KR100737757B1

KR100737757B1 - 배관 내 처리액을 배출하는 부재 및 방법

Info

Publication number: KR100737757B1
Application number: KR1020060075682A
Authority: KR
Inventors: 홍성철
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2006-08-10
Filing date: 2006-08-10
Publication date: 2007-07-10

Abstract

본 발명은 유지 보수시 배관 내 잔류하는 처리액을 배출시키는 부재에 관한 것으로, 본 발명에 따른 처리액 배출부재는 상기 배관 상에 제공되고 일단에 상기 배관 내 처리액을 상기 배관으로부터 배출시키는 배출구가 제공되는 하우징, 상기 배출구를 통해 상기 하우징 내 처리액을 외부로 배출시키는 배출배관, 상기 배출구에 삽입되어, 상기 배출부와 상기 배출배관을 연통 및 차단시키고 내부에 상기 하우징 내 처리액이 흐를 수 있는 통로가 형성된 삽입로드, 그리고 상기 통로의 유입구가 상기 하우징 내부와 통하는 배출위치와 상기 유입구가 상기 하우징 내부와 차단되는 차단위치 상호간에 상기 삽입로드를 이동시키는 이동부재를 포함한다. 상술한 처리액 배출부재는 작업자의 간단한 조작으로 배관 내 처리액을 효과적으로 배출시킬 수 있어, 작업자의 유지 보수 효율을 향상시킨다. 특히, 본 발명에 따른 처리액 배출부재는 인체에 유해한 유독성의 처리액을 이송하는 배관의 유지 보수시 배관 내 유독성 처리액을 용이하게 배출시킬 수 있다.

반도체, 평판디스플레이, 배관, 라인, 약액, 처리액, 배출, 배수, 유지 보수

Description

배관 내 처리액을 배출하는 부재 및 방법{MEMBER AND METHOD FOR DISCHARGING TREATING-LIQUID IN THE LINE}

도 1은 본 발명에 따른 처리액 배출부재가 구비되는 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.

도 2는 본 발명에 따른 처리액 배출부재의 구성도이다.

도 3은 도 2에 도시된 처리액 배출부재의 요부 확대도이다.

도 4는 도 3에 도시된 A-A'선을 절단한 단면도이다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 처리액 배출부재의 구성도이다.

도 6은 도 5에 도시된 B-B'선을 절단한 단면도이다.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 삽입로드의 단면도이다.

도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 처리액 배출부재의 동작 과정을 설명하기 위한 도면이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명*

100 : 기판 처리 장치

110 : 처리조

120 : 순환부재

130 : 처리액 공급부재

200 : 처리액 배출부재

210 : 하우징

220 : 제1 체결부재

230 : 제2 체결부재

240 : 제3 체결부재

250 : 삽입로드

260 : 이동부재

270 : 배출배관

본 발명은 처리액 배출 부재에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유지 보수시 처리액을 이송하는 배관 내 잔류하는 처리액을 배출시키는 부재에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 및 평판 디스플레이 분야에서는 다양한 종류의 처리액들이 사용된다. 예컨대, 반도체 제조 공정 중 습식 식각 공정 및 습식 세정 공정에서는 기판에 잔류하는 이물질을 제거하기 위한 다양한 종류의 약액(chemical) 및 초순수(DIW:Deionized Water)와 같은 처리액이 사용된다. 이러한 처리액들은 보통 배관(line)과 같은 이송 수단에 의해 공정상 요구되는 위치로 이송된다.

그러나, 이러한 처리액들을 이송하는 배관 및 배관에 설치되는 장치들에 이 상이 발생되면, 작업자는 배관 및 상기 장치들을 수리 및 교체하는 유지 보수 작업을 수행하여야 한다. 유지 보수 작업이 수행되면, 작업자는 이상이 발생된 배관 및 장치들을 해체한 후 이를 수리 및 교체한다. 이때, 인체에 유해한 처리액을 이송하는 배관을 유지 보수를 수행하는 경우에는 배관 내 처리액을 배관으로부터 배출시킨 후 유지 보수 작업을 수행하여야 한다. 이를 위해, 유독성의 처리액을 이송하는 배관에는 유지 보수시 배관 내 처리액을 배출시키는 처리액 배출부재(member for discharging treating-liquid)가 제공된다.

