔の時間遅延の加え方はどの間隔も同じでないのであればどんな間隔でもよい。

乱数を用いたランダムな値でもよい。同じでないことのみが条件である。以下の説明では簡単のため、上記のようなΔｔずつ周期が増える方法について説明する。パラメータは、実施形態１だけの処理でも、式（８）と式（１１）より、式（１４）で示すことができる。

このため、ΔｔをＷ程度としておけば、十分にその時間差を識別できる速度でサンプリングが可能である。そして、図５のようにそれぞれの波形を並べる際に、波形がない時間も０としてデータを用いる。

実施形態１では、図５の時間軸上の点の数はｎ×ｍ個であったが、本実施形態では、時間差を識別するため、Δｔずつ点（ほとんどが０）を加える。つまり時間Ｔごとにあった点の数を時間Δｔごととする。全体で増える時間は上記のとおり、（ｍ−１）Δｔ×ｍ／２であるため、ある位置での時間軸上の点の数は、ｎ×ｍ×Ｔ／Δｔ＋ｍ（ｍ−１）／２となる。

そして、増えた分の点ｎ×ｍ×（Ｔ／Δｔ−１）＋ｍ（ｍ−１）／２は全て０である。サンプリングレートが１／Ｔから１／Δｔに増えるため、ＦＦＴして得られる図７の周波数範囲が広くなるが、その分点の数も増えるため、図７のスペクトルの周波数分解能は変わらず、また、増えている点の値は０であるため、計算したい振動の周波数に対してこの０の点が影響を与えることはほとんどない。

また、目的通り、変調周波数依存成分の繰り返しは等間隔ではなくなるため、その成分によるスペクトルもなだらかで低いものとなり、繰り返し周波数ピークを低減できる。この実施形態での入射試験パルス列を図９に示す。

ｋ番目のパルス列に（ｋ−１）Δｔの遅延時間を加える上記の場合のパルス列を表している。この処理を実施形態１の処理中に行うことで変調周波数の繰り返しによる周波数依存成分を低減して繰り返し周波数ピークを低減することができる。

（実施形態４）
繰り返し周波数ピークを低減させる３つ目の方法について説明する。図６のある点からの散乱光の位相の時系列波形において、変調周波数が異なる点が同じ順番かつ等間隔で現れるために、周波数依存成分の繰り返しがスペクトルに現れる。したがって、周波数依存成分を低減するのではなく、それらが等間隔ではないようにする方法の２つ目である。

本実施形態では、図２の周波数の順番ｆ１〜ｆｎをｍ個のパルス列それぞれでランダムとする。こうすることで、図６のそれぞれの点のもととなる変調周波数が決まった順番ではなくなるため、変調周波数の繰り返しによるピークを低減させることが可能である。ただし、この発明での測定では、同じ変調周波数の試験光が被試験光ファイバ１６に２つ入射されてはならない。

したがって、ｎ個の周波数を完全ランダムな順番にすると、あるパルス列で最後に入射した周波数が、次のパルス列の先頭の周波数としてあらわれ、前のパルス列の最後で入射された試験光がまだ被試験光ファイバ１６に残っている状態で同じ周波数の試験光が入射されてしまうことになる。

このことを防ぐために、変調周波数の数ｎ’を（２）式で求められる条件の２倍以上、つまり式（１５）で示す関係を満たす必要がある。そして、ｍ個のパルス列を入射する際に、ｍが奇数の時はｆ_１〜ｆ_ｎ、ｍが偶数のときはｆ_ｎ＋１〜ｆ_２ｎの周波数に変調するという変調の順番とすれば、同じ周波数が被試験光ファイバ１６に２つ入射されることはない。

その他のパラメータの計算も、ｎから、２ｎに変えればよく、主にサンプリングレートＳとＦＦＴ（１）のポイント数を増やすことで対応可能である。図４の波形から図５の波形に並べ替えるときは、ランダムな順番なので、散乱光を受信した後で初めて変調の順番を知る場合は振幅波形での立ち上がりから各周波数の波形の順番を測定し、どのような順番又は、どのような周波数変調で行ったかを求めることにより正しい並べ替えが可能である。

