JP6458118B2 - 誘電体膜の反応性スパッタ堆積 - Google Patents
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Description
(a)カソード・ターゲットおよび基板を中に有する反応性スパッタ堆積チャンバを用意するステップ、
(b)チャンバから空気をポンプで排気するステップ、
(c)チャンバ内にスパッタリング・ガスおよび反応性ガスを付与するステップ、
(d)好ましくは5*10−6Torrから5*10−4Torrの間の分圧で、水蒸気などの酸化触媒をチャンバ内に添加するステップ、ならびに、
(e)スパッタリング・ガスをイオン化し、スパッタリング・ガスの陽イオンをターゲットに的中させるために、カソードに電圧を印加するステップであって、ターゲットの原子が、基板に向かって飛行し、基板に付着し、反応性ガスと、および酸化触媒と反応することを引き起こすことにより、基板上に誘電体化合物層を形成するステップを含み、
ステップ(d)が、誘電体化合物層の紫外線の光透過に実質的に影響を与えることなく、誘電体化合物層の堆積速度の上昇を可能にする。
反応性スパッタ堆積チャンバ、
チャンバ内部のカソード・ターゲット、
カソード・ターゲットに対向して配設される、チャンバ内部の基板を保持するための基板ホルダ、
チャンバ内部に既定のスパッタリング・ガス圧を生成するためのスパッタリング・ガス入口、
反応性ガスを付与するためのカソード・ターゲット内部の反応性ガス源、ならびに、
水蒸気および反応性ガスの混合物を包含するための、反応性ガス源に動作可能に結合される貯蔵器
を備える。
102 基板
102A カセット
104 誘電体コーティング、二酸化ケイ素層、二酸化ケイ素膜、膜、誘電体酸化膜
106 スパッタリング・チャンバ、チャンバ、真空チャンバ、反応性スパッタリング・チャンバ
108 アノード
110 カソード・ターゲット、ケイ素カソード・ターゲット、ターゲット
112 基板ホルダ
114 スパッタリング・ガス入口
116 水蒸気入口
118 底部壁
120 プラズマ活性化反応性ガス源、プラズマ活性化酸素源、プラズマ活性化ガス源
122 真空ポンプ
124 矢印
125 点線
126 破線、ケイ素原子
200 方法
202、204、206、208、210 ステップ
301 光スペクトル
302 光スペクトル、透過スペクトル、スペクトル
402 対照光スペクトル
500 好ましい実施形態、反応性マグネトロン・スパッタリング堆積システム
506 チャンバ
510 リング・カソード・ターゲット
512 マルチ基板ホルダ
520 入口
522 ターボ・ポンプ
530 貯蔵器
532 搬入口
534 基板ハンドラ
536 水蒸気源
550 ゲート・バルブ
Claims (18)
- チャンバと、
前記チャンバ内部で垂直軸を中心に回転し、複数の基板上へコーティングを同時堆積させるマルチ基板ホルダと、
前記チャンバ内に反応性ガスおよび水蒸気の混合物を給送する1つまたは複数の入口と、
1つまたは複数のリング・カソード・ターゲットと
を備え、
前記水蒸気が、5*10 −6 Torrから5*10 −4 Torrの間の分圧で前記チャンバ内に添加されるシステム。 - 前記1つまたは複数のリング・カソード・ターゲットが、1対のリング・カソード・ターゲットを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記1つまたは複数の入口が、前記1つまたは複数のリング・カソード・ターゲットの1つまたは複数の中央に配設される、請求項1に記載のシステム。
- 前記1つまたは複数の入口が、1対の入口を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記反応性ガスおよび水蒸気の混合物を保持する貯蔵器をさらに備え、前記1つまたは複数の入口が前記貯蔵器に連結される、請求項1に記載のシステム。
- 前記水蒸気を付与する水蒸気源をさらに備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記水蒸気源が、水蒸発器を含む、請求項6に記載のシステム。
- 前記複数の基板とは異なる他の基板を入れる搬入口をさらに備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記チャンバ内にゲート・バルブを通して前記他の基板を運び入れる基板ハンドラをさらに備える、請求項8に記載のシステム。
- 前記チャンバの外に空気をポンプで排気する1つまたは複数のターボ・ポンプをさらに備える、請求項1に記載のシステム。
- 反応性ガスおよび水蒸気の混合物を受け入れるチャンバと、
前記チャンバの内側にある基板ホルダであって、1つまたは複数の基板上へコーティングを同時堆積させるための前記基板ホルダと、
前記基板ホルダに対向して配設される1つまたは複数のリング・カソード・ターゲットと
を備え、
前記水蒸気が、5*10 −6 Torrから5*10 −4 Torrの間の分圧で前記チャンバ内に添加されるシステム。 - 前記基板ホルダがマルチ基板ホルダであり、前記マルチ基板ホルダが前記チャンバ内部で垂直軸を中心に回転する、請求項11に記載のシステム。
- 前記1つまたは複数のリング・カソード・ターゲットが1対のリング・カソード・ターゲットを含み、前記反応性ガスおよび水蒸気の混合物が、前記1つまたは複数のリング・カソード・ターゲットの1つまたは複数の中央を通して貯蔵器から給送される、請求項11に記載のシステム。
- 1対の入口をさらに備え、前記1対の入口を通して前記反応性ガスおよび水蒸気の混合物が前記チャンバ内に給送される、請求項11に記載のシステム。
- 前記反応性ガスおよび水蒸気の混合物を保持する貯蔵器と、
前記水蒸気を前記貯蔵器に付与する水蒸気源と
をさらに備える、請求項11に記載のシステム。 - 前記チャンバの外に空気をポンプで排気する1つまたは複数のターボ・ポンプをさらに備える、請求項11に記載のシステム。
- 前記反応性ガスおよび水蒸気の混合物を前記チャンバに添加するためのアノードをさらに備える、請求項11に記載のシステム。
- 前記チャンバ内にゲート・バルブを通して追加の基板を運び入れる基板ハンドラをさらに備える、請求項11に記載のシステム。
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