JP6456414B2 - 半導体発光素子 - Google Patents
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Description
実施例2は、n型クラッド層24のAlNモル分率を61%とし、障壁層36のAlNモル分率を87%とした。発光波長266nmおよび発光強度5.1mWが得られた。
実施例3は、n型クラッド層24のAlNモル分率を47%とし、障壁層36のAlNモル分率を76%とした。発光波長286nmおよび発光強度5.4mWが得られた。
実施例4は、n型クラッド層24のAlNモル分率を48%とし、障壁層36のAlNモル分率を69%とした。発光波長284nmおよび発光強度4.3mWが得られた。
実施例5は、n型クラッド層24のAlNモル分率を50%とし、障壁層36のAlNモル分率を69%とした。発光波長284nmおよび発光強度4.4mWが得られた。
実施例6は、n型クラッド層24のAlNモル分率を55%とし、障壁層36のAlNモル分率を69%とした。発光波長280nmおよび発光強度4.3mWが得られた。
実施例7は、n型クラッド層24のAlNモル分率を47%とし、障壁層36のAlNモル分率を66%とした。発光波長284nmおよび発光強度4.4mWが得られた。
実施例8は、n型クラッド層24のAlNモル分率を48%とし、障壁層36のAlNモル分率を60%とした。発光波長287nmおよび発光強度5.6mWが得られた。
実施例9は、n型クラッド層24のAlNモル分率を49%とし、障壁層36のAlNモル分率を60%とした。発光波長286nmおよび発光強度5.6mWが得られた。
比較例2は、n型クラッド層24のAlNモル分率を50%とし、障壁層36のAlNモル分率を60%とした。発光波長282nmおよび発光強度3.9mWが得られた。
比較例3は、n型クラッド層24のAlNモル分率を51%とし、障壁層36のAlNモル分率を60%とした。発光波長290nmおよび発光強度3.5mWが得られた。
比較例4は、n型クラッド層24のAlNモル分率を58%とし、障壁層36のAlNモル分率を60%とした。発光波長274nmおよび発光強度1.5mWが得られた。
Claims (4)
- 基板上に設けられるn型AlGaN系半導体材料のn型クラッド層と、
前記n型クラッド層上に設けられるAlGaN系半導体材料の障壁層と、前記障壁層上に設けられるAlGaN系半導体材料の井戸層とを含む活性層と、
前記活性層上に設けられるp型半導体層と、を備え、
前記活性層は、波長360nm以下の深紫外光を発し、
前記n型クラッド層の窒化アルミニウム(AlN)のモル分率は、前記障壁層のAlNのモル分率より小さく、前記井戸層のAlNのモル分率よりも大きく、
前記n型クラッド層の窒化アルミニウム(AlN)のモル分率は、47%以上61%以下であり、
前記障壁層のAlNのモル分率は、60%以上87%以下であり、
前記n型クラッド層のAlNのモル分率をx、前記障壁層のAlNのモル分率をyとした場合に、y≧1.5x−0.135の関係を満たすことを特徴とする半導体発光素子。 - 基板上に設けられるn型AlGaN系半導体材料のn型クラッド層と、
前記n型クラッド層上に設けられるAlGaN系半導体材料の障壁層と、前記障壁層上に設けられるAlGaN系半導体材料の井戸層とを含む活性層と、
前記活性層上に設けられるp型半導体層と、を備え、
前記活性層は、波長360nm以下の深紫外光を発し、
前記n型クラッド層の窒化アルミニウム(AlN)のモル分率は、47%以上55%以下であり、
前記障壁層のAlNのモル分率は、69%以上87%以下であることを特徴とする半導体発光素子。 - 基板上に設けられるn型AlGaN系半導体材料のn型クラッド層と、
前記n型クラッド層上に設けられるAlGaN系半導体材料の障壁層と、前記障壁層上に設けられるAlGaN系半導体材料の井戸層とを含む活性層と、
前記活性層上に設けられるp型半導体層と、を備え、
前記活性層は、波長360nm以下の深紫外光を発し、
前記n型クラッド層の窒化アルミニウム(AlN)のモル分率は、47%以上49%以下であり、
前記障壁層のAlNのモル分率は、60%以上76%以下であることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記p型半導体層は、前記n型クラッド層よりもAlNのモル分率が大きいp型AlGaN系半導体のp型クラッド層を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
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