JP6369398B2 - 流量測定装置、及び処理装置 - Google Patents
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Description
従来、処理部から排出された気体の流量は、排気路の途中に設けられた絞りの前後の圧力差に基づいて流量を測定する差圧式の流量計などを用いて把握していた。
一方で、排気管内を流れる流体中には反応性のミストが含まれる場合がある。この点、ヒータを用いた流量計では、ミストの反応が進行することを避けるためにヒータの温度制約が大きく、正確な流量測定を行うにあたっての障害となる。
前記排気路を流れる気体の流れと交差するように配置される受風面を備え、この受風面を介して気体から受ける力に応じて状態が変化する受風部材と、
前記受風部材の状態の変化量を検出し、当該変化量に応じた信号を出力するセンサ部と、
前記センサ部から出力された信号に基づき、前記排気路を流れる気体の流量を算出する流量算出部と、を備え、
前記受風部材は、この受風部材に働く重力方向と交差する方向へ向けて伸びる支軸によって、当該支軸回りに回転自在に支持され、前記センサ部は、前記受風部材の状態の変化量として、前記処理部から気体が排出されていないときのホームポジションからの前記支軸回りの受風部材の回転角を検出することと、
前記処理部から排出される気体には、受風面に付着する付着物となる物質が含まれ、前記受風面への付着物の付着により、当該受風面側の重量が増大したことに起因する前記ホームポジションからの支軸回りの受風部材の回転角を、前記処理部から気体が排出されていない期間中にセンサ部から取得して、当該受風部材への付着物の付着を検出する付着物検出部を備えたことと、を特徴とする。
(a)前記センサ部は、前記受風部材、または受風部材と一体に回転する前記支軸に取り付けられた加速度センサであること。
(b)前記受風部材の周囲に、当該受風部材の表面から離れるに連れて次第に温度が低くなる温度勾配を形成して付着物の付着を抑制するために、受風部材の加熱を行う受風部材加熱機構が設けられていること。
(c)前記受風部材に付着した付着物が除去される温度まで、当該受風部材を加熱するための受風部材加熱機構が設けられていること。
(d)(c)において、前記受風部材の温度を計測する受風部材温度計測部と、前記受風部材加熱機構により、予め設定された付着確認温度となるまで前記受風部材を加熱している期間中に、前記受風部材温度計測部により計測した受風部材の温度の経時変化プロファイルに基づいて、付着物の除去の要否を判断する判断部を備えたこと。
(f)前記処理部から排出される気体には、前記を構成する配管の内壁面に付着する付着物となる物質が含まれ、前記受風部材が配置されている領域の配管には、内壁面に付着した付着物が除去される温度まで、当該配管を加熱するための配管加熱機構が設けられていること。
(g)(f)において前記配管加熱機構により加熱されている領域の配管の温度を計測する配管温度計測部と、前記配管加熱機構により、予め設定された付着確認温度となるまで前記配管を加熱している期間中に、前記配管温度計測部により計測した配管の温度の経時変化プロファイルに基づいて、付着物の除去の要否を判断する判断部を備えたこと。
前記処理部から排気路へ排出される気体の流量を調節する排気量調節部と、
上述のいずれかの流量測定装置と、
前記排気量調節部を操作し、前記排気路へ排出される気体の流量を調節する制御部と、を備えたことを特徴とする。
(h)前記処理部と排気量調節部との組が複数けられ、
前記流量測定装置の受風部材は、前記複数の処理部から排出された気体が合流する合流排気路に設けられ、
前記制御部は、被処理体の処理を実行している処理部の数から予測される予測排気流量と、前記流量算出部にて算出された気体の流量との差に基づいて、いずれかの排気量調節部における排気量調節の異常を検出すること。
(i)以下の(1)〜(3)より選択された少なくとも1つの種類の処理部を備えたこと。
(1)被処理体を鉛直軸周りに回転自在に保持する保持機構と、前記保持機構に保持され被処理体の表面に液体を供給する液体供給機構と、前記保持部の周囲を囲むように配置され、回転する被処理体から振り切られた液体を受け止め、液体と気体とを分離して排出するカップ体と、を備えた液処理部。
(2)表面に塗布膜が形成された被処理体を加熱する加熱機構を備えた加熱処理部。
(3)表面に塗布膜が形成された被処理体に紫外線を照射する紫外線照射機構を備えた紫外線処理部。
初めに、本発明の流量測定装置の構成例及び受風部材を用いて気体の流量を測定する原理について図1〜図13を参照しながら説明する。
図1〜図3は、本例の受風部材である受風板21を備えた排気管(配管)3の一部破断斜視図、当該排気管3を気体の流れ方向の上流側から見た縦断正面図、及び前記流れ方向と直交する方向から見た縦断側面図である。また図4は受風板21の外観図である。
