JP6386424B2 - 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態の半導体製造装置の構造を示す断面図と上面図である。
図8は、第2実施形態の半導体製造装置の構造を示す断面図である。
図10は、第3実施形態のウェハ洗浄部12の構造を示す斜視図である。
11:ウェハ保持部、11a:回転部、11b:ステージ、11c:チャックピン、
12:ウェハ洗浄部、12a:ブラシ、12b:回転部、
12c:第1接続部、12d:アーム部、12e:第2接続部、
13:洗浄液供給部、13a:洗浄液ノズル、13b:ノズル駆動部、
14:制御部
Claims (10)
- ウェハをチャックピンにより保持し、前記ウェハを回転させるウェハ保持部と、
前記ウェハの表面を洗浄する洗浄部材を保持し、前記ウェハの表面に垂直な第1回転軸を中心に前記洗浄部材を回転させるウェハ洗浄部であって、前記洗浄部材が前記ウェハに接触して回転している状態で前記洗浄部材を前記ウェハの表面上で移動させることで、前記ウェハの表面を洗浄するウェハ洗浄部と、
前記ウェハ洗浄部の動作を制御する制御部とを備え、
前記ウェハ洗浄部は、前記第1回転軸が、前記洗浄部材の前記ウェハに対する接触領域を通過しないように、前記洗浄部材を保持し回転させ、
前記制御部は、前記ウェハ洗浄部により前記洗浄部材を回転させる第1モードと、前記洗浄部材が前記ウェハ洗浄部の外部からの力により回転するように、前記ウェハ洗浄部による前記洗浄部材の回転を停止する第2モードとを設定する、
半導体製造装置。 - 前記ウェハ洗浄部は、前記第2モードにおいて前記洗浄部材を前記ウェハの外周の内側から外側に移動させることで、前記洗浄部材を前記ウェハの表面から離脱させる、請求項1に記載の半導体製造装置。
- 前記洗浄部材は、前記接触領域の外周に角部を有さない形状を有する、請求項1または2に記載の半導体製造装置。
- 前記洗浄部材は、前記接触領域内で前記第1回転軸と最も近い点が、前記接触領域の中心と前記第1回転軸とを結ぶ直線上に位置しない形状を有する、請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- 前記チャックピンの外周は、前記ウェハが前記ウェハ保持部により保持されている状態において、前記ウェハの表面上に角部を有さない形状を有する、請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- 前記ウェハ洗浄部は、前記洗浄部材として、互いに分離された第1および第2洗浄部材を保持し、
前記第1および第2洗浄部材はそれぞれ、前記接触領域として、互いに分離された第1および第2接触領域を有する、請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体製造装置。 - 前記洗浄部材は、前記接触領域として、互いに分離された第1および第2接触領域を有する、請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- 前記ウェハ洗浄部は、タイヤ型の前記洗浄部材を保持する、請求項1から7のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- ウェハをウェハ保持部のチャックピンにより保持し、前記ウェハを前記ウェハ保持部により回転させ、
前記ウェハの表面を洗浄する洗浄部材をウェハ洗浄部により保持し、前記ウェハの表面に垂直な第1回転軸を中心に前記洗浄部材を前記ウェハ洗浄部により回転させ、
前記洗浄部材が前記ウェハに接触して回転している状態で前記洗浄部材を前記ウェハの表面上で移動させることで、前記ウェハの表面を洗浄する、
ことを含み、
前記ウェハ洗浄部は、前記第1回転軸が、前記洗浄部材の前記ウェハに対する接触領域を通過しないように、前記洗浄部材を保持し回転させ、
前記ウェハ洗浄部は、前記ウェハ洗浄部により前記洗浄部材を回転させる第1モードと、前記洗浄部材が前記ウェハ洗浄部の外部からの力により回転するように、前記ウェハ洗浄部による前記洗浄部材の回転を停止する第2モードとで動作する、
半導体装置の製造方法。 - 前記第2モードにおいて前記洗浄部材は、前記ウェハの外周の内側から外側に移動して前記ウェハの表面から離脱する、請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
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