JP6419236B2 - 転がり案内装置の減衰部材及びこれを利用した免震装置 - Google Patents

Description

本発明は、軌道レール及びこれに沿って運動する移動ブロックから構成される転がり案内装置に適用されて、前記移動ブロックの運動に対して作用する減衰力を簡易に増強するための減衰部材及び当該減衰部材を利用した免震装置に関する。

転がり案内装置は、軌道レールと、多数の転動体を介して前記軌道レールに組み付けられた移動ブロックとを備えている。前記軌道レールと前記移動ブロックは外部から作用する荷重を負荷しながら相対的に移動可能であり、当該転がり案内装置は工作機械や搬送装置等の多種多様な用途に使われている。

また、転がり案内装置の他の用途としては免震装置が知られている。免震装置は、建物等の構造物と地面との間に設けられ、あるいは建物内に設置される精密機器、電子機器、美術品等の物品と床面との間に設けられ、これら免震対象物を地面や床面の振動から断絶する目的で用いられている。例えば、建物内で使用される免震装置では、床面に固定される下部テーブルと物品が載置される上部テーブルの間に転がり案内装置が配置され、床面に対して振動が作用した場合に、前記軌道レールに対して前記移動ブロックが移動し、免震対象物を載せた上部テーブルを床面の振動から断絶し、かかる上部テーブルの振動の周期を十分に長く設定して免震対象物の揺れを軽減することが可能となっている。

この種の転がり案内装置の本質的な特徴は、前記移動ブロックが前記軌道レールに対して小さな摺動抵抗で軽く移動することにある。このため、転がり案内装置を利用した前記免震装置では、僅かに振動が作用した場合でも前記上部テーブルが前記下部テーブルに対して揺らいでしまう懸念がある。また、前記転がり案内装置は前記軌道レールの長手方向（以下、「軸方向」という）の運動に関しては何ら減衰力を発揮しないので、大地震等の加速度の大きな振動が作用した場合には、前記上部テーブルが大きなストロークで長時間揺れてしまうといった懸念がある。

転がり案内装置に対して軸方向の減衰力を付与する方策としては、例えば特許文献１に開示されるブレーキユニットが知られている。前記ブレーキユニットは、前記軌道レールの側面に当接するブレーキシューと、加圧空気の圧力に応じて前記ブレーキシューを前記軌道レールに向けて押圧する弾性袋体と、を備えている。このブレーキユニットは前記移動ブロックと共に前記軌道レールに対して組み付けられ、前記弾性袋体を加圧空気によって膨らませることにより、前記ブレーキシューと前記軌道レールの間の摩擦抵抗を適宜増減させ、転がり案内装置の軸方向への運動に対して任意の大きさの減衰力を付与することが可能となっている。

特開平９−２１７７４３号

しかし、特許文献１に開示されるブレーキユニットはその動作に加圧空気を必要とするために小型化が難しく、例えば、免震装置に適用した場合に当該装置の全体が大型化してしまうといった懸念がある。また、免震装置そのものを薄型化するために、前記下部テーブルと前記上部テーブルの間の空間は極めて狭く、当該空間に前記ブレーキユニットを配置するのも困難である。

更に、近年では巨大地震についての対応のために、既に使用されている免震装置に対して減衰力の増強が必要とされる場合もあり、そのような場合に当該免震装置を分解することなく、転がり案内装置の軸方向への摺動抵抗を手軽に増加させることができると便利である。

本発明はこのような課題に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、既に使用されている転がり案内装置に対して簡単に装着することができると共に当該転がり案内装置の大型化を回避することができ、当該転がり案内装置が発揮する軸方向への減衰力を容易に増強することが可能な減衰部材を提供することにある。

また、本発明の他の目的は、前記減衰部材が装着され、適度な静的剛性が付与されると共に、入力された振動エネルギを早期に減衰させることが可能な免震装置を提供することにある。

