JP6440454B2 - 板状ワークの反り矯正装置と、反り矯正方法 - Google Patents

Description

この発明は、例えばフレキシャ連鎖シートから切り出されたフレームユニット等の板状ワークの反りを矯正する矯正装置と、反り矯正方法に関する。

パーソナルコンピュータ等の情報処理装置に、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジのアームに、ディスク装置用サスペンション（これ以降、単にサスペンションと称する）が設けられている。サスペンションは、ロードビーム(load beam)と、ロードビームに重ねて配置されるフレキシャ(flexure)などを有している。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部にスライダを含む磁気ヘッドが取付けられている。磁気ヘッドには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子が設けられている。これらロードビームとフレキシャなどによってヘッドジンバルアセンブリが構成されている。

前記フレキシャは、要求される仕様に応じて様々な形態のものが実用化されている。その一例として配線付フレキシャ(flexure with conductors)が知られている。配線付フレキシャは、薄いステンレス鋼板からなるメタルベースと、このメタルベース上に形成されたポリイミド等の電気絶縁材料からなる絶縁層と、この絶縁層上に形成された複数の導体などを含んでいる。

従来より、フレキシャの生産効率を高めるための１つの手段として、例えば特許文献１あるいは特許文献２に開示されているように、１枚のステンレス鋼板をエッチングし、かつ配線部を形成することによって、同一形状の多数のフレキシャ要素を有するフレキシャ連鎖シートを製造することが行なわれている。

フレキシャ連鎖シートは、複数のフレームユニットを該シートの長さ方向あるいは幅方向に接続することによって構成されている。フレキシャ連鎖シートを構成する各フレームユニットは、それぞれ、枠部と、枠部の内側に所定ピッチで配置された多数のフレキシャ要素とを備えている。この明細書では、フレームユニットの表面と裏面のうち、配線部が設けられている側を第１の面と称し、配線部とは反対側を第２の面と称する。

前記フレキシャ連鎖シートは、フレキシャの製造工程において各フレームユニットごとに切離される。すなわち１枚のフレキシャ連鎖シートから複数のフレームユニットが切り出される。前記フレキシャ連鎖シートから切り出されたフレームユニットは、板状ワークの一例である。各フレームユニットごとに設けられている各フレキシャ要素に、曲げ加工やロードビームへの組付け等の工程が行なわれる。

特許第５２７３２７１号公報 特許第５３６５９４４号公報

前記フレキシャ連鎖シートには、製造過程で生じた応力が残留していることがある。また配線部やメタルベースの熱膨張差や吸湿性の相違等により、フレキシャ連鎖シートに応力が残留していることがある。このため前記フレキシャ連鎖シートは、見た目には真っ直ぐの平面形状であっても、フレキシャ連鎖シートからフレームユニットが切り出されたとき、あるいはフレームユニットの枠部からフレキシャ要素が個々に切離されたときに応力が開放され、フレキシャ要素に反りが生じることが知られている。特に第１の面（配線部が設けられている側）が僅かに凹む形状に反ることがある（いわゆる谷反り）。

例えばフレキシャ要素の配線部を上に向けた状態で、このフレキシャ要素に何らかの工程が行なわれる際に、フレキシャ要素の両端付近にそれぞれ形成された位置決め孔にピンを挿入することがある。しかしフレキシャ要素に前記「谷反り」が生じていると、前記位置決め孔に挿入するピンが外れやすくなるなど、位置決めの精度に悪影響が出る。このためフレキシャ要素を扱う工程によっては、フレキシャ要素の第１の面（配線部が設けられている側）が凸となるような反り（いわゆる山反り）が生じていた方が都合が良い。

従ってこの発明は、第１の面と第２の面とを有する板状ワークにおいて、特定の面が凸となるように反りを矯正する板状ワークの反り矯正装置と、反り矯正方法を提供することにある。

