JP2014107339A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
ウェーハの加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014107339A JP2014107339A JP2012257543A JP2012257543A JP2014107339A JP 2014107339 A JP2014107339 A JP 2014107339A JP 2012257543 A JP2012257543 A JP 2012257543A JP 2012257543 A JP2012257543 A JP 2012257543A JP 2014107339 A JP2014107339 A JP 2014107339A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- resin
- support member
- cooling
- peeling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 155
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 155
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 50
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- 239000005345 chemically strengthened glass Substances 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 47
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 25
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 23
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- -1 gallium nitride compound Chemical class 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】樹脂(R)を介してウェーハ(W)を支持部材(S)に貼着固定するウェーハ貼着工程と、ウェーハの裏面(W2)側を研削して薄化する薄化工程と、レーザー光線(L)を照射して分割起点領域(W3)を形成するレーザー光線照射工程と、エキスパンドテープ(T)を貼着するエキスパンドテープ貼着工程と、樹脂の粘着力を低下させるようにウェーハを冷却する第一の冷却工程と、樹脂の粘着力を低下させた状態で支持部材を剥離する支持部材剥離工程と、ウェーハを個々のデバイスに分割する分割工程と、樹脂の粘着力を低下させるようにウェーハを冷却する第二の冷却工程と、樹脂の粘着力を低下させた状態で樹脂を剥離する樹脂除去工程と、を備える構成とした。
【選択図】図7
Description
2 プレス装置
3 紫外光照射装置
4 研削装置
5 レーザー加工装置
6 冷却装置
7 ブレーキング装置
11 ノズル
21 保持テーブル
22 押圧部
31 保持テーブル
32 紫外光源
41 保持テーブル
42 研削ホイール
43 研削砥石
51 保持テーブル
52 加工ヘッド
61 低温室
71,71a,71b 支持刃
72 押圧刃
73 撮像カメラ
F フレーム
C チップ
C1,C2 回転軸
L レーザー光線
R 樹脂
S 支持部材
S1,W1 表面
S2,W2 裏面
T エキスパンドテープ
UV 紫外光
W ウェーハ
W3 改質層(分割起点領域)
Claims (2)
- 表面に分割予定ラインによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウェーハを該分割予定ラインに沿って分割するウェーハの加工方法であって、
支持部材に外部刺激により硬化する樹脂を塗布し、ウェーハの表面を対面させウェーハを該樹脂に埋没させてウェーハの外周全周に渡って該樹脂がウェーハの裏面まで隆起するまでウェーハを押圧して載置し、該樹脂に外部刺激を与えて硬化させウェーハを該支持部材上に貼着固定するウェーハ貼着工程と、
該ウェーハ貼着工程を実施した後、該支持部材側を保持テーブルで保持してウェーハの裏面を研削し該所定厚みへと薄化する薄化工程と、
該薄化工程を実施した後に、ウェーハの裏面から該分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射し分割する起点となる分割起点領域を形成するレーザー光線照射工程と、
該レーザー光線照射工程を実施した後に、該裏面にエキスパンドテープを貼着するエキスパンドテープ貼着工程と、
該エキスパンドテープ貼着工程を実施した後に、該樹脂の粘着性を低下させる温度において樹脂を介して該支持部材に貼着されたウェーハを冷却する第一の冷却工程と、
該支持部材は外部からの力により湾曲可能な厚さに形成されており、該第一の冷却工程を実施した後に、該支持部材と該樹脂の界面の一部に剥離のきっかけを形成し、該樹脂の粘着性が低下した状態で該きっかけから該支持部材を湾曲させて該樹脂から剥離する支持部材剥離工程と、
該支持部材剥離工程を実施した後に、押圧手段により該樹脂側から押圧することにより該分割予定ラインに沿って外力を付与しウェーハを該分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割する分割工程と、
該分割工程の後に、該樹脂の粘着性を低下させる温度において樹脂が貼着されたウェーハを冷却する第二の冷却工程と、
該第二の冷却工程を実施した後に、該樹脂の粘着性が低下した状態でウェーハから該樹脂を剥離する樹脂除去工程と、
を備えるウェーハの加工方法。 - 該支持部材は、外部からの力により湾曲可能な厚さに形成された金属基板又は、外部からの力により湾曲可能な化学強化ガラス板から構成される、請求項1記載のウェーハの加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012257543A JP6067348B2 (ja) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | ウェーハの加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012257543A JP6067348B2 (ja) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | ウェーハの加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014107339A true JP2014107339A (ja) | 2014-06-09 |
JP6067348B2 JP6067348B2 (ja) | 2017-01-25 |
Family
ID=51028592
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012257543A Active JP6067348B2 (ja) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | ウェーハの加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6067348B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016207674A (ja) * | 2015-04-15 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 被加工物の切削加工方法 |
KR101758620B1 (ko) * | 2017-05-08 | 2017-07-18 | 박종성 | 냉난방공조 제어 시스템을 이용한 반도체 설비의 관리방법 |
KR101758619B1 (ko) * | 2017-05-08 | 2017-07-18 | 박종성 | 클라우드 환경의 냉난방공조 제어 시스템을 이용한 반도체 설비의 관리방법 |
KR101756082B1 (ko) | 2017-05-08 | 2017-07-26 | 박종성 | 반도체 설비의 관리방법 |