すなわち、本発明は、転がり案内装置に適用される減衰部材であって、前記転がり案内装置は 、軌道レールと、多数の転動体を介して前記軌道レールに組み付けられて当該軌道レールに沿って運動する移動ブロックと、を備えている。また、前記減衰部材は前記軌道レールに対して前記移動ブロックと直列に配置され、少なくとも前記軌道レールに接する摺接パッドを有する摩擦部材と、前記摩擦部材に被さって前記摺接パッドを前記軌道レールに押し付ける押圧板を有すると共に当該摩擦部材を前記移動ブロックに連結する固定ホルダと、を備えている。

また、本発明の免震装置は、固定部に設置される下部テーブルと、免震対象物を搭載する上部テーブルと、前記下部テーブルに対してＸ方向に沿って配置された第一の軌道レールと、前記上部テーブルに対してＸ方向と直交するＹ方向に沿って配置された第二の軌道レールと、多数の転動体を介して前記第一の軌道レール及び前記第二の軌道レールに組み付けられた複合案内体と、前記第一の軌道レール及び第二の軌道レールに対して前記案内部材と直列に配置された減衰部材と、を備えている。また、前記減衰部材は、少なくとも前記第一の軌道レール又は第二の軌道レールに接する摺接パッドを有する摩擦部材と、前記摩擦部材に被さって前記摺接パッドを前記第一の軌道レール又は第二の軌道レールに押し付ける押圧板を有すると共に当該摩擦部材を前記複合案内体に連結する固定ホルダと、を備えている

このような本発明の減衰部材は、既に使用されている転がり案内装置に対して簡単に装着することができると共に当該転がり案内装置の大型化を回避することができ、当該転がり案内装置が発揮する軸方向への減衰力を容易に増強することが可能となる。

また、本発明の減衰部材を適用した免震装置は、適度な静的剛性が付与されると共に、入力された振動エネルギを早期に減衰させることが可能となる。

本発明が適用された免震装置の概略を示す正面断面図である。 図１に示す免震装置に利用可能な直交案内部の一例を示す斜視図である。 図１に示す免震装置の下部テーブルの構成を示す平面図である。 本発明の減衰部材を装着した転がり案内装置の一例を示す斜視図である。 転がり案内装置の移動ブロックと減衰部材を分離した状態を示す斜視図である。 図５に示す減衰部材に使用する摩擦部材を示す斜視図である。 図５に示す減衰部材に使用する固定ホルダを示す斜視図である。 図４に示す転がり案内装置を軌道レールの長手方向から観察した正面図である。

以下、添付図面を用いて本発明の減衰部材及びこれを用いた免震装置を詳細に説明する。

図１は本発明の減衰部材を適用可能な免震装置の一例を示す正面断面図である。この免震装置１は例えば建物内に配置されて、精密機器、電子機器、美術品等の免震対象物を地震から保護する目的で使用される。前記免震装置１は、建物の床面に載置される下部テーブル２と、前記免震対象物を搭載する上部テーブル３と、前記下部テーブル２に対して前記上部テーブル３をＸ方向及びこれと直交するＹ方向（図１の紙面奥行き方向）へ自在に移動させる直交案内部４とを備えている。

図２は前記直交案内部４の具体的構成を示すものである。この直交案内部４は、前記下部テーブル２上に敷設された第一の軌道レール４０と、この第一の軌道レールと直交する方向に沿って前記上部テーブル３の下面側に固定された第二の軌道レール４１と、これら第一の軌道レール４０及び第二の軌道レール４１の双方に沿って運動する複合案内体４２と、を備えている。また、前記複合案内体４２は、多数の転動体を介し第一の軌道レール４０に組付けられた第一の移動ブロック４３と、多数の転動体を介して第二の軌道レール４１に組付けられる第二の移動ブロック４４と、前記第一の移動ブロック４３と前記第二の移動ブロック４４を背面合わせで一体化する結合プレート４５と、から構成されている。

前記第一の軌道レール４０と前記第一の移動ブロックの組み合わせ、及び前記第二の軌道レール４１と前記第二の移動ブロック４４の組み合わせが、本発明の減衰装置を適用可能な転がり案内装置を構成している。

前記第一の軌道レール４０及び前記第二の軌道レール４１のそれぞれには長手方向に沿って転動体の転走面が複数条形成されている。一方、前記第一の移動ブロック４３及び前記第二の移動ブロック４４は無限循環しながら前記転走面を転走する多数の転動体を有しており、前記第一の移動ブロック４３は前記第一の軌道レール４０に沿って自在に移動し、前記第二の移動ブロック４４は前記第二の軌道レール４１に沿って自在に移動する。また、前記第一の移動ブロック４３は前記第一の軌道レール４０と、前記第二の移動ブロック４４は前記第二の軌道レール４１と、それぞれ分離不能に組み付けられている。

第一の軌道レール４０の長手方向をＸ方向とした場合、前記第一の移動ブロック４３と前記第二の移動ブロック４４が一体化した前記複合案内体４２は前記第一の軌道レール４０に沿ってＸ方向に沿って移動自在であり、前記第二の移動ブロック４４が組つけられた第二の軌道レール４１は前記複合案内部材に対してＸ方向と直交するＹ方向へ移動自在である。これにより、前記第二の軌道レール４１が固定された前記上部テーブル３は前記下部テーブル２に対してＸ方向及びＹ方向へ自在に移動可能である。

また、前記複合案内体４２は前記第一の軌道レール４０及び前記第二の軌道レール４１と分離不能であり、例えば前記上部テーブル３を前記下部テーブル２から持ち上げる方向の荷重、すなわち浮き上がり荷重が当該上部テーブル３に作用した場合でも、前記直交案内部４は浮き上がり荷重を負荷しながら前記上部テーブル３をＸ方向及びＹ方向へ自在に案内することができる。尚、前記第一の移動ブロック４３及び前記第二の移動ブロック４４の耐荷重は、前記上部テーブル３に搭載する免震対象物の重量に応じて適宜選定することができる。

図３は前記免震装置１の実施形態の一例であり、前記結合プレート４５から前記第二の移動ブロック４４を分離し、前記下部テーブル２から上部テーブル３を取り外した状態を示す平面図である。前記下部テーブル２は長方形状に形成されており、周囲四辺には当該下部テーブル２の強度を高めるためにフランジ部２０が設けられている。かかるフランジ部２０には他の免震装置との連結に利用可能なボルト取付け孔を形成することも可能である。

前記下部テーブル２には２基の前記直交案内部４ａ，４ｂが配置されている。各直交案内部４ａ，４ｂの第一の軌道レール４０は前記下部テーブル２の各辺と４５度の角度をなすように当該下部テーブル２上に敷設されている。また、一方の直交案内部４ａの第一の軌道レール４０と他方の直交案内部４ｂの第一の軌道レール４０は９０度異なる向きで配置されている。また、前記上部テーブル３に固定される前記第二の軌道レール４１は前記第一の軌道レール４０と直交して配置されており、参考のために図３中では当該第二の軌道レール４１を一点鎖線で描いてある。

また、前記結合プレート４５と前記下部テーブル２との間にはコイルスプリングからなる複数の下側弾性部材６ａが設けられている。前記下側弾性部材６ａは長手方向が前記第一の軌道レール４０と直交する方向に合致しており、前記複合案内体４２が前記第一の軌道レール４０の長手方向の中央位置に存在する際に、最も張力が軽減するように張り渡されている。従って、前記下側弾性部材６ａは、前記複合案内体４２が前記第一の軌道レール４０に沿って移動するのに伴い伸縮し、当該複合案内体４２を前記第一の軌道レール４０の長手方向の中央位置に引き戻す方向の引っ張り力を発揮する。

一方、前記転がり案内装置４の第二の軌道レール４１が固定される前記上部テーブル３は前述した下部テーブル２と同一形状をなしており、前記転がり案内装置４を介して図３に示す前記下部テーブル２上に積み重ねられている。同図中に一点鎖線で示すように、前記第二の軌道レール４１は前記第一の軌道レール４０と直交しており、これら第二の軌道レール４１と第一の軌道レール４０との交点に前記複合案内体４２が存在している。

また、前記結合プレート４５と上部テーブル３との間にはコイルスプリングからなる複数の上側弾性部材６ｂが設けられている。前記上側弾性部材６ｂは長手方向が前記第二の軌道レール４１と直交する方向に合致しており、前記複合案内体４２が前記第二の軌道レール４１の長手方向の中央位置に存在する際に、最も張力が軽減するように張り渡されている。従って、前記上側弾性部材６ｂは、前記第二の軌道レール４１が前記複合案内体４２に対して移動するのに伴って伸縮し、前記複合案内体４２が当該第二の軌道レール４１の長手方向の中央に位置するように前記上部テーブル３に対して引っ張り力を及ぼす。

従って、この免震装置１は前記直交案内部４、前記下側弾性部材６ａ及び前記上側弾性部材６ｂの作用によって振動系を構成しており、床面に設置された下部テーブル２に対して当該床面から振動が作用した際に、前記上部テーブル３が下部テーブル２と異なる周期でＸ方向及びＹ方向へ自由に振動することが可能となっている。

尚、図３に示す例では、前記第一の軌道レール４０の両側に下側弾性部材６ａを２本ずつ、前記第二の軌道レール４１の両側に上側弾性部材６ｂを２本ずつ、配置したが、これら弾性部材６ａ，６ｂの数は、前記上部テーブル３上に設置する免震対象物の重量や、第一の軌道レール４０及び第二の軌道レール４１に対する前記複合案内体４２の移動抵抗等を考慮し、適宜変更して差し支えない。

図４は、前記第一の軌道レール４０と前記第一の移動ブロック４３の組み合わせである転がり案内装置の一例を示すものであり、本発明の減衰部材が装着されている。前記第二の軌道レール４１と前記第二の移動ブロック４４の組み合わせも、これら第一の軌道レール４０と第一の移動ブロック４３の組み合わせと同じである。従って、以下の説明では第一の軌道レール４０及び第二の軌道レール４１を区別することなく「軌道レール４０」と言い、第一の移動ブロック４３及び第二の移動ブロック４４を区別することなく「移動ブロック４３」と言う。

この転がり案内装置は、直線状に延びる軌道レール４０と、ボールやローラ等の多数の転動体を介して前記軌道レール４０に組付けられた移動ブロック４３と、前記移動ブロック４３に装着された減衰部材５と、を備えている。前記軌道レール４０は各種機械装置の固定部に敷設される一方、前記移動ブロック４３には搬送対象となる各種の可動体が搭載され、前記移動ブロック４３が前記軌道レール４０に沿って移動することにより、前記可動体を前記固定部上で往復移動自在に案内することができる。

前記軌道レール４０は略断面四角形状の長尺体に形成されている。この軌道レール４０には長手方向に所定の間隔をおいて上面から底面に貫通するボルト取付け孔１２が複数形成されており、これらボルト取付け孔１２に挿入した固定ボルトを用いて、当該軌道レール４０を固定部に対して強固に固定することができるようになっている。前記軌道レール４０には転動体の転走面１３が複数条ずつ設けられている。

一方、前記移動ブロック４３は前記多数の転動体が循環する無限循環路を複数備えており、各無限循環路は前記軌道レール４０の各転走面１３に対応している。前記多数の転動体が前記軌道レール４０と前記移動ブロック４３の間で荷重を負荷しながら転動することにより、前記移動ブロック４３は僅かな摺動抵抗で前記軌道レール４０の長手方向に沿って自在に移動することが可能である。

