JP2013058655A5

JP2013058655A5 -

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Publication number: JP2013058655A5
Application number: JP2011196685A
Authority: JP
Filing date: 2011-09-09
Publication date: 2013-10-17
Anticipated expiration: 2031-09-09

Description

この場合、上記供給・循環用ポンプは、上記流出槽から上記第３管路及び上記第１管路を介して上記流入槽への処理液の供給を行う際、上記フィルタにおける処理液を濾過して異物を除去すると共に、処理液中に混入している気泡を除去するために適した単位時間当たりの濾過量を、処理液の単位時間当たりの供給量として供給する方がよい。この場合、フィルタにおける処理液の単位時間当たりの濾過量をフィルトレーションレートといい、供給・循環用ポンプの処理液の単位時間当たりの供給量を供給レートという。

この場合、上記供給・循環用ポンプは、処理液の単位時間当たりの供給量が調整可能に形成され、上記切換弁及び上記供給・循環用ポンプを制御する制御部を更に具備し、上記制御部は、上記切換弁を制御して、上記流入槽と、上記処理液供給源側又は上記流出槽側との連通を選択的に切り換えると共に、上記供給・循環用ポンプを制御して、上記流入槽と、上記処理液供給源側又は上記流出槽との連通毎に処理液の単位時間当たりの供給量を変更する方が好ましい（請求項２）。

また、この発明の液処理装置は、処理液供給源に第１管路を介して接続する一時貯留容器と、上記一時貯留容器に第２管路を介して接続され、被処理基板に処理液を吐出する供給ノズルと、上記第２管路に介設され、上記一時貯留容器から上記第２管路を介して上記供給ノズルに処理液を供給する吐出用ポンプと、上記一時貯留容器内を負圧にして、上記一時貯留容器内の処理液内に混入した気泡を排出するための脱気機構と、上記一時貯留容器内に形成され、上記処理液供給源から上記第１管路を介して供給される処理液を貯留可能な流入槽と、上記一時貯留容器内に形成され、上記流入槽からオーバーフローした処理液を貯留すると共に、上記第２管路に接続する流出槽と、上記流出槽と上記流入槽を接続する循環管路と、上記第１管路に介設され、上記処理液供給源から上記第１管路を介して上記流入槽に処理液を供給する供給用ポンプと、上記循環管路に介設され、上記流出槽から上記循環管路を介して上記流入槽に処理液を供給する循環用ポンプと、を具備する、ことを特徴とする（請求項３）。
この場合、上記循環管路に介設され、処理液を濾過して異物を除去すると共に、処理液中に混入している気泡を除去するフィルタを更に具備するのが好ましい（請求項４）。

この発明において、上記一時貯留容器内の上記流入槽と上記流出槽の間に、処理液を貯留可能な中間槽が配置され、上記中間槽は、上記流入槽からオーバーフローした処理液を貯留すると共に、上記中間槽からオーバーフローした処理液が上記流出槽に貯留する方が好ましい（請求項９）。

この発明において、上記一時貯留容器に、上記一時貯留容器内の処理液を加熱するための加熱部を備える構造としてもよい（請求項６）。

この発明において、上記一時貯留容器に、上記一時貯留容器内の処理液を超音波振動させる超音波発生部を備える構造としてもよい（請求項７）。

この発明の液処理方法は、請求項１記載の液処理装置を具現化するもので、処理液供給源に貯留された処理液を、供給・循環用ポンプにより、第１管路を介して一時貯留容器内に形成される流入槽に供給し、上記一時貯留容器内を脱気機構により負圧にして、上記流入槽から上記一時貯留容器内に形成される流出槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去する供給工程と、上記流出槽に貯留された処理液を、上記供給・循環用ポンプにより、上記第１管路に接続する第３管路及び上記第１管路を介して、処理液を濾過して異物を除去すると共に処理液中に混入している気泡を除去するフィルタを通して上記流入槽に供給し、上記一時貯留容器内を上記脱気機構により負圧にして、上記流入槽から上記流出槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去する循環工程と、上記流入槽と、上記処理液供給源側又は上記流出槽側との連通を、上記第１管路と上記第３管路の接続部に介設される切換弁により選択的に切り換え、上記供給工程又は上記循環工程のいずれか一方の実行を選択する切換工程と、上記流出槽に貯留された処理液を、吐出用ポンプにより、第２管路を介して被処理基板に処理液を吐出する供給ノズルに供給する吐出工程と、を具備する、ことを特徴とする（請求項８）。

