JP2001137625A - フィルタリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フィルタ交換前後の作業が簡便で短時間で終
了すると共に安全性が高いフィルタリング装置を提供す
る。 【解決手段】 レジスト塗布機に使用されるフィルタリ
ング装置は、フィルタ２を収納するハウジング３と、ハ
ウジング３にレジストを供給するイン側配管４及びレジ
ストを排出するアウト側配管１とを有している。更に、
ハウジング３とアウト側配管１との接続部に接続されハ
ウジング３内の液体を排出するアウト側置換用配管１０
と、ハウジング３の下部側面に接続され置換用液体を注
入するイン側置換用配管９と、を有しており、配管とハ
ウジング３との接続部には各配管を開閉する開閉弁が夫
々設けられている。また、第１配管１５及び第２配管１
６が接続され、レジスト洗浄溶剤を選択して第１配管１
５からハウジング３に供給し、その後、純水を選択して
第２配管１６からハウジング３に供給する切り替え部１
７がイン側置換用配管９に接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、使用する処理液が
フィルタを通って循環するシステムを有する半導体製造
装置に使用されるフィルタリング装置に関し、特に、半
導体装置のパターン形成過程に使用する塗布機等に使用
されるフィルタリング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体装置のパターン形成過程で
使用するレジスト塗布機において、フィルタリング装置
内のフィルタ交換をする場合、外部にレジストが飛散し
ないように装置周辺を包囲し、その中に人が入ってフィ
ルタ交換をしている。図２は、従来のフィルタリング装
置を示す模式的側面図である。フィルタリング装置は、
フィルタ２２を収納するフィルタハウジング２３と、ハ
ウジング２３の上部に接続されたアウト側配管２１と、
下部に接続されたイン側配管２４とを有し、フィルタ２
２はハウジング２３を通過して循環するレジストの中に
配置されている。薬液槽（図示せず）のレジストはイン
側配管２４を通ってハウジング２３内へ供給され、ハウ
ジング２３に収納されたフィルタ２２を通過し、アウト
側配管２１から排出され再び薬液槽へ戻る。

【０００３】図３は、従来のフィルタ交換の様子を示す
模式図である。図２に示すような従来のフィルタリング
装置を使用した塗布機において、ハウジング２３を取り
外し新しいフィルタと交換する場合は、図３に示すよう
に、装置本体２６から外部にレジストの臭気が飛散する
のを防ぐため、装置本体２６のフィルタ交換部を包囲用
ビニール製膜２７で覆い、この包囲用ビニール製膜２７
に排気ダクト２８を設けて包囲用ビニール製膜２７内を
排気しつつ、この中に作業人２９が入ってフィルタを交
換している。

【０００４】しかし、この方法では、工数及び時間がか
かる上、有機溶剤により人体への危険性等の問題点があ
った。そこで、特開昭６３−２４８４１４号公報には、
置換用溶剤を入れる薬液槽を新たに設けた薬液循環フィ
ルタリングシステムが開示されている。図４は、この公
報に記載の薬液循環フィルタリングシステムを示す模式
図である。図４に示すように、薬液処理装置の薬液は、
薬液槽３１から薬液の循環を駆動するポンプ３２を介し
てフィルタ（フィルタエレメント及びフィルタハウジン
グ）３３を通り、薬液槽３１へと循環するように配管に
より接続されている。薬液槽３１及とポンプ３２との間
及びフィルタ３３と薬液槽３１との間には夫々バルブ３
５及びバルブ３６が設けられ、これらのバルブを開ける
ことによりフィルタ３３に薬液を通すことができる。ま
た、液槽３４が、バルブ３８を介してバルブ３５とポン
プ３２との間に接続され、フィルタ３３とその下部に設
けられたバルブ３６との間にはバルブ３７を介して廃液
を排出する配管が接続されている。フィルタの交換に
は、先ず、液槽３４に純水を入れる。そして、廃液排出
用のバルブ３７を開け、薬液槽３１の薬液出口側のバル
ブ３５と、フィルタ３３の下部に設けられた薬液入口側
バルブ３６とを閉じ、液槽３４のバルブ３８を開けると
フィルタ３３内が純水に置換される。その後、フィルタ
を新しいものと取り替える。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
６３−２４８４１４号公報に記載の方法では、フィルタ
を交換する際は、フィルタ部のみならず本配管内のバル
ブが形成されている領域まで他の溶剤で大規模に置換す
る必要がある。更に、フィルタ交換後も、本来使用する
有機溶剤（塗布機であればレジスト）で大規模に置換す
る必要があり、フィルタ交換に時間及びコストがかかる
という問題点がある。

