JP6412699B2 - 剥離シート - Google Patents

Description

本発明は、剥離シートに関する。

従来、接着シートと被着体の被着面との接着界面に気泡が形成されないようにそれらを貼付する際には、接着シートおよび／または被着体を折り曲げて空気を追い出すように徐々に貼付したり、真空雰囲気下で貼付したりしている。
一方、被着体に貼付した後、接着界面の空気を抜くことができる易貼付性粘着シート（接着シート）が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この接着シートは、剥離シートを用いて製造され、複数の球面状凸部が設けられ、隣接する凸部間に空気流通経路が形成されてなる粘着剤層（接着剤層）を有し、被着体に貼付した後に接着界面の空気を当該空気流通経路を介して逃がすことで、当該接着界面に気泡が形成されないようにしている。

特許第５１１２６０３号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の剥離シートを用いて製造された接着シートでは、当該接着シートを被着体に貼付する動作の後、接着界面の空気を追い出すための動作が要求され、２つの動作が必要であるという不都合がある。

本発明の目的は、簡単に被着体との間に気泡が形成されないように貼付することができる接着シートを製造可能な剥離シートを提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明の剥離シートは、接着シートに一方の当接面が仮着される剥離シートにおいて、前記一方の当接面は、点状の１の最深部である第１点状最深部から離間したいずれの位置においても当該第１点状最深部側が外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を有し、前記第１凹部は、被着体に点接触可能な１の第１頂点を１の接着シートの接着剤層に形成可能に設けられている、という構成を採用している。

また、本発明の他の剥離シートは、接着シートに一方の当接面が仮着される剥離シートにおいて、前記一方の当接面は、線状の１の最深部である第１線状最深部から離間したいずれの位置においても当該第１線状最深部側が外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を有し、前記第１凹部は、被着体に線接触可能な１の第１頂線を１の接着シートの接着剤層に形成可能に設けられている、という構成を採用している。

さらに、本発明のさらに他の剥離シートは、接着シートに一方の当接面が仮着される剥離シートにおいて、前記一方の当接面は、点状の１の最深部である第１点状最深部から離間したいずれの位置においても当該第１点状最深部側が外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を有し、前記第１凹部は、被着体に点接触可能な１の第１頂点を１の接着シートの接着剤層に形成可能に設けられ、前記第１点状最深部には、前記接着シートが仮着されたときに、当該接着シートとの間に介在する空気を抜くまたは貯めることができる空気逃し部が設けられている、という構成を採用している。
また、本発明のさらに他の剥離シートは、接着シートに一方の当接面が仮着される剥離シートにおいて、前記一方の当接面は、線状の１の最深部である第１線状最深部から離間したいずれの位置においても当該第１線状最深部側が外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を有し、前記第１凹部は、被着体に線接触可能な１の第１頂線を１の接着シートの接着剤層に形成可能に設けられ、前記第１線状最深部には、前記接着シートが仮着されたときに、当該接着シートとの間に介在する空気を抜くまたは貯めることができる空気逃し部が設けられている、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、接着剤を１の第１凹部全体に入り込むように積層することで、被着体に点接触可能な１の第１頂点または線接触可能な１の第１頂線を有し、当該第１頂点または第１頂線から離間したいずれの位置においても、当該第１頂点側または第１頂線側が外縁側に比べて肉厚に設けられた接着剤層を有する１の接着シートを第１凹部毎に形成することができ、簡単に被着体との間に気泡が形成されないように貼付することができる接着シートを製造することができる。このように製造された接着シートは、第１頂点または第１頂線を被着体に当接させ、そのまま接着シートを被着体に押圧するという１の動作によって、接着剤層と被着体との貼付領域を第１頂点または第１頂線から徐々に外縁側に広げ、空気を追い出すようにして貼付することができる。

この際、剥離シートの他方の当接面に、第２点状最深部または第２線状最深部が設けられた第２凹部を設ければ、被着体に点接触可能な第２頂点または線接触可能な第２頂線を別の接着シートの接着剤層に形成することができる。これにより、例えば、第１凹部全体に積層された接着剤層上に第２凹部が重なるように、１の剥離シートを巻回して押圧または、複数の剥離シートを段積みして押圧することで、接着剤層の上部が第２凹部に入り込み、第１頂部または第１頂線の反対側に第２頂点または第２頂線を有する両面接着シートを剥離シート間に製造することができる。
さらに、点状または線状の最深部に、空気逃し部を設ければ、接着剤を第１凹部全体または第２凹部全体に入り込むように積層する際に、接着剤と第１凹部または第２凹部との間に存在する空気を空気逃し部から抜いたり空気逃し部に貯めたりすることで、接着シートの第１、第２頂点または第１、第２頂線から外縁にかかる部分に空気溜まりが形成され、接着剤層に凹凸が形成されてしまうことを防止することができる。

