KR101884855B1 - 이송 로봇 및 이송 로봇 모니터링 방법 - Google Patents

이송 로봇 및 이송 로봇 모니터링 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이송 로봇 및 이송 로봇 모니터링 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 로봇은 지지 부재; 전후방으로 이동 가능하게 상기 지지 부재에 위치되는 핸드; 및 상기 핸드를 제어하는 제어기를 포함하되, 상기 제어기는 상기 핸드의 구동 과정에서 상기 핸드의 상태를 모니터링 하는 과정에서 이상이 있는 것으로 판단되면, 상기 핸드의 구동 속도를 줄인 상태로 다시 구동하여 이상 여부를 재 감지한다.

Description

이송 로봇 및 이송 로봇 모니터링 방법{Transfer robot and transfer robot monitoring method}
이송 로봇 및 이송 로봇 모니터링 방법에 관한 것이다.
반도체 소자 및 평판 디스플레이를 제조하기 위해서는 사진, 식각, 그리고 세정 등 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정들을 진행하는 기판처리시스템은 기판에 대한 처리를 수행하는 공정 챔버 및 기판들이 이동되는 경로를 제공하는 공간들을 포함한다. 또한, 처리될 기판은 풉(FOUP: front opening unified pod)등에 의해 수용된 상태로 기판처리시스템에 제공될 수 있다.
기판이송장치는 풉 등에서 처리될 기판을 반출하거나, 처리된 기판을 풉 등에 반입할 수 있다. 또한, 기판이송장치는 기판처리시스템 내에서 기판을 일 위치에서 다른 위치로 이동 시킬 수 있다. 기판이송장치는 구동 과정에서 다른 구성과 충돌하는 등 이상 상태가 발생될 수 있다.
본 발명은 효율적으로 상태가 모니터링 되는 이송 로봇 및 이송 로봇 모니터링 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 지지 부재; 전후방으로 이동 가능하게 상기 지지 부재에 위치되는 핸드; 및 상기 핸드를 제어하는 제어기를 포함하되, 상기 제어기는 상기 핸드의 구동 과정에서 상기 핸드의 상태를 모니터링 하는 과정에서 이상이 있는 것으로 판단되면, 상기 핸드의 구동 속도를 줄인 상태로 다시 구동하여 이상 여부를 재 감지하는 이송 로봇이 제공될 수 있다.
또한, 상기 제어기는 위치 제어값에 근거하여 상기 핸드의 위치를 제어하되, 상기 위치 제어값에 대한 상기 핸드의 응답 지연만큼 상기 위치 제어값을 이동시킨 위치 응답값과 상기 위치 제어값의 차이에 의해 산출된 위치 오차 기준값에 근거하여 상기 핸드의 상태를 모니터링 할 수 있다.
또한, 상기 제어기는 상기 핸드의 모니터링 과정에서 상기 핸드의 위치가 상기 위치 오차 기준값에 대해 설정 퍼센트 범위를 벗어나면 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다.
또한, 상기 제어기는 상기 핸드의 가속도의 상태가 변화는 구간에 따라 상이한 기준으로 상기 핸드 구동 시의 토크의 상태를 감지하여 모니터링 과정에서 이상 여부를 판단할 수 있다.
또한, 상기 제어기는 가속 구간에서 상기 토크의 크기가 기준값을 초과하는 경우 모니터링 과정에서 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다.
또한, 상기 제어기는 감속 구간에서 상기 토크의 크기가 기준값을 초과하는 경우 모니터링 과정에서 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다.
또한, 상기 제어기는 등속 구간에서 상기 토크가 기준 범위를 벗어나는 경우 모니터링 과정에서 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 핸드의 구동 상태를 모니터링 하는 모니터링 단계; 상기 모니터링 단계에서 상기 핸드에 이상이 있는 것으로 판단되면, 상기 핸드의 구동 감속한 단계에서 이상 여부를 다시 판단하는 이상 재감지 단계를 포함하는 이송 로봇 모니터링 방법이 제공될 수 있다.
