JP6421755B2 - プリプレグ、金属箔張積層板及びプリント配線板 - Google Patents
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Description
〔1〕
熱硬化性樹脂(A)及び無機充填材(B)を含む熱硬化性樹脂組成物(C)と、該熱硬化性樹脂組成物(C)が含浸又は塗布されたガラスクロス(D)と、を有し、
前記ガラスクロス(D)が、該ガラスクロス(D)を構成するタテ糸の打ち込み本数をX(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数をY(本/インチ)、前記タテ糸1本当たりのフィラメント数をx(本)、前記ヨコ糸1本当たりのフィラメント数をy(本)、厚みをt(μm)とした場合に、下記式(I)〜(III)を満たすものであり、
(x+y)≦95 (I)
1.9<(X+Y)/(x+y) (II)
t≦14 (III)
該熱硬化性樹脂組成物(C)における前記無機充填材(B)の含有量が、前記熱硬化性樹脂(A)100質量部に対して、110〜700質量部である、
プリプレグ。
〔2〕
前記無機充填材(B)の含有量が、前記熱硬化性樹脂組成物(C)100質量部に対して、38〜88質量部である、前項〔1〕に記載のプリプレグ。
〔3〕
前記ガラスクロス(D)におけるx+yの値が、50以上である、前項〔1〕又は〔2〕に記載のプリプレグ。
〔4〕
前記ガラスクロス(D)における(X+Y)/(x+y)の値が、7.0以下である、前項〔1〕〜〔3〕のいずれか1項に記載のプリプレグ。
〔5〕
前記ガラスクロス(D)の厚みt(μm)が、8μm以上である、前項〔1〕〜〔4〕のいずれか1項に記載のプリプレグ。
〔6〕
前記タテ糸及び前記ヨコ糸における平均フィラメント径をr(μm)とした場合に、前記ガラスクロス(D)の厚みt(μm)が、4r未満である、前項〔1〕〜〔5〕のいずれか1項に記載のプリプレグ。
〔7〕
前記タテ糸及び前記ヨコ糸における平均フィラメント径r(μm)の平均値が、2.5〜5.0μmである、前項〔1〕〜〔6〕のいずれか1項に記載のプリプレグ。
〔8〕
前記ガラスクロス(D)におけるX/Yの値が、0.85〜1.15である、前項〔1〕〜〔7〕のいずれか1項に記載のプリプレグ。
〔9〕
前記ガラスクロス(D)の単位面積当たりにおける質量をW(g/m2)とした場合に、W/t(g/μm・m2)の値が、1.0未満である、前項〔1〕〜〔8〕のいずれか1項に記載のプリプレグ。
〔10〕
前記熱硬化性樹脂(A)が、シアン酸エステル化合物及び/又はマレイミド化合物を含有する、前項〔1〕〜〔9〕のいずれか1項に記載のプリプレグ。
〔11〕
前記熱硬化性樹脂(A)が、ビスマレイミドトリアジン樹脂を含有する、前項〔1〕〜〔10〕のいずれか1項に記載のプリプレグ。
〔12〕
前記プリプレグ中における前記ガラクロス(D)の体積含有率が、21体積%〜35体積%である、前項〔1〕〜〔11〕のいずれか1項に記載のプリプレグ。
〔13〕
前記無機充填材(B)が、シリカ、ベーマイト、及びアルミナからなる群より選ばれる1種以上を含有する、前項〔1〕〜〔12〕のいずれか1項に記載のプリプレグ。
〔14〕
前項〔1〕〜〔13〕のいずれか1項に記載のプリプレグと、該プリプレグの片面又は両面に積層された金属箔と、を含む、金属箔張積層板。
〔15〕
前項〔1〕〜〔13〕のいずれか1項に記載のプリプレグをビルドアップ材料として用いて作製された、プリント配線板。
〔16〕
前項〔14〕に記載の金属箔張積層板を積層用材料として用いて作製された、多層プリント配線板。
〔17〕
前項〔1〕〜〔13〕のいずれか1項に記載のプリプレグをビルドアップ材料として用いて、下地層に半導体用途部品及び金属ラインを配置し、得られる、部品内蔵多層プリント配線板。
〔18〕
前項〔1〕〜〔13〕のいずれか1項に記載のプリプレグを絶縁層として作製された、プリント配線板。
本実施形態のプリプレグは、
熱硬化性樹脂(A)及び無機充填材(B)を含む熱硬化性樹脂組成物(C)と、該熱硬化性樹脂組成物(C)が含浸又は塗布されたガラスクロス(D)と、を有し、
前記ガラスクロス(D)が、
該ガラスクロス(D)を構成するタテ糸の打ち込み本数をX(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数をY(本/インチ)、前記タテ糸1本当たりのフィラメント数をx(本)、前記ヨコ糸1本当たりのフィラメント数をy(本)、厚みをt(μm)とした場合に、下記式(I)〜(III)を満たすものであり、
(x+y)≦95 (I)
1.9<(X+Y)/(x+y) (II)
t<20 (III)
該熱硬化性樹脂組成物(C)における前記無機充填材(B)の含有量が、前記熱硬化性樹脂(A)100質量部に対して、110〜700質量部である。
本実施形態のプリプレグにおいて使用されるガラスクロス(D)は、該ガラスクロス(D)を構成するタテ糸の打ち込み本数をX(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数をY(本/インチ)、タテ糸1本当たりのフィラメント数をx(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数をy(本)、厚みをt(μm)とした場合に、下記式(I)〜(III)を満たすものである。
(x+y)≦95 (I)
1.9<(X+Y)/(x+y) (II)
t<20 (III)
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物(C)は、熱硬化性樹脂(A)及び無機充填材(B)を含む。
