JP6370086B2 - 樹脂組成物及び板状物の固定方法 - Google Patents
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Description
本実験では、ウレタン結合を有さない(メタ)アクリレートとエポキシ基含有樹脂との混合比が異なる複数の樹脂組成物でそれぞれシリコンウェーハ(アズスライスウェーハ)を固定し、表面欠陥検査装置「魔境」(山下電装社製、YIS-300SP)でシリコンウェーハの表面の状態を確認した。
本実験では、ウレタン結合を有する(メタ)アクリレートとウレタン結合を有さない(メタ)アクリレートとの混合比が異なる複数の樹脂組成物でそれぞれシリコンウェーハを固定し、表面欠陥検査装置「魔境」(山下電装社製、YIS-300SP)でシリコンウェーハの表面の状態を確認した。シリコンウェーハの反り及びうねりの評価方法は、実験1と同様である。
11a 表面(第2面)
11b 裏面(第1面)
13 フィルム
13a 表面
15,15a,15b 樹脂組成物
2 固定装置
4 送り出しローラー
6 巻き取りローラー
8 樹脂供給ユニット
10 ローラー
12 ローラー
14 樹脂硬化ユニット
16 基台
18 ステージ
20 光源
22 シャッター
24 フィルタ
26 排気管
28 支持構造
28a 壁部
28b 庇部
30 押圧機構
32 主ロッド
34 副ロッド
36 押圧パッド
38 フィルム切断ユニット
40 基台
42 テーブル
44 支持構造
44a 壁部
44b 庇部
46 切断機構
48 ロッド
50 カッター
Claims (4)
- 板状物を固定する樹脂組成物であって、
25質量%以上35質量%以下のウレタン結合を有する(メタ)アクリレートと、5質量%以上15質量%以下(ただし、15質量%の場合を除く)のウレタン結合を有さない(メタ)アクリレートと、50質量%以上70質量%以下(ただし、50質量%の場合を除く)のエポキシ基含有樹脂と、からなる組成物に、光重合開始材を含ませたことを特徴とする樹脂組成物。 - 前記組成物の55質量%以上65質量%以下をエポキシ基含有樹脂としたことを特徴とする請求項1に記載の樹脂組成物。
- 請求項1又は請求項2に記載の樹脂組成物に対して、該樹脂組成物の5質量%以上10質量%以下のチクソ性付与剤を更に含ませたことを特徴とする樹脂組成物。
- 請求項1から請求項3のいずれかに記載の樹脂組成物を用いる板状物の固定方法であって、
ステージと板状物の第1面との間に前記樹脂組成物を供給する樹脂組成物供給ステップと、
該樹脂組成物供給ステップを実施した後に、板状物の第2面側から該第1面に向かう力を加えて板状物を該ステージに向けて押し付け、該樹脂組成物を該第1面の全体に広げる押圧ステップと、
該押圧ステップを実施した後に、光を照射して該樹脂組成物を硬化する硬化ステップと、を備えることを特徴とする板状物の固定方法。
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