JP6265013B2 - 圧電素子 - Google Patents
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Claims (2)
- 互いに対向する一対の主面を有し且つ圧電セラミックからなる圧電基板と、
前記一対の主面上に配置されている一対の電極と、を備え、
前記一対の主面は、自然面且つ梨地面であり、
前記一対の電極は、自然面且つ梨地面である前記主面に沿って前記主面上に形成されており、
前記一対の電極の各表面は、対応する前記主面の形状が反映された梨地面であることを特徴とする圧電素子。 - 前記一対の電極の厚さは、100nm〜400nmであることを特徴とする請求項1に記載の圧電素子。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014075415A JP6265013B2 (ja) | 2014-04-01 | 2014-04-01 | 圧電素子 |
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JP2014075415A JP6265013B2 (ja) | 2014-04-01 | 2014-04-01 | 圧電素子 |
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JP2015198161A JP2015198161A (ja) | 2015-11-09 |
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JP2014075415A Active JP6265013B2 (ja) | 2014-04-01 | 2014-04-01 | 圧電素子 |
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Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0248953A (ja) * | 1988-05-13 | 1990-02-19 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよびその表面処理方法 |
JPH10296986A (ja) * | 1997-04-30 | 1998-11-10 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド |
JP2008109072A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-05-08 | Ngk Insulators Ltd | モノモルフ型圧電/電歪素子、及びその製造方法 |
JP2009279593A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Seiko Epson Corp | パンチ |
WO2014017635A1 (ja) * | 2012-07-26 | 2014-01-30 | 株式会社村田製作所 | セラミック電子部品、及びセラミック電子部品の製造方法 |
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JP2015198161A (ja) | 2015-11-09 |
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