熱硬化性樹脂(A)としては、熱により硬化する樹脂であれば特に限定されないが、例えば、シアン酸エステル化合物、マレイミド化合物、ビスマレイミドトリアジン樹脂(BT樹脂)、非ハロゲン系エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテルが挙げられる。この中でも、シアン酸エステル化合物及び/又はマレイミド化合物が好ましい。シアン酸エステル化合物及び/又はマレイミド化合物を用いることにより、耐薬品性、密着性がより向上する傾向にある。また、BT樹脂も好ましい。BT樹脂を含有することにより、耐薬品性、密着性、耐吸湿性、耐熱性がより向上する傾向にある。熱硬化性樹脂(A)は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
シアン酸エステル化合物としては、特に限定されないが、例えば、下記式(1)で表されるナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物、下記式(2)で表されるノボラック型シアン酸エステル化合物、ビフェニルアラルキル型シアン酸エステル化合物、ビス(3,5−ジメチル4−シアナトフェニル)メタン、ビス(4−シアナトフェニル)メタン、1,3−ジシアナトベンゼン、1,4−ジシアナトベンゼン、1,3,5−トリシアナトベンゼン、1,3−ジシアナトナフタレン、1,4−ジシアナトナフタレン、1,6−ジシアナトナフタレン、1,8−ジシアナトナフタレン、2,6−ジシアナトナフタレン、2、7−ジシアナトナフタレン、1,3,6−トリシアナトナフタレン、4、4’−ジシアナトビフェニル、ビス(4−シアナトフェニル)エーテル、ビス(4−シアナトフェニル)チオエーテル、ビス(4−シアナトフェニル)スルホン、2、2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン、等が挙げられる。この中でも下記式(1)で表されるナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物、下記式(2)で表されるノボラック型シアン酸エステル、ビフェニルアラルキル型シアン酸エステルが好ましい。下記式(1)で表されるナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物、下記式(2)で表されるノボラック型シアン酸エステル、ビフェニルアラルキル型シアン酸エステルを用いることにより、難燃性及び硬化性がより向上し、かつ硬化物の熱膨張係数がより低下する傾向するにある。これらのシアン酸エステル化合物は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
マレイミド化合物としては、1分子中に1個以上のマレイミド基を有する化合物であれば、特に限定されるものではない。その具体例としては、N−フェニルマレイミド、N−ヒドロキシフェニルマレイミド、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、2,2−ビス{4−(4−マレイミドフェノキシ)−フェニル}プロパン、ビス(3,5−ジメチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3,5−ジエチル−4−マレイミドフェニル)メタン、下記式(3)で表されるマレイミド化合物、これらマレイミド化合物のプレポリマー、もしくはマレイミド化合物とアミン化合物のプレポリマーなどが挙げられる。この中でも、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、2,2−ビス{4−(4−マレイミドフェノキシ)−フェニル}プロパン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、下記式(3)で表されるマレイミド化合物が好ましく、とりわけ、下記式(3)で表されるマレイミド化合物が好ましい。マレイミド化合物は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
BT樹脂としては、特に限定されないが、例えば、シアン酸エステル化合物及びマレイミド化合物を、無溶剤又はメチルエチルケトン、Nメチルピロドリン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、トルエン、キシレン等の有機溶剤に溶解して加熱混合し、ポリマー化したものが挙げられる。
非ハロゲン系エポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有し、分子骨格内にハロゲン原子を有しない化合物であれば特に限定されず、例えば、下記式(4)で表されるフェノールフェニルアラルキルノボラック型エポキシ樹脂、下記式(5)で表されるフェノールビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、下記式(6)で表されるナフトールアラルキル型エポキシ樹脂や、下記式(7)で表されるアントラキノン型エポキシ樹脂や下記式(8)又は下記式(9)で表されるポリオキシナフチレン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、3官能フェノール型エポキシ樹脂、4官能フェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂、ブロム化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ブロム化フェノールノボラック型エポキシ樹脂、リン含有エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、ポリオール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン、グリシジルエステル、ブタジエンなどの2重結合をエポキシ化した化合物、水酸基含有シリコーン樹脂類とエピクロルヒドリンとの反応により得られる化合物等が挙げられる。この中でも、特に難燃性を向上させるためや、熱膨張を低くする観点から、下記式(4)で表されるフェノールフェニルアラルキルノボラック型エポキシ樹脂、下記式(5)で表されるフェノールビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、下記式(6)で表されるナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、下記式(7)で表されるアントラキノン型エポキシ樹脂、下記式(8)又は下記式(9)で表されるポリオキシナフチレン型エポキシ樹脂が好ましい。これらの非ハロゲン系エポキシ樹脂は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