流量測定部2には受風板21が設けられている。受風板21は細長い薄板として構成され、その上方側の前面には、受風板21と直交するように配置された棒状の支軸22が固定ネジ221によって取り付けられている。受風板21の詳細な構成については後述する。
なお、受風板21を挿入する開口部33が形成されている台座部251(排気管3の上面側と一体となっている)には、受風板21から見て下流側の下面に、支軸22周りに回転する受風板21との干渉を避けるための傾斜面状の切り欠き部331が形成されている。
受風板21は、耐熱性、耐薬品性の高い樹脂、例えばPPS(ポリフェニレンスルファイド)樹脂により構成されている。受風板21は、排気管3内を気体が流れていないときに、支軸22に保持された状態にて重力方向に対する回転角θがゼロとなるように重心の位置が調整されている。本例では、傾斜センサ24を取り付けた重量とバランスする量だけ当該傾斜センサ24の取り付けた面(受風面210の反対側の面)が軽くなるように、当該面に凹部214を形成することにより重心位置の調整が行われている。
さらに、受風板ヒータ211で覆われた受風板21の表面は、ミストなど受風板21への付着物となる原因物質の付着を抑制するため、異物が付着しにくい特性を持つフッ素樹脂などによってコーティングされている。
排気管3に挿入された受風板21が、風速v[m/s]で排気管3内を流れる気体からの力を受けて、支軸22周りの回転角がθとなる位置まで移動した状態のとき、受風板21に対して働く力のバランスについて考える。
排気路30の断面積A[m2]は既知であるので、気体の流量Q[m3/s]は以下の(5)式により算出できる。
制御部8は、不図示のメモリなどに図6に示す回転角と風速との対応関係、または風速に基づいて算出した回転角と気体の風量との対応関係を記憶しておき、傾斜センサ24から取得した受風板21の回転角と、上記対応関係とを利用して排気管3内を流れる気体の流量を算出してもよい。
図7、図8を用いて説明した複数の目的に、受風板ヒータ211を使い分ける手法として、通常時においては原因物質Pの付着を抑制する温度まで受風板21を加熱した状態としておき(図7)、付着物P’の付着量が予め設定した量を超えたとき、加熱温度を除去温度まで上昇させる(図8)場合が考えられる。
図9は、受風板ヒータ211による加熱温度をステップ的に変化させたときに温度センサ212にて検出される受風板21の温度の経時変化プロファイルを利用する手法を示している。
受風板21を加熱したときの温度の経時変化プロファイルに基づいて付着物P’の付着を検出し、付着物P’の除去操作の要否を判断する動作は、制御部8によって行われる。この観点において制御部8は、付着物P’の除去の要否判断を行う判断部に相当している。
例えば、受風板ヒータ211により、受風板21を原因物質Pの付着を抑制する温度まで加熱しておき、図9や図10を用いて説明した手法にて付着物P’の付着を検出したら、流量測定部2を分解して受風板21の清掃を行ってもよい。
排気管3の内壁面に付着物P’が付着していない状態を維持することにより、排気路30の断面積Aを一定に保ち、(5)式に基づく気体の流量Qの算出を正確に行うことができる。
例えば図11に示す流量測定部2aは、垂直方向下方側から上方側へ向けて気体が流れるように配置された排気管3に設けられている。当該排気管3を流れる気体の流量についても、気体から受風板21が受ける力と、受風板21に働く重力との釣り合いに応じて決定される受風板21の回転角θに基づいて算出することができる。従って、傾斜センサ24を用いて当該回転角を検出することにより、排気管3内を上昇する気体の流量を測定することができる。なお、図11中に示すストッパー26は、排気管3内を気体が流れていない状態にて、受風板21がホームポジション(同図中、実線で示してある)に位置するよう受風板21を支える部材である。
また、以下の説明に用いる各図において、既述の図1〜図10に示したものと共通の構成要素には、これらの図に用いたものと共通の符号が付してある。
図13に示す受風板21aの一面側、本例では受風面210の反対側の面には、受風板21aの変形量を検出するセンサ部として、公知のひずみゲージや圧電素子からなり、受風板21aと一体となって変形する歪みセンサ27が設けられている。
以上、図1〜図13を参照しながら本実施の形態の流量測定装置の構成例及び受風板21の状態の変化量に基づく気体の流量の算出法について説明した。次いで、ウエハWの処理部を備える処理装置に当該流量測定装置を適用した例について説明する。
以下、図14〜図20を用いて説明する例は、処理部として、ウエハWに対して塗布膜の原料となる塗布液などの供給を行う液処理部4a〜4dと、塗布膜などが形成されたウエハWの熱処理を行う熱処理部5a〜5cとを備える塗布、現像装置1に対して、本発明の流量測定装置を設置した場合を示している。
キャリアブロックD1は、キャリアCを塗布、現像装置1に対して接続、離脱させる載置台171と、キャリアCの蓋の開閉を行う開閉部172と、開閉部172を介してキャリアCからウエハWを搬送する移載機構173とを備えている。