（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る剥離シートの斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の剥離シートおよび接着シートの側面図。 （Ａ）は本発明の第２実施形態に係る剥離シートの斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の剥離シートおよび接着シートの側面図。 （Ａ）〜（Ｈ）は本発明の変形例に係る剥離シートの説明図。 （Ａ）〜（Ｄ）は本発明の他の変形例に係る剥離シートの説明図。

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態での同様の構成については、詳細な説明を省略する。
また、第１、第２実施形態および変形例において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、第１、第２実施形態および変形例では、Ｙ軸と平行な矢印ＡＲ方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

図１（Ａ）、（Ｂ）において、剥離シートＲＬは、図示しない被着体（例えば半導体ウエハ）に貼付される接着シートＡＳの製造に用いられるものである。
剥離シートＲＬは、接着シートＡＳに一方の当接面ＲＡが仮着されるものであって、一方の当接面ＲＡは、点状の１の最深部である第１点状最深部ＤＰから離間したいずれの位置においても当該第１点状最深部ＤＰ側が外縁ＥＧ側に比べて深く設けられた第１凹部ＨＬを有し、第１凹部ＨＬは、被着体に点接触可能な１の第１頂点ＴＰを１の接着シートＡＳの接着剤ＡＤ層に形成可能に設けられている。すなわち、第１凹部ＨＬは、第１点状最深部ＤＰが当該第１凹部ＨＬの中央に位置し、当該第１点状最深部ＤＰから外縁ＥＧ側に向けて側面視で直線状に傾斜し、接着剤ＡＤ層の接着面ＦＡを形成するための略円錐面形状の接着面形成面ＦＣと、接着剤ＡＤ層の側面ＦＢを形成するための略円筒状の側面形成面ＦＤとを備えている。これにより、一方の面と当該一方の面の反対側に位置する他方の面とを有し、一方の面が接着剤ＡＤ層とされ、接着剤ＡＤ層は、被着体に点接触可能な１の第１頂点ＴＰを備え、当該第１頂点ＴＰから離間したいずれの位置においても当該第１頂点ＴＰ側が外縁ＥＤ側に比べて肉厚に設けられた接着シートＡＳを形成可能になっている。接着シートＡＳは、他方の面が基材ＢＳとされて被着体の形状に合わせた形状（例えば円形）に形成され、接着剤ＡＤ層は、第１頂点ＴＰが接着シートＡＳの中央に位置し、当該第１頂点ＴＰから外縁ＥＤ側に向けて側面視で直線状に傾斜する略円錐面形状の接着面ＦＡと、略円筒状の側面ＦＢとを備えている。
なお、第１点状最深部ＤＰには、接着シートＡＳが仮着されたときに、当該接着シートＡＳとの間に介在する空気を抜くまたは貯めることができる空気逃し部ＥＸが設けられている。空気逃し部ＥＸは、例えば、図１（Ｂ）中符号ＡＡで示すような空気抜き用の貫通孔ＨＡや、同図（Ｂ）中符号ＢＢで示すような空気貯め用の有底穴ＨＢ等が例示できる。