(上記式(8)中、R7はそれぞれ独立的に水素原子、炭素原子数1〜4のアルキル基又はアラルキル基を表す。)
フェノール樹脂としては、1分子中にフェノール性水酸基を2個以上有する樹脂であれば、公知のものを適宜用いることができ、その種類は特に限定されない。例えば、クレゾールノボラック型フェノール樹脂、フェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールノボラック樹脂、ビスフェノールA型ノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、ザイロック型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ポリビニルフェノール類、ナフトールアラルキル型フェノール樹脂、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂、アミノトリアジンノボラック型フェノール樹脂等が挙げられる。これらのフェノール樹脂は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
ポリフェニレンエーテルとしては、特に限定されないが、例えば、下記式(10)で表される構造単位を少なくとも含んでいる重合体であれば、公知のものが挙げられる。
熱硬化性樹脂組成物(C)中の無機充填材(B)としては、例えば、天然シリカ、溶融シリカ、アモルファスシリカ、中空シリカ等のシリカ類;ベーマイト;酸化モリブデンやモリブデン酸亜鉛等のモリブデン化合物;アルミナ、タルク、焼成タルク、マイカ、ガラス短繊維、球状ガラス(EガラスやTガラス、Dガラスなどのガラス微粉末類)などが挙げられる。この中でも、無機充填材(B)は、シリカ、ベーマイト、及びアルミナからなる群より選ばれる1種以上を含むことが好ましい。このような無機充填材(B)を用いることにより、反りが低減し、剛性がより向上する傾向にある。これらの無機充填材(B)は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
熱硬化性樹脂組成物(C)は、必要に応じてシランカップリング剤を含んでもよい。シランカップリング剤としては、一般に無機物の表面処理に使用されているシランカップリング剤であれば、特に限定されないが、例えば、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランなどのアミノシラン系化合物;γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランなどのエポキシシラン系化合物;γ−メタアクリロキシプロピルトリメトキシシランなどのビニルシラン系化合物;N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩などのカチオニックシラン系化合物;フェニルシラン系化合物などが挙げられる。シランカップリング剤は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
熱硬化性樹脂組成物(C)は、必要に応じて湿潤分散剤を含んでもよい。湿潤分散剤としては、特に限定されず、塗料用に使用されている分散安定剤を用いることができ、例えば、ビッグケミー・ジャパン(株)製のDisperByk−110、111、180、161、2000、2151、BYK―W996、W9010、W903等が挙げられる。
熱硬化性樹脂組成物(C)は、熱硬化性樹脂(A)、無機充填材(B)に加えて、必要に応じて硬化促進剤を含有することができる。硬化促進剤としては、特に限定されないが、例えば、イミダゾール化合物;過酸化ベンゾイル、ラウロイルパーオキサイド、アセチルパーオキサイド、パラクロロベンゾイルパーオキサイド、ジ−tert−ブチル−ジ−パーフタレート等で例示される有機過酸化物;アゾビスニトリル当のアゾ化合物;N,N−ジメチルベンジルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジメチルトルイジン、2−N−エチルアニリノエタノール、トリ−n−ブチルアミン、ピリジン、キノリン、N−メチルモルホリン、トリエタノールアミン、トリエチレンジアミン、テトラメチルブタンジアミン、N−メチルピペリジンなどの第3級アミン類;フェノール、キシレノール、クレゾール、レゾルシン、カテコールなどのフェノール類;ナフテン酸鉛、ステアリン酸鉛、ナフテン酸亜鉛、オクチル酸亜鉛、オレイン酸錫、ジブチル錫マレート、ナフテン酸マンガン、ナフテン酸コバルト、アセチルアセトン鉄などの有機金属塩;これら有機金属塩をフェノール、ビスフェノールなどの水酸基含有化合物に溶解してなるもの;塩化錫、塩化亜鉛、塩化アルミニウムなどの無機金属塩;ジオクチル錫オキサイド、その他のアルキル錫、アルキル錫オキサイドなどの有機錫化合物などが挙げられる。