또한, 상기 핸드의 위치는 위치 제어값에 근거하여 제어되되, 상기 모니터링 단계는 상기 위치 제어값에 대한 상기 핸드의 응답 지연만큼 상기 위치 제어값을 이동시킨 위치 응답값과 상기 위치 제어값의 차이에 의해 산출된 위치 오차 기준값에 근거하여 상기 핸드의 상태를 모니터링 할 수 있다.
또한, 상기 모니터링 단계에서 상기 핸드의 위치가 상기 위치 오차 기준값에 대해 설정 퍼센트 범위를 벗어나면 이상이 있는 것으로 판단될 수 있다.
또한, 상기 모니터링 단계는 상기 핸드의 가속도의 상태가 변화는 구간에 따라 상이한 기준으로 상기 핸드 구동 시의 토크의 상태를 감지하여 이루어 질 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 효율적으로 상태가 모니터링 되는 이송 로봇 및 이송 로봇 모니터링 방법이 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 로봇을 나타내는 도면이다.
도 2는 제어기가 이송 로봇의 상태를 감지하는 과정을 나타내는 흐름도이다.
도 3은 핸드의 위치에 대한 상태를 나타내는 도면이다.
도 4는 위치 오차 기준값을 나타내는 도면이다.
도 5는 핸드의 위치 모니터링의 기준이 되는 범위를 나타내는 도면이다.
도 6은 핸드의 속도를 나타내는 도면이다.
도 7은 핸드의 가속도를 나타내는 도면이다.
도 8은 핸드 구동 시의 토크를 나타내는 도면이다.
도 9는 핸드의 속도를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 로봇을 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 이송 로봇(100)은 지지 부재(110), 핸드(120) 및 제어기(200)를 포함한다.
지지 부재(110)는 이동 가능 하게 제공된다. 일 예로, 지지 부재(110)는 일 방향으로 제공되는 레일을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 이 때, 레일은 수평 방향 또는 수직 방향으로 제공될 수 있다.
핸드(120)는 지지 부재(110)에 위치된다. 핸드(120)는 지지 부재(110)에 대해 전후방으로 이동 가능하게 제공된다. 핸드(120)에는 기판의 외측을 지지하는 가이드부(1210가 제공될 수 있다.
제어기(200)는 지지 부재(110), 핸드(120)를 제어한다. 또한, 제어기(200)는 핸드(120)의 위치 정보, 핸드(120)의 속도 정보 또는 핸드(120)를 구동하는데 작용하는 토크에 관한 정보를 모니터링 할 수 있다.
도 2는 제어기가 이송 로봇의 상태를 감지하는 과정을 나타내는 흐름도이다.
도 2를 참조하면, 제어기(200)는 이송 로봇(100)이 구동하는 동안 이송 로봇(100)의 상태를 모니터링 한다(S10). 모니터링 되는 이송 로봇(100)의 구동은 핸드(120)가 하나의 위치에서 다른 위치로 이동하면서, 기판을 픽업하는 동작, 기판을 플레이싱 하는 동작 또는 기판을 픽업하여 플레이싱 하는 동작일 수 있다. 이 같은 모니터링 단계는 이송 로봇(100)의 동작 개시에서 동작 종료까지 계속될 수 있다.
도 3은 핸드의 위치에 대한 상태를 나타내는 도면이고, 도 4는 위치 오차 기준값을 나타내는 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면 제어기(200)는 위치 제어값(CMD)에 따라 핸드(120)의 위치가 변하도록 핸드(120)를 제어한다. 핸드(120)가 이상 없이 구동하는 경우, 핸드(120)의 실측 위치 값은 위치 제어값(CMD)과 동일하거나 아주 유사한 형태로 변한다. 그리고, 위치 제어값(CMD)에 의한 제어 개시 시점과 실측 위치 값 사이에는 시간차가 발생한다. 따라서, 핸드(120)가 이상 없이 구동하는 경우, 위치 제어값(CMD)과 실측 위치 값 사이에는 특정 형태의 오차가 발생한다. 이 같은 점을 반영하여, 핸드(120)의 상태는 위치 오차 기준값을 고려하여 모니터링 된다.