当該塗布、現像装置1における各機器の動作制御についても既述の制御部8により実行される。
以上に概要を説明した塗布、現像装置1において、BCT層E1、E2の反射防止膜形成モジュール、COT層E3、E4のレジスト塗布モジュール12A、12B及び保護膜形成モジュールITC、DEV層E5、E6の現像モジュールは、既述のように、ウエハWに供給する液体が異なることを除き同様の液処理モジュール4として構成されている。
当該ダウンフローの一部は、各カップ体41に取り込まれ、既述の排気口453を介して個別排気路45に排気される。この個別排気路45には排気量調節部451が介設されており、排気量調節部451の内部には、液処理部4a〜4dより排出される気体の排出量の調節を実行するダンパ452が設けられている。
そして、各単位ブロックE1〜E6に設けられている液処理モジュール4では、これら複数の液処理部4a〜4dに対して共通の液処理部側流量測定部2Aを用いて気体の流量の測定を行っている。
QE=nEH+(4−n)EL …(6)
一方で、1台の液処理部4a〜4dのみでウエハWに対する液体の供給が行われている期間中(n=1)、液処理部側流量測定部2Aにて測定された実排気量Qが「Q<EH+3EL」である場合には、当該液体の供給が行われている液処理部4a〜4dの個別排気路45などで詰まりなどが発生し、排気量低下が発生していることが把握できる。これらダンパ452にて開度調節異常や個別排気路45にて排気量低下が発生していることの判断は、制御部8にて行われる。また、前記実排気量Qが予測排気量QEからずれている場合に、このずれが解消される方向に、ずれの原因となっているダンパ452の開度を調節してもよい。
(熱処理モジュール)
例えば図19は、塗布膜であるレジスト膜が表面に形成されたウエハWの加熱処理を行う複数の熱処理部5a〜5cが設けられた熱処理モジュール5(棚ユニットU)における気体の排気系統を示している。
従って、単位ブロックE1〜E6の熱処理モジュール5においても、各モジュール排気路3bは共通の工場排気36に接続されているので、各熱処理部5a〜5cの排気量は、制御部8からの制御信号に基づいて、排気量調節部561のダンパ562の開度を切り替えることにより調節される点は、既述の液処理モジュール4と同様である。
なお、m個の熱処理部5a〜5cが設けられている熱処理モジュール5においては、既述の(6)式は以下の(6)’に修正される。
QE=nEH+(m−n)EL …(6)’
これに対して従来の超音波流量計は、高排気量領域(排気管3内の風速が高くなる領域)となるほど流量測定が困難になることが知られている。一方で図20に示した各流量測定部2A、2B、2Cは、後述の実施例にも示すように、予め把握した流量測定範囲に基づいて適切な形状や重量を有する受風板21を選択することによって、高排気量領域を含む幅広い流量範囲で正確な流量測定を行うことができる。
A.実験条件
模擬の排気路30を構成する排気管3の下流端に、開度調節可能なバルブと、排気管3内の排気を行う送風ファンとをこの順で設置し、バルブの上流側に図1〜図4に示した構成の流量測定部2と、検証用の羽根車式の流速計とを設けた。送風ファンを稼働させバルブの開度を増減することにより排気管3内を流れる気体の流量を調節しながら、傾斜センサ24にて流量測定部2の傾き(x軸方向、y軸方向)を検出した結果に基づいて風速(指示風速)を算出すると共に、検証用の流速計による風速(実風速)測定を行った。
検証用の流速計による実風速の測定結果と、流量測定部2の傾きに基づいて算出した指示風速との対応関係を図21に示す。図21の横軸は、実風速の測定結果を示し、縦軸は指示風速の値を示している。図中、傾斜センサ24のx軸方向の出力に基づいて算出した指示風速は、バツ印(×)でプロットし、y軸方向の出力に基づいて算出した指示風速は、白抜きの四角(□)でプロットしてある。また、実風速と指示風速とが一致した場合の参照ラインを破線で併記してある。
従って、流量測定部2を用いて気体の流量を測定するにあたっては、受風板21の形状や重量などに応じて有効な流量測定範囲を予め把握しておき、排気管3を流れる気体の設計上の流量範囲などに基づいて、適切な受風板21を選択することが重要であることが分かる。
1 塗布、現像装置
2、2a、2b
流量測定部
21 受風板
210 受風面
211 受風板ヒータ
212 温度センサ
22 支軸
24 傾斜センサ
27 歪みセンサ
3 排気管
31 排気管ヒータ
32 温度センサ
4a〜4d 液処理部
45 個別排気路
451 排気量調節部
5a〜5c 熱処理部
56 個別排気路
561 排気量調節部
8 制御部
Claims (11)
- 被処理体に対する処理が行われる処理部から排出され、排気路を流れる気体の流量を測定する流量測定装置において、
前記排気路を流れる気体の流れと交差するように配置される受風面を備え、この受風面を介して気体から受ける力に応じて状態が変化する受風部材と、