また、別な計算であらかじめランダムな順番をｍ個決めておく場合は、その順番で変調を起こして、散乱光の順番を計算しておく、などの処理で適切に図５のように並べ替えることが可能である。

この処理により、変調周波数依存成分の順番はバラバラになるため、そのくりかえしによるスペクトルは非常に弱くなり、繰り返し周波数ピークを低減できる。この処理を実施形態１の処理中に行うことで変調周波数の繰り返しによる周波数依存成分を低減して繰り返し周波数ピークを低減することができる。

（実施形態５）
実施形態１〜実施形態４は、被試験光ファイバ１６に加わっている振動が定常的なものである場合の測定方法である。本実施形態では、非定常的な振動が被試験光ファイバ１６に加わった場合に、その周波数、位置、時間を検出する方法について説明する。図６を求めるところまでは実施形態１〜４と同じである。

本実施形態ではそのあとの処理が変わる。図６の時系列波形をＦＦＴする際に、全体ではなく、短時間離散フーリエ変換を行う。図６の波形はサンプリングレートが１／Ｔ、実施形態３の周期を非等間隔にする方法を用いるのであれば、１／Δｔとなる。そして図６のポイント数は、実施形態１ではｎ×ｍ、実施形態３の方法（説明したようにΔｔずつ周期が増える方法）を用いる場合は、ｎ×ｍ×Ｔ／Δｔ＋ｍ（ｍ−１）／２である。

この場合に、Ｍ点ずつ短時間離散フーリエ変換を行ったとすると、実施形態１の方法だけの場合では、各点のスペクトルは１／ＴＭの分解能で、１／２Ｔまでの周波数が測定され、時間分解能はＭＴで、時間軸上の点の数がｎｍ／Ｍとなる。実施形態１に記載の数値の例で、Ｔ＝５ｕｓ、ｎ＝１０とし、例えばｍ＝１００、Ｍ＝１００とすれば、各点のスペクトルの分解能は２ｋＨｚ、最大１００ｋＨｚ、時間分解能５００ｕｓで、点の数が１０点となる。

実施形態３の周期を非等間隔にする方法を用いて、Δｔ＝Ｗとする場合は、各点のスペクトルの分解能は１／ＷＭで、時間分解能は、ＭＷで、時間軸上の点の数が（ｎｍ×Ｔ／Δｔ＋ｍ（ｍ−１）／２）／Ｍとなる。実施形態３の値の例でＴ＝５ｕｓ、Ｗ＝１００ｎｓ、ｎ＝１０とし、ｍ＝１００、Ｍ＝１００００とすると、各点のスペクトルの分解能は１ｋＨｚで、時間分解能は１ｍｓ、点の数が５〜６点となる。

時間軸上の点の数が少なくなるが、短時間離散フーリエ変換を行う点Ｍの重なりを許容してシフトさせていけば、点の数を増やすことは可能である（総測定時間を変えず、各点が含む時間幅を変えず、その点が含む時間の範囲を少しずつ変えることを意味する。）。以上の処理により、被試験光ファイバ１６に加わっている振動が時間的に一定でない場合もその加わっている時間、周波数、位置を精度よく計算することができる。もちろん実施形態１〜４の処理を随時加えて精度を上げることも可能である。

なお、本発明は、上記実施形態例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態例に開示されている複数の構成要素の適宜な組合せにより種種の発明を形成できる。例えば、実施形態例に示される全構成要素からいくつかの構成要素を削除しても良い。更に、異なる実施形態例に亘る構成要素を適宜組み合わせても良い。