위치 오차 기준값은 위치 제어값(CMD)의 형태를 반영하여 만들어 진다. 핸드(120)의 구동 시 위치 제어값(CMD)에 대한 핸드(120)의 응답 지연을 고려하여, 위치 제어값(CMD)을 시간축에서 이동시킨 위치 응답값(FB)을 설정한다. 그리고 위치 오차 기준값은 위치 제어값(CMD)과 위치 응답값(FB)의 차이를 통해 산출된다.
도 5는 핸드의 위치 모니터링의 기준이 되는 범위를 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 제어기(200)는 위치 오차 기준값에 근거하여 핸드(120)의 이상 상태 판단의 기준이 되는 범위를 설정한다. 제어기(200)는 감지되는 핸드(120)의 위치가 위치 오차 기준값을 기준으로 설정 퍼센트(%)범위를 벗어나면 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다. 예를 들어, 제어기(200)는 감지되는 핸드(120) 위치가 위치 오차 기준값에 대해 1%범위를 벗어나면, 즉 위치 오차 기준값에 대해 99%~101% 범위를 벗어나면 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다. 이때, 하한(LB)에 대한 %범위와 상한(HB)에 대한 %범위는 동일하거나 상이하게 설정 될 수 있다. 또한, 제어기(200)는 핸드(120)의 구동이 개시된 후 설정 시간 동안은 한계 오차값(CB)을 통해 이상을 감지할 수 있다. 위치 오차 기준값은 핸드(120)의 구동이 개시된 직후는 그 값이 아주 작게 형성된다. 따라서, 핸드(120)의 구동이 개시된 후 설정 기간 동안은 위치 오차 기준값에 대한 퍼센트 범위를 통해 이상을 감지하기 어려울 수 있다. 따라서, 상수 또는 임의의 그래프 형태로 설정될 수 있는 한계 오차값(CB)을 설정하고, 제어기(200)는 핸드(120)의 위치가 한계 오차값(CB)를 벗어나면 이상이 있는 것으로 감지할 수 있다. 또한, 제어기(200)는 핸드(120) 구동이 종료되기 직전의 설정 기간 동안에도 위와 유사한 방식으로 한계 오차값(CB)을 통해 핸드(120)의 이상을 감지할 수 있다. 이때, 핸드(120) 종료 구간에서의 한계 오차값(CB)은 핸드(120) 구동 개시 구간에서의 한계 오차값(CB)과 동일하거나 상이하게 설정될 수 있다.
도 6은 핸드의 속도를 나타내는 도면이고, 도 7은 핸드의 가속도를 나타내는 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 기판의 픽업 또는 플레이싱 과정에서, 핸드(120)는 지지 부재(110)에 대해 전방으로 이동한 후 지지 부재(110) 방향으로 복귀하도록 서로 반대 방향으로 이동하는 동작을 수행한다. 핸드(120)가 일 방향으로 이동할 때 이동 개시 후 설정 시간 동안은 가속 구간(a1, a2)이 발생하고, 이동을 종료하기에 앞서 설정 시간 동안은 감속 구간(d1, d2)이 발생한다. 가속 구간(a1, a2)과 감속 구간(d1, d2) 사이에는 등속 구간(e1, e2)이 발생할 수 있다. 또한, 등속 구간(e1, e2)은 생략되고, 가속 구간(a1, a2) 후 감속 구간(d1, d2)이 위치할 수 도 있다. 또한, 핸드(120)가 전방으로 이동할 때와 후방으로 이동할 때 속도는 사이한 형태로 변경될 수 있다.
도 8은 핸드 구동 시의 토크를 나타내는 도면이다.