前記受風部材の状態の変化量を検出し、当該変化量に応じた信号を出力するセンサ部と、
前記センサ部から出力された信号に基づき、前記排気路を流れる気体の流量を算出する流量算出部と、を備え、
前記受風部材は、この受風部材に働く重力方向と交差する方向へ向けて伸びる支軸によって、当該支軸回りに回転自在に支持され、前記センサ部は、前記受風部材の状態の変化量として、前記処理部から気体が排出されていないときのホームポジションからの前記支軸回りの受風部材の回転角を検出することと、
前記処理部から排出される気体には、受風面に付着する付着物となる物質が含まれ、前記受風面への付着物の付着により、当該受風面側の重量が増大したことに起因する前記ホームポジションからの支軸回りの受風部材の回転角を、前記処理部から気体が排出されていない期間中にセンサ部から取得して、当該受風部材への付着物の付着を検出する付着物検出部を備えたことと、を特徴とする流量測定装置。 - 前記センサ部は、前記受風部材、または受風部材と一体に回転する前記支軸に取り付けられた加速度センサであることを特徴とする請求項1に記載の流量測定装置。
- 前記受風部材の周囲に、当該受風部材の表面から離れるに連れて次第に温度が低くなる温度勾配を形成して付着物の付着を抑制するために、受風部材の加熱を行う受風部材加熱機構が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の流量測定装置。
- 前記受風部材に付着した付着物が除去される温度まで、当該受風部材を加熱するための受風部材加熱機構が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の流量測定装置。
- 前記受風部材の温度を計測する受風部材温度計測部と、
前記受風部材加熱機構により、予め設定された付着確認温度となるまで前記受風部材を加熱している期間中に、前記受風部材温度計測部により計測した受風部材の温度の経時変化プロファイルに基づいて、付着物の除去の要否を判断する判断部を備えたことを特徴とする請求項4に記載の流量測定装置。 - 前記処理部から排出される気体には、前記排気路を構成する配管の内壁面に付着する付着物となる物質が含まれ、
前記配管の内壁面から離れるに連れて次第に温度が低くなる温度勾配を形成して付着物の付着を抑制するために、前記受風部材が配置されている領域の配管の加熱を行う配管加熱機構が設けられていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の流量測定装置。 - 前記処理部から排出される気体には、前記を構成する配管の内壁面に付着する付着物となる物質が含まれ、
前記受風部材が配置されている領域の配管には、内壁面に付着した付着物が除去される温度まで、当該配管を加熱するための配管加熱機構が設けられていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載の流量測定装置。 - 前記配管加熱機構により加熱されている領域の配管の温度を計測する配管温度計測部と、
前記配管加熱機構により、予め設定された付着確認温度となるまで前記配管を加熱している期間中に、前記配管温度計測部により計測した配管の温度の経時変化プロファイルに基づいて、付着物の除去の要否を判断する判断部を備えたことを特徴とする請求項7に記載の流量測定装置。 - 被処理体に対する処理を行う処理部と、
前記処理部から排気路へ排出される気体の流量を調節する排気量調節部と、
請求項1ないし8のいずれか一つに記載の流量測定装置と、
前記排気量調節部を操作し、前記排気路へ排出される気体の流量を調節する制御部と、を備えたことを特徴とする処理装置。 - 前記処理部と排気量調節部との組が複数けられ、
前記流量測定装置の受風部材は、前記複数の処理部から排出された気体が合流する合流排気路に設けられ、
前記制御部は、被処理体の処理を実行している処理部の数から予測される予測排気流量と、前記流量算出部にて算出された気体の流量との差に基づいて、いずれかの排気量調節部における排気量調節の異常を検出することを特徴とする請求項9に記載の処理装置。 - 以下の(1)〜(3)より選択された少なくとも1つの種類の処理部を備えたことを特徴とする請求項9または10に記載の処理装置。
(1)被処理体を鉛直軸周りに回転自在に保持する保持機構と、前記保持機構に保持され被処理体の表面に液体を供給する液体供給機構と、前記保持部の周囲を囲むように配置され、回転する被処理体から振り切られた液体を受け止め、液体と気体とを分離して排出するカップ体と、を備えた液処理部。
(2)表面に塗布膜が形成された被処理体を加熱する加熱機構を備えた加熱処理部。
(3)表面に塗布膜が形成された被処理体に紫外線を照射する紫外線照射機構を備えた紫外線処理部。
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