基材ＢＳ、接着剤ＡＤ層および剥離シートＲＬとしては、何ら制限はなく、基材ＢＳは、例えば上質紙、グラシン紙、コート紙などの紙類、これらの紙類にポリエチレンなどの熱可塑性樹脂をラミネートしたラミネート紙、ポリエステル（例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート）、ポリオレフィン（例えばポリプロピレン、ポリエチレン）、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリビニルアルコール、ポリウレタン、アクリル系樹脂などのプラスチック、セルローストリアセテート、セルロースジアセテート、セロハンなどのセルロース、天然ゴムやシリコンゴムなどのゴム、木材、金属、陶器、硝子、石材などで構成され、１μｍ〜１００ｍｍの厚みを有するものが例示できる。
接着剤ＡＤ層は、アクリル系、ゴム系、シリコーン系の粘着剤で構成され、１μｍ〜５ｍｍの厚みを有するものが例示できる。
剥離シートＲＬは、帯状または枚葉状に形成されていてもよく、上記基材ＢＳで例示したものや、上記基材ＢＳで例示したものに、シリコーン系剥離剤、アルキルペンダント系剥離剤、縮合ワックス系剥離剤、フッ素系剥離剤、ポリエステル系剥離剤などの剥離剤を積層したものや、シリコーン樹脂、アルキルペンダント樹脂、縮合ワックス樹脂、フッ素樹脂、ポリエステル樹脂などそのものからなるものなどで構成され、１μｍ〜１０ｍｍの厚みを有するものが例示できる。
なお、これら基材ＢＳ、接着剤ＡＤ層および剥離シートＲＬの厚みは、技術常識に照らし合わせて前述した例示の厚み以上でもよいし、例示の厚み以下でもよい。また、第１点状最深部ＤＰの深さＤＴは、１μｍ〜５ｍｍのものが例示できるが、剥離シートＲＬの厚みを考慮してそれ以上の深さでもよいしそれ以下の深さでもよい。
また、接着剤ＡＤ層は、剥離シートＲＬ上に積層するときや、被着体に押圧するときに流動性があることが好ましく、剥離シートＲＬ上に積層するときに、接着面形成面ＦＣに倣って第１凹部ＨＬに入り込んだり、被着体に押圧するときに、当該接着剤ＡＤ層の凸形状が押し均されて厚みが略一様（略均等）になったりするとよい。なお、接着剤ＡＤ層は、加熱または冷却等の外力を加えることで流動性を発揮するものや流動性が向上するものでもよい。また、被着面側が変形可能なものである場合、接着剤ＡＤ層は、被着体に押圧するときに流動性が低くてもよいし流動性がなくてもよい。

以上のような剥離シートＲＬを用いて接着シートＡＳを製造する際には、まず人手または図示しない接着シート製造装置によって、剥離シートＲＬの一方の当接面ＲＡ上に、少なくとも第１凹部ＨＬ全体を塞ぐように流動性のある接着剤ＡＤを塗布または積層する。次いで、ヒータやドライヤ等の乾燥機や紫外線照射装置等の硬化手段で接着剤ＡＤ層を硬化させる。この硬化は、完全硬化でも不完全硬化でもよいし、硬化手段で硬化させなくてもよい。次に、硬化された接着剤ＡＤ層上に基材ＢＳを貼付または積層した後、当該基材ＢＳ上から第１凹部ＨＬの外縁ＥＧに沿ってカッター刃やレーザ等の切断手段で基材ＢＳおよび接着剤ＡＤ層に切込を形成する。この切込を形成する位置は、第１凹部ＨＬの外縁ＥＧに完全一致する位置でもよいし、外縁ＥＧの内側または外側の位置でもよく、外縁ＥＧの外側に切込を形成する場合、接着シートＡＳを被着体に貼付した後、当該外縁ＥＧの外側を切断して排除することもできる。その後、ローラや吸引等の巻取手段で切込の外側に位置する接着剤ＡＤ層付きの基材ＢＳを剥離シートＲＬから剥離する。これにより、接着面形成面ＦＣによって形成された接着面ＦＡと、側面形成面ＦＤによって形成された側面ＦＢとから構成された接着剤ＡＤ層が形成されて接着シートＡＳが製造される。なお、一方の当接面ＲＡ上に接着剤ＡＤを塗布または積層する際、空気逃し部ＥＸとしての貫通孔ＨＡから接着剤ＡＤと第１凹部ＨＬとの間に存在する空気を外部に抜くまたは、有底穴ＨＢに貯めることで、接着シートＡＳの接着面ＦＡに空気溜まりが形成され、接着シートＡＳに凹凸が形成されてしまうことを防止することができる。
接着シートＡＳを被着体に貼付するときには、基材ＢＳ側から当該接着シートＡＳを所定の平面からなる支持面を備えた支持手段で支持する。その後、被着体の被着面と接着シートＡＳを支持した支持面とを略平行に配置し、支持面に略直交する方向に支持手段と被着体とを相対移動させて押圧する。これにより、初めに第１頂点ＴＰが被着面に当接し、その後もそれらの相対移動により接着面ＦＡが徐々に外縁に向かって貼付されてゆく。すなわち、第１頂点ＴＰを被着体に当接させ、そのまま接着シートＡＳを被着体に押圧するという１の動作によって、簡単に被着体との間に気泡が形成されないように当該接着シートＡＳを被着体に貼付することができる。