도 8을 참조하면, 토크는 진동하는 형태로 측정되어, 토크를 나타내는 그래프에서 구간을 설정하기 곤란하다. 그러나 토크의 변화 형태는 핸드(120)의 가속도의 변화 형태와 유사성을 갖는 것이 확인되었다. 이에, 토크의 상태는 가속도의 변화를 측정할 때 나타나는 구간을 기초로 이상이 감지될 수 있다. 구체적으로, 가속 구간(a1 또는 a2)과 감속 구간(d1 또는 d2)을 포함하는 속도 변경 구간에서는 토크의 크기가 기준값(tq1, tq2, tq3, tq4)을 초과하는지 여부를 감지하여 이상 여부를 감지할 수 있다. 이때, 제1 가속 구간(a1)의 제1 기준값 (tq1)과 제2 가속 구간(a2)의 제3 기준값 (tq3)은 크기가 동일하거나 상이하게 설정될 수 이 있다. 또한, 이때, 제1 감속 구간(d1)의 제2 기준값 (tq2)과 제2 감속 구간(d3)의 제4 기준값 (tq4)은 크기가 동일하거나 상이하게 설정될 수 이 있다. 그리고 등속 구간(e1, e2)에서는 토크가 기준범위(B1, B2)를 벗어 나는지 여부를 감지하여 이상 여부를 감지할 수 있다. 제1 등속 구간(e1)의 제1 기준 범위 (B2)과 제2 등속 구간(e2)의 제2 기준 범위(e2)은 범위의 폭 또는 하한 크기가 동일하거나 상이하게 설정될 수 이 있다.
도 9는 핸드의 속도를 나타내는 도면이다.
도 9를 참조하면, 제어기(200)는 속도에 근거하여 핸드(120)의 상태를 감지할 수 있다. 제어기(200)는 속도의 크기가 증가하도록 핸드(120)를 제어하는 단계에서는 감지되는 속도 크기의 최대값이 상한값(V1, V2)을 초과하는 경우 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다. 핸드(120)가 전방으로 이동할 때의 제1 상한값(V1)과 핸드(120)가 후방으로 이동할 때의 제2 상한값(V3)은 크기가 동일하거나 상이할 수 있다. 제어기(200)는 속도가 일정하도록 핸드(120)를 제어하는 단계에서는 감지되는 속도 크기가 기준 속도 범위(BV1, BV2)를 벗어나면 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다. 핸드(120)가 전방으로 이동할 때의 제1 기준 속도 범위(BV1)과 핸드(120)가 후방으로 이동할 때의 제2 기준 속도 범위(BV2)는 범위의 폭, 또는 범위의 하한값이 동일하거나 상이할 수 있다.
제어기(200)는 속도의 크기가 감소하도록 핸드(120)를 제어하는 단계에서는 핸드(120) 구동 방향의 반대 방향으로 발생되는 속도 크기의 최대값이 하한값(V2, V4)을 초과하는 경우 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다. 핸드(120)가 전방으로 이동할 때의 제1 하한값(V2)과 핸드(120)가 후방으로 이동할 때의 제2 하한값(V4)은 크기가 동일하거나 상이할 수 있다.
제어기(200)는 상술한 핸드(120)의 위치를 통해 이상을 판단하는 방법, 핸드(120) 구동 시의 토크를 통해 이상을 판단하는 방법, 핸드의 속도를 통해 이상을 판단하는 방법가운데 하나, 또는 2개 이상을 동시에 사용하여 이상 여부를 모니터링하고 판단할 수 있다.
