JPS6319331Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、液槽の泡取付装置に関し、とくに、
プリント回路基板、ガラス基板等に現像処理や剥
膜処理等の表面処理をする装置において、アルカ
リ性の処理液のように、処理工程中に泡を発生し
やすい処理液を使用する場合に適した泡取装置に
関する。

従来、ガラス基板、プリント回路基板等の基板
に処理液を、スプレイして現像や剥膜等の表面処
理するための装置は、第１図のようになつてい
る。すなわち、搬送ローラ９に基板５を載置し、
水平に自動搬送しながら、処理槽２内のスプレイ
４により、処理液８を基板５上に噴射して表面処
理が行なわれ、スプレイ４から基板５上に噴出さ
れた処理液８は、処理槽２の下部に設けられた貯
溜槽１内に、処理槽２の排出管３を通して排出さ
れ、排出された処理液８はポンプ６により配管７
を介して再度スプレイ４に供給されるように構成
されている。

かかる従来装置においては、基板５上に噴射さ
れ、処理槽２の底面に落下した処理液８が該処理
槽２の底面上で気泡を発生し、とくにスプレイ４
の噴射量が多い場合には大量の気泡が発生し、処
理槽２からあふれでる難点があつた。また逆に、
スプレイ４の噴射量を少なくすると、処理槽２の
底面上における大量の気泡の発生は防止すること
ができるが、この場合には処理液８中に生じた細
かな気泡が処理液８とともに排出管３を介して貯
溜槽１に多数流入し、それらの気泡が徐々に集積
されて大きくなり、ついには貯溜槽１からあふれ
でてしまう難点があつた。

かかる難点を解決するため、例えば実公昭53−
9740号公報に開示されたような手段が提案されて
いる。第２図は、その適用例を示すもので、貯溜
槽１の内部に堰１０および、傾斜板１１が設けら
れており、排出管３より流入した処理液８は、堰
１０を越え、気泡とともに、傾斜板１１の表面を
薄膜状となつて流れるため、気泡は消滅した状態
で隣の槽に導かれる。

ところが、かかる手段では、気泡量が少ない場
合には効果的であるが、気泡量が著しく多い処理
液を使用する場合には、傾斜板１１のみでは消泡
しきれないため、処理液８を、前記のように循環
し続けると、貯溜槽１より処理液８が泡体となつ
てオーバーフローすることがあつた。

本考案は、上述した従来例の不都合を解消する
ために案出されたもので、処理工程中に多量の気
泡を発生する処理液を使用しても、気泡による不
都合を生じないようにした表面処理装置を提供す
ることを目的とする。

以下、本考案の構成を第３図及び第４図に示す
実施例により詳細に説明する。

第３図において、第１図および第２図と同一部
分は、同一符号で示しその説明を省略する。同図
中、１３は、排出管３と同心状に配設され、その
一端が処理槽２の底部に固定された、該排出管３
より大径の円筒体（以下、スカートと称する）
で、その他端は排出管３と同様貯溜槽１内の処理
液８中に浸漬・開口している。また、１４は該ス
カート１３の上部側面に、当該スカート１３と連
通すべく設けられた泡送り出し管である。また、
必要に応じて、該スカート１３と該排出管３との
間に、円筒状の泡ガイド１２を、貯溜槽１の底部
より排出管３およびスカート１３と同心状に立設
してもよい。更に、同図中の１５は、泡送り出し
管１４の他端に該泡送り出し管１４に連通して設
けられた排気チヤンバーであり、送り込まれてく
る気泡をいつたん貯蔵し、液化するためのもので
ある。該排気チヤンバー１５には、排液弁１６が
その底部に、排気管１７がその上部に設けられて
いる。また、排気管１７の要所には、吸引フアン
（図示せず）が設けられており、排気チヤンバー
１５内のエアを吸引することにより、気泡の排気
チヤンバー１５への導入が促進されるととも、排
気チヤンバー１５の上部に配設されたミストキヤ
ツチヤー１８（網体または多孔体）による気泡の
消滅が助長される。

本実施例の構成は、上記したようになつている
ので、搬送ローラ９上に載置され、搬送される基
板５にスプレイ４より処理液８を噴出し、基板５
に対し、現像処理や剥膜処理等の表面処理を行な
う場合に、スプレイ４の噴出量を適当に少なくす
れば、たとえ処理液８中に生じた細かな気泡が処
理液８とともに排出管３から排出されても、処理
液８は気泡とともに、泡ガイド管１２内に入り、
処理液８のみが該泡ガイド管１２の上部よりオバ
ーフローし、スカート１３を介して貯溜槽１内に
流入するとともに、気泡は泡ガイド管１２の上部
開口端およびスカート１３の処理液８上面で集積
される。