일반적인 처리액 배출부재는 배관상에 설치되는 티(Tee)와 같은 피팅(fitting), 상기 피팅의 일단으로부터 분기되어 상기 배관 내 처리액을 배수시키는 배출라인, 그리고 상기 배출라인 상에 설치되는 밸브를 가진다. 만약, 배관에 이상이 발생되면, 작업자는 상기 처리액 배출부재의 밸브를 개폐함으로써 배관 내 처리액을 배출라인을 통해 배출시킨 후, 이상이 발생된 배관을 수리 및 교체하는 유지 보수 작업을 수행한다.

그러나, 상술한 처리액 배출부재는 제작 비용이 증가하고 구조가 복잡하다. 즉, 상술한 방식의 처리액 배출부재는 적어도 하나의 밸브, 배출라인, 그리고 티(tee)와 같은 배관과 배출라인을 연결하기 위한 피팅 등등의 구성들이 부가되므로, 제작 비용이 증가하고 장치의 구조가 복잡해진다. 만약, 다수의 배관마다 상기와 같은 처리액 배출부재가 제공된다면, 밸브 및 티와 같은 구성들의 수가 증가하여 장치의 제작 비용이 증가하고, 이러한 밸브 및 티, 그리고 배출라인으로 인해 장치의 구조가 복잡해진다.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 유지 보수시 배관 내 잔류하는 처리액을 효율적으로 배출시키는 처리액 배출부재를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 배관 내 처리액을 작업자가 용이하게 배출시킬 수 있는 처리액 배출부재를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 단순한 구조를 가지는 처리액 배출부재를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 제작 비용을 절감하는 처리액 배출부재를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 처리액 배출부재는 상기 배관 상에 제공되는, 그리고 일단에 상기 배관 내 처리액을 상기 배관으로부터 배출시키는 배출구가 제공되는 하우징, 상기 배출구를 통해 상기 하우징 내 처리액을 외부로 배출시키는 배출배관, 상기 배출구에 삽입되어, 상기 배출부와 상기 배출배관을 연통 및 차단시키고 내부에 상기 하우징 내 처리액이 흐를 수 있는 통로가 형성된 삽입로드, 그리고 상기 통로의 유입구가 상기 하우징 내부와 통하는 배출위치와 상기 유입구가 상기 하우징 내부와 차단되는 차단위치 상호간에 상기 삽입로드를 이동시키는 이동부재를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 삽입로드의 외주면 일부에는 나사산이 형성되고, 상기 이동부재는 중심에 상기 삽입로드가 삽입되도록 환형으로 제작되되, 상기 이동부재의 내주면에는 상기 나사산과 맞물려 체결되는 나사산이 형성되어, 상기 이동부재의 회전에 의해 상기 삽입로드는 상기 배출위치 및 상기 차단위치 상호간에 직선 왕복 이동된다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 유입구는 복수개가 상기 삽입로드의 측면을 따라 균등한 각도로 형성된다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 처리액 배출방법은 상기 배관상에 제공되어 상기 처리액이 이동되는 공간을 제공하는 하우징, 상기 하우징의 일단에 연결되어 상기 배관 내 처리액을 배출시키기 위한 배출배관, 상기 배출라인을 통해 상기 공간 내 처리액을 상기 배출배관으로 배출시키는 배출라인이 내부에 형성되는 연결부재, 그리고 상기 배출라인이 상기 공간과 상기 배출배관이 서로 통하도록 하는 배출위치와 상기 배출라인이 상기 공간과 상기 배출배관이 차단되도록 하는 차단위치 상호간에 위치되도록 상기 연결부재를 이동시키는 회전부재를 구비하여, 상기 회전부재의 회전에 의해 상기 하우징 내 처리액을 선택적으로 배출시킨다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 연결부재는 상기 회전부재의 중심에 형성되는 홀에 서로 나사결합되도록 끼워져, 상기 회전부재의 회전에 의해 상기 연결부재가 상기 배출위치와 상기 차단위치 상호간에 이동되도록 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 처리액 배출부재를 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되는 것은 아니다. 본 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자, 즉 당업자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공된 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상은 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.