本発明の１つの実施形態は、第１の面と前記第１の面とは反対側の第２の面とを有する板状ワークの反りを矯正する反り矯正装置であって、前記板状ワークが、枠部と、前記枠部の内側に所定ピッチで配置され前記第１の面に設けられた配線部と前記第２の面に設けられたメタルベースとを備えた同一形状の複数のフレキシャ要素とを有し、前記矯正装置が、平坦な上面を有する弾性マットと、第１のクリーンシートを繰り出す供給ボビンと前記第１のクリーンシートを巻取る巻取ボビンとを有し前記第１のクリーンシートを前記供給ボビンから前記第１のクリーンシートの長さ方向に繰り出すことにより前記弾性マット上に前記第１のクリーンシートを供給する第１のシート供給ユニットと、前記第１のクリーンシート上に前記配線部を上に向けかつ前記フレキシャ要素の長手方向が前記第１のクリーンシートの長さ方向に沿うよう前記板状ワークを供給するワーク保持機構と、前記第１のクリーンシートの上方に第２のクリーンシートを供給する第２のシート供給ユニットと、前記第２のクリーンシートを前記第１のクリーンシートに対し上下方向に相対的に移動させる第１の昇降ユニットと、前記第２のクリーンシートの上方に配置され上下方向に移動可能な押圧ローラと、前記押圧ローラを前記弾性マットに向かって押圧する第２の昇降ユニットと、前記押圧ローラが下降した状態において前記押圧ローラを前記弾性マットの前記上面に沿って前記フレキシャ要素の長手方向に移動させるローラ移動機構とを具備している。

例えば前記弾性マットが弾性を有する樹脂の発泡体からなり、かつ、前記押圧ローラが前記弾性マットよりも硬質の弾性材料からなる。また前記第１のシート供給ユニットが、前記第１のクリーンシートの未使用の部分を前記弾性マット上に繰り出す第１の供給ボビンと、前記弾性マット上の前記第１のクリーンシートの使用済みの部分を所定量巻取る第１の巻取ボビンとを含み、前記第２のシート供給ユニットが、前記第２のクリーンシートの未使用の部分を前記第１のクリーンシート上に繰り出す第２の供給ボビンと、前記第２のクリーンシートの使用済みの部分を所定量巻取る第２の巻取ボビンとを含む。また前記第１のクリーンシートおよび第２のクリーンシートに静電気が帯電することを防止するためのイオン発生器をさらに備えていてもよい。

前記板状ワークの一例が、枠部と、該枠部の内側に形成された複数のフレキシャ要素とを有するフレームユニットからなり、前記ワーク保持機構は前記フレキシャ要素の長さ方向が前記弾性マットの上面の長さ方向に沿うよう前記フレームユニットを前記第１のクリーンシート上に載置する。前記フレームユニットの長さ方向の一端側に第１の位置決め孔が形成され、前記フレームユニットの長さ方向の他端側に第２の置決め孔が形成されていてもよい。

本発明によれば、例えばフレキシャ連鎖シートから切り出されたフレームユニットのような板状ワークの特定の一方の面が凸の湾曲した形状となるように、板状ワークの反りを矯正することができる。

ディスク装置の一例を示す斜視図。 図１に示されたディスク装置の一部の断面図。 サスペンションの一例を示す平面図。 図３中のＦ４−Ｆ４線に沿うフレキシャの断面図。 フレキシャ連鎖シートの一部の平面図。 図５に示されたフレキシャ連鎖シートから切り出された板状ワーク（フレームユニット）の平面図。 フレキシャ連鎖シートを模式的に示す側面図。 フレキシャ連鎖シートから切り出された板状ワーク（フレームユニット）の第１の面が凹む形状に反っている例を模式的に示す側面図。 図８に示された板状ワークの第１の面が凸となるように矯正された例を模式的に示す側面図。 １つの実施形態に係る反り矯正装置の一部の斜視図。 前記矯正装置を模式的に示す側面図。 前記反り矯正装置の第１のクリーンシート上に板状ワークが載置された状態を示す側面図。 前記反り矯正装置の第２のクリーンシートが降下した側面図。 前記反り矯正装置の押圧ローラが降下した側面図。 前記押圧ローラが第１の方向に移動した側面図。 前記押圧ローラが第２の方向に移動した側面図。 前記押圧ローラと第２のクリーンシートが上昇した側面図。 前記第１のクリーンシートと第２のクリーンシートとが移動する方向を示す側面図。

以下に１つの実施形態に係る板状ワークの反り矯正装置と反り矯正方法について、図１から図１８を参照して説明する。
図１に示すハードディスク装置（ＨＤＤ）１０は、ケース１１と、スピンドル１２を中心に回転するディスク１３と、ピボット軸１４を中心に旋回可能なキャリッジ１５と、キャリッジ１５を旋回させるためのポジショニング用モータ１６を有している。ケース１１は蓋（図示せず）によって密閉される。

図２はディスク装置１０の一部を模式的に示す断面図である。キャリッジ１５にアーム１７が設けられている。アーム１７の先端部に、ディスク装置用サスペンション２０（これ以降、単にサスペンション２０と称する）が取付けられている。サスペンション２０の先端に、磁気ヘッドとして機能するスライダ２１が設けられている。ディスク１３が高速で回転することにより、ディスク１３とスライダ２１との間にエアベアリングが形成される。