次に、かかる気泡は、泡ガイド管１２の処理液
上面およびスカート１３内の処理液上面等で形成
される空間に溜り、泡送り出し管１４を通つて排
気チヤンバー１５内に送られる。なお、これらの
気泡は、吸引フアンによつて排気チヤンバー１５
内のエアを排出しなくても、前記したスカート１
３内の空間における気泡の増加によつて、泡その
ものを泡送り出し管１４に押し込むようにするこ
ともできる。そして、排気チヤンバー１５内の気
泡、は、気泡そのものの自重あるいはミストキヤ
ツチヤー１８への接触等により次第に消泡して気
泡のない処理液８が排気チヤンバー１５内に溜
り、かかる処理液８は、チヤンバー１５の底部の
排液弁１６を開くことにより貯溜槽１に循環させ
るようにすれば良い。一方、排出管３から排出さ
れる処理液８は、泡ガイド管１２およびスカート
１３を介して貯溜槽１に導入されているため、ス
カート１３で区画された以外の貯溜槽１における
処理液８の表面には全く気泡が発生しない。

なお、他の実施例として、第４図に示すよう
に、泡ガイド管１２とスカート１３との間また
は、排出管３と泡ガイド管１２との間に、螺旋状
の傾斜板１９を設ければ、さらに消泡効率が向上
することはいうまでもない。また、前記した実施
例においては、排出管３、泡ガイド管１２および
スカート１３をそれぞれ異径の中空円筒体として
説明したが、本考案においてはかかる形状に限定
されるものではなく、例えば末広がり形状にする
ことも可能である。

また、前記した本考案の実施例においては、排
出管３の一端を、貯溜槽１内の処理液中に開口さ
せるべく構成したが、かかる排出管３は貯溜槽１
の処理液面から離して開口させても良く、この場
合には処理槽２内に発生した比較的大きな気泡を
も排気チヤンバー１５内に吸引することができ、
消泡効果をさらに拡大することができる。

さらに、上記した説明では、筒状体を、その断
面が円形である如くに図示、記載したが、本願明
細書における筒状体は断面が円形である必要性は
なく、多角形である場合も当然含むものとする。

以上要するに本考案は、発泡を伴う処理液にて
基板等の表面処理が行われる処理槽に隣接して、
該処理液を導入・貯溜する貯溜槽を設け、これら
貯溜槽と貯溜槽との間を排出管で連通し、該排出
管より大径の筒状体を、その一端を処理槽底部に
固着させて配設し、かつその他端が貯溜槽内の液
中に開口するようになし、該筒状体の上方要所に
泡送り出し管を突設し、該泡送り出し管にて筒状
体内の気泡を貯溜槽外部に送り出す泡取装置を備
えたことを特徴とする表面処理装置であるから次
の効果を奏する。

貯溜槽内の液中にその一端が開口した筒状体
内に、排出管を臨設してあるため、発泡量の多
少にかかわらず筒状体内で気泡を捕捉すること
ができ、処理液のみを貯溜槽に環流させること
ができるため、貯溜槽より気泡のオーバフロー
がない。

貯溜槽を密閉しないので、処理液の貯溜状態
の確認および供給等の保守が簡単にできる。

貯溜槽内の液中にその一端が開口した排出管
および筒状体で形成される密室内に気泡を集結
したので、吸引フアン等による吸引力を付与し
なくとも、気泡自からの増加によつて排気チヤ
ンバー内に流入し、気泡と処理液との分離が簡
単に実施することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の断面図、第２図は他の従来例
の断面図、第３図は本考案に係る表面処理装置の
１実施例を示す断面図、第４図は他の実施例を示
す要部斜視断面図である。 １……貯溜槽、２……処理槽、３……排出管、
１３……スカート、１４……泡送り出し管。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基板等に所定の処理液により表面処理を施す
   ための処理槽、該処理槽に隣接し、当該処理槽
   から排出管を介して排出される処理液を貯溜す
   るための貯溜槽、前記処理槽と該貯溜槽との間
   に処理液を循環させるための手段を備えた表面
   処理装置において、前記排出管の貯溜槽側開口
   部分に、その一端が前記貯溜槽の処理液中に開
   口して空間部分を形成すべく配設された筒状体
   と、該筒状体の空間部分にその一端が連通する
   泡送り出し管と、該泡送り出し管の他端に連通
   する排気チヤンバーと、から成る消泡手段を付
   設したことを特徴とする表面処理装置。 (2) 処理槽と貯溜槽とを上下に隣接し、筒状体の
   一端を該処理槽の底部に固着した実用新案登録
   請求の範囲第１項に記載の表面処理装置。