JP5877195B2 - 圧電デバイス、及び、その焼成前の成形体であるグリーン成形体の製造方法 - Google Patents
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Description
図1、図2に示すように、本実施形態に係る圧電デバイスは、焼成体であり、直方体状の本体部10と、本体部10の表面の少なくとも一部を覆うように本体部10に設けられた外部電極20と、を備える。
次に、上記圧電デバイスの製造方法について説明する。以下、「焼成前」であることは、対応する部材の名称に「グリーン」を付し、或いは、対応する部材の符号の末尾に「g」を付すことによって示される。
次に、弾性体の押し付けによって上記傾斜部及び円弧部が形成されることによる作用・効果を確認するために行った実験について説明する。
Claims (12)
- 圧電材料からなる部分を含む本体部であって、その表面が、平面である上面部と、平面である下面部と、前記上面部及び前記下面部を繋ぐ側面部とからなる本体部と、
前記本体部の上面部の少なくとも一部を覆う上面電極と、
前記本体部の下面部の少なくとも一部を覆う下面電極と、
前記本体部の側面部の少なくとも一部を覆い且つ前記上面電極及び前記下面電極を繋ぐ側面電極と、
を備えた焼成体である圧電デバイスであって、
前記側面電極における厚さが最小となる部分の厚さをTa、前記側面電極における表面の曲率半径が最小となる部分の厚さをTbとしたとき、Tb/Taが1.0〜5.0である、圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスにおいて、
前記側面電極における厚さが最小となる部分は、前記側面電極における上下方向の中央部分であり、
前記側面電極における表面の曲率半径が最小となる部分は、前記側面電極における前記上面電極又は前記下面電極との境界近傍の部分である、圧電デバイス。 - 請求項1又は請求項2に記載の圧電デバイスにおいて、
前記上面電極又は前記下面電極の厚さをTcとしたとき、Tc/Taが0.5〜2.0である、圧電デバイス。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記本体部は、前記圧電材料からなる少なくとも1つの圧電層と、少なくとも1つの内部電極とが積層された積層体であり、
前記内部電極は前記側面電極と接続する、圧電デバイス。 - 請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記本体部は縦0.4〜10.0mm、横0.2〜10.0mm、高さ0.3〜10.0mmの直方体状を呈している、圧電デバイス。 - 圧電材料からなる部分を含む本体部であって、その表面が、平面である上面部と、平面である下面部と、前記上面部及び前記下面部を繋ぐ側面部とからなる本体部と、
前記本体部の上面部の少なくとも一部を覆う上面電極と、
前記本体部の下面部の少なくとも一部を覆う下面電極と、
前記本体部の側面部の少なくとも一部を覆い且つ前記上面電極及び前記下面電極を繋ぐ側面電極と、
を備えた焼成体である圧電デバイスの焼成前の成形体であるグリーン成形体の製造方法であって、
前記本体部に対応するグリーン本体部と、前記グリーン本体部の上面に形成された前記上面電極に対応するグリーン上面電極と、を含むグリーン成形体を、平板状の基材上に互いに間隔をあけて複数載置する第1工程と、
前記第1工程後、前記複数のグリーン成形体に対して弾性体を上方から押し付けることによって、前記各グリーン成形体の上面の縁部において外側に向かって下がる傾斜部を形成するとともに前記傾斜部と前記グリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部を形成する第2工程と、
前記第2工程後、前記各グリーン成形体の側面に、前記グリーン上面電極と接続するように前記側面電極に対応するグリーン側面電極を形成する第3工程と、
を含む、グリーン成形体の製造方法。 - 圧電材料からなる部分を含む本体部であって、その表面が、平面である上面部と、平面である下面部と、前記上面部及び前記下面部を繋ぐ側面部とからなる本体部と、
前記本体部の上面部の少なくとも一部を覆う上面電極と、
前記本体部の下面部の少なくとも一部を覆う下面電極と、
前記本体部の側面部の少なくとも一部を覆い且つ前記上面電極及び前記下面電極を繋ぐ側面電極と、
を備えた焼成体である圧電デバイスの焼成前の成形体であるグリーン成形体の製造方法であって、
前記本体部に対応するグリーン本体部と、前記グリーン本体部の上下面にそれぞれ形成された前記上面電極に対応するグリーン上面電極及び前記下面電極に対応するグリーン下面電極と、からなるグリーン成形体を、平板状の基材上に互いに間隔をあけて複数載置する第1工程と、
前記第1工程後、前記複数のグリーン成形体に対して弾性体を上方から押し付けることによって、前記各グリーン成形体の上面の縁部において外側に向かって下がる傾斜部を形成するとともに前記傾斜部と前記グリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部を形成する第2工程と、
