JPH0964010A - リンス機用温洗浄液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体ウエハの洗浄等に用いるリンス機用温
洗浄液供給装置において、洗浄液を貯蔵，保存しておく
ための大型のタンクを不要とすることにより、設備費用
を少なくし、設置面積を小さくし、装置の立ち上げに要
する時間を大幅に短縮する。温度が安定した洗浄液を供
給し、洗浄液として薬液を用いる場合でも薬液の特性変
化を少なくする。 【解決手段】流入口(1)より流入した洗浄液を温度調整
部(2)で加熱し、温度調整された洗浄液を流出口(3)より
リンス機(6)に供給する装置。供給する必要のないとき
には洗浄液を保温しつつ装置内で循環させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体素子等の製造にお
いて洗浄に用いられるリンス機に温純水等の温洗浄液を
供給する装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハや太陽電池用セル等の製造
工程においては、リンス機で純水，薬液等の洗浄液を用
いて洗浄対象表面の洗浄を行なっている。ここに洗浄液
の温度は高い方が洗浄能率がよく、洗浄後の被洗浄物の
乾燥も速くなる。しかし、あまり高温になり過ぎると洗
浄対象に歪み，反り等を生じさせるおそれがあるので、
洗浄液をそのような悪影響を与えない程度の温度に設定
して用いている。リンス機の種類としては常に洗浄液を
供給し続ける連続式と、必要なときに必要なだけ洗浄液
を供給する間欠式がある。間欠式の場合には一旦タンク
に洗浄液を蓄えて加熱，保温しておき、洗浄作業の度に
タンク内から洗浄液等を取り出して用いている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】タンクは、まず多数回
の使用に必要な洗浄液を貯蔵する必要があるために大型
となり、大きなスペースが必要となるばかりでなく、設
備のコストも高くつく。 使用に際しては、タンクに多くの洗浄液を貯蔵し、加
熱，保温する必要があるので、立ちあげに要する時間が
長くなる。また、タンクの容量には限りがあるので、一
定以上の量の洗浄液を使用する場合には、新たにタンク
に洗浄液を追加注液する必要があり、液温が不安定とな
りやすく、液温低下により洗浄が不十分となることもあ
った。一旦タンク内の洗浄液を使い切ってから再度タン
ク内を満たして加熱，保温する場合は最初の立ち上げ時
と同様の立ち上げ時間が必要となり効率が悪い。さら
に、洗浄液として純水ではなく薬液を用いた場合、上記
の問題の他に長時間の加熱保温により薬液の特性が変化
してしまうという問題もある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明のリンス機用温洗
浄液供給装置は、流入口(1)より流入した洗浄液を温度
調整部(2)で加熱し、温度調整された洗浄液を流出口(3)
よりリンス機(6)に供給する装置であって、供給する必
要のないときには洗浄液を保温しつつ装置内で循環させ
ることを特徴とする。

【０００５】

【実施の形態】以下、本発明を好適な実施例を用いて説
明する。図１は本発明実施例の流路構成図である。

【０００６】(1)は外部から純水等の洗浄液の流入口で
あり、逆止弁(16)を通って開状態の第２開閉弁(18)に流
れて行く。このとき第２流量調整弁(23)は閉状態になっ
ている。第１開閉弁(17)と第２開閉弁(18)とは常に反対
の状態（一方が「開」の時に他方は「閉」）となるよう
に設定されているため、このときは閉状態となってい
る。そこで第２開閉弁(18)を通過した洗浄液は全てポン
プ(5)を通過する。レギュレーター(13)を備えた経路は
通常閉状態であるため、洗浄液は第１流量調整弁(22)
と、脈動防止のためのパルスダンパー(12)と、第１温度
検知部(7)を介して温度調整部(2)に導かれる。温度調整
部(2)においては電熱線(2a)が、洗浄液が通っている管
路の周りに巻き付けられており、電熱線(2a)により洗浄
液が加熱される。温度調整部(2)にはヒーター温度の異
常上昇を検知して電源を遮断するための２種類の過熱防
止センサ（「熱電対」と「液圧式サーモスタット」）を
備えている（図示せず）。温度調整部(2)で適当な温度
に調整された洗浄液は液体用のフィルター(11)を通って
第２温度検知部(8)に流れて行く。第２温度検知部(8)で
検出された温度データは温度調整器（図示せず）へ送ら
れ、これに基づき電熱線(2a)への出力が制御される。

