JP6416923B2 - 半導体製造装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 - Google Patents
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Description
基板を処理する反応管と、
前記基板を保持する基板保持具が上面に設置され、前記反応管の炉口部を閉塞するシールキャップと、
第2エレベータによる前記シールキャップの昇降動作を補助する第1エレベータと、
前記シールキャップを昇降させる第2エレベータと、
前記第1エレベータと前記第2エレベータとを制御するよう構成された制御部と、を有する技術が提供される。
図3(b)に示すように、ボート217にウエハ200を装填する前、すなわち、ボート217にウエハ200が保持されていない状態の降下状態(スタンバイ状態)において、第1アーム301は退避位置にある(図3(b)破線位置)。退避位置とは、第1アーム301がシールキャップ219と干渉しない位置である。ボート降下状態において、第1アーム駆動機構313によって、第1アーム301を収納位置へと水平移動させる(図3(b)実線位置)。収納位置とは、第1アーム301が収納部401内に収納された時の位置である。この時、第1アーム301の高さ位置を調整し、シールキャップ219が一定の水平度となるように第1エレベータ501を制御する。シールキャップ219が一定の水平度となると、コントローラ280は一定の水平度となった時の第1アーム301の高さ位置(水平基準位置)を記憶し、ボート217へのウエハ200の装填を開始させる。
(1)2機のボートエレベータでシールキャップを支えることにより、ウエハを安定に保持した状態でのボート搬送が可能となる。ボート搬送の際のシールキャップ支持は2点で行われるが、シールキャップと連結固定しているのは2機のエレベータのうちの1機である。ボートが振動したり、傾斜したりした時に、連結固定されていない方のエレベータがシールキャップに接触し支持することにより、シールキャップの傾斜やアームの歪みを和らげたり、ボート搬送時の振動を抑制したりすることが可能となる。
(2)2機のエレベータが互いに連携をとりながらシールキャップを昇降させることにより、シールキャップを一定の水平度を保った状態で搬送することができる。また、ボート、シールキャップおよび各エレベータの重量により、各エレベータのアーム垂れ方が異なる場合においても、それぞれの垂れに合わせてエレベータの移動速度等を調節する事が可能となる。
(3)ボートエレベータの組立て時、アームがシールキャップに連結固定されていないことで、ボートエレベータの組立や搬入搬出が容易となり、製造の際の作業性が向上する。
Claims (16)
- 基板を処理する反応管と、
前記基板を保持する基板保持具が上面に設置され、前記反応管の炉口部を閉塞するシールキャップと、
第2エレベータによる前記シールキャップの昇降動作を補助する第1エレベータと、
前記シールキャップを昇降させる第2エレベータと、
前記第1エレベータと前記第2エレベータとを制御するよう構成された制御部と、を備え、
前記第1エレベータは、前記シールキャップに連結可能な第1アームと、前記第1アームを昇降させる第1駆動部と、を有し、
前記第2エレベータは、前記シールキャップと固定され、前記シールキャップを支持する第2アームと、前記第2アームを昇降させる第2駆動部と、を有する基板処理装置。 - 前記シールキャップは、前記第1アームに対面する側面に前記第1アームを収納する第1収納部を有する請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1収納部は多角形状に形成される請求項2記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記シールキャップを昇降させる際、前記第1アームが前記第1収納部の内壁面に接触しないよう前記第1駆動部および前記第2駆動部を制御するよう構成される請求項2または3記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記シールキャップを昇降させる際、前記第1アームが前記第2アームを追従するよう前記第1駆動部および前記第2駆動部を制御するよう構成される請求項1乃至4記載の基板処理装置。
- 前記第1駆動部は、前記第1収納部へ収納させる収納位置と前記第1収納部から退避させる退避位置との間で前記第1アームを移動させる第1アーム駆動機構をさらに有する請求項2乃至5記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記基板保持具に前記基板を装填可能となる保持具降下状態の位置と、前記反応管が前記シールキャップによって密閉されるシール位置との間で、前記シールキャップを一定の水平度に保ちながら昇降させるように、前記第1エレベータと前記第2エレベータとを制御する請求項6記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記シールキャップの昇降を停止させた状態で前記第1アームを前記収納位置へ移動させるよう前記第1駆動部、前記第2駆動部および前記第1アーム駆動機構を制御するよう構成される請求項6または7記載の基板処理装置。
- 前記第1エレベータと前記第2エレベータは前記シールキャップを挟んで対面する位置に設置される請求項1乃至8記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記シールキャップが前記炉口部に接触した後、前記第2アームによる前記シールキャップの上部方向への押圧を、前記第1アームが補助するように前記第1駆動部及び前記第2駆動部を制御するよう構成される請求項1乃至9記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記シールキャップを前記炉口部から引き離す際、前記第2アームによる前記シールキャップの下部方向への押圧を、前記第1アームが補助するよう前記第1駆動部及び前記第2駆動部を制御するよう構成される請求項1乃至10記載の基板処理装置。
- 前記シールキャップは、前記第2アームに対面する側面に前記第2アームを収納する第2収納部を有する請求項2記載の基板処理装置。
- 前記第2駆動部は、前記第2収納部へ収納させる収納位置と前記第2収納部から退避させる退避位置との間で前記第2アームを移動させる第2アーム駆動機構をさらに備える請求項12記載の基板処理装置
- 前記シールキャップを昇降させる際、前記第1アームまたは第2アームを前記シールキャップに連結させた状態で昇降させるよう前記第1駆動部および前記第2駆動部を制御するよう構成される請求項12または13記載の基板処理装置。
- 基板を保持する基板保持具が上面に設置されたシールキャップに、第1エレベータの第1アームを連結させる工程と、
前記シールキャップと固定され前記シールキャップを支持する第2アームと、前記第2アームを昇降させる第2駆動部と、を有する第2エレベータと、第1アームを昇降させる第1駆動部を有し、前記第2エレベータによる前記シールキャップの昇降動作を補助する前記第1エレベータとによって、反応管内に前記基板保持具を搬送する工程と、
前記シールキャップによって炉口部が閉塞された前記反応管内で前記基板を処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 基板を保持する基板保持具が上面に設置されたシールキャップに、第1エレベータの第1アームを連結させる手順と、
前記シールキャップと固定され前記シールキャップを支持する第2アームと、前記第2アームを昇降させる第2駆動部と、を有する第2エレベータと、第1アームを昇降させる第1駆動部を有し、前記第2エレベータによる前記シールキャップの昇降動作を補助する前記第1エレベータとによって、反応管内に前記基板保持具を搬送する手順と、
前記シールキャップによって炉口部が閉塞された前記反応管内で前記基板を処理する手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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