また、この発明の基板の液処理方法は、請求項５記載の液処理装置を具現化するもので、処理液供給源に貯留された処理液を、供給用ポンプにより、第１管路を介して一時貯留容器内に形成される流入槽に供給し、上記一時貯留容器内を脱気機構により負圧にして、上記流入槽から上記一時貯留容器内に形成される流出槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去する供給工程と、上記流出槽に貯留された処理液を、循環用ポンプにより、循環管路を介して上記流入槽に供給し、上記一時貯留容器内を上記脱気機構により負圧にして、上記流入槽から上記流出槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去する循環工程と、上記流出槽に貯留された処理液を、吐出用ポンプにより、第２管路を介して被処理基板に処理液を吐出する供給ノズルに供給する吐出工程と、を具備する、ことを特徴とする（請求項９）。
この場合、上記循環工程は、上記流出槽に貯留された処理液を濾過して異物を除去すると共に処理液中に混入している気泡を除去するフィルタを通して上記流出槽に供給する方がよい（請求項１０）。

この場合、上記供給工程又は上記循環工程の少なくともいずれか一方を、上記吐出工程と同時に実行する方がよい（請求項１１）。

この発明において、上記一時貯留容器内の上記流入槽と上記流出槽の間に、処理液を貯留可能な中間槽が配置され、上記供給工程及び上記循環工程において、上記一時貯留容器内を脱気機構により負圧にして、上記流入槽から上記中間槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去すると共に、上記中間槽から上記流出槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去する方が好ましい（請求項１２）。

請求項１，８記載の発明によれば、一時貯留容器内において、脱気機構による負圧下で、処理液は流入槽から流出槽にオーバーフローにより流通して、処理液が空気層付近を流通して空気に触れることができるので、浮力が小さい例えば５０μｍ以下のマイクロバブルであっても処理液から脱気することができる。また、処理液を、流出槽から第３管路及び第１管路を介して流入槽へ供給することにより循環させ、流入槽から流出槽へのオーバーフローと、フィルタによる濾過を繰り返すことにより、処理液中に混入している異物や気泡の除去の精度を高めることができる。

請求項１１記載の発明によれば、供給工程又は循環工程のいずれか一方を、吐出工程と同時に実行することにより、処理時間を短縮化することができる。

請求項２記載の発明によれば、流入槽と処理液供給源側とが連通する場合の供給レートから調整して、流入槽と流出槽とが連通する場合の供給レートを、処理液中に混入している異物や気泡を除去するために適したフィルトレーションレートに合わせることができる。

請求項３，９記載の発明によれば、一時貯留容器内において、脱気機構による負圧下で、処理液は流入槽から流出槽にオーバーフローにより流通して、処理液が空気層付近を流通して空気に触れることができるので、浮力が小さい例えば５０μｍ以下のマイクロバブルであっても処理液から脱気することができる。更に、処理液を、流出槽から循環管路を介して流入槽へ供給することにより循環させ、流入槽から流出槽へのオーバーフローを繰り返すことにより、処理液中に混入している異物や気泡の除去の精度を高めることができる。この場合、フィルタによる濾過を繰り返すことにより、更に処理液中に混入している異物や気泡の除去の精度を高めることができる。

請求項１１記載の発明によれば、供給工程又は循環工程の少なくともいずれか一方を、吐出工程と同時に実行することにより、処理時間を短縮化することができる。

請求項５，１２記載の発明によれば、オーバーフロー回数の増加により、処理液が空気層付近を流通して空気に触れることができる回数が増えるので、更に浮力が小さい５０μｍ以下のマイクロバブルを処理液から脱気することができる。

請求項６記載の発明によれば、処理液を加熱部により加熱して、この処理液に含まれる気泡の体積を増加して浮力を増加させることができるため、脱気を促進することができる。

請求項１１記載の発明によれば、一時貯留容器内の処理液に超音波振動を与えて撹拌することで、処理液内の気泡の移動を促進させ、脱気を促進することができる。

この発明に係る液処理装置を適用した塗布・現像処理装置に露光処理装置を接続した処理システムの全体を示す概略斜視図である。上記処理システムの概略平面図である。上記液処理装置の構成を示す概略断面図である。上記液処理装置の要部を示す概略断面図（ａ）及び（ａ）のＩ−Ｉ線に沿う断面図（ｂ）である。第２実施形態の液処理装置の要部を示す概略断面図である。第３実施形態の液処理装置の要部を示す概略断面図である。第４実施形態の液処理装置の要部を示す概略断面図である。第５実施形態の液処理装置の要部を示す概略断面図である。第６実施形態の液処理装置の要部を示す概略断面図である。

