JP4196372B2 - 粘性流体の気泡除去装置 - Google Patents
粘性流体の気泡除去装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4196372B2 JP4196372B2 JP2002353063A JP2002353063A JP4196372B2 JP 4196372 B2 JP4196372 B2 JP 4196372B2 JP 2002353063 A JP2002353063 A JP 2002353063A JP 2002353063 A JP2002353063 A JP 2002353063A JP 4196372 B2 JP4196372 B2 JP 4196372B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- viscous fluid
- resist solution
- cylindrical body
- bubble removing
- removing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、レジスト液塗布装置における循環式レジスト液供給機構等において使用される粘性流体の気泡除去装置に関し、気泡を確実かつ効率よく除去することができる粘性流体の気泡除去装置を提供しようとするものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の粘性流体の気泡除去装置の一例として、プリント基板などのレジスト液塗布装置における循環式レジスト液供給機構に用いられる粘性流体の気泡除去装置を挙げることができる。
【０００３】
すなわち、プリント基板製造工程のうちのレジスト液塗布工程では、プリント基板にレジスト液を均一に塗布する必要があり、このため例えばロールコーティングやカーテンコーティングが行われている。そして、このレジスト液塗布の際には、レジスト液のプリント基板上への供給、使用済みレジスト液の回収および再利用という循環式レジスト液供給機構がレジスト液塗布工程のライン中に組み込まれている。この理由は、レジストは非常に高価な材料であり、消費量を少なくすることが望まれるからである。
【０００４】
従来の循環式レジスト液供給機構においては、複数の仕切りを備えたレジスト液貯留槽内にレジスト液を滞留させ、それぞれの仕切りからレジスト液をオーバーフローまたは仕切り下部より流すことにより、気泡を除去する粘性流体の気泡除去装置が付設されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような単なるオーバーフローおよび下部流水方式の粘性流体の気泡除去装置においては、レジスト液の粘性のために気泡を除去する効果が低く、塗布したプリント基板の表面にレジスト液層にピンホール等の不良が発生するおそれがあった。
【０００６】
そこで出願人は先に、レジスト液貯留槽と、レジスト液貯留槽の側壁上部に形成された回収レジスト液の供給口、およびホッパの供給ノズルからそれぞれ吐出されるレジスト液を滞留させ、その後オーバーフローさせる隔室と、レジスト液貯留槽を複数のスペースに仕切り、かつレジスト液を通過させる無数の気孔を備えた仕切りを有するレジスト液の気泡除去装置を提案した（特開２００２−５５４６０参照）。
【０００７】
ところが、上述のようにレジスト液を通過させる無数の気孔を備えた仕切りを有するレジスト液の気泡除去装置においても、仕切りの気孔部分から気泡が液面上に迅速に上がってこないという問題があり、このようなタイプのレジスト液の気泡除去装置においては、気泡を除去する速度を向上させることが難しいという欠点があった。
【０００８】
この発明の目的とするところは、上述した従来の問題点を解決し、レジスト液の気泡の除去を確実に行うことができ、かつ迅速な気泡除去作業を実行することができる粘性流体の気泡除去装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
すなわち、この発明に係る粘性流体の気泡除去装置は、レジスト液塗布装置における循環式レジスト液供給機構等において使用される粘性流体の気泡除去装置であって、粘性流体貯留槽と、粘性流体貯留槽の上部に形成された粘性流体の供給口と、粘性流体貯留槽内に取り付けた天板部を有する筒状体とを有し、上記筒状体を下方に向かってその径を拡大するテーパ状に形成した上、上記供給口から粘性流体を放出して、粘性流体が筒状体の外壁を流下する間に、粘性流体に含まれる気泡を除去するようにしたことを特徴とするものである。
【００１０】
この発明に係る粘性流体の気泡除去装置は、上記筒状体が、その天板部に粘性流体を貯留しつつ筒状体の外壁側に向かって越流させる凹部を設けたことをも特徴とするものである。
【００１１】
この発明の粘性流体の気泡除去装置によれば、レジスト液をテーパ状に径を拡大するようにした筒状体表面を膜状に流下させるようにしたので、薄い膜厚と表面張力とが相まってレジスト液中の気泡の除去を効率よく行うことができ、またレジスト液中の気泡を確実に除去することができるので、より経済的な粘性流体の気泡除去装置を提供できるようになった。
【００１２】