ここで、本実施形態に係る振動分布測定装置の動作例を以下に示す。具体的には、被試験光ファイバ１６からの反射光及び後方散乱光の反射率分布を測定する振動分布測定装置において、コヒーレント光を発する光源１１と前記光源１１からの出力光を２分岐して局発光と試験光とを生成する分岐部１２による分岐手順と、前記試験光の周波数を所定の時間間隔ごとに周波数を変化させる周波数変調部１３による光周波数制御手順と、前記光周波数制御手順の出力を光増幅し、前記試験光を被試験光ファイバ１６に入射し、前記被試験光ファイバ１６の各地点で反射または散乱により発生した後方散乱光を取り込み出力する光サーキュレータ１５による光出力手順と、前記後方散乱光と前記局発光を光結合するとともに、前記光結合された光信号を光受信して電流信号を取得するバランスフォトディテクタ１８による光受信手順と、前記電流信号を数値化し、数値演算処理によって複数の周波数成分毎に分離する計算処理部２１による周波数分離手順と、前記試験光の複数の周波数成分による被試験光ファイバ１６からの反射光及び後方散乱光それぞれの位相分布を求める計算処理部２１による演算処理手順とを具備し、計算処理部２１は、各受光時間ごとの前記複数の被試験光ファイバ１６からの反射光及び後方散乱光それぞれの位相分布波形を比較し、被試験光ファイバ１６の各点からの反射光及び後方散乱光の位相の変化量から光ファイバの振動位置とその振動の周波数を検出してもよい。

本実施形態に係る前記記載の振動分布測定装置において、タイミング制御信号発生器１７によるタイミング制御信号発生手順をさらに備え、タイミング制御信号発生器１７が周波数変調部１３に対し、所望の測定周波数範囲の最大値の逆数以下の時間間隔を周波数の異なる試験光の間に設定して、周波数が異なる試験光で間隔があるパルス列を構成することとしてもよい。この構成により、被試験光ファイバ１６の各点での散乱光の時間変化を、被試験光ファイバ長に依存しない、前記周波数範囲の最大値を測定できる速度でサンプリングすることが可能である。

本実施形態に係る前記記載の振動分布測定装置において、計算処理部２１は、周波数の異なる試験光によるそれぞれの散乱光の位相波形に関して、同一の周波数の試験光による散乱光波形を時間的に並べて、それらの各点での散乱光の位相の時間波形において、位相がπ以上変化した場合に２πを変化と反対の方向に補正し、位相の時間的な不連続性を低減させる処理を行い、且つ振動によって２πを超えた位相の値の算出により、時間的に連続した位相の変化を計算してもよい。

本実施形態に係る前記記載の振動分布測定装置において、タイミング制御信号発生器１７が周波数変調部１３に対し制御、測定のタイミング制御を行うことで、周波数の異なる試験光の間の時間間隔において、利用するすべての試験光の周波数と、それぞれのパルスの幅による周波数範囲の全てと重ならない周波数の光で埋めることにより、入射試験光全体の中での光強度の変化をなくし、測定誤差へつながる光ファイバ中の非線形現象を防ぐことができる。

本実施形態に係る前記記載の振動分布測定装置において、計算処理部２１は、被試験光ファイバ１６のある点からの散乱光の時間変化から振動周波数を計算する際に、入射した試験光において一つのパルス列中の周波数の異なる試験光のパルスからの散乱光を比較し、値が他の周波数の試験光による散乱光による値と著しく異なる値の場合にその値の散乱光を除外または２πの倍数補正をすることにより、散乱光の位相が２πの倍数だけ不定なことによる計算結果のずれを補正してもよい。

本実施形態に係る前記記載の振動分布測定装置において、タイミング制御信号発生器１７が周波数変調部１３に対し、ある周波数範囲の試験光パルス列を連続して入射する場合において、周波数範囲が繰り返されるタイミングでその都度異なる長さの時間間隔を加えることにより、入射する試験光パルス列の周波数の繰り返しの間隔を一定でないものにし、計算処理部２１は、数値計算処理により周波数分離をして、被試験光ファイバ１６のある点からの散乱光の時間変化を計算する際に、それぞれの試験光の周波数に依存した成分が等間隔で繰り返されることを防ぎ、振動周波数の計算に対して、振動とは関係のない周波数成分が現れるのを防ぐこととしてもよい。

