JP6491419B2 - ハウジングおよびこれを備えた砥液供給ユニット並びに基板処理装置 - Google Patents
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Description
本実施形態は、砥液供給ユニットであって、各種の砥液供給部品と、この砥液供給部品を収容するハウジングとを備えている。そして、このハウジングの内部の底面の少なくとも一部は傾斜面であり、この底面の最も低い部位の近傍に少なくとも1つのドレイン配管が設けられている。
、上述したハウジング3の一方の主要部5が開放できるようになっているのである。なお、砥液配管接続部11と砥液供給手動バルブ13の間に、所定のフィルタを設けることが望ましい。これは、砥液供給源から取り込まれる砥液に異物などが含まれている可能性があるからである。
よい。第1の底面板18に形成されている傾斜について、図4(B)及び図4(C)を参照しながら説明する。図4(B)は、図4(A)のB方向から第1の底面板18を見た図である。この図に示すように、第1の底面板18は、左側が高く右側が低くなっている。段付き構造の高い部位18aは、左側から右側に向かって2〜3°程度降下する傾斜面となっており、低い部位18bも左側から右側に向かって2〜3°程度降下する傾斜面となっている。このため、第1の底面板18の表面に落ちた砥液は、左側から右側に向かって流れる。
のため、砥液の漏洩が発生した場合の復旧作業の負担を大きく軽減することができる。なお、第1及び第2の底面板18,19の全面を傾斜面にする必要はなく、一部のみを傾斜面としてもよい。
以上説明したように、本発明は以下の形態を有する。
[形態1]
砥液供給部品を収容するハウジングであって、このハウジング内部の底面の少なくとも一部は傾斜面であり、この底面の最も低い部位の近傍に少なくとも1つのドレイン配管が設けられている、ハウジング。
[形態2]
前記底面は、全面が前記ドレイン配管に向けて前記砥液を流す傾斜面である、形態1に記載のハウジング。
[形態3]
前記底面の少なくとも一部は、親水性又は撥水性のコーティングが施されている、形態1又は2に記載のハウジング。
[形態4]
前記底面は、異なる傾斜方向及び/又は異なる傾斜角度を有する複数の傾斜面の組み合わせを含む、形態1から3の何れか一項に記載のハウジング。
[形態5]
前記底面のうち最も高い位置の近傍に、洗浄水を放出する洗浄水供給機構が設けられている、形態1から4の何れか一項に記載のハウジング。
[形態6]
前記ハウジング内に、前記砥液の漏洩を検知する砥液漏洩センサを備える、形態1から5の何れか一項に記載のハウジング。
[形態7]
形態1から6の何れか一項に記載のハウジングと、このハウジング内に収容される砥液供給部品とを備える砥液供給ユニット。
[形態8]
前記砥液供給部品は、砥液供給手動バルブ、フィルタ、流量調整器、砥液供給バルブの少なくとも1つを含む、形態7に記載の砥液供給ユニット。
[形態9]
形態7又は8に記載の砥液供給ユニットと、研磨ユニットとを備えた、基板処理装置。
3 ハウジング
5 一方の主要部
5a 取っ手
5b 蝶番
7 他方の主要部
9 砥液配管
11 砥液配管接続部
13 砥液供給手動バルブ
13a レバー
15 砥液供給バルブ
17 砥液供給ライン
18 第1の底面板
18a 高い部位
18b 低い部位
19 第2の底面板
19a,19b 逆傾斜の傾斜面
20 光学式砥液漏洩センサ
21 砥液取込口
22 フロート式砥液漏洩センサ
23 砥液供給出口
25 ドレイン配管
25a 切替バルブ
31 洗浄水供給機構
31a 洗浄水ノズル31a
31b 洗浄水バルブ
31c 吐出用穴
Claims (8)
- 砥液供給部品を収容するハウジングであって、このハウジング内部の底面の少なくとも一部は傾斜面であり、この底面の最も低い部位の近傍に少なくとも1つのドレイン配管が設けられており、
前記底面のうち最も高い位置の近傍に、洗浄水を放出する洗浄水供給機構が設けられている、ハウジング。 - 前記底面は、全面が前記ドレイン配管に向けて前記砥液を流す傾斜面である、請求項1に記載のハウジング。
- 前記底面の少なくとも一部は、親水性又は撥水性のコーティングが施されている、請求項1又は2に記載のハウジング。
- 前記底面は、異なる傾斜方向及び/又は異なる傾斜角度を有する複数の傾斜面の組み合わせを含む、請求項1から3の何れか一項に記載のハウジング。
- 前記ハウジング内に、前記砥液の漏洩を検知する砥液漏洩センサを備える、請求項1から4の何れか一項に記載のハウジング。
- 請求項1から5の何れか一項に記載のハウジングと、このハウジング内に収容される砥液供給部品とを備える砥液供給ユニット。
- 前記砥液供給部品は、砥液供給手動バルブ、フィルタ、流量調整器、砥液供給バルブの少なくとも1つを含む、請求項6に記載の砥液供給ユニット。
- 請求項6又は7に記載の砥液供給ユニットと、研磨ユニットとを備えた、基板処理装置。
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