キャリッジ１５がポジショニング用モータ１６によって旋回すると、サスペンション２０がディスク１３の径方向に移動することにより、スライダ２１がディスク１３の所望トラックまで移動する。スライダ２１には、ディスク１３にデータを記録するための磁気コイルと、ディスク１３に記録されたデータを読取るためのＭＲ（Magneto Resistive）素子などが設けられている。ＭＲ素子は、ディスク１３に記録された磁気信号を電気信号に変換する。

図３はサスペンション２０の一例を示している。サスペンション２０は、ベースプレート３０と、ロードビーム３１と、ヒンジ部３２と、配線付フレキシャ(flexure with conductors)４０とを備えている。これ以降、配線付フレキシャ４０を単にフレキシャ４０と称する。ベースプレート３０のボス部３０ａは、キャリッジ１５のアーム１７（図１と図２に示す）に固定される。

フレキシャ４０は、ロードビーム３１と重なる基部４０ａと、基部４０ａからベースプレート３０の後方（図３に矢印Ｒで示す方向）に延びるテール部４０ｂとを含んでいる。フレキシャ４０の基部４０ａは、レーザ溶接等の固定手段によってロードビーム３１に固定される。フレキシャ４０の先端部４０ｃ付近にタング４１が形成されている。タング４１にスライダ２１（図２と図３に示す）が取付けられている。テール部４０ｂに複数のテール電極４２が形成されている。

図４はフレキシャ４０の一部の横断面図である。フレキシャ４０は、例えばオーステナイト系ステンレス鋼の板をエッチングしてなるメタルベース５０と、メタルベース５０に沿って形成された配線部５１とを含んでいる。メタルベース５０の厚さはロードビーム３１の厚さよりも小さい。ロードビーム３１の厚さは例えば３０〜６２μｍ、メタルベース５０の厚さは例えば１８μｍ（１２〜２５μｍ）である。

配線部５１は、メタルベース５０上に形成された絶縁層５２と、絶縁層５２上に形成された銅からなる複数の導体５３と、カバー層５４を含んでいる。絶縁層５２とカバー層５４は、それぞれポリイミド等の電気絶縁性の材料からなる。メタルベース５０の一部に開口５５，５６が形成されていることもある。図４中の矢印Ａはフレキシャ４０の厚さ方向、矢印Ｂは幅方向を示している。

図５は、フレキシャ４０の製造過程で使用されるフレキシャ連鎖シート６０の一部を示す平面図である。フレキシャ連鎖シート６０は、複数のフレームユニット６１を含んでいる。これらフレームユニット６１は、メタルベース５０からなる枠部６２と、枠部６２の内側に所定ピッチで形成された複数（数十〜数百）のフレキシャ要素４０´とを有している。

フレキシャ要素４０´は、フレキシャ４０の構成要素をなすメタルベース５０（図４に示す）と、メタルベース５０上に形成された配線部５１とを有している。配線部５１は図４に示すフレキシャ４０のテール部４０ｂと同様に、メタルベース５０上に形成された絶縁層５２と、絶縁層５２上に形成された銅からなる導体５３と、これら導体５３を覆うカバー層５４とを含んでいる。

フレームユニット６１の枠部６２は、フレキシャ要素４０´の長さ方向（図５と図６に矢印Ｘで示す方向）に延びる一対の縦枠６３，６４と、フレキシャ要素４０´の幅方向（矢印Ｙで示す方向）に延びる一対の横枠６５，６６とを含んでいる。縦枠６３，６４と横枠６５，６６とによって、各フレームユニット６１の全周にわたって連続する枠部６２が形成されている。

フレキシャ連鎖シート６０の長さ方向（図５において矢印Ｘで示す方向）に隣り合う一方のフレームユニット６１の横枠６５と、他方のフレームユニット６１の横枠６６と間に、スリット７０と接続部７１とが形成されている。この接続部７１によって、フレームユニット６１同士が互いにつながれている。

一方の横枠６５に第１の位置決め孔７２が形成されている。フレキシャ４０の製造工程において、フレキシャ連鎖シート６０を所定位置に保持するために、この位置決め孔７２に第１の位置決めピンが挿入されることがある。他方の横枠６６に第２の位置決め孔７３が形成されている。フレキシャ４０の製造工程において、この位置決め孔７３に第２の位置決めピンが挿入されることがある。位置決め孔７２，７３は位置決め精度を高めるためにフレキシャ要素４０´の長さ方向の両端部付近に形成されているのが通例である。すなわちフレームユニット６１の長さ方向の一端側に第１の位置決め孔７２が形成され、フレームユニット６１の長さ方向の他端側に第２の置決め孔７３が形成されている。