本実施形態に係る前記記載の振動分布測定装置において、タイミング制御信号発生器１７が周波数変調部１３に対し、入射する試験光への周波数変調の順番をランダムにするタイミング制御を行うことにより、計算処理部２１は、数値計算処理により周波数分離をして、被試験光ファイバ１６のある点からの散乱光の時間変化を計算する際に、それぞれの試験光の周波数に依存した成分が等間隔で繰り返されることを防ぎ、振動周波数の計算に対して、振動とは関係のない周波数成分が現れるのを防ぐこととしてもよい。

本実施形態に係る前記記載の振動分布測定装置において、計算処理部２１は、被試験光ファイバ１６のある点からの散乱光の時間変化の波形において、短時間離散フーリエ変換などのスペクトルの時間変化を計算する数値計算方法を用いることにより、被試験光ファイバ１６中の時間的に一定ではない振動の非定常的な時間変化を、被試験光ファイバ１６中のあらゆる点で測定してもよい。

以上説明したように、本発明の技術を用いれば、光ファイバ中の振動について、より高速な振動に対しても、精度よくその周波数と振動している位置を測定することができる。また、その振動の時間変化も測定可能で、高速かつ高精度な振動センサを構築することが可能である。これにより光ファイバ線路保守における振動を検知しての予防保全や、様々なインフラなどの構造物に対する保守管理の効率化に貢献する。

本発明は光ファイバ線路において、上部からの片側からの測定で振動を測定し、周波数の多重による高速かつ広帯域な測定方法を提供し、効率的な振動センサを構築することを可能とする。これにより光ファイバ線路保守における振動を検知しての予防保全や、光ファイバを被試験体へ巻くことによって様々なインフラなどの構造物に対する振動センサを構築するものとして利用可能である。

１１：光源
１２：分岐部
１３：周波数変調部
１４：光増幅器
１５：光サーキュレータ
１６：被試験光ファイバ
１７：タイミング制御信号発生器
１８：バランスフォトディテクタ
１９：数値化装置
２１：計算処理部

Claims (11)