以上のような第１実施形態によれば、簡単に被着体との間に気泡が形成されないように貼付することができる接着シートＡＳを製造することができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第１実施形態と同じ構成については、同じ符号を付し説明を省略する。
図２（Ａ）、（Ｂ）において、剥離シートＲＬＡは、図示しない被着体（例えばガラス板）に貼付される接着シートＡＳＡの製造に用いられるものである。
剥離シートＲＬＡは、接着シートＡＳＡに一方の当接面ＲＡが仮着されるものであって、一方の当接面ＲＡは、線状の１の最深部である第１線状最深部ＤＬから離間したいずれの位置においても当該第１線状最深部ＤＬ側が外縁ＥＧ側に比べて深く設けられた第１凹部ＨＬＡを有し、第１凹部ＨＬＡは、被着体に線接触可能な１の第１頂線ＴＬを１の接着シートＡＳＡの接着剤ＡＤ層に形成可能に設けられている。すなわち、第１凹部ＨＬＡは、第１線状最深部ＤＬが当該第１凹部ＨＬＡの中央を通り、当該第１線状最深部ＤＬから外縁ＥＧ側に向けて側面視で直線状に傾斜し、接着剤ＡＤ層の接着面ＦＡ１を形成するための２つの面が所定の角度で繋がる接着面形成面ＦＣ１と、接着剤ＡＤ層の側面ＦＢ１を形成するための側面形成面ＦＤ１とを備えている。これにより、一方の面と当該一方の面の反対側に位置する他方の面とを有し、一方の面が接着剤ＡＤ層とされ、接着剤ＡＤ層は、被着体に線接触可能な１の第１頂線ＴＬを備え、当該第１頂線ＴＬから離間したいずれの位置においても当該第１頂線ＴＬ側が外縁ＥＤ側に比べて肉厚に設けられた接着シートＡＳＡを形成可能になっている。なお、第１頂線ＴＬは、接着面形成面ＦＣ１における２つの面の繋がり部によって形成される。接着シートＡＳＡは、他方の面が基材ＢＳとされて被着体の形状に合わせた形状（例えば円形）に形成され、接着剤ＡＤ層は、第１頂線ＴＬが接着シートＡＳＡの中央を通り、当該第１頂線ＴＬから外縁ＥＤ側に向けて側面視で直線状に傾斜する２つの面が所定の角度で繋がる接着面ＦＡ１と、略円筒状の側面ＦＢ１とを備えている。
なお、第１線状最深部ＤＬには、第１実施形態と同様の空気逃し部ＥＸ１が設けられている。空気逃し部ＥＸ１は、例えば、図２（Ｂ）中符号ＣＣで示すような空気抜き用の貫通孔ＨＡ１や、同図（Ｂ）中符号ＤＤで示すような空気貯め用の有底穴ＨＢ１等が例示できる。なお、貫通孔ＨＡ１、有底穴ＨＢ１は、第１線状最深部ＤＬの長手方向の全体にわたって連続的にまたは断続的に１または複数設けてもよいし、一部のみに設けてもよい。

剥離シートＲＬＡとしては、特に制限はなく、第１実施形態と同様のものが例示でき、第１凹部ＨＬＡの接着面形成面ＦＣ１における第１線状最深部ＤＬの深さは、１μｍ〜５ｍｍのものが例示できるが、剥離シートＲＬＡの厚みを考慮してそれ以上の深さでもよいしそれ以下の深さでもよい。
剥離シートＲＬＡを用いて接着シートＡＳＡを製造する際も第１実施形態と同様にして製造することができる。
接着シートＡＳＡを被着体に貼付するときも、第１実施形態と同様にして貼付することができ、第１頂線ＴＬを被着体に当接させ、そのまま接着シートＡＳを被着体に押圧するという１の動作によって、簡単に被着体との間に気泡が形成されないように当該接着シートＡＳＡを被着体に貼付することができる。