この場合、カスケード容器４５の壁面と底面と第１壁体４５ａで仕切られた空間が、一時貯留容器４０内に形成され、レジスト容器１３から第１管路２６を介して供給されるレジスト液Ｒを貯留可能な流入槽４１を形成する。また、カスケード容器４５の壁面と底面と第１壁体４５ａと第２壁体４５ｂで仕切られた空間が、一時貯留容器４０内に形成され、流入槽４１からオーバーフローしたレジスト液Ｒを貯留する中間槽４２を形成する。更に、カスケード容器４５の壁面と底面と第２壁体４５ｂで仕切られた空間が、一時貯留容器４０内に形成され、中間槽４２からオーバーフローしたレジスト液Ｒを貯留すると共に、第２管路２７に接続する流出槽４３を形成する。

中間槽４２からのオ−バーフローにより流出槽４３に供給されたレジスト液Ｒは、再び第３管路２８の吸引口２８ａから吸引される。これにより、レジスト液Ｒを、流出槽４３から第３管路２８及び第１管路２６を介して流入槽４１へ供給することにより循環させ、流入槽４１から流出槽４３へのオーバーフローと、フィルタ５０による濾過を繰り返すことにより、レジスト液Ｒ中に混入している異物や気泡の除去の精度を高めることができる。上述した循環工程は後述する吐出工程が開始するまで継続して実行される。