前記第2工程後、前記複数のグリーン成形体を上下反転させて前記基材上に互いに間隔をあけて再載置し、前記複数の前記グリーン成形体に対して弾性体を上方から押し付けることによって、前記各グリーン成形体の上面の縁部において外側に向かって下がる傾斜部を形成するとともに前記傾斜部と前記グリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部を形成する第3工程と、
前記第3工程後、前記各グリーン成形体の側面に、前記グリーン上面電極及び前記グリーン下面電極を繋ぐように前記側面電極に対応するグリーン側面電極を形成する第4工程と、
を含む、グリーン成形体の製造方法。 - 請求項6又は請求項7に記載のグリーン成形体の製造方法において、
前記基材上に載置された複数のグリーン成形体の高さは同じであり、前記弾性体は板状を呈していて、
前記弾性体の硬度がショア硬度Aで15〜50であり、
前記弾性体を押し付ける圧力は5〜40kgf/cm2であり、
前記グリーン成形体を上方からみたときの前記傾斜部の長さは0.01〜1.0mmであり、
前記傾斜部の傾斜角度は0.1〜15.0°であり、
前記円弧部の半径は0.002〜0.020mmである、グリーン成形体の製造方法。 - 圧電材料からなる部分を含む本体部であって、その表面が、平面である上面部と、平面である下面部と、前記上面部及び前記下面部を繋ぐ側面部とからなる本体部と、
前記本体部の上面部の少なくとも一部を覆う上面電極と、
前記本体部の下面部の少なくとも一部を覆う下面電極と、
前記本体部の側面部の少なくとも一部を覆い且つ前記上面電極及び前記下面電極を繋ぐ側面電極と、
を備えた焼成体である圧電デバイスの焼成前の成形体であるグリーン成形体の製造方法であって、
前記本体部に対応するグリーン本体部と、前記グリーン本体部の上面に形成された前記上面電極に対応するグリーン上面電極と、を含むグリーン成形体を、平板状の基材上に互いに間隔をあけて複数載置する第1工程と、
前記第1工程後、前記複数のグリーン成形体に対して弾性体を上方から押し付けることによって、前記各グリーン成形体の上面の縁部と前記グリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部を形成する第2工程と、
前記第2工程後、前記各グリーン成形体の側面に、前記グリーン上面電極と接続するように前記側面電極に対応するグリーン側面電極を形成する第3工程と、
を含む、グリーン成形体の製造方法。 - 圧電材料からなる部分を含む本体部であって、その表面が、平面である上面部と、平面である下面部と、前記上面部及び前記下面部を繋ぐ側面部とからなる本体部と、
前記本体部の上面部の少なくとも一部を覆う上面電極と、
前記本体部の下面部の少なくとも一部を覆う下面電極と、
前記本体部の側面部の少なくとも一部を覆い且つ前記上面電極及び前記下面電極を繋ぐ側面電極と、
を備えた焼成体である圧電デバイスの焼成前の成形体であるグリーン成形体の製造方法であって、
前記本体部に対応するグリーン本体部と、前記グリーン本体部の上下面にそれぞれ形成された前記上面電極に対応するグリーン上面電極及び前記下面電極に対応するグリーン下面電極と、からなるグリーン成形体を、平板状の基材上に互いに間隔をあけて複数載置する第1工程と、
前記第1工程後、前記複数のグリーン成形体に対して弾性体を上方から押し付けることによって、前記各グリーン成形体の上面の縁部と前記グリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部を形成する第2工程と、
前記第2工程後、前記複数のグリーン成形体を上下反転させて前記基材上に互いに間隔をあけて再載置し、前記複数の前記グリーン成形体に対して弾性体を上方から押し付けることによって、前記各グリーン成形体の上面の縁部と前記グリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部を形成する第3工程と、
前記第3工程後、前記各グリーン成形体の側面に、前記グリーン上面電極及び前記グリーン下面電極を繋ぐように前記側面電極に対応するグリーン側面電極を形成する第4工程と、
を含む、グリーン成形体の製造方法。 - 請求項9又は請求項10に記載のグリーン成形体の製造方法において、
前記基材上に載置された複数のグリーン成形体の高さは同じであり、前記弾性体は板状を呈していて、
前記弾性体の硬度がショア硬度Aで15〜50であり、
前記弾性体を押し付ける圧力は5〜40kgf/cm2であり、
前記円弧部の半径は0.002〜0.020mmである、グリーン成形体の製造方法。 - 請求項6乃至請求項11の何れか一項に記載のグリーン成形体の製造方法において、
前記第1工程では、前記基材上に載置された、前記複数のグリーン成形体に対応する部分が互いに間隔をあけて含まれる1枚の平板状のグリーン成形体に対して機械加工を施すことにより、前記複数のグリーン成形体が前記基材上に互いに間隔をあけて載置される、グリーン成形体の製造方法。
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