【０００７】供給時には流出側流量検知部(10)，第５開
閉弁(21)，サックバック(14)を介して洗浄液流出口(3)
より洗浄液供給先（リンス機）(6)に供給される。ここ
にサックバック(14)は供給停止時に、サックバック(14)
から洗浄液流出口(3)までの経路内に残留している洗浄
液が洗浄液供給先(6)に滴下しないようにするために用
いている。また、流出側流量検知部(10)は、後述する循
環側流量検知部(9)とともに洗浄液の流量を検知して空
炊きを防止している。

【０００８】洗浄液を供給しないときには、洗浄液は経
路内を循環する。循環時には第２温度検知部(8)から循
環側流量検知部(9)に流れて行く。第１開閉弁(17)は開
状態，第２開閉弁(18)は閉状態に切り替わっているの
で、第１開閉弁(17)を通った洗浄液は全てポンプ(5)，
温度調整部(2)を経由して流れ、循環する。温度調整部
(2)では循環により失われた熱量だけ加熱するため洗浄
液の温度はほぼ一定に保たれる。

【０００９】尚、起動時には経路の管内に空気が入って
いることがあるので、第２開閉弁(18)を閉じ、第２流量
調整弁(23)と第３開閉弁(19)を開状態にして管内の空気
をドレン(4)から排出し、起動後しばらくしてから第２
流量調整弁(23)と第３開閉弁(19)を閉状態にし、第２開
閉弁(18)を開状態にする。また、装置運転中には洗浄液
中に溶けていたガスが加熱により気泡となって現れるの
で、このガスはフィルター(11)から第４開閉弁(20)，第
３流量調整弁(15)を通ってドレン(4)から排出される。
レギュレーター(13)を備えた回路は、経路内の圧力が異
常に高くなったときに経路内の洗浄液をドレン(4)から
排出し、経路内圧上昇に起因する故障を防止する。

【００１０】間欠的使用を行っても、洗浄液の温度の変
動は少なく、常に洗浄に適した温度の洗浄液をリンス機
に供給することができた。また、洗浄液として薬液を使
用した場合でも、大量の薬液を長時間加熱保温しておく
必要がないので、薬液の特性変化は見られなかった。立
ち上げに要する時間も、経路内部のガスをドレンから排
出するための短い時間でよく、作業効率が向上した。

【００１１】尚、上記実施例では洗浄液流出口(3)を１
カ所設けたが、複数箇所設けてもよい。

【００１２】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の温洗浄液供
給装置では洗浄液を貯蔵，保存しておくための大型のタ
ンクを必要としないため、設備費用が少なく、設置面積
も小さくすることができ、装置の立ち上げに要する時間
が大幅に短縮できる。そして、温度が安定した洗浄液を
供給することができ、洗浄液として薬液を用いる場合で
も薬液の特性変化を少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の流路構成図。

【符号の説明】

(1) 洗浄液流入口 (2) 温度調整部 (2a) 電熱線 (3) 洗浄液流出口 (4) ドレン (5) ポンプ (6) 洗浄液供給先（リンス機） (7) 第１温度検知部 (8) 第２温度検知部 (9) 循環側流量検知部 (10) 流出側流量検知部 (11) フィルター (12) パルスダンパー (13) レギュレーター (14) サックバック (15) 第３流量調整弁 (16) 逆止弁 (17) 第１開閉弁 (18) 第２開閉弁 (19) 第３開閉弁 (20) 第４開閉弁 (21) 第５開閉弁 (22) 第１流量調整弁 (23) 第２流量調整弁

フロントページの続き (72)発明者 小中 敏典 東京都台東区谷中３丁目６番16号 エム・ セテック株式会社内 (72)発明者 村井 剛 東京都台東区谷中３丁目６番16号 エム・ セテック株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流入口より流入した洗浄液を温度調整部
   で加熱し、温度調整された洗浄液を流出口よりリンス機
   に供給するリンス機用温洗浄液供給装置であって、供給
   する必要のないときには洗浄液を保温しつつ装置内で循
   環させることを特徴とするリンス機用温洗浄液供給装
   置。