以上のような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、本発明における点状最深部を有する剥離シートは、図３（Ａ）に示すように、第１点状最深部ＤＰが第１凹部ＨＬＢの中央に位置し、当該第１点状最深部ＤＰから前後左右に側面視または正面視で直線状または曲線状に傾斜する略四角錐状の接着面形成面ＦＣ２と、側面形成面ＦＤ２とから第１凹部ＨＬＢが構成された剥離シートＲＬＢであってもよい。なお、接着面形成面ＦＣ３は略三角錐状でもよいし、略五角錐、略六角錐・・・といった略五角錐以上でもよい。
さらに、本発明における剥離シートは、図３（Ｂ）に示すように、側面視で円弧状の最深部が第１点状最深部ＤＰまたは第１線状最深部ＤＬとされた接着面形成面ＦＣ３を含んで第１凹部ＨＬＣが構成された剥離シートＲＬＣでもよい。
また、本発明における剥離シートは、図３（Ｃ）に示すように、第１点状最深部ＤＰまたは第１線状最深部ＤＬが第１凹部ＨＬＤの中心からずれた接着面形成面ＦＣ４を含んで第１凹部ＨＬＤが構成された剥離シートＲＬＤでもよい。すなわち、接着面形成面がどのような形状であろうとも、そこに形成される第１点状最深部ＤＰまたは第１線状最深部ＤＬの位置は、第１凹部の中心や第１凹部の中心を通る位置であってもよいし、第１凹部の中心や第１凹部の中心を通らない位置であってもよい。
さらに、本発明における剥離シートは、図３（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、傾斜面が側面視で凸状、凹状に湾曲した曲線状の略円錐状または角錐状の接着面形成面ＦＣ５、ＦＣ６を含んで第１凹部ＨＬＥ、ＨＬＦが構成された剥離シートＲＬＥ、ＲＬＦでもよい。
また、本発明における剥離シートは、図３（Ｆ）、（Ｇ）に示すように、傾斜面が側面視で凸状、凹状に折れ曲がった折れ線状の接着面形成面ＦＣ７、ＦＣ８を含んで第１凹部ＨＬＧ、ＨＬＨが構成された剥離シートＲＬＧ、ＲＬＨでもよい。

また、本発明における剥離シートは、図３（Ｈ）に示すように、基材ＢＳを有さずに一方の面および他方の面が１の接着剤ＡＤ層で構成された接着シートとしての両面接着シートＡＴであって、第１実施形態の接着面ＦＡと同じ形状に形成され、第１、第２頂点ＴＰ１、ＴＰ２を有する第１、第２接着面ＦＡ２１、ＦＡ２２を側面ＦＢの下側および上側に設けた接着剤ＡＤ層から構成された両面接着シートＡＴの製造に用いられる剥離シートＲＬＰでもよい。具体的には、剥離シートＲＬＰは、第１実施形態の剥離シートＲＬの一方の当接面ＲＡの反対側に位置する他方の当接面ＲＢには、点状の最深部である第２点状最深部ＤＰＰが設けられた第２凹部ＨＬＰが設けられ、第２凹部ＨＬＰは、被着体に点接触可能な第２頂点ＴＰ２を両面接着シートＡＴとは別の１の接着シートとしての両面接着シートＡＴの接着剤層に形成可能に設けられている。また、他方の当接面ＲＢの第２凹部ＨＬＰの第２点状最深部ＤＰＰは、一方の当接面ＲＡの第１凹部ＨＬの第１点状最深部ＤＰよりも右側または左側に位相して設けられている（位相させなくてもよい）。このような剥離シートＲＬＰを用いて両面接着シートＡＴを製造する際には、接着シートＡＳを製造する際における基材ＢＳを積層する工程を省き、剥離シートＲＬＰ上に第１接着面ＦＡ２１と側面ＦＢとから構成された接着剤ＡＤ層を形成する。その後、接着剤ＡＤ層上に第２凹部ＨＬＰが重なるように、１の剥離シートＲＬＰを巻回して押圧または、複数の剥離シートＲＬＰを段積みして押圧することで、接着剤ＡＤ層の上部が第２凹部ＨＬＰに入り込み、剥離シートＲＬＰ間に両面接着シートＡＴが製造される。なお、第２接着面ＦＡ２２にオブラートのように薄い基材を設け、当該基材も第２接着面ＦＡ２２と同様に尖った形状に形成してもよい。また、第２点状最深部ＤＰＰは、１の第２凹部ＨＬＰに１または複数設けられてもよい。