図５は前記減衰部材５を前記移動ブロック４３から分離した状態を示す斜視図である。前記減衰部材５は、前記軌道レール４０に接する摩擦部材５０と、前記摩擦部材５０を前記軌道レール４０に押圧すると共に当該摩擦部材５０を前記移動ブロック４３と一体化する固定ホルダ５１と、を備えている。前記減衰部材５は前記移動ブロック４３と共に前記軌道レール４０に沿って移動し、前記摩擦部材５０が前記軌道レール４０に摺接することで、前記移動ブロック４３の運動に対してそれを押しとどめる方向の抵抗力を発揮する。

図６は前記摩擦部材５０を示すものである。前記摩擦部材５０は前記軌道レール４０の両側面に当接する一対の摺接パッド５０ａを有すると共に、前記ボルト取付け孔１２が形成された軌道レール４０の上面に対して当接する受圧板５０ｂを有している。これら摺接パッド５０ａ及び受圧板５０ｂは帯部によって互いに連結されており、合成樹脂の射出成形によって一体に形成されている。前記帯部は自在に屈曲させることが可能であり、当該帯部を屈曲させることによって、前記受圧板５０ｂに対する各摺接パッド５０ａの傾斜角度を自由に変更し、前記一対の摺接パッド５０ａのそれぞれを前記軌道レール４０の側面に的確に当接させることができる。尚、図６は前記摩擦部材５０を展開した状態を示しており、実際に当該摩擦部材５０を前記軌道レール４０に対して装着する際には、前記一対の摺接パッド５０ａが前記軌道レール４０の側面に対応するよう、当該摺接パッド５０ａを下方へ折り曲げて使用する。尚、図６に示した摩擦部材５０においては、前記一対の摺接パッド５０ａが前記受圧板５０ｂを介して一体に成形されているが、各摺接パッド５０ａを別々に成形してもよい。

一方、図７は前記固定ホルダ５１を示すものである。前記固定ホルダ５１は金属薄板を折り曲げて形成したものであり、前記摩擦部材５０の上から前記軌道レール４０に被さる保持部５２を有している。前記保持部５２は、前記摩擦部材５０の受圧板５０ｂに重ねて配置されるベース板５２ａと、前記ベース板５２ａから屈曲して前記摺接パッド５０ａを前記軌道レール４０の側面に向けて押し付ける一対の押圧板５２ｂを有している。前記一対の押圧板５２ｂは板ばねとして作用し、前記軌道レール４０を挟み込むことによって、前記一対の摺接パッド５０ａを前記軌道レールの側面に圧接させる。尚、前記押圧板５２ｂの先端には外側に向けて折り返されたフランジ部５２ｃが設けられているが、このフランジ部５２ｃは前記保持部５２を前記軌道レール４０に被せる際に、治具の係合部位として使用される。

また、前記固定ホルダ５１は前記保持部５２から延びる一対の連結アーム５３を有している。これら連結アーム５３は軌道レール４０の長手方向に伸びており、これら一対の連結アーム５３の間隔は前記移動ブロック４３の横幅に対応している。また、前記一対の連結アーム５３は板ばねの如く可撓性を有しおり、これら連結アーム５３の先端には当該連結アーム５３を内側に向けて折り返された係止爪５４が設けられている。

このため、図５に示す状態、すなわち前記固定ホルダ５１が前記摩擦部材５０の上から前記軌道レール４０に装着された状態で、前記移動ブロック４３を前記固定ホルダ５１に向けて移動させると、前記係止爪５４が前記移動ブロック４３に当接して前記一対の連結アーム５３が押し拡げられ、当該一対の連結アーム５３の間に当該移動ブロック４３が収容される。前記一対の連結アーム５３は可撓性を有しているので、前記係止爪５４が前記移動ブロック４３を通過すると、当該係止爪５４は前記移動ブロック４３の端面に引っかかり、前記一対の連結アームが前記移動ブロックを抱え込んだ状態となる。これによって図４に示すように前記固定ホルダ５１と前記移動ブロック４３が一体化される。尚、前記固定ホルダ５１は、前記軌道レール４０に対する前記移動ブロック４３の移動方向の前後どちらからでも、当該移動ブロック４３に対して結合することが可能である。

前記移動ブロック４３が前記軌道レール４０上を前記減衰部材５の方向（図４中の矢線Ａ方向）へ移動する場合、前記固定ホルダは前記移動ブロックによって押圧されて、前記軌道レール上を移動する。一方、前記移動ブロック４３が前記軌道レール４０上を前記減衰部材５と反対方向（図４中の矢線Ｂ方向）へ移動する場合、前記固定ホルダ５１は前記一対の連結アーム５３を介して前記移動ブロック４３に引っ張られ、前記軌道レール４０上を移動する。

一方、図６に示すように、前記摩擦部材５０の各摺接パッド５０ａの一端には肉厚部５０ｃが設けられており、前記肉厚部５０ｃは前記軌道レール４０の長手方向に関して前記固定ホルダ５１の押圧板５２ｂと前記移動ブロック４３との間に位置している。このため、前記移動ブロック４３が前記軌道レール４０に沿って前記減衰部材５の方向（図４中の矢線Ａ方向）へ移動する場合には、前記移動ブロック４３が前記肉厚部５０ｃを介して前記固定ホルダ５１を押圧することになり、各摺接パッド５０ａは当該固定ホルダ５１と一緒に前記軌道レール４０上を矢線A方向へ移動する。一方、前記移動ブロック４３が前記軌道レール４０上を前記減衰部材５と反対方向（図４中の矢線Ｂ方向）へ移動する場合には、前記移動ブロックによって引っ張られる前記固定ホルダ５１が前記肉厚部５０ｃを押圧し、各摺接パッド５０ａは当該固定ホルダ５１と一緒に前記軌道レール４０上を矢線Ｂ方向へ移動する。

また、前記摩擦部材５０の受圧部５０ｂには位置決め突部５０ｄが設けられており、固定ホルダ５１のベース板５２ａには前記位置決め突部５０ｄが嵌合する切欠き部５２ｄが設けられている。前記位置決め突起５０ｄは前記摺接パッド５０ａの肉厚部５０ｃと同様に機能し、前記移動ブロック４３が前記軌道レール４０に沿って移動する際に、当該移動ブロック又は前記固定ホルダによって押圧されて、前記摩擦部材の受圧板５０ｂを軌道レールに沿って押し引きする。

このため、図５に示した減衰部材５では、前記固定ホルダ５１の保持部５２を前記摩擦部材５０に対して被せさえすれば、前記移動ブロック４３の動きに合わせて前記摩擦部材５０を軌道レール４０に対して摺接させることができ、簡単な構成で前記摩擦部材５０と前記固定ホルダ５１とを一体化することが可能である。

図８は前記減衰部材５が装着された前記移動ブロック４３を前記軌道レール４０の長手方向から観察した正面図である。図示した転がり案内装置では、前記軌道レール４０の側面に凹部が形成されており、前記軌道レール４０の側面には僅かに下方に向いた傾斜面１４が設けられている。前記摩擦部材５０の摺接パッド５０ａは前記下向き傾斜面１４に当接している。前記固定ホルダ５１の押圧板５２ｂは前記摺接パッド５０ａをその背後から前記下向き傾斜面１４に向けて付勢しており、これによって当該摺接パッド５０ａは前記軌道レール４０の側面に圧接している。

また、前記固定ホルダ５１の一対の押圧板５２ｂは前記一対の摺接パッド５０ａを前記軌道レール４０の下向き傾斜面１４に対して僅かに上向きに押圧しているので、その反力によって前記固定ホルダ５１のベース板５２ａは前記摩擦部材５０の受圧板５０ｂを軌道レール４０に向けて押圧することになる。すなわち、図示した実施形態では前記摩擦部材５０の前記一対の摺接パッド５０ａ及び前記受圧板５０ｂが三方向から前記軌道レール４０に圧接することとなり、前記受圧板５０bも摩擦力を発揮する摺接パッドとして機能する。

