JP6428133B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Claims (2)
- 互いに対向する第一及び第二主面を有する圧電体と、前記第一主面上に形成された第一外部電極と、前記第二主面上に形成された第二外部電極と、を備える圧電素子と、
前記圧電素子を支持する支持部材と、を備え、
前記圧電素子は、前記第一主面側から前記圧電体に作用する拘束力が、前記第二主面側から前記圧電体に作用する拘束力より大きい状態で前記支持部材に拘束されて支持されており、
前記第一主面は研磨面であり、前記第一外部電極は前記研磨面である前記第一主面に沿って前記第一主面上に形成され、
前記第二主面は自然面であり、前記第二外部電極は前記自然面である前記第二主面に沿って前記第二主面上に形成され、
前記研磨面では、前記自然面よりも表面積が大きい、
圧電アクチュエータ。 - 前記研磨面は、ブラスト処理により形成された梨地状の面である、
請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
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JP2014209697A JP6428133B2 (ja) | 2014-10-14 | 2014-10-14 | 圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014209697A JP6428133B2 (ja) | 2014-10-14 | 2014-10-14 | 圧電アクチュエータ |
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JP6428133B2 true JP6428133B2 (ja) | 2018-11-28 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014209697A Active JP6428133B2 (ja) | 2014-10-14 | 2014-10-14 | 圧電アクチュエータ |
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2014
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