【０００６】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、フィルタ交換前後の作業が簡便で短時間で
終了すると共に安全性が高いフィルタリング装置を提供
することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係るフィルタリ
ング装置は、半導体製造時に使用する処理液をフィルタ
を介して循環させることにより清浄化するフィルタリン
グ装置において、前記フィルタを収納するフィルタハウ
ジングと、前記ハウジングに接続され前記ハウジング内
に前記処理液を供給する第１のイン側配管と、前記ハウ
ジングに接続され前記ハウジングから前記処理液を排出
する第１のアウト側配管と、前記ハウジングに接続され
前記ハウジング内に前記処理液に対する置換用液体を供
給する第２のイン側配管と、前記ハウジングに接続され
前記ハウジング内の液体を排出する第２のアウト側配管
と、前記各配管と前記ハウジングとの接続部に設けられ
前記配管を開閉する開閉弁とを有することを特徴とす
る。

【０００８】本発明においては、ハウジング接続された
第２のイン側配管と第２のアウト側配管とを有し、更
に、各配管を開閉する開閉弁を有するため、処理液を循
環させる配管の開閉弁を閉じ、置換用液体を供給する配
管の開閉弁を開いて液体をハウジングに供給することに
より、ハウジング内の処理液を置換するときに配管内に
置換用液体が侵入しない。また、開閉弁の開閉のみでハ
ウジング内の処理液を置換するため、ハウジング内の液
体の置換操作が簡便であると共に短時間で終了し、ま
た、処理液を置換用液体によって置換するため、処理液
の臭気等が外部に漏れることなく安全にフィルタ交換を
することができる。

【０００９】また、前記開閉弁は前記ハウジングの壁に
設けられていることが好ましい。

【００１０】更に、前記第２のイン側配管に接続された
切り替え部と、前記切り替え部に接続され第１の置換用
液体を供給する第１の配管と、前記切り替え部に接続さ
れ第２の置換用液体を供給する第２の配管と、を有し、
前記切り替え部は、先ず、前記第１の置換用液体を選択
して前記ハウジングに供給し、その後、前記第２の置換
用液体を選択して前記ハウジングに供給するように構成
してもよい。

【００１１】更にまた、前記処理液がレジストである場
合は、前記第１置換用液体をレジスト洗浄剤、前記第２
置換用液体を純水とすることができ、切り替え部により
これらの置換用液体を選択して、前記処理液をレジスト
洗浄剤により置換した後、そのレジスト洗浄剤を純水に
置換することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について添
付の図面を参照して具体的に説明する。図１は、本発明
の実施例を示す模式的側面図である。本発明は、半導体
装置の製造時に使用する処理液をフィルタを介して循環
させることにより清浄化するフィルタリング装置であ
り、本実施例は、レジストの塗布機においてレジストの
清浄化に使用されるフィルタリング装置である。

【００１３】図１に示すように、本実施例のフィルタリ
ング装置は、内部にフィルタ２が収納されたフィルタハ
ウジング３と、ハウジング３の上面に接続され処理液で
あるレジストがハウジング３から排出されるアウト側配
管１と、ハウジング３の下部に接続されハウジング３内
にレジストを供給するイン側配管４と、ハウジング３の
アウト側配管１との接続部に接続されフィルタ清掃中に
ハウジング３内の液体（即ち、処理液及び置換用液体）
をハウジング３から排出するアウト側置換用配管１０
と、ハウジング３の下部側面に接続されハウジング３内
に置換用液体を供給するイン側置換用配管９と、有して
いる。ハウジング３のアウト側配管１及びアウト側置換
用配管１０との接続部にはこれらの配管を夫々開閉する
アウト側開閉弁１２及び置換用アウト側開閉弁１４がハ
ウジング３の壁に設けられている。ハウジング３のイン
側配管４との接続部にはイン側配管４を開閉するイン側
開閉弁８が設けられ、また、ハウジング３のイン側置換
用配管９との接続部には置換用イン側開閉弁１３がハウ
ジングの壁に設けられている。そして、アウト側開閉弁
１２及びイン側開閉弁８はアウト側配管１及びイン側配
管４とハウジング３とが接続されるハウジング３の接続
部に夫々設けられることにより、アウト側配管１及びイ
ン側配管４中に置換用液体が入り込むのを防止できるよ
うになっている。なお、ハウジング３と配管との間にハ
ウジング３を離脱することができる接続部を設けて、そ
の接続部に開閉弁を設けてもよい。この場合は、ハウジ
ング３をフィルタリング装置から取り外してフィルタ２
を交換することができる。

【００１４】更に、イン側置換用配管９には、任意の種
類の処理液又は置換用液体に対応した切り替え部１７が
接続され、切り替え部１７は第１置換用液体をハウジン
グ３に供給する第１配管１５と、第２置換用液体をハウ
ジング３に供給する第２配管１６とに接続されている。
そして、切り替え部１７が、先ず、第１置換用液体を選
択してハウジング３に供給し、その後、第２置換用液体
を選択してハウジング３に供給することにより、２種類
の置換用液体をハウジング３に供給することができる。
なお、切り替え部１７には必要に応じて２つ以上の配管
を接続することができる。そして、フィルタハウジング
３には、フィルタ２をハウジング３から取り出して交換
するためにハウジング３を開閉する取り外し部５が形成
されている。

【００１５】次に、本実施例の動作について説明する。
本実施例のフィルタリング装置は、レジスト塗布機のレ
ジストがフィルタリング装置のイン側配管４よりハウジ
ング３内のフィルタ２を通過しアウト側配管１より排出
されることにより清浄化された後、シリコン基板上等に
塗布される。このようなフィルタリング装置のフィルタ
２を交換するときは、先ず、フィルタリング装置のハウ
ジング３の上部及び下部に取り付けられたアウト側開閉
弁１２及びイン側開閉弁８を閉じ、レジストの循環を停
止する。次に、切り替え部１７が第１配管１５を選択し
た状態で、第１配管１５からレジスト置換用イン側開閉
弁１３を開き、置換用アウト側開閉弁１４を開くと、第
１置換用液体のレジスト洗浄溶剤が第１配管１５からイ
ン側置換用配管９を介してハウジング３内に供給され
る。これによりハウジング３内のレジストが徐々にアウ
ト側置換用配管１０から追い出されていく。この状態を
しばらく続けると、ハウジング３内がレジストからレジ
ストの洗浄溶剤に置換され、また、フィルタ２がレジス
ト洗浄溶剤により洗浄されてハウジング３内のレジスト
からレジスト洗浄溶剤への置換が完了する。レジストか
らレジスト洗浄溶剤への置換が完了したら、置換用液体
の供給側の置換用イン側開閉弁１３及び置換用液体の排
出側の置換用アウト側開閉弁１４を夫々閉じる。

【００１６】次に、切り替え部１７が第２配管１６を選
択した状態で、置換用イン側開閉弁１３及び置換用アウ
ト側開閉弁１４を開くと、第２配管１６からイン側置換
用配管９を介してフィルタハウジング３内に純水が供給
されて、フィルタハウジング３内のレジスト洗浄溶剤が
徐々にアウト側置換用配管１０から追い出される。この
状態をしばらく続けるとハウジング３内がレジスト洗浄
溶剤から純水に置換される。ここで置換用イン側開閉弁
１３及び置換用アウト側開閉弁１４を閉じてハウジング
３内のレジストから純水への置換は完了する。この置換
が完了した後、フィルタ２を交換するため、ハウジング
３の取り外し部５を開閉してフィルタ２を取り出し交換
する。このとき、ハウジング３内は純水で置換されてい
るため、レジスト又はレジストの洗浄溶剤が外部へ飛散
することなく安全にフィルタ交換を実施することができ
る。

【００１７】なお、レジスト洗浄溶剤を供給した後で純
水を供給する際、置換用イン側開閉弁１３及び置換用ア
ウト側開閉弁１４を閉じずにこれらの開閉弁を開いたま
ま切り替え部１７により置換用溶液の切り替えを行って
もよい。

【００１８】このように構成された本実施例において
は、フィルタリング装置のフィルタハウジングに処理液
に対する置換用液体を供給するイン側配管及び置換用液
体を排出するアウト側配管を接続し、更に、フィルタハ
ウジングに接続する全ての配管は、配管とハウジングと
の接続部に各配管を開閉するための開閉弁を有している
ため、フィルタ内のレジストを純水等の安全な液体に置
換して周囲にレジスト及びレジスト洗浄溶剤の臭気を飛
散することなく、安全にフィルタ交換することができ
る。また、ハウジング内をレジストからレジスト洗浄溶
剤、純水そして再びレジストへ置換する際、ハウジング
内のみの液体を置換すればよく、使用する液体が極めて
少量でよいと共にフィルタ交換を短時間で行うことがで
きる。