KR20170136995A (ko) * | 2016-06-02 | 2017-12-12 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼 생성 방법 |
US11804471B2 (en) | 2020-09-14 | 2023-10-31 | Kioxia Corporation | Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor manufacturing apparatus |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09148279A (ja) * | 1995-11-21 | 1997-06-06 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 半導体ウエハ裏面研削用粘着フィルム及びその使用方法 |
JP2008042110A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP2008306049A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Lintec Corp | 脆質部材の処理方法 |
JP2010251661A (ja) * | 2009-04-20 | 2010-11-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 光デバイスウエーハの加工方法 |
JP2011029450A (ja) * | 2009-07-27 | 2011-02-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
-
2012
- 2012-11-26 JP JP2012257543A patent/JP6067348B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09148279A (ja) * | 1995-11-21 | 1997-06-06 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 半導体ウエハ裏面研削用粘着フィルム及びその使用方法 |
JP2008042110A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP2008306049A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Lintec Corp | 脆質部材の処理方法 |
JP2010251661A (ja) * | 2009-04-20 | 2010-11-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 光デバイスウエーハの加工方法 |
JP2011029450A (ja) * | 2009-07-27 | 2011-02-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016207674A (ja) * | 2015-04-15 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 被加工物の切削加工方法 |
KR20170136995A (ko) * | 2016-06-02 | 2017-12-12 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼 생성 방법 |
KR102228493B1 (ko) | 2016-06-02 | 2021-03-15 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼 생성 방법 |
KR101758620B1 (ko) * | 2017-05-08 | 2017-07-18 | 박종성 | 냉난방공조 제어 시스템을 이용한 반도체 설비의 관리방법 |
KR101758619B1 (ko) * | 2017-05-08 | 2017-07-18 | 박종성 | 클라우드 환경의 냉난방공조 제어 시스템을 이용한 반도체 설비의 관리방법 |
KR101756082B1 (ko) | 2017-05-08 | 2017-07-26 | 박종성 | 반도체 설비의 관리방법 |
US11804471B2 (en) | 2020-09-14 | 2023-10-31 | Kioxia Corporation | Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor manufacturing apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6067348B2 (ja) | 2017-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6121116B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP6067348B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP5111938B2 (ja) | 半導体ウエハの保持方法 | |
JP5756334B2 (ja) | 積層体、およびその積層体の分離方法 | |
JP2019140387A (ja) | ウェハの処理方法 | |
TW201933513A (zh) | 處理晶圓的方法 | |
JP6308632B2 (ja) | ウェハを分割する方法 | |
JP6021362B2 (ja) | 板状物の研削方法 | |
JP7016445B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP5912805B2 (ja) | 板状物の転写方法 | |
TW200532786A (en) | Wafer transcription method | |
JP5522773B2 (ja) | 半導体ウエハの保持方法、チップ体の製造方法、およびスペーサ | |
JP2006245348A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6057616B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP6013850B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP6125170B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP6132502B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2014049537A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2005191218A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
JP6043675B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2017011134A (ja) | デバイスチップの製造方法 | |
JP2016051779A (ja) | ウエーハの貼り合わせ方法及び貼り合わせワークの剥離方法 | |
JP2009289809A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5992256B2 (ja) | ウェーハの分割方法 | |
US20220371224A1 (en) | Method of separating wafer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151019 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161028 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161221 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6067348 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |