JP2017069345A - 基板処理装置におけるフィルタ交換方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 処理ユニット
3 薬液供給ユニット
4 スピンチャック
5 薬液ノズル
6 リンス液ノズル
8 スピンベース
10 薬液タンク
11 薬液供給配管
12 ヒータ
14 ポンプ
15 第1薬液バルブ
16 第2薬液バルブ
17 薬液吐出バルブ
18 循環配管
19 フィルタ
20 循環バルブ
27 エア抜き配管
28 エア抜き配管
29 一次側エア抜きバルブ
30 二次側エア抜きバルブ
31 一次側ドレイン配管
32 二次側ドレイン配管
33 一次側ドレインバルブ
34 二次側ドレインバルブ
35 円筒部
36 流入端部
37 流出端部
38 仕切り板
39 濾過部材
40 連通孔
41 連通孔
42 フィルタ19のハウジング
43 気相界面
44 気泡
45 気泡だまり
P1 節点
P2 節点
W ウエハ
X1 一次側空間
X2 二次側空間
Claims (1)
- 基板処理装置の処理液配管に介装されたフィルタを前記処理液配管から取り外す基板処理装置からのフィルタ取り外し方法であって、前記フィルタは一次側ドレイン配管と二次側ドレイン配管とを有し、前記一次側ドレイン配管と前記二次側配管とは節点において接続されており、前記フィルタの二次側ドレイン配管を開放した状態で前記フィルタの流入端部から気体を送り込みつつ、前記一次側ドレイン配管に介装されたバルブを繰り返し開閉する処理を実行することで、前記フィルタの一次側空間および二次側空間の液抜きを実行し、その後、前記フィルタを前記処理液配管から取り外す、基板処理装置からのフィルタ取り外し方法。
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JP2015192114A JP6576770B2 (ja) | 2015-09-29 | 2015-09-29 | 基板処理装置におけるフィルタ交換方法 |
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JP2015192114A JP6576770B2 (ja) | 2015-09-29 | 2015-09-29 | 基板処理装置におけるフィルタ交換方法 |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
WO2020110663A1 (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
WO2024062739A1 (ja) * | 2022-09-21 | 2024-03-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置およびパーティクル除去方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63248414A (ja) * | 1987-04-06 | 1988-10-14 | Nec Yamagata Ltd | 薬液循環フイルタ−リングシステム |
JP2001137625A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-22 | Nec Kyushu Ltd | フィルタリング装置 |
JP2007253154A (ja) * | 2000-03-01 | 2007-10-04 | Mykrolis Corp | 分離ユニット |
-
2015
- 2015-09-29 JP JP2015192114A patent/JP6576770B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63248414A (ja) * | 1987-04-06 | 1988-10-14 | Nec Yamagata Ltd | 薬液循環フイルタ−リングシステム |
JP2001137625A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-22 | Nec Kyushu Ltd | フィルタリング装置 |
JP2007253154A (ja) * | 2000-03-01 | 2007-10-04 | Mykrolis Corp | 分離ユニット |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020110663A1 (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP2020088160A (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
TWI724641B (zh) * | 2018-11-26 | 2021-04-11 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置 |
JP7203579B2 (ja) | 2018-11-26 | 2023-01-13 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
WO2024062739A1 (ja) * | 2022-09-21 | 2024-03-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置およびパーティクル除去方法 |
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