さらに、本発明における剥離シートは、図４（Ａ）に示すように、第１線状最深部ＤＬが第１凹部ＨＬＪの中央を通り、当該第１線状最深部ＤＬから側面視で左右に直線状、曲線状または折れ線状に傾斜する２つの面が所定の角度で繋がる接着面形成面ＦＣ９と、側面形成面ＦＤ３とから第１凹部ＨＬＪが構成された剥離シートＲＬＪでもよい。
また、本発明における剥離シートは、図４（Ｂ）に示すように、第１線状最深部ＤＬが第１凹部ＨＬＫの左右いずれかの一端縁と一致し、当該第１線状最深部ＤＬから左右いずれかの他端縁側に側面視で直線状、曲線状または折れ線状に傾斜する１つの接着面形成面ＦＣ１０と、側面形成面ＦＤ４とから第１凹部ＨＬＫが構成された剥離シートＲＬＫでもよい。
さらに、本発明における剥離シートは、図４（Ｃ）に示すように、第１線状最深部ＤＬが第１凹部ＨＬＬの中央を通り、当該第１線状最深部ＤＬから側面視または正面視で左右および前後に直線状、曲線状または折れ線状に傾斜する４つの接着面形成面ＦＣ１１と、側面形成面ＦＤ２とから第１凹部ＨＬＬが構成された剥離シートＲＬＬでもよい。
また、本発明における剥離シートは、図４（Ｄ）に示すように、上述の剥離シートＲＬＬにおける前後いずれの傾斜面を有さない接着面形成面ＦＣ１２を含んで第１凹部ＨＬＭが構成された剥離シートＲＬＭでもよい。

さらに、本発明における両面接着シートを製造可能な剥離シートは、一方の当接面に図１、図２、図３（Ａ）〜（Ｇ）、図４（Ａ）〜（Ｄ）のいずれかに示した形状の第１凹部とし、他方の当接面に、図１、図２、図３（Ａ）〜（Ｇ）、図４（Ａ）〜（Ｄ）のいずれかに示した形状の第２凹部としてもよく、上下面が同じ形状の第１、第２凹部であってもよいし、異なる形状の第１、第２凹部であってもよいし、同じ深さでもよいし、異なる深さでもよいし、これらのような構成において一方の当接面の第１点状最深部または第１線状最深部を他方の当接面の第２点状最深部または第２線状最深部に対し前後左右のいずれかに位相させて設けてもよいし、位相させずに設けてもよい。なお、他方の当接面の第２凹部を図２、図４（Ａ）〜（Ｄ）のいずれかに示した形状にする場合、当該他方の当接面には、図３（Ｈ）に示すように、線状の最深部である第２線状最深部ＤＬＬが深く設けられた第２凹部ＨＬＰが設けられ、第２凹部ＨＬＰは、被着体に線接触可能な第２頂線ＴＬ２を第１凹部ＨＬ側の両面接着シートＡＴとは別の１の両面接着シートＡＴの接着剤ＡＤ層に形成可能に設けられている構成となる。なお、第２点状最深部ＤＰＰは、１の第２凹部ＨＬＰに１または複数設けられてもよい。
また、本発明における剥離シートＲＬ、ＲＬＡ〜ＲＬＰの第１凹部に、側面形成面ＦＤ、ＦＤ１〜ＦＤ５を設けなくてもよい。
さらに、本発明の剥離シートの第１、第２凹部の平面形状や接着シートの平面形状は、円形、楕円形、三角形や五角形などの多角形、その他の異形であってもよく、被着体の形状には何ら影響されることはなく、当該被着体の形状に合わせた形状でなくてもよい。
また、第１、第２点状最深部ＤＰ、ＤＰＰまたは、第１、第２線状最深部ＤＬ、ＤＬＬに空気逃し部ＥＸ、ＥＸ１を設けてもよいし、設けなくてもよいし、設ける場合には、１つでも複数でもよい。また、１の第１点状最深部ＤＰ、ＤＰＰまたは第１線状最深部ＤＬ、ＤＬＬに、貫通孔ＨＡと有底穴ＨＢとの両方を設けてもよい。
さらに、第１線状最深部ＤＬは、正面視（図２のＸ軸方向から視て）下方に湾曲または折れ線状に曲がっていてもよいし、平面視（図２の上方から視て）湾曲または折れ線状に曲がっていてもよい。
また、第２線状最深部ＤＬＬは、正面視（図３（Ｈ）のＸ軸方向から視て）上方に湾曲または折れ線状に曲がっていてもよいし、平面視（図３（Ｈ）の上方から視て）湾曲または折れ線状に曲がっていてもよい。
また、剥離シートＲＬに複数の第１、第２凹部が設けられてもよいし、複数の第１、第２凹部は、それぞれ同じ形状の第１、第２凹部でもよいし、異なる形状の第１、第２凹部であってもよい。
さらに、各剥離シートＲＬ、ＲＬＡ〜ＲＬＰを用いて接着シートＡＳ、ＡＳＡ、ＡＴ等を製造する方法は、上記した方法以外でもよく、例えば、第１、第２実施形態のようにして接着シートＡＳ、ＡＳＡを製造するときに、基材ＢＳおよび接着剤ＡＤ層に切込を形成することなく帯状の接着シートとしてもよい。この場合、帯状の接着シートを被着体に貼付した後、任意の形状となるように当該帯状の接着シートを切断すればよい。また、上述のようにして両面接着シートＡＴを製造するときにも、接着剤ＡＤ層に切込を形成することなく帯状の両面接着シートとしてもよい。この場合、帯状の両面接着シートを被着体に貼付した後、任意の形状となるように当該帯状の両面接着シートを切断し、その上に他の被着体を接着するようにすればよい。