또한, 본 발명의 실시예에서는 반도체 기판 표면에 잔류하는 이물질을 제거하기 위한 처리액을 이송하는 배관 내 처리액을 배출시키는 처리액 배출부재를 예로 들어 설명한다. 그러나, 본 발명에 따른 처리액 배출부재는 다양한 처리액을 이송시키는 모든 배관에 적용될 수 있다. 상기 배관은 불소수지 계열의 합성수지 재질의 배관, 스테인리스 스틸과 같은 금속 배관, 그리고 플라스틱 재질의 배관을 모두 포함한다.

(실시예)

도 1은 본 발명에 따른 처리액 배출부재가 구비되는 기판 처리 장치를 보여주는 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 처리액 배출부재의 구성도이다. 그리고, 도 3은 도 2에 도시된 처리액 배출부재의 요부 확대도이고, 도 4는 도 3에 도시된 A-A'선을 절단한 단면도이다.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(substrate treating apparatus)(100)는 처리조(treating-liquid bath)(110), 순환부재(circulation member)(120), 처리액 공급부재(treating-liquid supply member)(130), 그리고 처리액 배출부재(member for discharging treating-liquid)(200)를 포함한다.

처리조(110)는 내부에 기판 처리 공정을 수행하는 공간을 제공한다. 여기서, 상기 기판 처리 공정은 기판(Wafer) 표면에 잔류하는 이물질을 제거하는 공정이다. 처리조(110)는 내조(inner bath)(112) 및 외조(outer bath)(114)를 가진다. 내조(112)는 내부에 공정 진행시 처리액이 채워지는 공간을 가진다. 상기 공간은 공정시 복수의 기판(W)들이 충분히 침지될 수 있는 용적을 가진다. 외조(114)는 내조(112) 외부에서 내조(112)를 감싸도록 설치된다. 외조(114)는 공정시 내조(112)로부터 넘쳐흐르는 처리액을 수용한다. 외조(114)는 상부가 개방되며, 개방된 상부는 공정시 기판(W)의 출입이 이루어지는 기판 출입구로 사용된다. 외조(114)의 개방된 상부는 개폐 부재(미도시됨)에 의해 개폐가 이루어질 수 있다.

순환 부재(120)는 처리조(110) 내 처리액을 순환시킨다. 순환 부재(120)는 순환라인(circulation line)(122), 가압부재(pressurization member)(124), 필터 부재(filtering member)(126), 그리고 가열기(heater)(200)를 포함한다. 순환라인(122)은 처리조(110) 내 처리액을 순환시킨다. 순환라인(122)은 외조(114)로부터 내조(112)로, 또는 내조(112) 및 외조(114)로부터 내조(112)로 처리액을 순환시킨다. 가압부재(124)는 순환라인(122) 상에 설치된다. 가압부재(124)는 처리액이 순환라인(122)을 따라 흐르도록 순환라인(122) 내 처리액에 유동압을 제공한다. 가압부재(124)로는 펌프(pump)가 사용될 수 있다. 필터부재(126)는 순환라인(122)을 따라 흐르는 처리액 내 잔류하는 파티클(particle)과 같은 오염물질들을 필터링(filtering)한다. 필터부재(126)로는 적어도 하나의 필터(filter)가 사용된다. 그리고, 가열기(200)는 순환라인(122) 상에 설치되어 순환라인(122)을 따라 이동되는 처리액을 가열한다.