1. 被試験光ファイバからの後方散乱光の反射率分布に基づき前記被試験光ファイバの振動分布を測定する振動分布測定方法において、
   光源によりコヒーレント光を発する発光手順と、
   前記コヒーレント光を２分岐して局発光と試験光とを生成する分岐手順と、
   前記試験光の周波数を予め定めた時間間隔ごとに変化させる光周波数制御手順と、
   光サーキュレータにより、周波数を変化させた前記試験光を前記被試験光ファイバに入射するとともに、前記被試験光ファイバの各地点で発生した前記後方散乱光を出力する光入出力手順と、
   前記後方散乱光と前記局発光とを光結合した光信号を電気信号に変換する光受信手順と、
   前記電気信号を周波数成分毎に分離し、各周波数の前記試験光による前記後方散乱光のそれぞれの位相分布を測定する演算処理手順と、を行い、
   前記光周波数制御手順では、
   予め定めた測定周波数範囲の最大値の逆数以下の時間間隔を周波数の異なる前記試験光の間に設けることでパルス列を構成し、
   前記演算処理手順では、
   受光時間ごとの前記後方散乱光のそれぞれの位相分布波形を比較し、比較結果から前記被試験光ファイバの各地点からの前記後方散乱光の位相の変化量を抽出して前記被試験光ファイバの振動位置と振動周波数を検出する
   ことを特徴とする振動分布測定方法。
2. 前記光周波数制御手順では、
   周波数の異なる前記試験光の間を前記試験光の周波数のいずれとも異なる周波数の補填光で埋める
   ことを特徴とする請求項１に記載の振動分布測定方法。
3. 前記演算処理手順では、
   前記後方散乱光の時間変化から振動周波数を計算する際に、一組の前記パルス列に含まれる周波数の異なる前記試験光のパルスによる前記後方散乱光を比較するとともに演算処理し、位相の演算値が他の周波数の試験光による後方散乱光の位相の演算値から定められた範囲内にない場合に当該演算値を除外又は当該演算値に２πの倍数の補正処理を行う
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の振動分布測定方法。
4. 前記光周波数制御手順では、
   予め定められた周波数範囲の前記試験光からなる前記パルス列を繰り返して入射し、前記パルス列が繰り返されるタイミングごとに前記試験光の間に異なる長さの時間間隔を加える
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の振動分布測定方法。
5. 前記光周波数制御手順では、
   前記試験光の周波数の変更の順番をランダムにする
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の振動分布測定方法。
6. 前記演算処理手順では、
   前記被試験光ファイバの各地点からの前記後方散乱光の時間変化の波形に対して短時間離散フーリエ変換処理でスペクトルの時間変化を計算することにより、前記被試験光ファイバ中の各地点の振動の非定常的な時間変化を測定する
   ことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の振動分布測定方法。
7. 被試験光ファイバからの後方散乱光の反射率分布に基づき前記被試験光ファイバの振動分布を測定する振動分布測定装置において、
   コヒーレント光を発する光源と、
   前記コヒーレント光を２分岐して局発光と試験光とを生成する光分岐部と、
   前記試験光の周波数を予め定めた時間間隔ごとに変化させる光周波数制御部と、
   周波数を変化させた前記試験光を前記被試験光ファイバに入射するとともに、前記被試験光ファイバの各地点で発生した前記後方散乱光を出力する光サーキュレータと、
   前記後方散乱光と前記局発光とを光結合した光信号を電気信号に変換する光ディテクタと、
   前記電気信号を周波数成分毎に分離し、各周波数の前記試験光による前記後方散乱光のそれぞれの位相分布を測定する計算処理部と、を備え、
   前記光周波数制御部は、
   予め定めた測定周波数範囲の最大値の逆数以下の時間間隔を周波数の異なる前記試験光の間に設けることでパルス列を構成し、
   前記計算処理部は、
   受光時間ごとの前記後方散乱光のそれぞれの位相分布波形を比較し、比較結果から前記被試験光ファイバの各地点からの前記後方散乱光の位相の変化量を抽出して前記被試験光ファイバの振動位置と振動周波数を検出する
   ことを特徴とする振動分布測定装置。
8. 前記計算処理部は、
   前記後方散乱光の時間変化から振動周波数を計算する際に、一組の前記パルス列に含まれる周波数の異なる前記試験光のパルスによる前記後方散乱光を比較するとともに演算処理し、位相の演算値が他の周波数の試験光による後方散乱光の位相の演算値から定められた範囲内にない場合に当該演算値を除外又は当該演算値に２πの倍数の補正処理を行う
   ことを特徴とする請求項７に記載の振動分布測定装置。
9. 前記光周波数制御部は、
   予め定められた周波数範囲の前記試験光からなる前記パルス列を繰り返して入射し、前記パルス列が繰り返されるタイミングごとに前記試験光の間に異なる長さの時間間隔を加える
   ことを特徴とする請求項７又は８に記載の振動分布測定装置。
10. 前記光周波数制御部は、
    前記試験光の周波数の変更の順番をランダムにする
    ことを特徴とする請求項７から９のいずれかに記載の振動分布測定装置。
11. 前記計算処理部は、
    前記被試験光ファイバの各地点からの前記後方散乱光の時間変化の波形に対して短時間離散フーリエ変換処理でスペクトルの時間変化を計算することにより、前記被試験光ファイバ中の各地点の振動の非定常的な時間変化を測定する
    ことを特徴とする請求項７から１０のいずれかに記載の振動分布測定装置。

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