Claims

処理液供給源に第１管路を介して接続する一時貯留容器と、
上記一時貯留容器に第２管路を介して接続され、被処理基板に処理液を吐出する供給ノズルと、
上記第２管路に介設され、上記一時貯留容器から上記第２管路を介して上記供給ノズルに処理液を供給する吐出用ポンプと、
上記一時貯留容器内を負圧にして、上記一時貯留容器内の処理液内に混入した気泡を排出するための脱気機構と、
上記一時貯留容器内に形成され、上記処理液供給源から上記第１管路を介して供給される処理液を貯留可能な流入槽と、
上記一時貯留容器内に形成され、上記流入槽からオーバーフローした処理液を貯留すると共に、上記第２管路に接続する流出槽と、
上記流出槽と上記第１管路を接続する第３管路と、
上記第１管路と上記第３管路の接続部に介設され、上記流入槽と、上記処理液供給源側又は上記流出槽側との連通を選択的に切り換え可能な切換弁と、
上記切換弁の二次側の上記第１管路に介設され、上記処理液供給源から上記第１管路を介して上記流入槽への処理液の供給と、上記流出槽から上記第３管路及び上記第１管路を介して上記流入槽への処理液の供給を行う供給・循環用ポンプと、
上記第３管路もしくは上記切換弁の二次側の上記第１管路の少なくともいずれか一方に介設され、処理液を濾過して異物を除去すると共に、処理液中に混入している気泡を除去するフィルタと、を具備する、
ことを特徴とする液処理装置。
請求項１記載の液処理装置において、
上記供給・循環用ポンプは、処理液の単位時間当たりの供給量が調整可能に形成され、上記切換弁及び上記供給・循環用ポンプを制御する制御部を更に具備し、上記制御部は、上記切換弁を制御して、上記流入槽と、上記処理液供給源側又は上記流出槽側との連通を選択的に切り換えると共に、上記供給・循環用ポンプを制御して、上記流入槽と、上記処理液供給源側又は上記流出槽側との連通毎に処理液の単位時間当たりの供給量を変更する、ことを特徴とする液処理装置。
処理液供給源に第１管路を介して接続する一時貯留容器と、
上記一時貯留容器に第２管路を介して接続され、被処理基板に処理液を吐出する供給ノズルと、
上記第２管路に介設され、上記一時貯留容器から上記第２管路を介して上記供給ノズルに処理液を供給する吐出用ポンプと、
上記一時貯留容器内を負圧にして、上記一時貯留容器内の処理液内に混入した気泡を排出するための脱気機構と、
上記一時貯留容器内に形成され、上記処理液供給源から上記第１管路を介して供給される処理液を貯留可能な流入槽と、
上記一時貯留容器内に形成され、上記流入槽からオーバーフローした処理液を貯留すると共に、上記第２管路に接続する流出槽と、
上記流出槽と上記流入槽を接続する循環管路と、
上記第１管路に介設され、上記処理液供給源から上記第１管路を介して上記流入槽に処理液を供給する供給用ポンプと、
上記循環管路に介設され、上記流出槽から上記循環管路を介して上記流入槽に処理液を供給する循環用ポンプと、を具備する、
ことを特徴とする液処理装置。
請求項３記載の液処理装置において、
上記循環管路に介設され、処理液を濾過して異物を除去すると共に、処理液中に混入している気泡を除去するフィルタを更に具備する、ことを特徴とする液処理装置。
請求項１ないし４のいずれかに記載の液処理装置において、
上記一時貯留容器内の上記流入槽と上記流出槽の間に、処理液を貯留可能な中間槽が配置され、上記中間槽は、上記流入槽からオーバーフローした処理液を貯留すると共に、上記中間槽からオーバーフローした処理液が上記流出槽に貯留する、ことを特徴とする液処理装置。
請求項１ないし５のいずれかに記載の液処理装置において、
上記一時貯留容器に、上記一時貯留容器内の処理液を加熱するための加熱部を備える、ことを特徴とする液処理装置。
請求項１ないし６のいずれかに記載の液処理装置において、
上記一時貯留容器に、上記一時貯留容器内の処理液を超音波振動させる超音波発生部を備える、ことを特徴とする液処理装置。
処理液供給源に貯留された処理液を、供給・循環用ポンプにより、第１管路を介して一時貯留容器内に形成される流入槽に供給し、上記一時貯留容器内を脱気機構により負圧にして、上記流入槽から上記一時貯留容器内に形成される流出槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去する供給工程と、
上記流出槽に貯留された処理液を、上記供給・循環用ポンプにより、上記第１管路に接続する第３管路及び上記第１管路を介して、処理液を濾過して異物を除去すると共に処理液中に混入している気泡を除去するフィルタを通して上記流入槽に供給し、上記一時貯留容器内を上記脱気機構により負圧にして、上記流入槽から上記流出槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去する循環工程と、
上記流入槽と、上記処理液供給源側又は上記流出槽側との連通を、上記第１管路と上記第３管路の接続部に介設される切換弁により選択的に切り換え、上記供給工程又は上記循環工程のいずれか一方の実行を選択する切換工程と、
上記流出槽に貯留された処理液を、吐出用ポンプにより、第２管路を介して被処理基板に処理液を吐出する供給ノズルに供給する吐出工程と、を具備する、
ことを特徴とする液処理方法。
処理液供給源に貯留された処理液を、供給用ポンプにより、第１管路を介して一時貯留容器内に形成される流入槽に供給し、上記一時貯留容器内を脱気機構により負圧にして、上記流入槽から上記一時貯留容器内に形成される流出槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去する供給工程と、
上記流出槽に貯留された処理液を、循環用ポンプにより、循環管路を介して上記流入槽に供給し、上記一時貯留容器内を上記脱気機構により負圧にして、上記流入槽から上記流出槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去する循環工程と、
上記流出槽に貯留された処理液を、吐出用ポンプにより、第２管路を介して被処理基板に処理液を吐出する供給ノズルに供給する吐出工程と、を具備する、
ことを特徴とする液処理方法。
請求項９記載の液処理方法において、
上記循環工程は、上記流出槽に貯留された処理液を、循環用ポンプにより、循環管路を介して処理液を濾過して異物を除去すると共に処理液中に混入している気泡を除去するフィルタを通して上記流入槽に供給する、ことを特徴とする液処理方法。
請求項８又は９に記載の液処理方法において、
上記供給工程又は上記循環工程の少なくともいずれか一方を、上記吐出工程と同時に実行する、ことを特徴とする液処理方法。
請求項８ないし１１のいずれかに記載の液処理方法において、
上記一時貯留容器内の上記流入槽と上記流出槽の間に、処理液を貯留可能な中間槽が配置され、上記供給工程及び上記循環工程において、上記一時貯留容器内を脱気機構により負圧にして、上記流入槽から上記中間槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去すると共に、上記中間槽から上記流出槽にオーバーフローした処理液に混入している気泡を除去する、ことを特徴とする液処理方法。