さらに、この発明の粘性流体の気泡除去装置によれば、構造が簡単なために粘性流体貯留槽をコンパクトにすることが可能であり、なおかつ粘性流体貯留槽の分解や洗浄が簡単に行なえるようになった。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、この発明をプリント基板に対するレジスト液塗布装置に使用される循環式レジスト液供給機構に付設した粘性流体の気泡除去装置に適用した実施の形態を、図面を参照して具体的に説明する。
【００１４】
図１はこの発明の粘性流体の気泡除去装置の１実施例を示す概略断面図、図２は粘性流体が筒状体の外壁を流下する間に気泡が除去される状態を示す説明図である。
【００１５】
この発明の粘性流体の気泡除去装置はレジスト液塗布装置における循環式レジスト液供給機構（図示せず）において使用されるものであり、循環式レジスト液供給機構に付設した皿状容器からなるレジスト液貯留槽１１を備えている。このレジスト液貯留槽１１は、その上部に回収レジスト液（粘性流体）１２の供給口１３を形成されており、プリント基板上へレジスト液１２を供給し、そして使用済みレジスト液１２を回収して供給口１３からレジスト液貯留槽１１へ投入して再利用される。
【００１６】
上記供給口１３には、レジスト液１２の稀釈液の供給管１４が付設され、またその近傍には新鮮なレジスト液の供給ノズル１５が取り付けられている。新しいレジスト液は、レジスト液貯留槽１１内のレジスト液１２の液面が所定の高さになった時点で自動的に補充されるように、供給ノズル１５の開閉弁等を制御することが望ましい。
【００１７】
このようにして、レジスト液貯留槽１１内には供給口１３から回収して再利用されるレジスト液１２と、必要に応じて補充されるレジスト液１２とが適宜貯留される。
【００１８】
また、ハウジング１６内に配置した皿状容器からなる上記レジスト液貯留槽１１上には、天板部１８を有する筒状体１７が搭載されている。この筒状体１７は、外壁を下方に向かってその径を拡大するようテーパ状に形成してある。またその天板部１８には、レジスト液１２を貯留しつつ筒状体１７の外壁側に向かって越流させる凹部１９が設けてある。図において２２はレジスト液貯留槽１１の底部に設けた排出口、２３は排出ポンプである。
【００１９】
気泡を除去する作用を図２に基いて説明すると、レジスト液１２は先ず天板部１８の凹部１９から筒状体１７の外壁に向かって越流する際に内部に含まれる気泡２１をレジスト液１２の表面に移動させて取り除くことができる。その後レジスト液１２は、末広がりとなるようにテーパ状とした筒状体１７の外壁を流下するのであるが、その際レジスト液１２は膜状で斜めに流下するので、レジスト液１２中の気泡２１は速やかにレジスト膜表面に移動する。また、レジスト液貯留槽１１に向かって流下するレジスト液１２は、筒状体１７の外壁に沿って移動する間に表面張力によって膜厚をより薄くして、レジスト液１２中から気泡２１をレジスト膜表面に浮かび上がらせるよう作用しており、その作用によっても気泡２１をより迅速にレジスト膜表面に浮かび上がらせることができる。そのような、気泡２１を除去する作用を生み出す流下速度は、レジスト液１２の粘度、筒状体１７の径や高さ、あるいはその他の条件を勘案して適宜決定することができる。
【００２０】
上記レジスト液貯留槽１１は、筒状体１７の外壁を流下するレジスト液１２を受け止める際、レジスト液１２は末広がりとなるようにテーパ状とした筒状体１７の外壁を流下してきているので、気泡２１を巻き込んでしまうおそれはない。
【００２１】
以上の構成からなる粘性流体の気泡除去装置においては、レジスト液１２は筒状体１７の天板部１８から筒状体１７の壁面を流下し、レジスト液貯留槽１１に貯留される。その後、レジスト液貯留槽１１の底部に設けた排出口２２から循環式レジスト液供給機構の配管系へ給送され、レジスト液塗布工程に供給される。得たレジスト液塗布層は、塗布膜中に気泡によるピンホール等の発生もなく、非常に高品質のプリント基板を得ることができるようになった。
【００２２】
【発明の効果】
この発明の粘性流体の気泡除去装置によれば、レジスト液を筒状体表面を膜状に流下させるようにしたので、薄い膜厚と表面張力とが相まってレジスト液中の気泡の除去を効率よく行うことができ、またレジスト液中の気泡を確実に除去することができるので、より経済的な粘性流体の気泡除去装置を提供できるようになった。
【００２３】
さらに、この発明の粘性流体の気泡除去装置によれば、構造が簡単なために粘性流体貯留槽をコンパクトにすることが可能であり、なおかつ粘性流体貯留槽の分解や洗浄が簡単に行なえるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の粘性流体の気泡除去装置の１実施例を示す概略断面図である。
【図２】粘性流体が筒状体の外壁を流下する間に気泡が除去される状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１１ レジスト液貯留槽
１２ レジスト液
１３ 供給口
１４ 稀釈液の供給管
１５ レジスト液の供給ノズル
１６ テーブル
１７ 筒状体
１８ 天板部
１９ 凹部
２１ 気泡
２２ 排出口
２３ 排出ポンプ
【発明の属する技術分野】