図７は、フレキシャ連鎖シート６０の一部を模式的に示した側面図である。図７中の矢印Ｘはフレキシャ要素４０´の長さ方向を示している。この明細書では、フレキシャ連鎖シート６０の配線部５１が設けられている側を第１の面６１ａと称し、配線部５１とは反対側を第２の面６１ｂと称する。

フレキシャ連鎖シート６０には、製造工程で生じた応力が残留していることがある。また配線部５１とメタルベース５０との熱膨張差や吸湿率の相違等によって、応力が残留していることもある。しかし各フレームユニット６１が接続部７１によってつながれているため、フレキシャ連鎖シート６０は、図７に示すように一見、真っ直ぐの平面形状となっているようにも見える。

しかしこのフレキシャ連鎖シート６０の接続部７１を切断し、図８に示すように各フレームユニット６１を独立させると、それまでフレームユニット６１に内在していた応力が開放されることにより、図８に示すようにフレームユニット６１に反りが生じる。特に、第１の面６１ａ（配線部５１が設けられている側）が僅かに凹むような反り（いわゆる谷反り）が生じることがある。

フレキシャ４０の製造工程において、フレームユニット６１の配線部５１を上に向けた状態で、フレキシャ要素４０´が扱われる際、フレームユニット６１を位置決めするために、位置決め孔７２，７３にピンが挿入されることがある。その場合に、配線部５１側が凹む形状（谷反り）が生じていると、位置決め孔７２，７３に挿入するピンが外れやすくなるなど、位置決めの精度や位置決めの容易性の点で問題が生じる。

このためフレキシャ要素４０´を扱う工程によっては、図９に示すように配線部５１側が凸の形状（いわゆる山反り）の方が都合が良いことがある。そこで本実施形態では、以下に説明するように、フレキシャ連鎖シート６０から切り出されたフレームユニット６１の反りを矯正するための矯正装置８０と、矯正方法とを開示する。

図１０から図１８は、板状ワークの一例であるフレームユニット６１の反りを矯正するための反り矯正装置８０を示している。図１０は、反り矯正装置８０の斜視図である。図１１から図１８は、それぞれ、矯正装置８０の動作を説明するために模式的に示す側面図である。

反り矯正装置８０は、基台８１と、基台８１上に配置された弾性マット８２と、弾性マット８２上に配置された第１のクリーンシート８３と、第１のクリーンシート８３上に配置された第２のクリーンシート８４と、第２のクリーンシート８４上に配置された押圧ローラ８５などを備えている。

弾性マット８２は板状に形成され、水平方向に延びる平坦な上面８２ａを有し、基台８１上に水平な姿勢となるように固定されている。弾性マット８２の一例は、発泡ウレタン等のゴム弾性を有する樹脂（エラストマ）の発泡体からなり、水平方向の全長にわたって均一の硬さを有している。弾性マット８２の厚さは例えば１〜５ｃｍ程度であるが、必要に応じてそれ以外の厚さであってもよい。

クリーンシート８３，８４は、発塵や塵の付着を最小限度に抑えることができる材料、例えば長繊維からなるシートでもよいし、あるいは樹脂フィルムでもよい。クリーンシート８３，８４の側方には、静電気が帯電することを防止するために、イオン発生器（イオナイザ）８６が配置されている。

第１のクリーンシート８３は、第１のシート供給ユニット９０によって、水平方向に所定の長さＬずつ弾性マット８２上に供給される。第１のシート供給ユニット９０は、第１のクリーンシート８３の未使用の部分を所定量ずつ弾性マット８２上に繰り出す第１の供給ボビン９１と、弾性マット８２上の第１のクリーンシート８３の使用済みの部分を所定量ずつ巻取る第１の巻取ボビン９２とを含んでいる。

第２のクリーンシート８４は、第２のシート供給ユニット９５によって、第１のクリーンシート８３と同期して、第１のクリーンシート８３と同じ長さＬずつ、第１のクリーンシート８３上に供給される。第２のシート供給ユニット９５は、第２のクリーンシート８４の未使用の部分を所定量ずつ第１のクリーンシート８３上に繰り出す第２の供給ボビン９６と、第２のクリーンシート８４の使用済みの部分を所定量ずつ巻取る第２の巻取ボビン９７とを含んでいる。