처리액 공급부재(130)는 처리조(110)로 처리액을 공급한다. 처리액 공급부재(130)는 처리액 공급원(132) 및 처리액 공급배관(134)을 가진다. 처리액 공급원(132)은 처리액을 수용하고, 처리액 공급배관(134)은 처리액 공급원(132)으로부터 처리조(110)로 처리액을 공급한다. 여기서, 처리액 공급배관(134)은 처리액 배출부재(200)를 기준으로 처리액 배출부재(200)의 전단 부분인 제1 배관(134a)과 처리액 배출부재(200)의 후단인 제2 배관(134b)으로 나뉜다. 상기 처리액은 기판(W) 표면에 잔류하는 이물질을 세정하는 세정액이다. 예컨대, 처리액으로는 황산(H2SO4), 과산화수소(H2O2), 그리고 불산(HF) 등으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 적어도 어느 하나의 케미칼(chemical)이 사용될 수 있다.

처리액 배출부재(member for discharging treating-liquid)(200)는 유지 보수시 처리액 공급배관(134) 내 잔류하는 처리액을 배출시키기 위해 제공된다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 처리액 배출부재(200)는 하우징(housing)(210), 제1 체결부재(first connector)(220), 제2 체결부재(second connector)(230), 제3 체결부재(third connector)(240), 삽입로드(insertion rod)(250), 이동부재(moving member)(260), 그리고 배출배관(discharge line)(270)을 포함한다.

하우징(210)은 처리액 공급배관(134) 상에 설치된다. 하우징(210)은 대체로 티(T)자 형상을 가진다. 하우징(210)은 이동부(212), 유입부(214), 유출부(216), 그리고 배출부(218)로 나뉜다. 이동부(212)는 내부에서 처리액이 이동되는 공간을 제공한다. 즉, 이동부(212)는 처리액 공급배관(134)의 제1 배관(134a)으로부터 제2 배관(134b)으로 처리액이 이동되는 공간을 제공한다. 유입부(214)는 하우징(210)의 일단에 제공되며, 제1 배관(134a)으로부터 이동부(212)로 처리액을 유입시킨다. 유출부(216)는 하우징(210)의 타단에 제공되며, 이동부(216)로부터 제2 배관(134b)으로 처리액을 유출시킨다. 그리고, 배출부(218)는 작업자의 유지 보수시 하우징(210) 내 처리액을 배출시키기 위해 제공된다. 배출부(218)는 유입부(214)와 유출부(216) 사이에서 이동부(216) 내 처리액의 이동방향과 수직하는 방향으로 형성된다. 배출부(218)에는 연결부재(250) 및 회전부재(260)가 설치된다. 여기서, 각각의 유입부(214), 유출부(216), 그리고 배출부(218)에는 제1 내지 제 3 체결부재(220, 230, 240)가 체결되기 위한 나사산이 제공된다.

제1 체결부재(220)는 하우징(210)의 유입부(214)에 제공되고, 제2 체결부재(230)는 하우징(210)의 유출부(216)에 제공된다. 그리고, 제3 체결부재(240)는 하우징(210)의 배출부(218)에 제공된다. 제1 체결부재(220)는 유입부(214)와 처리액 공급배관(134)의 제1 배관(134a)을 연결시키고, 제2 체결부재(230)는 유출부(216)와 처리액 공급배관(134)의 제2 배관(134b)을 연결시킨다. 그리고, 제3 체결부재(240)는 배출부(218)와 배출배관(270)을 연결시킨다. 일 실시예로서, 제1 내지 제3 체결부재(220, 230, 240)로는 너트(nut)가 사용되어, 유입부(214), 유출부(216), 그리고 배출부(218)에 형성되는 나사산에 체결됨으로써 배관들(220, 230)을 연결시킨다.