この発明は、レジスト液塗布装置における循環式レジスト液供給機構等において使用される粘性流体の気泡除去装置に関し、気泡を確実かつ効率よく除去することができる粘性流体の気泡除去装置を提供しようとするものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の粘性流体の気泡除去装置の一例として、プリント基板などのレジスト液塗布装置における循環式レジスト液供給機構に用いられる粘性流体の気泡除去装置を挙げることができる。
【０００３】
すなわち、プリント基板製造工程のうちのレジスト液塗布工程では、プリント基板にレジスト液を均一に塗布する必要があり、このため例えばロールコーティングやカーテンコーティングが行われている。そして、このレジスト液塗布の際には、レジスト液のプリント基板上への供給、使用済みレジスト液の回収および再利用という循環式レジスト液供給機構がレジスト液塗布工程のライン中に組み込まれている。この理由は、レジストは非常に高価な材料であり、消費量を少なくすることが望まれるからである。
【０００４】
従来の循環式レジスト液供給機構においては、複数の仕切りを備えたレジスト液貯留槽内にレジスト液を滞留させ、それぞれの仕切りからレジスト液をオーバーフローまたは仕切り下部より流すことにより、気泡を除去する粘性流体の気泡除去装置が付設されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような単なるオーバーフローおよび下部流水方式の粘性流体の気泡除去装置においては、レジスト液の粘性のために気泡を除去する効果が低く、塗布したプリント基板の表面にレジスト液層にピンホール等の不良が発生するおそれがあった。
【０００６】
そこで出願人は先に、レジスト液貯留槽と、レジスト液貯留槽の側壁上部に形成された回収レジスト液の供給口、およびホッパの供給ノズルからそれぞれ吐出されるレジスト液を滞留させ、その後オーバーフローさせる隔室と、レジスト液貯留槽を複数のスペースに仕切り、かつレジスト液を通過させる無数の気孔を備えた仕切りを有するレジスト液の気泡除去装置を提案した（特開２００２−５５４６０参照）。
【０００７】
ところが、上述のようにレジスト液を通過させる無数の気孔を備えた仕切りを有するレジスト液の気泡除去装置においても、仕切りの気孔部分から気泡が液面上に迅速に上がってこないという問題があり、このようなタイプのレジスト液の気泡除去装置においては、気泡を除去する速度を向上させることが難しいという欠点があった。
【０００８】
この発明の目的とするところは、上述した従来の問題点を解決し、レジスト液の気泡の除去を確実に行うことができ、かつ迅速な気泡除去作業を実行することができる粘性流体の気泡除去装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
すなわち、この発明に係る粘性流体の気泡除去装置は、レジスト液塗布装置における循環式レジスト液供給機構等において使用される粘性流体の気泡除去装置であって、粘性流体貯留槽と、粘性流体貯留槽の上部に形成された粘性流体の供給口と、粘性流体貯留槽内に取り付けた天板部を有する筒状体とを有し、上記筒状体を下方に向かってその径を拡大するテーパ状に形成した上、上記供給口から粘性流体を放出して、粘性流体が筒状体の外壁を流下する間に、粘性流体に含まれる気泡を除去するようにしたことを特徴とするものである。
【００１０】
この発明に係る粘性流体の気泡除去装置は、上記筒状体が、その天板部に粘性流体を貯留しつつ筒状体の外壁側に向かって越流させる凹部を設けたことをも特徴とするものである。
【００１１】
この発明の粘性流体の気泡除去装置によれば、レジスト液をテーパ状に径を拡大するようにした筒状体表面を膜状に流下させるようにしたので、薄い膜厚と表面張力とが相まってレジスト液中の気泡の除去を効率よく行うことができ、またレジスト液中の気泡を確実に除去することができるので、より経済的な粘性流体の気泡除去装置を提供できるようになった。
【００１２】
さらに、この発明の粘性流体の気泡除去装置によれば、構造が簡単なために粘性流体貯留槽をコンパクトにすることが可能であり、なおかつ粘性流体貯留槽の分解や洗浄が簡単に行なえるようになった。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、この発明をプリント基板に対するレジスト液塗布装置に使用される循環式レジスト液供給機構に付設した粘性流体の気泡除去装置に適用した実施の形態を、図面を参照して具体的に説明する。
【００１４】
図１はこの発明の粘性流体の気泡除去装置の１実施例を示す概略断面図、図２は粘性流体が筒状体の外壁を流下する間に気泡が除去される状態を示す説明図である。
【００１５】
この発明の粘性流体の気泡除去装置はレジスト液塗布装置における循環式レジスト液供給機構（図示せず）において使用されるものであり、循環式レジスト液供給機構に付設した皿状容器からなるレジスト液貯留槽１１を備えている。このレジスト液貯留槽１１は、その上部に回収レジスト液（粘性流体）１２の供給口１３を形成されており、プリント基板上へレジスト液１２を供給し、そして使用済みレジスト液１２を回収して供給口１３からレジスト液貯留槽１１へ投入して再利用される。
【００１６】
上記供給口１３には、レジスト液１２の稀釈液の供給管１４が付設され、またその近傍には新鮮なレジスト液の供給ノズル１５が取り付けられている。新しいレジスト液は、レジスト液貯留槽１１内のレジスト液１２の液面が所定の高さになった時点で自動的に補充されるように、供給ノズル１５の開閉弁等を制御することが望ましい。