さらに、本発明における剥離シートで製造される接着シートおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に基材ＢＳと同様のものからなる中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

ＡＤ…接着剤
ＡＳ、ＡＳＡ…接着シート
ＡＴ…両面接着シート（接着シート）
ＤＬ、ＤＬＬ…第１、第２線状最深部
ＤＰ、ＤＰＰ…第１、第２点状最深部
ＥＧ…外縁
ＥＸ、ＥＸ１…空気逃し部
ＨＬ、ＨＬＡ、ＨＬＢ、ＨＬＣ、ＨＬＤ、ＨＬＥ、ＨＬＦ、ＨＬＧ、ＨＬＨ、ＨＬＪ、ＨＬＫ、ＨＬＬ、ＨＬＭ、ＨＬＰ…第１凹部
ＨＬＰ…第２凹部
ＲＡ、ＲＢ…一方、他方の当接面
ＲＬ、ＲＬＡ、ＲＬＢ、ＲＬＣ、ＲＬＤ、ＲＬＥ、ＲＬＦ、ＲＬＧ、ＲＬＨ、ＲＬＪ、ＲＬＫ、ＲＬＬ、ＲＬＭ、ＲＬＰ…剥離シート
ＴＬ、ＴＬ１、ＴＬ２…第１、第１、第２頂線
ＴＰ、ＴＰ１、ＴＰ２…第１、第１、第２頂点

Claims (4)

1. 接着シートに一方の当接面が仮着される剥離シートにおいて、
   前記一方の当接面は、点状の１の最深部である第１点状最深部から離間したいずれの位置においても当該第１点状最深部側が外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を有し、
   前記第１凹部は、被着体に点接触可能な１の第１頂点を１の接着シートの接着剤層に形成可能に設けられていることを特徴とする剥離シート。
2. 接着シートに一方の当接面が仮着される剥離シートにおいて、
   前記一方の当接面は、線状の１の最深部である第１線状最深部から離間したいずれの位置においても当該第１線状最深部側が外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を有し、
   前記第１凹部は、被着体に線接触可能な１の第１頂線を１の接着シートの接着剤層に形成可能に設けられていることを特徴とする剥離シート。
3. 接着シートに一方の当接面が仮着される剥離シートにおいて、
   前記一方の当接面は、点状の１の最深部である第１点状最深部から離間したいずれの位置においても当該第１点状最深部側が外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を有し、
   前記第１凹部は、被着体に点接触可能な１の第１頂点を１の接着シートの接着剤層に形成可能に設けられ、
   前記第１点状最深部には、前記接着シートが仮着されたときに、当該接着シートとの間に介在する空気を抜くまたは貯めることができる空気逃し部が設けられていることを特徴とする剥離シート。
4. 接着シートに一方の当接面が仮着される剥離シートにおいて、
   前記一方の当接面は、線状の１の最深部である第１線状最深部から離間したいずれの位置においても当該第１線状最深部側が外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を有し、
   前記第１凹部は、被着体に線接触可能な１の第１頂線を１の接着シートの接着剤層に形成可能に設けられ、
   前記第１線状最深部には、前記接着シートが仮着されたときに、当該接着シートとの間に介在する空気を抜くまたは貯めることができる空気逃し部が設けられていることを特徴とする剥離シート。

Images