여기서, 본 실시예에서는 제1 및 제2 체결부재(220, 230), 그리고 제3 체결부재(240)로서 너트(nut)가 사용되어, 하우징(210)과 처리액 공급배관(134) 및 배출배관(270)을 서로 체결시켜 연결하는 방식을 예로 들어 설명하였으나, 제1 내지 제 3 체결부재(220, 230, 240)가 배관들(134, 260)을 연결시키는 방식은 다양한 방식에 적용될 수 있다. 또한, 본 실시에에서는 제1 내지 제3 체결부재(220, 230, 240)가 배관들(220, 230)을 탈착 가능하도록 체결하는 방식을 예로 들어 설명하였으나, 본 발명에 따른 처리액 배출부재(200)는 제1 및 제2 체결부재(220, 230) 없이 처리액 공급배관(134)에 일체형으로 구비될 수 있다.

삽입로드(250)는 하우징(210) 내 공간과 배출배관(270)을 선택적으로 연결시킨다. 삽입로드(250)는 배출부(218) 내부에 제공된다. 삽입로드(250)는 대체로 긴 원통형상의 몸체(252)를 가진다. 몸체(252)는 배출부(218)의 내측면(218a)을 따라 이동된다. 배출부(218)의 내측면(218a)과 몸체(252)의 외측면(252a) 사이는 하우징(210) 내 처리액이 누수(leak)되지 않도록 밀폐된다. 이를 위해, 내측면(218a)과 외측면(252a) 사이에는 오링(O-ring)과 같은 실링부재(sealing member)(미도시됨)가 제공될 수 있다. 몸체(252)의 외측면(252a) 일부에는 나사산(252b)이 형성된다. 나사산(252b)은 회전부재(260)로부터 회전력을 전달받기 위해 제공된다.

삽입로드(250)에는 통로(254)가 형성된다. 통로(254)는 몸체(252) 내부에 형성된다. 통로(254)는 유지 보수시 하우징(210) 내 처리액을 배출배관(270)으로 배출시킨다. 여기서, 도 4를 참조하면, 통로(254)에는 유입구(inflow hole)(254a) 및 유출구(outflow hole)(254b)가 제공된다. 유입구(254a)는 하우징(210) 내 처리액을 통로(254)로 유입시키고, 유출구(254b)는 통로(254)로부터 배출배관(270)으로 처리액을 유출시킨다.

본 실시예에서는 하나의 유입구(254a)를 가지는 삽입로드(250)를 예로 들어 설명하였으나, 유입구(254a)는 복수개가 제공될 수 있다. 예컨대, 도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 삽입로드(250')는 두 개의 유입구(254a)가 제공된다. 각각의 유입구(254a)는 유지 보수시 하우징(210) 내 처리액을 통로(254)으로 유입시킨다. 또는, 도 7을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 삽입로드(250'')는 네 개의 유입구(254a)가 제공된다. 각각의 유입구(254a)는 몸체(252)의 외주면을 따라 균등한 간격으로 형성된다. 각각의 유입구(254a)들은 유지 보수시 하우징(210) 내 처리액을 통로(254)로 유입시킨다. 상술한 삽입로드(250', 250'')는 복수의 유입구(254a)가 제공됨으로써, 하우징(210) 내 처리액을 보다 효과적으로 배출시킬 수 있다.

다시 도 2 및 도 3을 참조하면, 이동부재(260)는 중심에 홀(hole)이 형성되는 링(ring) 형상을 가진다. 상기 홀에는 삽입로드(250)가 삽입된다. 이동부재(260)의 내측면에는 나사산(262)이 형성된다. 나사산(262)은 삽입로드(250)의 몸체(252)에 형성된 나사산(252b)과 맞물린다. 따라서, 이동부재(260)가 회전되면 삽입로드(250)는 이동부재(260)로부터 회전력을 전달받아 배출부(218)의 내측면(218a)을 따라 이동된다.