第２のシート供給ユニット９５は、上下方向に移動可能な第１の昇降ユニット９８に取付けられている。第１の昇降ユニット９８は、サーボモータとボールねじを含む昇降機構によって、下降限と上昇限との間で上下方向に移動する。第２のシート供給ユニット９５が下降限まで移動すると、第２のクリーンシート８４が第１のクリーンシート８３に重なる。

図１０に示されるように、第２のシート供給ユニット９５が上昇限まで移動した状態において、第１のクリーンシート８３と第２のクリーンシート８４との間に、ワーク保持機構１００を挿入することのできる隙間Ｇが形成される。ワーク保持機構１００の一例は、負圧（バキューム）によってフレームユニット６１を保持するように構成されている。ワーク保持機構１００は移動可能なアームに取付けられている。

第１のクリーンシート８３と第２のクリーンシート８４との間に形成された隙間Ｇにワーク保持機構１００を挿入することにより、第１のクリーンシート８３上にフレームユニット（板状ワーク）６１を１枚づつ載置することができる。また、第１のクリーンシート８３上のフレームユニット６１をワーク保持機構１００によって第１のクリーンシート８３上から取出すこともできる。

押圧ローラ８５は、弾性マット８２よりも硬いゴム弾性を有する材料（例えば硬質ゴム）からなる。弾性マット８２と押圧ローラ８５との硬さの比較において、「押圧ローラ８５の方が弾性マット８２よりも硬い」ということは、両者の表面をそれぞれ試験機のプローブで押したとき（圧縮の荷重を加えたとき）、弾性マット８２の凹みの方が押圧ローラ８５の凹みよりも大きいことを意味する。

押圧ローラ８５は、上下方向に移動可能な第２の昇降ユニット１１０に取付けられている。第２の昇降ユニット１１０は、サーボモータとボールねじを含む駆動機構によって、下降限と上昇限との間で上下方向に移動する。押圧ローラ８５が下降限まで移動すると、弾性マット８２と押圧ローラ８５との間にフレームユニット６１を挟み付けることができる状態となる。弾性マット８２に対する押圧ローラ８５の押し付け力は、押圧ローラ８５の下降限の位置と、第２の昇降ユニット１１０に組込まれた弾性部材（例えば圧縮ばね）の撓み量などによって調整することができる。

押圧ローラ８５を上下方向に移動させる第２の昇降ユニット１１０は、水平方向に延びるガイドを含むローラ移動機構１１１によって、水平方向に往復移動することができる。すなわちこの押圧ローラ８５は、弾性マット８２の長手方向の一端寄りの第１の位置（図１０に示す）と、弾性マット８２の他端寄りの第２の位置とにわたって、弾性マット８２の上面８２ａに沿って、弾性マット８２の長さ方向（水平方向）に移動することができるようになっている。押圧ローラ８５は、水平方向に延びる軸１１５を中心に回転自在である。押圧ローラ８５の軸１１５は、弾性マット８２の幅方向（長さＬと直角な方向）に延びている。

次に、反り矯正装置８０の動作について、図１１から図１８を参照して説明する。
図１１は反り矯正装置８０の初期状態を示している。この初期状態では、第１の昇降ユニット９８と第２の昇降ユニット１１０がともに上昇位置にある。第２のクリーンシート８４と押圧ローラ８５が上昇しているため、第１のクリーンシート８３と第２のクリーンシート８４との間に隙間Ｇが形成されている。

図１２に示すように、第１のクリーンシート８３と第２のクリーンシート８４との間にワーク保持機構１００が挿入されることにより、第１のクリーンシート８３の上に少なくとも１つのフレームユニット６１が供給される。このときフレームユニット６１は、配線部５１（すなわち第１の面６１ａ）を上に向けた姿勢で第１のクリーンシート８３上に水平に載置される。

しかもフレームユニット６１は、第１のクリーンシート８３上に載置される際に、それぞれ、フレキシャ要素４０´の長手方向（図６に矢印Ｘで示す方向）が第１のクリーンシート８３の長さ方向（図１０にＬで示される長さ方向）に沿うように配置される。つまりワーク保持機構１００は、フレキシャ要素４０´の長さ方向が弾性マット８２の上面８２ａの長さ方向に沿うように、フレームユニット６１を第１のクリーンシート８３上に載置する。

次いで、図１３に示すように第１の昇降ユニット９８が降下し、第２のクリーンシート８４が第１のクリーンシート８３とフレームユニット６１の上に重なることにより、第１のクリーンシート８３と第２のクリーンシート８４との間にフレームユニット６１が挟まれる。

