JP6340486B2 - ワイヤーソーイング装置 - Google Patents
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Description
発明の実施のための形態
実施例によるワイヤーソーイング装置はワイヤーでインゴットをソーイングしてウエハーを製造する装置に利用可能である。
Claims (20)
- インゴットを切断するワイヤー;
前記インゴットを前記ワイヤーに運送するインゴット運送部;
前記ワイヤーにスラリーを供給するノズル;及び
前記ワイヤーによってソーイングされる前記インゴットの上側部に配置され、前記ワイヤーによって切断される前記インゴットの側面から飛散するスラリーの少なくとも一部を収集し、前記飛散したスラリーを収集するメッシュ(mesh)構造を有する飛散スラリー遮断部を含む、ワイヤーソーイング装置。 - 前記飛散スラリー遮断部は、
前記インゴット運送部を支持する支持面に付着された上部;及び
前記飛散したスラリーを収集する少なくとも一つのメッシュプレートを含み、前記上部に着脱可能な形状を有する一体部を含む、請求項1に記載のワイヤーソーイング装置。 - 前記飛散スラリー遮断部は、
前記インゴット運送部を支持する支持面に付着された上部;
前記飛散したスラリーを収集する少なくとも一つのメッシュプレートを含む下部;及び
前記上部と前記下部の間にある側部を含む、請求項1に記載のワイヤーソーイング装置。 - 前記上部と前記側部はネジで結合され、前記下部と前記側部は一体型である、請求項3に記載のワイヤーソーイング装置。
- 前記飛散スラリー遮断部は、前記上部、前記側部及び前記下部によって規定されて、前記飛散したスラリーを貯蔵するスラリー収容空間を含み、
前記飛散したスラリーが前記スラリー収容空間に流入することを許す開口を挟んで前記飛散スラリー遮断部の前記下部が前記インゴットから離隔する、請求項3又は4に記載のワイヤーソーイング装置。 - 前記下部のボトムと前記インゴットのトップの間の離隔距離は1cm〜2cmである、請求項3〜5のいずれか一項に記載のワイヤーソーイング装置。
- 前記飛散スラリー遮断部は、前記スラリー収容空間に貯蔵されたスラリーを前記ワイヤー運動する方向と直交する方向に排出する排出口をさらに含む、請求項5に記載のワイヤーソーイング装置。
- 前記少なくとも一つのメッシュプレートは互いに積層した複数のメッシュプレートを含み、
前記複数のメッシュプレートのオープニングの大きさは前記ワイヤーから遠くなるほど小さくなる、請求項3〜7のいずれか一項に記載のワイヤーソーイング装置。 - 前記飛散スラリー遮断部は着脱可能である、請求項3〜8のいずれか一項に記載のワイヤーソーイング装置。
- 前記飛散スラリー遮断部の上部は前記支持面に固定され、
前記飛散スラリー遮断部の側部又は下部の少なくとも一つは前記上部に着脱可能な形状を有する、請求項9に記載のワイヤーソーイング装置。 - 前記飛散スラリー遮断部の前記下部は前記インゴットに向かって内側に行くほど傾く、請求項3〜10のいずれか一項に記載のワイヤーソーイング装置。
- 前記下部の傾斜角は7°〜10°である、請求項11に記載のワイヤーソーイング装置。
- 前記飛散スラリー遮断部のボトムは前記ワイヤーより高く位置する、請求項1〜12のいずれか一項に記載のワイヤーソーイング装置。
- 前記飛散スラリー遮断部は前記ワイヤーが進入する部分と進出する部分の両側にそれぞれ配置される、請求項1〜13のいずれか一項に記載のワイヤーソーイング装置。
- 前記飛散スラリー遮断部は前記インゴットの長手方向に前記インゴットと平行に配置される、請求項1〜14のいずれか一項に記載のワイヤーソーイング装置。
- 前記インゴット運送部は、
前記インゴットを前記ワイヤーに向けて下ろすフィードテーブル;
前記インゴットを前記フィードテーブルに固定させるホルダー;及び
前記ホルダーと前記インゴットを連結するビーム部を含む、請求項1〜15のいずれか一項に記載のワイヤーソーイング装置。 - 前記ワイヤーソーイング装置は、
前記ワイヤーを巻き取って前記ワイヤーを案内する溝を有するワイヤーローラー;
前記ノズルに供給されるスラリーを収容するスラリータンク;
前記ノズルから出射されて前記インゴットのソーイングに使用されたスラリーを収容するスラリー槽;
前記インゴットをソーイングすべきワイヤーを巻き取る第1ボビン;
前記インゴットをソーイングしたワイヤーを巻き取る第2ボビン;及び
前記ワイヤーの進行経路を変更する少なくとも一つのプーリーをさらに含む、請求項1〜16のいずれか一項に記載のワイヤーソーイング装置。 - 前記上部と側部はネジで結合され、前記下部と前記側部は互いに分離されており、連結部材によって互いに連結される、請求項3に記載のワイヤーソーイング装置。
- 前記複数のメッシュプレートは前記インゴット運送部が前記インゴットを前記ワイヤーに運送する方向に積層される、請求項8に記載のワイヤーソーイング装置。
- 前記複数のメッシュプレートに含まれたオープニングの数は前記ワイヤーから遠くなるほど増加する、請求項8に記載のワイヤーソーイング装置。
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