유지 보수시, 작업자는 이동부재(24)를 회전시켜, 삽입로드(250)를 배출위치(a) 및 차단위치(b) 상호간에 이동시킨다. 배출위치(a)는 유지 보수시 하우징(210) 내 처리액을 배출배관(270)으로 배출시키기 위한 삽입로드(242)의 위치이다. 차단위치(b)는 유지 보수가 수행되기 전의 삽입로드(242)의 위치이다. 예컨대, 작업자가 이동부재(260)를 시계 방향으로 회전시키면, 삽입로드(250)는 차단위 치(b)로부터 배출위치(a)로 이동되고, 작업자가 이동부재(260)를 반시계 방향으로 회전시키면, 삽입로드(250)는 배출위치(a)로부터 차단위치(b)로 이동된다. 여기서, 삽입로드(250)가 차단위치(b)에 위치되면, 하우징(210)과 배출배관(270) 사이를 차단시켜, 하우징(210) 내 처리액이 배출배관(270)으로 이동되는 것을 방지한다.

배출배관(270)은 유지 보수시 하우징(210) 내 처리액을 외부로 배출시킨다. 배출배관(270)은 제3 체결부재(240)에 의해 하우징(210)의 배출부(218)와 연결된다. 배출배관(270)은 유지 보수시 삽입로드(250)의 통로(252)으로부터 하우징(210) 내 처리액을 유입받아, 이를 배수(drain)한다.

이하, 상술한 구성을 가지는 처리액 배출부재(200)를 구비하는 기판 처리 장치(100)의 공정 과정을 상세히 설명한다. 여기서, 상술한 구성들과 동일한 구성들에 대한 참조번호는 동일하게 병기하고, 그 구성들에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(100)의 공정이 개시되면, 처리액 공급부재(130)의 처리액 공급배관(134)은 처리액 공급원(132)으로부터 처리조(110)로 처리액을 공급한다. 처리조(110) 내 처리액이 기설정된 수위만큼 채워지면, 순환부재(120)은 처리조(110) 내 처리액을 순환시킨다. 즉, 가압부재(124)가 가동되어, 처리조(110) 내 처리액은 순환라인(122)을 따라 순환된다. 이때, 가열부재(126)는 순환라인(122)을 따라 순환되는 처리액을 기설정된 공정온도로 가열하고, 필터부재(128)는 순환라인(122)을 따라 순환되는 처리액 내 오염물질을 필터링(filtering)한다.

처리조(110) 내 처리액이 기설정된 공정온도를 만족하면, 기판 처리 장치(100)는 처리조(110)의 내조(112)에 기판(W)을 침지시켜 기판(W) 표면에 잔류하는 이물질을 제거하는 공정을 수행한다. 이러한, 기판(W)의 세정 공정은 반복적으로 수행된다.

상술한 기판 처리 공정이 진행되는 과정에서, 처리액 공급배관(134)의 이상이 발생되면, 작업자(미도시됨)는 처리액 공급배관(134)을 수리 및 교체하는 유지 보수 작업을 수행한다. 예컨대, 처리액 공급배관(134)에 설치되는 밸브(V1)에 오류가 발생되면, 작업자는 오류가 발생된 밸브(V1)를 새로운 밸브로 교체해주는 유지 보수 작업을 수행한다. 본 실시예에서는 밸브(V1)를 교체하는 유지 보수 작업을 예로 들어 설명하나, 유지 보수 작업은 배관 및 배관에 설치되는 각종 구성들, 예컨대, 설치되는 유량계, 압력계, 각종 피팅(fitting)들을 수리 및 교체하는 작업을 모두 포함한다. 이하, 상술한 유지 보수 작업이 수행되는 과정을 설명한다.

도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 처리액 배출부재의 동작 과정을 설명하기 위한 도면들이다. 보다 상세하게는, 도 8a는 유지 보수 작업이 수행되기 전 처리액 배출부재(200)를 보여주는 도면이고, 도 8b는 유지 보수 작업시 처리액 배출부재(200)를 보여주는 도면이다.

