JP4541255B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る基板処理装置1の構成を模式的に示した斜視図である。この基板処理装置1は、複数の基板(以下、単に「基板」という)Wを一括して搬送しつつ、基板に対して薬液処理および水洗処理を行う装置である。基板処理装置1は、主として、薬液を貯留する薬液槽10と、純水を貯留する水洗槽20と、基板Wを搬送する搬送機構30と、基板処理装置の動作をソフトウエアを介して制御する制御部40と、薬液槽10の給排液動作を手動で操作する操作部50と、を備えている。
続いて、上記の基板処理装置1において、薬液槽10における薬液処理中に制御部40のソフトウエアがハングアップしたときの対処動作について、以下に説明する。図13は、基板処理装置1における対処動作の流れを示したフローチャートである。
10 薬液槽
11 内槽
12 外槽
20 水洗槽
30 搬送機構
40 制御部
50 操作部
51〜55 第1〜第5スイッチ
56 切り替えスイッチ
57 電子回路
60 配管部
63 ポンプ
66 純水供給源
70 空気圧源
71b,72b,73b,74b,75b 三方弁
80 シリアル電磁弁
81〜85 第1〜第5個別電磁弁
86 ポンプ用電磁弁
V1〜V7 第1〜第7エア弁
W 基板
Claims (1)
- 処理液により基板を処理する基板処理装置であって、
基板を浸漬させる処理液を貯留する処理槽と、
前記処理槽内の処理液を排出する処理液排出部と、
前記処理液排出部に設けられた処理液排出部用開閉弁と、
前記処理槽内へ純水を供給する純水供給部と、
前記純水供給部に設けられた純水供給部用開閉弁と、
前記処理槽内の純水を排出し、再び前記処理槽へ供給する循環部と、
前記循環部に設けられた循環部用開閉弁と、
ソフトウエアを介して、前記処理液排出部用開閉弁、前記純水供給部用開閉弁、および前記循環部用開閉弁を制御する制御部と、
ソフトウエアを介することなく前記処理液排出部用開閉弁、前記純水供給部用開閉弁、および前記循環部用開閉弁を操作する操作部と、
前記制御部のソフトウエアが処理液による処理中にハングアップした場合に、前記操作部を有効化し、通常時には前記操作部を無効化する切り替え手段と、
を備え、
前記操作部は、前記制御部においてソフトウエアが処理液による処理中にハングアップしたときに、前記処理槽内の処理液を純水に置換する動作を手動で行うためのスイッチパネルであるとともに、前記切り替え手段により有効化される複数のスイッチを有し、
前記複数のスイッチは、
前記処理液排出部用開閉弁を操作することにより、前記処理槽内からの処理液の排出動作を実現するスイッチと、
前記純水供給部用開閉弁を操作することにより、前記処理槽内への純水の供給動作を実現するスイッチと、
循環部用開閉弁を操作することにより、前記循環部における循環動作を実現するスイッチと、
を含むことを特徴とする基板処理装置。
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JPH05163962A (ja) * | 1991-12-11 | 1993-06-29 | Yanmar Diesel Engine Co Ltd | 非常用原動機の制御装置 |
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JP2004022578A (ja) * | 2002-06-12 | 2004-01-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理ユニット検査装置および検査方法 |
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2005
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