さらに、熱硬化性樹脂組成物(C)は、必要に応じて溶剤を含有していてもよい。例えば、有機溶剤を用いると、熱硬化性樹脂組成物の調製時における粘度が下がり、ハンドリング性を向上されるとともにガラスクロスへの含浸性が向上する傾向にある。溶剤としては、特に限定されないが、熱硬化性樹脂(A)を溶解可能なものが好ましい。このような溶媒としては、特に限定されないが、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセルソルブなどのケトン類、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミドなどのアミド類;プロピレングリコールメチルエーテル及びそのアセテートなどが挙げられる。溶剤は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
熱硬化性樹脂組成物(C)は、必要に応じて、熱可塑性樹脂及びそのオリゴマー、エラストマー類などの種々の高分子化合物;他の難燃性の化合物;その他の添加剤などを含有してもよい。これらは一般に熱硬化性樹脂組成物に使用されるものであれば、特に限定されるものではない。例えば、難燃性の化合物としては、メラミンやベンゾグアナミンなどの窒素含有化合物;オキサジン環含有化合物などが挙げられる。その他の添加剤としては、紫外線吸収剤、酸化防止剤、光重合開始剤、蛍光増白剤、光増感剤、染料、顔料、増粘剤、滑剤、消泡剤、分散剤、レベリング剤、光沢剤、重合禁止剤等が挙げられる。これら添加剤は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
本実施形態のプリプレグの製造方法は、ガラスクロス(D)に、熱硬化性樹脂(A)、及び無機充填材(B)を含む熱硬化性樹脂組成物(C)を含浸又は塗布してプリプレグを製造する方法であれば、特に限定されない。例えば、熱硬化性樹脂組成物(C)を含む樹脂ワニスをガラスクロス(D)に含浸又は塗布させた後、100〜200℃の乾燥機中で、1〜60分加熱させる方法などにより半硬化させ、プリプレグを製造する方法などが挙げられる。
体積含有率(%)=((t1−W/d)×S)/t1×100
本実施形態の金属箔張積層板は、プリプレグと、該プリプレグの片面又は両面に積層された金属箔と、を含む。このような金属箔張積層板は、上述のプリプレグを少なくとも1枚以上重ね、その片面もしくは両面に金属箔を配して積層成形することにより、得ることができる。具体的には、前述のプリプレグを1枚あるいは複数枚以上を重ね、所望によりその片面もしくは両面に銅やアルミニウムなどの金属箔を配置した構成とし、これを必要に応じて積層成形することにより、本実施形態の金属箔張積層板を作製することができる。なお、プリプレグとしては、前述のプリプレグ以外のものを併用してもよい。
本実施形態のプリント配線板は、プリプレグをビルドアップ材料として用いて作製されたものである。このようなプリント配線板は、上記の金属箔張積層板に、所定の配線パターンを形成することにより得ることができる。また、本実施形態の多層プリント配線板は、金属箔張積層板を積層用材料として用いて作製されたものである。このような多層プリント配線板は、上記の本実施形態の金属箔張積層板を積層用材料として用いて多層プリント配線板を形成することにより得ることができる。さらに、本実施形態の部品内蔵多層プリント配線板は、上記プリプレグをビルドアップ材料として用いて、下地層に半導体用途部品及び金属ラインを配置し、得られるものである。
特許4407823号の製造方法により得られた、上記式(1)におけるR1がすべて水素原子であるα−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(シアネート当量:261g/eq)35質量部、ビス(3−エチル−5−メチル−マレイミドフェニル)メタン(BMI−70、ケイアイ化成(株)製)15質量部、及びフェノールビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC−3000−FH、エポキシ当量:320/eq.、日本化薬(株)製)50質量部を、メチルエチルケトン中で溶解混合し、更にシランカップリング剤(Z6040、東レ・ダウコーニング(株)製)2質量部、湿潤分散剤1(disperbyk−161、ビッグケミー・ジャパン(株)製)2質量部、球状溶融シリカ(SC2050MB、アドマテックス(株)製)130質量部、シリコーンレジンで表面を被覆したシリコーンゴムパウダー(KMP−600、信越化学工業(株)製)15質量部、シリコーンレジンパウダー(トスパール120、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製)10質量部、オクチル酸亜鉛(日本化学産業(株)製)0.02質量部を混合してワニスを得た。
ワニス製造例1で使用したα−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物36質量部、上記式(3)におけるR3がすべて水素原子であるマレイミド化合物(BMI−2300、大和化成工業(株)製)26質量部、及びポリオキシナフチレン型エポキシ樹脂(HP−6000,エポキシ当量:250g/eq.、DIC(株)製)38質量部を、メチルエチルケトン中で溶解混合し、更に湿潤分散剤1を1質量部、湿潤分散剤2(disperbyk−111、ビッグケミー・ジャパン(株)製)2質量部、シランカップリング剤(Z6040、東レ・ダウコーティング(株)製)5質量部、球状溶融シリカ(SC2050MOB)220質量部、シリコーンレジンで表面を被覆したシリコーンゴムパウダー(KMP−600)10質量部、上記式(11)におけるAr及びR13がすべてフェニル基である2,4,5−トリフェニルイミダゾール(和光純薬工業(株)製)1質量部を混合してワニスを得た。
平均フィラメント径4.1μmのフィラメント40本を撚ったガラス糸をタテ糸及びヨコ糸として使用し、エアージェットルームで、タテ糸95(本/インチ)、ヨコ糸95(本/インチ)の織密度で平織りのガラスクロスを製織した。以下、同様の方法により各ガラスクロスを製織した。
実施例1と同様にして、ガラスクロス体積含有率を28体積%としたプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を10.8(g/m2)、厚みを13(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を40(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、タテ糸の打ち込み本数95(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を85(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例1で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分70%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率24体積%のプリプレグを得た。
実施例3と同様にして、ガラスクロス体積含有率を28体積%としたプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を11.4(g/m2)、厚みを14(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を40(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、タテ糸の打ち込み本数95(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を95(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例1で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分70%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率25体積%のプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を9.8(g/m2)、厚みを11(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を40(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を40(本)、タテ糸の打ち込み本数95(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を85(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例1で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分70%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率23体積%のプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を10.5(g/m2)、厚みを13(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を40(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を40(本)、タテ糸の打ち込み本数95(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を95(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例2で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分75%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率24体積%のプリプレグを得た。
実施例7と同様にして、ガラスクロス体積含有率を28体積%としたプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を10.8(g/m2)、厚みを13(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を40(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、タテ糸の打ち込み本数95(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を85(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例2で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分75%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率24体積%のプリプレグを得た。
実施例9と同様にして、ガラスクロス体積含有率を28体積%としたプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を11.4(g/m2)、厚みを14(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を40(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、タテ糸の打ち込み本数95(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を95(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例2で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分75%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率25体積%のプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を9.8(g/m2)、厚みを11(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を40(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を40(本)、タテ糸の打ち込み本数95(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を85(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例2で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分75%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率23体積%のプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を12.5(g/m2)、厚みを15(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、タテ糸の打ち込み本数95(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を95(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例1で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分70%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率27体積%のプリプレグを得た。
比較例1と同様にして、ガラスクロス体積含有率を33体積%としたプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を12.5(g/m2)、厚みを15(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、タテ糸の打ち込み本数95(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を95(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例2で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分70%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率27体積%のプリプレグを得た。
比較例3と同様にして、ガラスクロス体積含有率を33体積%としたプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を11.2(g/m2)、厚みを13(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、タテ糸の打ち込み本数85(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を85(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例1で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分75%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率25体積%のプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を11.2(g/m2)、厚みを13(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、タテ糸の打ち込み本数85(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を85(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例2で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分75%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率25体積%のプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を10.0(g/m2)、厚みを11(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、タテ糸の打ち込み本数75(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を75(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例1で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分75%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率23体積%のプリプレグを得た。
単位面積当たりの質量を10.0(g/m2)、厚みを11(μm)、ガラスクロスを構成するタテ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、ヨコ糸1本当たりのフィラメント数を50(本)、タテ糸の打ち込み本数75(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数を75(本/インチ)、平均フィラメント径を4.1(μm)としたガラスクロスに、ワニス製造例2で得られたワニスをメチルエチルケトンで希釈して熱硬化性樹脂組成物固形分75%としたものを含浸塗工し、160℃で4分間加熱乾燥して、ガラスクロス体積含有率23体積%のプリプレグを得た。
塗工試験として、ガラスクロスに対し、ワニスを含浸塗工し、160℃で4分間乾燥して、得たプリプレグの外観を検査した。尚、プリプレグに濡れ班、ピンホール等のないことを○とした。「濡れ班」とは樹脂とガラスクロスの表面張力の差、又は、ゴミの混入等の影響によって、ハジキが発生した状態をいう。「ピンホール」とはガラスクロスを構成するタテ糸とヨコ糸交点の空隙に熱硬化性樹脂組成物のない空隙が発生することをいう。
プレス試験として、得られたプリプレグの上下に3μmキャリア付極薄銅箔(MT18Ex3μm,三井金属(株)製)を積層し、230℃、30kg/cm2で120分間の加熱成形をして得た積層板を、エッチアウトした場合の外観を検査した。尚、ボイド、擦れ等のないことを○とした。「ボイド」とは積層板をエッチアウトした際に、ガラスクロス及び樹脂硬化物の存在しない、空隙が発生することをいう。「擦れ」とは積層板をエッチアウトした際にガラスクロス繊維が表面に露出した状態が発生することをいう。
HAST試験(絶縁信頼性試験)として、得られたプリプレグの上下に3μmキャリア付極薄銅箔(MT18Ex3μm,三井金属(株)製)を積層し、230℃、30kg/cm2で120分間の加熱成形をして積層板を得、この積層板の中央銅箔を一部残し、残りの銅箔をエッチングによって除去して前記残した銅箔を電極接続部として、135℃、85%の加湿熱条件下にて5Vの電圧を印加し、体積方向の抵抗値を測定した。尚、積層板上の5カ所で評価を行い、300時間経過後の抵抗値が5カ所全てで1×10^8(Ω)以上のものを○、3〜4カ所で1×10^8(Ω)以上のものを△、0〜2カ所で1×10^8(Ω)以上のもの×とした。
Claims (18)
- 熱硬化性樹脂(A)及び無機充填材(B)を含む熱硬化性樹脂組成物(C)と、該熱硬化性樹脂組成物(C)が含浸又は塗布されたガラスクロス(D)と、を有し、
前記ガラスクロス(D)が、該ガラスクロス(D)を構成するタテ糸の打ち込み本数をX(本/インチ)、ヨコ糸の打ち込み本数をY(本/インチ)、前記タテ糸1本当たりのフィラメント数をx(本)、前記ヨコ糸1本当たりのフィラメント数をy(本)、厚みをt(μm)とした場合に、下記式(I)〜(III)を満たすものであり、
(x+y)≦95 (I)
1.9<(X+Y)/(x+y) (II)
t≦14 (III)
該熱硬化性樹脂組成物(C)における前記無機充填材(B)の含有量が、前記熱硬化性樹脂(A)100質量部に対して、110〜700質量部である、
プリプレグ。 - 前記無機充填材(B)の含有量が、前記熱硬化性樹脂組成物(C)100質量部に対して、38〜88質量部である、請求項1に記載のプリプレグ。
- 前記ガラスクロス(D)におけるx+yの値が、50以上である、請求項1又は2に記載のプリプレグ。
- 前記ガラスクロス(D)における(X+Y)/(x+y)の値が、7.0以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のプリプレグ。
- 前記ガラスクロス(D)の厚みt(μm)が、8μm以上である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のプリプレグ。
- 前記タテ糸及び前記ヨコ糸における平均フィラメント径をr(μm)とした場合に、前記ガラスクロス(D)の厚みt(μm)が、4r未満である、請求項1〜5のいずれか1項に記載のプリプレグ。
- 前記タテ糸及び前記ヨコ糸における平均フィラメント径r(μm)の平均値が、2.5〜5.0μmである、請求項1〜6のいずれか1項に記載のプリプレグ。
- 前記ガラスクロス(D)におけるX/Yの値が、0.85〜1.15である、請求項1〜7のいずれか1項に記載のプリプレグ。
- 前記ガラスクロス(D)の単位面積当たりにおける質量をW(g/m2)とした場合に、W/t(g/μm・m2)の値が、1.0未満である、請求項1〜8のいずれか1項に記載のプリプレグ。
- 前記熱硬化性樹脂(A)が、シアン酸エステル化合物及び/又はマレイミド化合物を含有する、請求項1〜9のいずれか1項に記載のプリプレグ。
- 前記熱硬化性樹脂(A)が、ビスマレイミドトリアジン樹脂を含有する、請求項1〜10のいずれか1項に記載のプリプレグ。
- 前記プリプレグ中における前記ガラクロス(D)の体積含有率が、21体積%〜35体積%である、請求項1〜11のいずれか1項に記載のプリプレグ。
- 前記無機充填材(B)が、シリカ、ベーマイト、及びアルミナからなる群より選ばれる1種以上を含有する、請求項1〜12のいずれか1項に記載のプリプレグ。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載のプリプレグと、該プリプレグの片面又は両面に積層された金属箔と、を含む、金属箔張積層板。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載のプリプレグをビルドアップ材料として用いて作製された、プリント配線板。
- 請求項14に記載の金属箔張積層板を積層用材料として用いて作製された、多層プリント配線板。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載のプリプレグをビルドアップ材料として用いて、下地層に半導体用途部品及び金属ラインを配置し、得られる、部品内蔵多層プリント配線板。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載のプリプレグを絶縁層として作製された、プリント配線板。
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