도 8a 및 도 8b를 참조하면, 작업자는 유지 보수 작업시, 처리액 배출부재(200)의 이동부재(260)를 조작하여 처리액 공급배관(134) 내부에 잔류하는 처리액을 배출시킨다. 즉, 작업자는 이동부재(260)를 시계방향으로 회전시켜, 삽입로드(250)를 차단위치(b)로부터 배출위치(a)로 이동시킨다. 삽입로드(250)가 배출위 치(a)로 이동되면, 통로(254)의 유입구(254a)로 하우징(210) 내 처리액이 유입된다. 유입구(254a)로 유입된 처리액은 통로(254) 및 배출배관(270)을 통해 배수된다.

처리액 공급배관(134) 내 처리액이 모두 배출되면, 작업자는 이동부재(260)를 반시계방향으로 회전시켜, 삽입로드(250)를 배출위치(a)로부터 차단위치(b)로 이동시킨다. 그리고, 작업자는 제1 및 제2 체결부재(220, 230)를 조작하여, 밸브(V1)를 처리액 공급배관(134)으로부터 분리시킨 후 새로운 밸브(미도시됨)로 교체한다. 유지 보수 작업이 완료되면, 상술한 기판 처리 공정이 개시된다.

상술한 처리액 배출부재(200)는 작업자의 간단한 조작으로 처리액 공급배관(134) 내 처리액을 효과적으로 배출시킬 수 있어, 작업자의 유지 보수 효율을 향상시킨다. 특히, 본 발명에 따른 처리액 배출부재(200)는 인체에 유해한 유독성의 처리액을 이송하는 배관의 유지 보수시 배관 내 유독성 처리액을 용이하게 배출시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 처리액 배출부재(200)는 종래의 배관 내 처리액을 배출시키기 위한 수단에 제공되는 밸브(valve) 및 티(tee) 등의 부가적인 구성들이 요구되지 않는다. 따라서, 제작 비용을 절감할 수 있고, 구조를 단순화시킬 수 있다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉, 본 명세서에 개시된 발명의 개 념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 처리액 배출부재는 배관 내 처리액을 효율적으로 배출시킨다.

또한, 본 발명에 따른 처리액 배출부재는 작업자의 간단한 조작으로 배관 내 처리액을 배출시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 처리액 배출부재는 구조가 단순하고, 제작 비용을 절감할 수 있다.

Claims

배관 내 처리액을 배출시키는 부재에 있어서,

상기 배관 상에 제공되는, 그리고 일단에 상기 배관 내 처리액을 상기 배관으로부터 배출시키는 배출구가 제공되는 하우징과,

상기 배출구를 통해 상기 하우징 내 처리액을 외부로 배출시키는 배출배관과,

상기 배출구에 삽입되어, 상기 배출부와 상기 배출배관을 연통 및 차단시키는, 그리고 내부에 상기 하우징 내 처리액이 흐를 수 있는 통로가 형성된 삽입로드와,

상기 통로의 유입구가 상기 하우징 내부와 통하는 배출위치와 상기 유입구가 상기 하우징 내부와 차단되는 차단위치 상호간에 상기 삽입로드를 이동시키는 이동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 배출부재.
제 1 항에 있어서,

상기 삽입로드의 외주면 일부에는 나사산이 형성되고,

상기 이동부재는 중심에 상기 삽입로드가 삽입되도록 환형으로 제작되되, 상기 이동부재의 내주면에는 상기 나사산과 맞물려 체결되는 나사산이 형성되어, 상기 이동부재의 회전에 의해 상기 삽입로드는 상기 배출위치 및 상기 차단위치 상호간에 직선 왕복 이동되는 것을 특징으로 하는 처리액 배출부재.
제 2 항에 있어서,

상기 유입구는,

복수개가 상기 삽입로드의 측면을 따라 균등한 각도로 형성되는 것을 특징으로 하는 처리액 배출부재.