【００１７】
このようにして、レジスト液貯留槽１１内には供給口１３から回収して再利用されるレジスト液１２と、必要に応じて補充されるレジスト液１２とが適宜貯留される。
【００１８】
また、ハウジング１６内に配置した皿状容器からなる上記レジスト液貯留槽１１上には、天板部１８を有する筒状体１７が搭載されている。この筒状体１７は、外壁を下方に向かってその径を拡大するようテーパ状に形成してある。またその天板部１８には、レジスト液１２を貯留しつつ筒状体１７の外壁側に向かって越流させる凹部１９が設けてある。図において２２はレジスト液貯留槽１１の底部に設けた排出口、２３は排出ポンプである。
【００１９】
気泡を除去する作用を図２に基いて説明すると、レジスト液１２は先ず天板部１８の凹部１９から筒状体１７の外壁に向かって越流する際に内部に含まれる気泡２１をレジスト液１２の表面に移動させて取り除くことができる。その後レジスト液１２は、末広がりとなるようにテーパ状とした筒状体１７の外壁を流下するのであるが、その際レジスト液１２は膜状で斜めに流下するので、レジスト液１２中の気泡２１は速やかにレジスト膜表面に移動する。また、レジスト液貯留槽１１に向かって流下するレジスト液１２は、筒状体１７の外壁に沿って移動する間に表面張力によって膜厚をより薄くして、レジスト液１２中から気泡２１をレジスト膜表面に浮かび上がらせるよう作用しており、その作用によっても気泡２１をより迅速にレジスト膜表面に浮かび上がらせることができる。そのような、気泡２１を除去する作用を生み出す流下速度は、レジスト液１２の粘度、筒状体１７の径や高さ、あるいはその他の条件を勘案して適宜決定することができる。
【００２０】
上記レジスト液貯留槽１１は、筒状体１７の外壁を流下するレジスト液１２を受け止める際、レジスト液１２は末広がりとなるようにテーパ状とした筒状体１７の外壁を流下してきているので、気泡２１を巻き込んでしまうおそれはない。
【００２１】
以上の構成からなる粘性流体の気泡除去装置においては、レジスト液１２は筒状体１７の天板部１８から筒状体１７の壁面を流下し、レジスト液貯留槽１１に貯留される。その後、レジスト液貯留槽１１の底部に設けた排出口２２から循環式レジスト液供給機構の配管系へ給送され、レジスト液塗布工程に供給される。得たレジスト液塗布層は、塗布膜中に気泡によるピンホール等の発生もなく、非常に高品質のプリント基板を得ることができるようになった。
【００２２】
【発明の効果】
この発明の粘性流体の気泡除去装置によれば、レジスト液を筒状体表面を膜状に流下させるようにしたので、薄い膜厚と表面張力とが相まってレジスト液中の気泡の除去を効率よく行うことができ、またレジスト液中の気泡を確実に除去することができるので、より経済的な粘性流体の気泡除去装置を提供できるようになった。
【００２３】
さらに、この発明の粘性流体の気泡除去装置によれば、構造が簡単なために粘性流体貯留槽をコンパクトにすることが可能であり、なおかつ粘性流体貯留槽の分解や洗浄が簡単に行なえるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の粘性流体の気泡除去装置の１実施例を示す概略断面図である。
【図２】粘性流体が筒状体の外壁を流下する間に気泡が除去される状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１１ レジスト液貯留槽
１２ レジスト液
１３ 供給口
１４ 稀釈液の供給管
１５ レジスト液の供給ノズル
１６ テーブル
１７ 筒状体
１８ 天板部
１９ 凹部
２１ 気泡
２２ 排出口
２３ 排出ポンプ
Claims (2)
- レジスト液塗布装置における循環式レジスト液供給機構において使用される粘性流体の気泡除去装置であって、粘性流体貯留槽と、粘性流体貯留槽の上部に形成された粘性流体の供給口と、粘性流体貯留槽内に取り付けた天板部を有する筒状体とを有し、上記筒状体を下方に向かってその径を拡大するテーパ状に形成した上、上記供給口から粘性流体を放出して、粘性流体が筒状体の外壁を流下する間に、粘性流体に含まれる気泡を除去するようにしたことを特徴とする粘性流体の気泡除去装置。
- 筒状体が、その天板部に粘性流体を貯留しつつ筒状体の外壁側に向かって越流させる凹部を設けてなる請求項１に記載の粘性流体の気泡除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002353063A JP4196372B2 (ja) | 2002-12-04 | 2002-12-04 | 粘性流体の気泡除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002353063A JP4196372B2 (ja) | 2002-12-04 | 2002-12-04 | 粘性流体の気泡除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004186510A JP2004186510A (ja) | 2004-07-02 |
| JP4196372B2 true JP4196372B2 (ja) | 2008-12-17 |
Family