모니터링 단계에서 이상이 있는 것으로 감지되면(S20), 제어기(200)는 이상 재 감지 단계를 수행한다(S30). 이상 재 감지 단계에서, 제어기(200)는 핸드(120)의 구동 속도를 감속한 상태에서 구동한다. 이상 재 감지 단계에서 핸드(120)의 구동 속도는 상태가 모니터링 되면서 구동될 때의 속도의 7%이하일 수 있다. 그리고 제어기(200)는 이상 재 감지 단계에서 다시 이송 로봇(100)에 이상이 있는 것으로 감지되면(S40) 알람을 발생시킨다(S50). 제어기(200)는 감지되는 핸드(120)의 위치값과 위치 제어값의 차이가 설정 범위를 벗어나면 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다. 또한, 제어기(200)는 감지되는 핸드(120)의 속도와 속도 제어값의 차이가 설정 범위를 벗어나면 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다. 제어기(200)는 이상 재 감지 단계에서 설정 시간 동안 이상이 없는 것으로 판단되면 모니터링 단계로 복귀된다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 핸드의 동작 상태는 2단계에 걸쳐 판단되어 잘못된 알람이 발생되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 이상 재 감지 단계어서 핸드는 상대적으로 저속으로 구동되면서 이상 여부가 감지되어, 이상이 있는 상태에서 핸드가 구동되어 핸드 및 핸드와 충돌하는 구성이 파손되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 핸드의 구동에 관련된 데이터의 특성을 반영하여 구동 상태 모니터링의 정확성이 향상될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
110: 지지 부재 120: 핸드
200: 제어기

Claims (11)

  1. 지지 부재;
    전후방으로 이동 가능하게 상기 지지 부재에 위치되는 핸드; 및
    상기 핸드를 제어하는 제어기를 포함하되,
    상기 제어기는 상기 핸드의 구동 과정에서 상기 핸드의 상태를 모니터링 하는 과정에서 이상이 있는 것으로 판단되면, 상기 핸드의 구동 속도를 줄인 상태로 다시 구동하여 이상 여부를 재 감지하고,
    상기 제어기는 상기 핸드의 가속도의 상태가 변화하는 구간에 따라 상이한 기준으로 상기 핸드 구동 시의 토크의 상태를 감지하여 모니터링 과정에서 이상 여부를 판단하는 이송 로봇.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제어기는 가속 구간에서 상기 토크의 크기가 기준값을 초과하는 경우 모니터링 과정에서 이상이 있는 것으로 판단하는 이송 로봇.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 제어기는 감속 구간에서 상기 토크의 크기가 기준값을 초과하는 경우 모니터링 과정에서 이상이 있는 것으로 판단하는 이송 로봇.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제어기는 등속 구간에서 상기 토크가 기준 범위를 벗어나는 경우 모니터링 과정에서 이상이 있는 것으로 판단하는 이송 로봇.
  8. 핸드의 구동 상태를 모니터링 하는 모니터링 단계;
    상기 모니터링 단계에서 상기 핸드에 이상이 있는 것으로 판단되면, 상기 핸드의 구동 속도를 감속한 단계에서 이상 여부를 다시 판단하는 이상 재감지 단계를 포함하되,
    상기 모니터링 단계는 상기 핸드의 가속도의 상태가 변화하는 구간에 따라 상이한 기준으로 상기 핸드 구동 시의 토크의 상태를 감지하여 이루어지는 이송 로봇 모니터링 방법.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230174628A (ko) * 2022-06-21 2023-12-28 주식회사 유진테크 기판 이송장치 및 기판 이송장치의 운용방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016052023A1 (ja) 2014-09-30 2016-04-07 株式会社日立国際電気 半導体製造装置、半導体装置の製造方法および記録媒体

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070099963A (ko) * 2006-04-06 2007-10-10 삼성전자주식회사 반도체 설비용 웨이퍼 브로큰 방지 장치와 방법
KR100839908B1 (ko) * 2006-09-12 2008-06-19 세메스 주식회사 웨이퍼 이송 로봇을 구비하는 반도체 제조 설비 및 그의제어 방법
KR20100085574A (ko) * 2009-01-21 2010-07-29 삼성전자주식회사 기판 이송 장치 및 그 제어 방법
KR102146740B1 (ko) * 2013-05-22 2020-08-21 세메스 주식회사 기판이송장치 및 기판이송장치 제어방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016052023A1 (ja) 2014-09-30 2016-04-07 株式会社日立国際電気 半導体製造装置、半導体装置の製造方法および記録媒体

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