JP2009289809A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイシングリング5にダイシングテープ4を取り付け、このダイシングテープ4にリブウェハ1の裏面側を接着させる。このとき、裏面側の中央部2とリブ部3との境界付近では、ダイシングテープ4の貼付されていない領域6が形成される。そして、リブウェハ1の裏面側を下にしてステージ20に保持させて、リブウェハ1のおもて面側の、リブ部3より内周側の照射位置7に、レーザ装置21からレーザ光22を照射し、リブ部3を切断する。これによって厚さの均一な平坦なウェハが形成され、ウェハの裏面側の全面にダイシングテープが貼付される。ついで、リブ部の除去されたウェハの裏面側を下にしたまま、おもて面側からダイシングを行いチップ状にする。
【選択図】図2
Description
図1〜図4は、実施の形態にかかる半導体装置の製造方法について順に示す断面図である。なお、図2は、図1の切断線A−A'における断面構造を示す断面図である。また、図1においては、リブウェハ1におけるレーザ光22の照射位置7(一点鎖線で示す)を明確にするため、ダイシングテープ4およびダイシングリング5を省略している。また、図1においては、便宜上、リブウェハ1の側方からレーザ装置21によりレーザ光22が照射されるようになっているが、実際は、リブウェハ1のおもて面の上方にレーザ装置21があり、リブウェハ1の上方からレーザ光22が照射される。
2 中央部
3 リブ部
4 ダイシングテープ
5 ダイシングリング
6 ダイシングテープの貼付されていない領域
7 照射位置(切断位置)
20 ステージ
21 レーザ装置
22 レーザ光
Claims (6)
- 半導体ウェハの裏面の中央部を外周端部よりも薄くして、当該半導体ウェハの裏面の外周端部にリブ部を形成するリブ形成工程と、
前記半導体ウェハの裏面側に粘着テープを貼付する貼付工程と、
前記半導体ウェハの前記粘着テープの貼付された裏面側を下にして、当該半導体ウェハのおもて面側から前記リブ部を切断し、除去するリブ除去工程と、
前記リブ部の除去された前記半導体ウェハの裏面側を下にして、当該半導体ウェハのおもて面側からダイシングを行いチップ状にするダイシング工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記リブ除去工程においては、前記半導体ウェハのおもて面側の、裏面側に前記リブ部が形成されている位置より内周側にレーザ光を照射することで、前記リブ部を切断することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記リブ除去工程と、前記ダイシング工程との間に、
前記リブ部の除去された前記半導体ウェハをおもて面側から押さえることで、当該半導体ウェハの裏面側の全面に前記粘着テープを貼付する全面貼付工程をさらに含むことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記全面貼付工程においては、前記半導体ウェハのおもて面側にローラー状の部材を押しつけることにより、当該半導体ウェハの裏面側の全面に前記粘着テープを貼付することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ダイシング工程においては、前記半導体ウェハのおもて面にブレードを接触させて切断する方法、前記半導体ウェハのおもて面にレーザ光を照射して切断する方法、および前記半導体ウェハのおもて面にウォータージェットを当てて切断する方法のいずれか一つまたは二つ以上を組み合わせて、前記半導体ウェハのおもて面側からダイシングを行いチップ状にすることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記リブ形成工程の前に、前記半導体ウェハのおもて面側の前記中央部に、素子のおもて面構造を形成するおもて面構造形成工程と、
前記リブ形成工程と、前記貼付工程との間に、前記半導体ウェハの裏面側の前記中央部に、素子の裏面構造を形成する裏面構造形成工程と、
をさらに含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
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2008
- 2008-05-27 JP JP2008138216A patent/JP2009289809A/ja active Pending
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