次いで、図１４に示すように第２の昇降ユニット１１０が降下することにより、押圧ローラ８５が下降限に位置する。これにより、押圧ローラ８５の下端と弾性マット８２との間にクリーンシート８３，８４が挟まれる。このとき押圧ローラ８５はフレームユニット６１の手前の位置にあるため、この時点ではフレームユニット６１を押していない。

そののち、図１５に示すように、第２の昇降ユニット１１０が弾性マット８２の上面８２ａに沿って矢印Ｘ１で示す第１の方向に移動する。フレームユニット６１はクリーンシート８３，８４間に配置されているため、フレームユニット６１が弾性マット８２と押圧ローラ８５との間に挟まれた状態のもとで、押圧ローラ８５がフレームユニット６１を押圧しつつ水平方向に移動する。

次いで、図１６に示すように、押圧ローラ８５が弾性マット８２の上面８２ａに沿って矢印Ｘ２で示す第２の方向に移動することにより、押圧ローラ８５が元の位置に戻る。このときもフレームユニット６１がクリーンシート８３，８４間に挟まれた状態のもとで、押圧ローラ８５がフレームユニット６１を押圧しつつ水平方向に移動する。

押圧ローラ８５は弾性マット８２よりも硬質の材料（例えば硬質ゴム）からなる。しかも弾性マット８２が平面形状であるのに対し、押圧ローラ８５は円柱形である。このため弾性マット８２と押圧ローラ８５との間にフレームユニット６１が挟まれた状態で押圧ローラ８５がフレームユニット６１の長さ方向に移動すると、押圧ローラ８５によって押されるフレームユニット６１の第１の面６１ａ、すなわち配線部５１が設けられている側に圧縮の応力が生じる。

このためフレームユニット６１が自由状態（外力が加わらない状態）になると、図９に示すように第１の面６１ａが僅かに凸となるように緩やかに湾曲した形状（いわゆる山反り）となる。図９は、フレームユニット６１の湾曲形状がわかりやすいように誇張して描かれているが、実際のフレームユニット６１の湾曲形状（図９に示された第１の面６１ａの高さＨ）は０μｍ以上、数百μｍ以下の小さな値である。本実施形態では、フレームユニット６１の第１の面６１ａの高さＨが所望の値となるように、弾性マット８２と押圧ローラ８５の硬さや、押圧ローラ８５の径、あるいは弾性マット８２に対する押圧ローラ８５の押圧力（ばねによる荷重）などが最適化されている。

図１７に示すように、第１の昇降ユニット９８と第２の昇降ユニット１１０が上昇し、第２のクリーンシート８４と押圧ローラ８５が上昇すると、第１のクリーンシート８３と第２のクリーンシート８４との間に再び隙間Ｇが形成される。この隙間Ｇにワーク保持機構１００（図１２に示す）が挿入され、第１のクリーンシート８３上のフレームユニット６１がワーク保持機構１００によって取出される。

以上の一連の反り矯正プロセス（図１１から図１７）が何度か繰返されると、クリーンシート８３，８４に塵などの異物が付着する可能性がある。クリーンシート８３，８４に付着した塵などの異物がフレームユニット６１の表面に乗り移ると、フレキシャ４０の品質に悪影響を与えるおそれがある。

そこで本実施形態では、防塵対策として、矯正プロセス（図１１から図１７）が複数回繰返されたのち、図１８に示すようにクリーンシート８３，８４を一定の長さＬ（図１０に示す）だけ送る。これにより、クリーンシート８３，８４の未使用の新たな部分が弾性マット８２上に配置されるとともに、クリーンシート８３，８４の使用済みの部分が巻き取られる。このため、クリーンシート８３，８４に付着している可能性のある塵等の異物がクリーンシート８３，８４のロールの中に封じ込められる。そののち、再び一連の矯正プロセス（図１１から図１７）が繰返される。

以上説明したように本実施形態のフレームユニット（板状ワーク）６１の製造方法は、フレームユニット６１の製造プロセス（下記の［１］［２］）と、矯正プロセス（下記の［３］〜［９］）を含んでいる。

［１］枠部６２と多数のフレキシャ要素４０´とを含む複数のフレームユニット６１からなるフレキシャ連鎖シート６０を製造する、
［２］フレキシャ連鎖シート６０の各フレームユニット６１を切離す、
［３］弾性マット８２の上に第１のクリーンシート８３を配置する（図１１）、
［４］第１のクリーンシート８３上にフレームユニット６１を供給する（図１２）、
［５］第１のクリーンシート８３とフレームユニット６１の上方から第２のクリーンシート８４を重ねる（図１３）、
［６］第２のクリーンシート８４の上方から弾性マット８２に向かって押圧ローラ８５を降下させる（図１４）、
［７］弾性マット８２と押圧ローラ８５との間でフレームユニット６１を挟む、
［８］弾性マット８２と押圧ローラ８５との間にフレームユニット６１を挟んだ状態のもとで、押圧ローラ８５を弾性マット８２の上面８２ａに沿って移動させる（図１５）（図１６）、
［９］第１のクリーンシート８３上からフレームユニット６１を取出す（図１７）、
［１０］前記一連の矯正プロセス［３］〜［９］を複数回繰返したのち、クリーンシート８３，８４の使用済みの部分を所定量巻取るとともに、クリーンシート８３，８４の未使用の部分を弾性マット８２上に繰り出す（図１８）。

以上述べたように、フレキシャ連鎖シートから切り出されたフレームユニット６１に一連の矯正プロセス［３］〜［９］を実施することにより、フレームユニット６１を第１の面６１ａが凸の湾曲した形状に矯正することができる。このため配線部５１が凸の湾曲した形状が望まれるフレキシャ要素４０´を扱う作業等において、フレキシャ要素４０´の反りを好ましい状態となるように管理することができる。しかもフレームユニット６１に塵等の異物が付着することを、クリーンシート８３，８４の未使用の新鮮な部分を適宜のタイミングで間欠的に供給する前記プロセス［１０］によって防止できるため、高い清浄度が要求されるフレキシャ要素４０´の清浄度を維持する上で有効である。

本実施形態のように弾性マット８２上でクリーンシート８３，８４を介して押圧ローラ８５を転がすと、クリーンシート８３，８４に静電気が帯電しやすい。クリーンシート８３，８４が帯電すると、ワーク（例えばフレームユニット６１）がクリーンシート８３，８４に引き寄せられ、ワークの位置がずれることがある。ワークの位置ずれは、反り矯正作業やワーク保持機構１００によるワークの吸着に悪影響を与えるおそれがある。しかるに本実施形態の反り矯正装置８０は、イオン発生器８６によってクリーンシート８３，８４の帯電を防止できるため、クリーンシート８３，８４等が帯電することによる問題を回避することができ、反り矯正装置８０による矯正作業を支障なく行なうことができるものである。

なお板状ワークはフレキシャ連鎖シートのフレームユニットに限ることなく、他の板状ワークに適用することができる。板状ワークによっては、第２の面が凸となるように反りを矯正してもよい。また本発明を実施するに当たり、弾性マットや第１および第２のクリーンシート、押圧ローラ等の形状や材質、配置など、反り矯正装置を構成する各要素を種々に変形して実施できることは言うまでもない。例えば第１のシート供給ユニットを上下方向に移動できるように構成し、第１のシートを第２のシートに対して上下方向に移動させてもよい。

１０…ディスク装置（ＨＤＤ）、２０…サスペンション、４０…フレキシャ、４０´…フレキシャ要素、５０…メタルベース、５１…配線部、６０…フレキシャ連鎖シート、６１…フレームユニット（板状ワークの一例）、６１ａ…第１の面、６１ｂ…第２の面、６２…枠部、７１…接続部、７２…第１の位置決め孔、７３…第２の位置決め孔、８０…反り矯正装置、８１…基台、８２…弾性マット、８２ａ…上面、８３…第１のクリーンシート、８４…第２のクリーンシート、８５…押圧ローラ、８６…イオン発生器（イオナイザ）、９０…第１のシート供給ユニット、９１…第１の供給ボビン、９２…第１の巻取ボビン、９５…第２のシート供給ユニット、９６…第２の供給ボビン、９７…第２の巻取ボビン、９８…第１の昇降ユニット、１００…ワーク保持機構、１１０…第２の昇降ユニット

Claims (8)

1. 第１の面と前記第１の面とは反対側の第２の面とを有する板状ワークの反りを矯正する反り矯正装置であって、前記板状ワークが、枠部と、前記枠部の内側に所定ピッチで配置され前記第１の面に設けられた配線部と前記第２の面に設けられたメタルベースとを備えた同一形状の複数のフレキシャ要素とを有し、
   前記矯正装置が、
   平坦な上面を有する弾性マットと、
   第１のクリーンシートを繰り出す供給ボビンと前記第１のクリーンシートを巻取る巻取ボビンとを有し、前記第１のクリーンシートを前記供給ボビンから前記第１のクリーンシートの長さ方向に繰り出すことにより前記弾性マット上に前記第１のクリーンシートを供給する第１のシート供給ユニットと、
   前記第１のクリーンシート上に前記配線部を上に向けかつ前記フレキシャ要素の長手方向が前記第１のクリーンシートの長さ方向に沿うよう前記板状ワークを供給するワーク保持機構と、
   前記第１のクリーンシートの上方に第２のクリーンシートを供給する第２のシート供給ユニットと、
   前記第２のクリーンシートを前記第１のクリーンシートに対し上下方向に相対的に移動させる第１の昇降ユニットと、
   前記第２のクリーンシートの上方に配置され上下方向に移動可能な押圧ローラと、
   前記押圧ローラを前記弾性マットに向かって押圧する第２の昇降ユニットと、
   前記押圧ローラが下降した状態において前記押圧ローラを前記弾性マットの前記上面に沿って前記フレキシャ要素の長手方向に移動させるローラ移動機構と、
   を具備したことを特徴とする板状ワークの反り矯正装置。
2. 前記弾性マットが弾性を有する樹脂の発泡体からなり、かつ、
   前記押圧ローラが前記弾性マットよりも硬質の弾性材料からなることを特徴とする請求項１に記載の板状ワークの反り矯正装置。
3. 前記第１のシート供給ユニットは、前記第１のクリーンシートの未使用の部分を前記弾性マット上に繰り出す第１の供給ボビンと、前記弾性マット上の前記第１のクリーンシートの使用済みの部分を所定量巻取る第１の巻取ボビンとを含み、
   前記第２のシート供給ユニットは、前記第２のクリーンシートの未使用の部分を前記第１のクリーンシート上に繰り出す第２の供給ボビンと、前記第２のクリーンシートの使用済みの部分を所定量巻取る第２の巻取ボビンとを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の板状ワークの反り矯正装置。
4. 前記第１のクリーンシートおよび第２のクリーンシートに静電気が帯電することを防止するためのイオン発生器をさらに備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の板状ワークの反り矯正装置。
5. 前記板状ワークが、前記枠部と前記フレキシャ要素とを有するフレームユニットからなり、前記ワーク保持機構は前記フレキシャ要素の長さ方向が前記弾性マットの上面の長さ方向に沿うよう前記フレームユニットを前記第１のクリーンシート上に載置することを特徴とする請求項１から４のうちいずれか１項に記載の板状ワークの反り矯正装置。
6. 前記フレームユニットの長さ方向の一端側に第１の位置決め孔が形成され、前記フレームユニットの長さ方向の他端側に第２の置決め孔が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の板状ワークの反り矯正装置。
7. 第１の面と前記第１の面とは反対側の第２の面とを有する板状ワークの反りを矯正する反り矯正方法であって、前記板状ワークが、枠部と、前記枠部の内側に所定ピッチで配置され前記第１の面に設けられた配線部と前記第２の面に設けられたメタルベースとを備えた同一形状の複数のフレキシャ要素とを有し、
   前記矯正方法が、
   平坦な上面を有する弾性マットの上に第１のクリーンシートを配置すること、
   前記第１のクリーンシートの上に前記配線部を上に向けかつ前記フレキシャ要素の長手方向が前記第１のクリーンシートの長さ方向に沿うよう前記板状ワークを供給すること、
   前記第１のクリーンシートと前記板状ワークの上方から第２のクリーンシートを重ねること、
   前記第２のクリーンシートの上方から前記弾性マットに向かって押圧ローラを降下させること、
   前記弾性マットと前記押圧ローラとの間で前記板状ワークを挟むこと、
   前記弾性マットと前記押圧ローラとの間で前記板状ワークを挟んだ状態において前記押圧ローラを前記弾性マットの上面に沿って前記フレキシャ要素の長手方向に移動させること、
   前記第１のクリーンシート上から前記板状ワークを取出すこと、
   を含む矯正プロセスを具備したことを特徴とする板状ワークの反り矯正方法。
8. 前記矯正プロセスを複数回繰返したのち、
   前記弾性マット上の前記第１のクリーンシートの使用済みの部分を所定量巻取るとともに前記第１のクリーンシートの未使用の部分を前記弾性マット上に繰り出し、かつ、
   前記第２のクリーンシートの使用済みの部分を前記所定量巻取るとともに前記第２のクリーンシートの未使用の部分を前記第１のクリーンシート上に繰り出すことを特徴とする請求項７に記載の板状ワークの反り矯正方法。

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