ID=32754474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002353063A Expired - Fee Related JP4196372B2 (ja) | 2002-12-04 | 2002-12-04 | 粘性流体の気泡除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4196372B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI117602B (fi) | 2005-06-02 | 2006-12-15 | Metso Paper Inc | Menetelmä ja laitteisto kaasun poistamiseksi päällystysaineesta |
| FI121149B (fi) | 2005-12-28 | 2010-07-30 | Metso Paper Inc | Menetelmä ja laite kaasun poistamiseksi päällystysaineesta |
| JP5524154B2 (ja) * | 2011-09-09 | 2014-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び液処理方法 |
-
2002
- 2002-12-04 JP JP2002353063A patent/JP4196372B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004186510A (ja) | 2004-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20120104402A (ko) | 전극 제조 장치 | |
| JP4196372B2 (ja) | 粘性流体の気泡除去装置 | |
| JP6895818B2 (ja) | 処理液供給装置および処理液供給方法 | |
| JP4341183B2 (ja) | 脱泡装置および脱泡方法 | |
| JP2011101956A (ja) | 液体噴射装置 | |
| JP2003245583A (ja) | 液体塗布装置 | |
| JP2002055460A (ja) | レジスト液の気泡除去装置 | |
| JP2020136509A (ja) | フィルタウェッティング方法及び処理液供給装置 | |
| JPH11290792A (ja) | 処理液供給装置 | |
| JPH06238218A (ja) | ローラーカーテンコータ装置 | |
| JPS6319331Y2 (ja) | ||
| TWI338594B (en) | Coating method and coating apparatus, and method of manufacturing a photomask blank | |
| JPH07155715A (ja) | 水溶性洗浄装置 | |
| JP2011046149A (ja) | 液体受容装置及び液体噴射装置 | |
| JPH10156248A (ja) | 塗布装置 | |
| JP2001121067A (ja) | 脱泡装置 | |
| JP2002045754A (ja) | 塗布装置 | |
| JPH10328503A (ja) | 循環脱泡装置 | |
| JP2923998B2 (ja) | 浸漬塗布装置 | |
| KR101090075B1 (ko) | 웨이퍼 코팅 장치 및 이에 코팅액을 공급하는 방법 | |
| KR100916299B1 (ko) | 약액도포노즐 | |
| JP2015199058A (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
| JPH0623311A (ja) | コーティング装置 | |
| JPH0737367U (ja) | ロール塗布装置 | |
| JPH0745315Y2 (ja) | オフセット印刷機用水循環装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051205 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060220 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080421 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080425 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080426 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080819 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080919 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111010 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |