JP6484276B2 - 磁気記録膜形成用スパッタリングターゲット及びその製造方法 - Google Patents
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Description
通常、このような磁気記録層は、焼結体からなるスパッタリングターゲットを用いて成膜されるが、粉末焼結法によっては、焼結体中の黒鉛の向きを揃えることが難しく、結果として、所望の安定したスパッタリング特性が得られないという問題があった。
そして、この一様に扁平化処理されたFe−Pt合金粉と薄片化黒鉛を混合することによって、焼結体中における黒鉛の配向性をさらに向上することが可能となり、その結果、これまで以上に、スパッタリングの異常放電を抑制することができ、またパーティクルの発生を低減できることを見出した。
1)Cを含有するFePt系磁気記録膜形成用スパッタリングターゲットであって、スパッタ面に対する垂直断面の研磨面において、Fe−Pt合金相の平均厚さが10μm以上であることを特徴とするスパッタリングターゲット、
2)Cを含有するFePt系磁気記録膜形成用スパッタリングターゲットであって、スパッタ面に対する垂直断面の研磨面において、Fe−Pt合金相の平均長さが20μm以上であることを特徴とするスパッタリングターゲット、
3)Cを含有するFePt系磁気記録膜形成用スパッタリングターゲットであって、スパッタ面に対する水平断面の研磨面において、Fe−Pt合金相の平均長さが20μm以上であることを特徴とするスパッタリングターゲット、
4)Pt含有量が5mol%以上60mol%以下であることを特徴とする上記1)〜3)のいずれか一に記載のスパッタリングターゲット、
5)C含有量が10mol%以上70mol%以下であることを特徴とする上記1)〜4)のいずれか一に記載のスパッタリングターゲット、
6)添加元素として、B、Ru、Ag、Au、Cuからなる群から選択した一種以上の元素を0.5mol%以上10mol%以下含有することを特徴とする上記1)〜5)のいずれか一に記載のスパッタリングターゲット、
7)添加材として、酸化物、窒化物、炭化物、炭窒化物からなる群から選択した一種以上の無機物材料を含有することを特徴とする上記1)〜6)のいずれか一に記載のスパッタリングターゲット、
8)Fe−Pt合金を切削して切粉とした後、これを粉砕、扁平化処理してFe−Pt合金粉末とし、次に、このFe−Pt合金粉末に薄片化黒鉛粉末を混合し、この混合粉末をホットプレス焼結し、次に、この焼結体をターゲット形状に機械加工することを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法、
9)B、Ru、Ag、Au、Cuからなる群から選択した一種以上の金属元素の粉末を混合することを特徴とする上記8)記載のスパッタリングターゲットの製造方法、
10)酸化物、窒化物、炭化物、炭窒化物からなる群から選択した一種以上の無機物材料の粉末を混合することを特徴とする上記8)又は9)に記載のスパッタリングターゲットの製造方法、を提供する。
なお、前記の「スパッタ面に対する垂直断面」は、図8に示すように、ホットプレス時に加圧される面に垂直な断面に相当する。
まず、スパッタ面に対して垂直断面の顕微鏡写真を、縦、横それぞれが1000μm〜1500μmの範囲に入る視野で任意の3箇所を撮影する。このとき、スパッタ面に対して、鉛直方向の直線が、顕微鏡写真の縦方向に平行となるように調整する。次に、各顕微鏡写真に対して任意の3カ所に顕微鏡写真の縦方向に直線を引く。このとき、直線は、Fe−Pt合金相、C相、その他添加元素の相を交互に通過することになる。そして、この直線が、相を通過し始めてから、その相が終わるまでの線分の長さを、相の厚さと定義し、Fe−Pt合金相の各相の厚さを測定し、測定箇所3箇所×顕微鏡写真3枚=合計9箇所の測定値の平均を算出する。
なお、顕微鏡写真の視野が、上記の範囲よりも狭い場合は、平均厚さを計算するために十分な母数を確保できず、一方、上記の範囲よりも広い場合は、一相当たりの長さの測定が困難となるため、視野は1000μm〜1500μmとすることが好ましい。
好ましくは、スパッタ面に対する垂直断面の研磨面において、Fe−Pt合金相の平均厚さが10μm以上、かつ、該合金相の平均長さが30μm以上である。また、Fe−Pt合金相の平均厚さ厚すぎるか、もしくは平均長さが長すぎると、配向を揃えるのが難しくなるので、平均厚さを100μm以下、もしくは平均長さを400μm以下とするのが好ましい。
まず、スパッタ面に対して垂直断面の顕微鏡写真を、縦、横それぞれが1000μm〜1500μmの範囲に入る視野で任意の3箇所を撮影する。このとき、スパッタ面に対して、鉛直方向の直線が、顕微鏡写真の縦方向に平行となるように調整する。次に、各顕微鏡写真に対して任意の3カ所に顕微鏡写真の横方向に直線を引く。このとき、直線は、Fe−Pt合金相、C相、その他添加元素の相を交互に通過することになる。そして、この直線が、相を通過し始めてから、その相が終わるまでの線分の長さを、相の長さと定義し、Fe−Pt合金相の各相の長さを測定し、測定箇所3箇所×顕微鏡写真3枚=合計9箇所の測定値の平均を算出する。
なお、顕微鏡写真の視野が、上記の範囲よりも狭い場合は、平均長さを計算するために十分な母数を確保できず、一方、上記の範囲よりも広い場合は、一相当たりの長さの測定が困難となるため、視野は1000μm〜1500μmとすることが好ましい。
より好ましくは、スパッタ面に対する垂直断面の研磨面において、Fe−Pt合金相の平均厚さが20μm以上、及び/又は該合金相の平均長さが20μm以上であって、スパッタ面に対する水平断面の研磨面におけるFe−Pt合金相の平均長さが20μm以上である。
なお、前記の「スパッタ面に対する水平断面」は、図8に示すように、ホットプレス時に加圧される面に相当する。
まず、スパッタ面に対して水平断面の顕微鏡写真を、縦、横それぞれが1000μm〜1500μmの範囲に入る視野で任意の3箇所を撮影する。このとき、Fe−Pt合金相は、水平断面において2次元の方向性を持たないため、どのような向きで撮影しても良い。次に、各顕微鏡写真に対して任意の3カ所に顕微鏡写真の横方向に直線を引く。このとき、直線は、Fe−Pt合金相、C相、その他添加元素の相を交互に通過することになる。そして、この直線が、相を通過し始めてから、その相が終わるまでの線分の長さを、相の長さと定義し、Fe−Pt合金相の各相の長さを測定し、相の長さと定義し、Fe−Pt合金相の各相の長さを測定し、測定箇所3箇所×顕微鏡写真3枚=合計9箇所の測定値の平均を算出する。
なお、顕微鏡写真の視野が、上記の範囲よりも狭い場合は、平均長さを計算するために十分な母数を確保できず、一方、上記の範囲よりも広い場合は、一相当たりの長さの測定が困難となるため、視野は1000μm〜1500μmとすることが好ましい。
また、本発明のスパッタリングターゲットは、C含有量が10mol%以上70mol%以下、残部Fe及びPtであることが好ましい。C含有量が10mol%未満であると所望の磁気特性が得られない場合があり、一方、C含有量が70mol%を超えるとCが凝集して、パーティクル増加の原因となるからである。
まず、Fe原料とPt原料とを溶解鋳造して、Fe−Pt合金インゴットを作製し、これを汎用旋盤等を用いて、Fe−Pt合金の切粉にする。このとき、切削時の切り込み量は0.1〜0.3mmとするのが好ましい。また、使用するFe原料とPt原料は誘導加熱が可能な形状であればどのような形状であっても良い。
溶解鋳造により合金にする理由は、Fe粉とPt粉とを焼結合金した場合、ポーラス構造となってしまい、後述する扁平化処理中にFe−Pt合金粉が解砕されてしまい、結果として、粒子径の小さな合金粉となってしまうためである。
Fe原料とPt原料は、所望するFe−Pt合金の組成に合わせて、その比率を適宜調整することができる。また、B、Ru、Ag、Au、Cu等の金属粉末を添加する場合、Fe−Pt合金インゴットを作製する際に同時に添加することが好ましい。
その後、媒体攪拌ミルを用いて、扁平状あるいは薄片状に粉砕する(扁平化処理)。媒体攪拌ミルは、5Lのタンク容量の物を使用した場合、粉砕メディアに直径3〜7mmのイットリア安定化ジルコニアビーズを使用し、回転数300rpmで2〜8時間程度処理することが好ましい。但し、本条件に限定されるものではなく、これと同等程度の処理能力を得られると認められる場合はどのような方法を用いても良い。
上記の粉砕工程及び扁平化処理により、粒径が1μm以上500μm以下、平均粒子径が50〜100μmの、緻密なFe−Pt合金粉末を得ることができる。
B、Ru、Ag、Au、Cu等の金属粉末や、酸化物、窒化物、炭化物、炭窒化物等の無機物材料を添加する場合は、この段階で混合することもできる。これらの金属粉末や無機材料粉末は、粒径0.5μm以上30μm以下のものを使用することが好ましい。原料が細かすぎると、原料同士が凝集してしまうため好ましくなく、原料が大きすぎると、原料自体が異常放電の原因となってしまうため好ましくない。
以上のように、一様に扁平化処理されたFe−Pt合金粉と薄片化黒鉛、また必要に応じて添加された前記の金属粉末や無機材料粉末を原料粉として使用することにより、焼結体からなるターゲット中のC相の配向性をこれまで以上に高めることができる。
焼結時の保持温度は、スパッタリングターゲットの組成にもよるが、多くの場合、800〜1600°Cの温度範囲とする。また、必要に応じて、ホットプレスから取り出した焼結体に熱間等方加圧加工を施すことができる。熱間等方加圧加工は、焼結体の密度向上に有効である。熱間等方加圧加工時の保持温度は、焼結体の組成にもよるが、多くの場合800〜1600°Cの温度範囲である。また、加圧力は100Mpa以上に設定する。このようにして得られた焼結体を旋盤で所望の形状に加工することにより、本発明のスパッタリングターゲットは作製できる。
まず、Fe原料とPt原料を真空溶解鋳造によって溶解し、φ150程度の円柱状の組成比Fe−50Pt(at.%)からなる合金インゴットを得た。次に、得られた合金インゴットの表面酸化膜を除去した後、汎用旋盤にセットし、切り込み量0.3mmで切削して、Fe−Pt合金切粉を作製した。
その後、Fe−Pt合金切粉を、ブラウン横型粉砕機を用いて目開き150μmの篩を通るまで粉砕した後、目開き63μmの篩を用いて微粉を除去した。さらに、Fe−Pt粉砕粉をタンク容量5Lの媒体攪拌ミルへ投入し、粉砕メディアに直径5mmのイットリア安定化ジルコニアビーズを使用して、4時間処理を行い、緻密な薄片化Fe−Pt合金粉末を作製した。
この緻密な薄片化Fe−Pt合金粉末の平均粒子径を調べるために、HORIBA社製の湿式粒度分布径を使用し、分散溶媒としてイソプロピルアルコールを用いて、測定した結果、緻密なFe−Pt合金粉末の平均粒子径は85μmであった。
ホットプレスの条件は、真空雰囲気、昇温速度300℃/時間、保持温度1400℃、保持時間2時間とし、昇温開始時から保持終了まで30MPaで加圧した。保持終了後はチャンバー内でそのまま自然冷却させた。
次に、ホットプレスの型から取り出した焼結体に熱間等方加圧加工を施した。熱間等方加圧加工の条件は、昇温速度300℃/時間、保持温度1100℃、保持時間2時間とし、昇温開始時からArガスのガス圧を徐々に高めて、1100℃で保持中は150MPaで加圧した。保持終了後は炉内でそのまま自然冷却させた。
この組織画像を用いて、スパッタ面に対する垂直断面におけるFe−Pt相の平均厚さを測定したところ、11.9μmであった。また、スパッタ面に対する垂直断面におけるスパッタ面に平行な方向のFe−Pt相の平均長さを測定したところ、29.7μmであった。さらに、スパッタ面に対する水平断面におけるFe−Pt相の平均長さを測定したところ、27.6μmであった。
まず、Fe原料とPt原料を真空溶解鋳造によって溶解し、φ150程度の円柱状の組成比Fe−50Pt(at.%)からなる合金インゴットを得た。次に、得られた合金インゴットの表面酸化膜を除去した後、汎用旋盤にセットし、切り込み量0.1mmで切削することによって、Fe−Pt合金切粉を作製した。
その後、Fe−Pt合金切粉を、ブラウン横型粉砕機を用いて150μm目の篩を通るまで粉砕した後、目開き63μmの篩を用いて微粉を除去した。さらにFe−Pt切粉をタンク容量5Lの媒体攪拌ミルへ投入し、粉砕メディアには直径5mmのイットリア安定化ジルコニアビーズを使用して、4時間処理を行い、緻密な薄片化Fe−Pt合金粉末を作製した。
この緻密な薄片化Fe−Pt合金粉末の平均粒子径を調べるために、HORIBA社製の湿式粒度分布径を使用し、分散溶媒としてイソプロピルアルコールを用いて、測定した結果、緻密な薄片化Fe−Pt合金粉末の平均粒子径は80μmであった。
ホットプレスの条件は、真空雰囲気、昇温速度300℃/時間、保持温度1400℃、保持時間2時間とし、昇温開始時から保持終了まで30MPaで加圧した。保持終了後はチャンバー内でそのまま自然冷却させた。
次に、ホットプレスの型から取り出した焼結体に熱間等方加圧加工を施した。熱間等方加圧加工の条件は、昇温速度300℃/時間、保持温度1100℃、保持時間2時間とし、昇温開始時からArガスのガス圧を徐々に高めて、1100℃で保持中は150MPaで加圧した。保持終了後は炉内でそのまま自然冷却させた。
この組織画像を用いて、スパッタ面に対する垂直断面におけるFe−Pt相の平均厚さを測定したところ、12.3μmであった。また、スパッタ面に対する垂直断面におけるスパッタ面に平行な方向のFe−Pt相の平均長さを測定したところ、37.1μmであった。さらに、スパッタ面に対する水平断面におけるFe−Pt相の平均長さを測定したところ、31.9μmであった。
まず、原料粉末として平均粒子径3μmのFe粉末と平均粒子径3μmのPt粉末とを組成比がFe−50Pt(at.%)となるように用意し、乳鉢を用いて2時間混合した後、不活性雰囲気中で800℃に加熱し、合金化させた。その後、粉砕媒体の直径5mmのイットリア安定化ジルコニアビーズとともに容量5リットルの媒体攪拌ミルに封入し、300rpmで4時間粉砕して、Fe−Pt合金粉末を得た。
ホットプレスの条件は、真空雰囲気、昇温速度300℃/時間、保持温度1400℃、保持時間2時間とし、昇温開始時から保持終了まで30MPaで加圧した。保持終了後はチャンバー内でそのまま自然冷却させた。
次に、ホットプレスの型から取り出した焼結体に熱間等方加圧加工を施した。熱間等方加圧加工の条件は、昇温速度300℃/時間、保持温度1100℃、保持時間2時間とし、昇温開始時からArガスのガス圧を徐々に高めて、1100℃で保持中は150MPaで加圧した。保持終了後は炉内でそのまま自然冷却させた。
この組織画像を用いて、スパッタ面に対する垂直断面におけるFe−Pt相の平均厚さを測定したところ、4.4μmであった。また、スパッタ面に対する垂直断面におけるスパッタ面に平行な方向のFe−Pt相の平均長さを測定したところ、14.3μmであった。さらに、スパッタ面に対する水平断面におけるFe−Pt相の平均長さを測定したところ、9.2μmであった。
Claims (6)
- Cを含有するFePt系磁気記録膜形成用スパッタリングターゲットであって、レーザー顕微鏡によって評価したスパッタ面に対する垂直断面の研磨面において、Fe−Pt合金相のスパッタ面に対する鉛直方向の平均厚さが10μm以上100μm以下であり、Fe−Pt合金相のスパッタ面に対する水平方向の平均長さが20μm以上400μm以下であって、前記Fe−Pt合金相の平均厚さは前記Fe−Pt合金相の平均長さよりも常に小さい値であることを特徴とするスパッタリングターゲット。
- Cを含有するFePt系磁気記録膜形成用スパッタリングターゲットであって、レーザー顕微鏡によって評価したスパッタ面に対する水平断面の研磨面において、Fe−Pt合金相の平均長さが20μm以上であることを特徴とする請求項1記載のスパッタリングターゲット。
- Pt含有量が5mol%以上60mol%以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のスパッタリングターゲット。
- C含有量が10mol%以上70mol%以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 添加元素として、B、Ru、Ag、Au、Cuからなる群から選択した一種以上の元素を0.5mol%以上10mol%以下含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 添加材として、酸化物、窒化物、炭化物、炭窒化物からなる群から選択した一種以上の無機物材料を含有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
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