【００１９】なお、切り替え部１７の切り替えは手動で
あっても、自動制御される制御部を有してもよい。

【００２０】また、本発明のフィルタハウジングを半導
体基板を処理液槽に入れて半導体基板の洗浄又はエッチ
ング等の薬液処理に使用する半導体製造装置等に使用す
る等、フィルタ内を直接、純水等の安全な液体で置換す
ることができる場合は、第１配管のみを使用すればよ
く、置換用液体から再度処理液に置換する際、濡れ性を
向上させるためにフィルタ内をアルコール等で置換する
等により置換用液体の種類が増えた場合等、必要であれ
ば切り替え部に接続する配管の数を増やすことができ
る。

【００２１】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
フィルタを収納するフィルタハウジングにハウジング内
の処理液を置換用液体に置換する置換用配管が接続さ
れ、ハウジング内に処理液及び置換用液体を供給する配
管並びにこれらの液体を排出する配管とハウジングとの
接続部には配管を開閉する開閉弁が夫々設けられている
ため、フィルタを交換する際には、フィルタハウジング
内の処理液のみを置換すればよく、従って、短時間でフ
ィルタを交換することができ、工数が少なく簡便である
と共に処理液等の有機溶剤の臭気が外部に漏れたりする
ことがなく、安全性が高いという効果を奏する。更に、
フィルタ交換後も、フィルタハウジング内の置換用液体
のみを処理液に置換すればよいので、短時間及び低コス
トでフィルタ交換を完了させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係るフィルタリング装置を示
す模式的側面図である。

【図２】従来のフィルタリング装置を示す模式的側面図
である。

【図３】従来のフィルタ交換の様子を示す模式図であ
る。

【図４】特開昭６３−２４８４１４号公報に記載の薬液
循環フィルタリングシステムを示す模式図である。

【符号の説明】

１、２１；アウト側配管 ２、２２、３３；フィルタ ３、２３；ハウジング ４、２４；イン側配管 ５、２５；取り外し部 ８；イン側開閉弁 ９；イン側置換用配管 １０；アウト側置換用配管 １２；アウト側開閉弁 １３；置換用イン側開閉弁 １４；置換用アウト側開閉弁 １５；第１配管 １６；第２配管 １７；切り替え部 ２６；装置本体 ２７；包囲用ビニール製膜 ２８；排気ダクト ２９；作業人 ３１；薬液槽 ３２；循環ポンプ ３４；液槽 ３５、３６、３７、３８；バルブ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体製造時に使用する処理液をフィル
   タを介して循環させることにより清浄化するフィルタリ
   ング装置において、前記フィルタを収納するフィルタハ
   ウジングと、前記ハウジングに接続され前記ハウジング
   内に前記処理液を供給する第１のイン側配管と、前記ハ
   ウジングに接続され前記ハウジングから前記処理液を排
   出する第１のアウト側配管と、前記ハウジングに接続さ
   れ前記ハウジング内に前記処理液に対する置換用液体を
   供給する第２のイン側配管と、前記ハウジングに接続さ
   れ前記ハウジング内の液体を排出する第２のアウト側配
   管と、前記各配管と前記ハウジングとの接続部に設けら
   れ前記配管を開閉する開閉弁とを有することを特徴とす
   るフィルタリング装置。
2. 【請求項２】 前記開閉弁は前記ハウジングの壁に設け
   られていることを特徴とする請求項１に記載のフィルタ
   リング装置。
3. 【請求項３】 前記第２のイン側配管に接続された切り
   替え部と、前記切り替え部に接続され第１の置換用液体
   を供給する第１の配管と、前記切り替え部に接続され第
   ２の置換用液体を供給する第２の配管と、を有し、前記
   切り替え部は、先ず、前記第１の置換用液体を選択して
   前記ハウジングに供給し、その後、前記第２の置換用液
   体を選択して前記ハウジングに供給することを特徴とす
   る請求項１又は２に記載のフィルタリング装置。
4. 【請求項４】 前記処理液はレジストであることを特徴
   とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のフィルタ
   リング装置。
5. 【請求項５】 前記第１の置換用液体はレジスト洗浄剤
   であることを特徴とする請求項４に記載のフィルタリン
   グ装置。
6. 【請求項６】 前記第２の置換用液体は純水であること
   を特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のフ
   ィルタリング装置。