このため、前記移動ブロック４３が前記軌道レール４０に沿って移動する際には、前記減衰部材５と軌道レール４０との間に作用する摩擦力が当該移動ブロック４３の移動を押しとどめる抵抗力として作用する。すなわち、前記移動ブロック４３が前記軌道レール４０に対して停止している状態では、前記減衰部材５が前記軌道レール４０の長手方向に関する静的剛性を転がり案内装置に与え、前記移動ブロック４３が前記軌道レール４０に対して運動している状態では、前記減衰部材５が移動ブロック４３の運動エネルギを熱エネルギに変換して消費する。

前記減衰部材５の摩擦部材５０と前記軌道レール４０との間に作用する摩擦力の大きさは、当該摩擦部材５０の材質、前記摺接パッド５０ａ及び前記受圧板５０bと前記軌道レール４０との接触面積、前記固定ホルダ５１の押圧板５２ｂのばね力を変更することにより、任意に設定することが可能である。従って、本発明の減衰部材には転がり案内装置の用途に応じて必要とされる減衰力を任意に与えることができる。

そして、本発明の減衰部材５は、前記摩擦部材５０及び固定ホルダ５１を前記軌道レール４０に装着した後、前記固定ホルダ５１を前記移動ブロック４３に向けて押し込む単純な動作で、当該移動ブロック４３と一体化することができる。このため、前記移動ブロック４３にテーブル等の可動体が固定された状態のまま、当該移動ブロック４３に本発明の減衰部材５を装着することができ、既に使用されている転がり案内装置に対して減衰部材を容易に追加することが可能となる。

また、本発明の減衰部材５は、図８から明らかなように、前記軌道レール４０に対する前記移動ブロック４３の移動経路内に重なって配置され、転がり案内装置の周囲に追加のスペースを必要としないので、この点においても既に使用されている転がり案内装置に対して減衰部材５を容易に追加することが可能となる。

尚、図示した実施形態では前記摩擦部材５０が前記軌道レール４０に対して三方向から圧接する例を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、前記摩擦部材５０が前記軌道レール４０に対していずれかの一方向からのみ圧接するものであってもよい。

図１乃至図３に示した免震装置１の直交案内部４に対して図４の転がり案内装置を使用した場合、前記上部テーブル３が下部テーブル２に対してＸ方向及びＹ方向へ振動すると、前記減衰部材５の前記摩擦部材５０と前記第一の軌道レール４０又は前記第二の軌道レール４１との間に摩擦抵抗が生じ、当該摩擦抵抗は下部テーブル２に対する上部テーブル３の移動を押し止める力として作用する。これによって下部テーブル２に対する上部テーブル３の振動が減衰される。

すなわち、前記上部テーブル３が前記下部テーブル２に対して振動すると、かかる振動が前記第一の移動ブロック４３と前記第二の移動ブロック４４に装着された前記減衰部材５によって減衰され、床面から前記下部テーブル２に作用する振動が収まり次第、前記下部テーブル２に対する前記上部テーブル３の振動を早期に収束させることが可能である。

前記減衰部材５は前記下部テーブル２に対する前記上部テーブル３の移動を押し止める力を発揮することから、当該減衰部材５は前記下部テーブル２に対する前記上部テーブル３の静的剛性を高める機能を発揮する。そのため、前記摩擦部材５０の変更や前記弾性部材５２のばね係数の変更によって、この免震装置１の静的剛性を任意に設定することが可能であり、僅かな力が作用しただけで前記上部テーブル３が前記下部テーブル２に対して変位してしまうといった不具合を克服することが可能である。

また、前述したように前記減衰部材５は転がり案内装置の周囲に追加のスペースを必要とすることなく装着することが可能である。しかも、前記摩擦部材５０及び固定ホルダ５１を軌道レールに装着しさえすれば、減衰部材５を容易に移動ブロックに結合して使用開始することが可能である。このため、入力された振動に対する減衰要素を有していない、あるいは減衰力の不足している既存の免震装置１に対して簡便に追加し、過大な振動の入力に対して前記上部テーブル３が前記下部テーブル２に対して最大振幅で振動するのを防止し、当該上部テーブル３の挙動を適切に制御することが可能である。

１…免震装置、２…下部テーブル、３…上部テーブル、４…直交案内部、５…減衰部材，４０…第一の軌道レール、４１…第二の軌道レール、４３…第一の移動ブロック、４４…第二の移動ブロック、５０…摩擦部材、５１…固定ホルダ

Claims (4)

1. 転がり案内装置の減衰部材であって、
   前記転がり案内装置は、
   軌道レールと、多数の転動体を介して前記軌道レールに組み付けられて当該軌道レールに沿って運動する移動ブロックと、を備え、
   前記減衰部材は、少なくとも前記軌道レールに接する摺接パッドを有する摩擦部材と、前記摩擦部材を軌道レールに押圧すると共に当該摩擦部材を前記移動ブロックに連結する固定ホルダと、を備えて、前記軌道レールに対して前記移動ブロックと直列に配置され、
   前記固定ホルダは、前記摺接パッドを前記軌道レールに押し付ける押圧板を有すると共に前記摩擦部材の上から前記軌道レールに被さる保持部と、前記保持部から前記軌道レールの長手方向に沿って延びて前記移動ブロックを抱え込む一対の連結アームとを有し、
   前記摩擦部材は前記固定ホルダの保持部と前記移動ブロックとの間に位置する肉厚部を有し、前記軌道レールに沿った移動ブロックの運動では、前記移動ブロック又は前記固定ホルダのいずれか一方が前記摩擦部材の肉厚部を前記軌道レールの長手方向へ押圧することを特徴とする転がり案内装置の減衰部材。
2. 前記固定ホルダの一対の連結アームは可撓性を有しており、各連結アームの先端には前記移動ブロックの端面に引っかかる係止爪が設けられていることを特徴とする請求項１記載の転がり案内装置の減衰部材。
3. 前記摩擦部材は、前記軌道レールの両側面に接する一対の摺接パッドと、前記軌道レールの上面に接する受圧板とを備え、前記一対の摺接パッド及び前記受圧板が三方から前記軌道レールに圧接することを特徴とする請求項２記載の転がり案内装置の減衰部材。
4. 固定部に設置される下部テーブルと、
   免震対象物を搭載する上部テーブルと、
   前記下部テーブルに対してＸ方向に沿って配置された第一の軌道レールと、
   前記上部テーブルに対してＸ方向と直交するＹ方向に沿って配置された第二の軌道レールと、
   多数の転動体を介して前記第一の軌道レール及び前記第二の軌道レールに組み付けられた複合案内体と、
   前記第一の軌道レール及び第二の軌道レールに対して前記複合案内体と直列に配置された一対の減衰部材と、を備え、
   各減衰部材は、少なくとも前記第一の軌道レール又は前記第二の軌道レールに接する摺接パッドを有する摩擦部材と、前記摩擦部材を前記第一の軌道レール又は前記第二の軌道レールに押圧すると共に当該摩擦部材を前記複合案内体に連結する固定ホルダとを備えて、前記第一の軌道レール又は前記第二の軌道レールに対して前記複合案内体と直列に配置され、
   前記固定ホルダは、前記摺接パッドを前記第一の軌道レール又は前記第二の軌道レールに押し付ける押圧板を有すると共に前記摩擦部材の上から前記軌道レールに被さる保持部と、前記保持部から前記第一の軌道レール又は前記第二の軌道レールの長手方向に沿って延びて前記複合案内体を抱え込む一対の連結アームとを有し、
   前記摩擦部材は前記固定ホルダの保持部と前記複合案内体との間に位置する肉厚部を有し、前記第一の軌道レール又は前記第二の軌道レールに沿った前記複合案内体の運動では、前記複合案内体又は前記固定ホルダのいずれか一方が前記摩擦部材の肉厚部を前記第一の軌道レール又は前記第二の軌道レールの長手方向へ押圧することを特徴とする免震装置。

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