JP6336826B2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6336826B2 JP6336826B2 JP2014116279A JP2014116279A JP6336826B2 JP 6336826 B2 JP6336826 B2 JP 6336826B2 JP 2014116279 A JP2014116279 A JP 2014116279A JP 2014116279 A JP2014116279 A JP 2014116279A JP 6336826 B2 JP6336826 B2 JP 6336826B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- wiring
- lower electrode
- film
- upper electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 255
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 204
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 106
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 60
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 40
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 33
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 17
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 14
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 14
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 description 71
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 61
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 59
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 44
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 44
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 29
- 230000008569 process Effects 0.000 description 29
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 25
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 22
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 16
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 11
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 9
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 7
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 7
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 3
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/532—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body characterised by the materials
- H01L23/53204—Conductive materials
- H01L23/53209—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides
- H01L23/53214—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides the principal metal being aluminium
- H01L23/53223—Additional layers associated with aluminium layers, e.g. adhesion, barrier, cladding layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/532—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body characterised by the materials
- H01L23/53204—Conductive materials
- H01L23/53209—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides
- H01L23/53214—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides the principal metal being aluminium
- H01L23/53219—Aluminium alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14636—Interconnect structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/06—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration
- H01L27/0611—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region
- H01L27/0617—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region comprising components of the field-effect type
- H01L27/0629—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region comprising components of the field-effect type in combination with diodes, or resistors, or capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Geometry (AREA)
Description
<半導体装置の構造について>
本実施の形態の半導体装置は、MIM(Metal Insulator Metal)型の容量素子を有する半導体装置である。MIM型の容量素子は、半導体基板上の層間絶縁膜上に形成できるので、容量素子の下方に種々の素子(例えばトランジスタなど)を形成することも可能であり、チップ面積の縮小を図るには有利である。
次に、本実施の形態の半導体装置の製造工程を、図面を参照して説明する。図3〜図24は、本実施の形態の半導体装置の製造工程中の要部断面図である。
図25は、本発明者が検討した検討例の半導体装置の要部断面図であり、上記図24に相当する断面図が示されている。図面の簡略化のために、図25では、上記層間絶縁膜L2およびそれよりも下層の構造については、図示を省略し、また、上記層間絶縁膜L5についても、図示を省略している。
本実施の形態の半導体装置は、半導体基板SBと、半導体基板SB上に形成された層間絶縁膜L3(第1層間絶縁膜)と、層間絶縁膜L3上に互いに離間して形成された配線M3(第1配線)および下部電極LEと、層間絶縁膜L3上に下部電極LEを覆うように形成された上部電極UEと、下部電極LEと上部電極UEとの間に介在する容量絶縁膜YZと、を有している。下部電極LEは、容量素子CP用の下部電極であり、上部電極UEは、容量素子CP用の上部電極であり、容量絶縁膜YZは、容量素子CP用の容量絶縁膜である。更に、本実施の形態の半導体装置は、層間絶縁膜L3上に、配線M3、下部電極LE、容量絶縁膜YZおよび上部電極UEを覆うように形成された層間絶縁膜L4(第2層間絶縁膜)と、層間絶縁膜L4に埋め込まれたプラグP4c(第3コンタクトプラグ)であって、配線M3上に配置されて配線M3に電気的に接続されたプラグP4cと、を有している。
図26は、本実施の形態2の半導体装置の要部断面図であり、上記実施の形態1の上記図1に対応するものである。図27は、本実施の形態2の半導体装置の要部平面図であり、上記実施の形態1の上記図2に対応するものである。
図30は、本実施の形態3の半導体装置の要部断面図であり、上記実施の形態1の上記図1に対応するものである。図31は、本実施の形態3の半導体装置の要部平面図であり、上記実施の形態1の上記図2に対応するものである。
図36は、本実施の形態4の半導体装置の要部断面図であり、上記実施の形態1の上記図1に対応するものである。図37は、本実施の形態4の半導体装置の要部平面図であり、上記実施の形態1の上記図2に対応するものである。
図38〜図45は、本実施の形態5の半導体装置の製造工程中の要部断面図である。図38は、上記実施の形態1の上記図12と同じ工程段階に対応し、図39は、上記図13と同じ工程段階に対応し、図40は、上記図14と同じ工程段階に対応し、図41は、上記図15と同じ工程段階に対応している。また、図42は、上記実施の形態1の上記図16と同じ工程段階に対応し、図43は、上記図17と同じ工程段階に対応し、図44は、上記図19と同じ工程段階に対応し、図45は、上記図24と同じ工程段階に対応している。
B1a,B2a,B3a,B4a バリア導体膜
B1b,B2b,B3b,B4b バリア導体膜
C1,C2,C3,C4 主導体膜
CD1,CD2,CD3,CD4,CDLE 導電膜
CP,CP101 容量素子
CZ キャップ絶縁膜
DI フォトダイオード
GI ゲート絶縁膜
GS,GT ゲート電極
L1,L2,L3,L4,L5 絶縁膜
LE,LE101 下部電極
LYZ 絶縁膜
M1,M2,M3,M4 配線
NR n型半導体領域
NW n型半導体領域
P1,P2,P3,P4 プラグ
P3a,3b,P3c,P3d,P4a,P4c プラグ
P104a,P104b,P104c プラグ
PR p+型半導体領域
PW1,PW2 p型ウエル
Q1 画素トランジスタ
RP1,RP2,RP3 フォトレジストパターン
RST 抵抗素子
S1,S2,S3,S4 スルーホール
SB 半導体基板
SD ソース・ドレイン領域
ST 素子分離領域
SW サイドウォールスペーサ
TB 凸部
TX 転送トランジスタ
UE,UE101 上部電極
YZ,YZ101 容量絶縁膜
YZ2 キャップ絶縁膜
Claims (14)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された第1層間絶縁膜と、
前記第1層間絶縁膜上に、互いに離間して形成された抵抗素子、第1配線および容量素子用の下部電極と、
前記第1層間絶縁膜上に、前記下部電極の少なくとも一部を覆うように形成された、前記容量素子用の上部電極と、
前記下部電極を覆い、かつ、前記下部電極と前記上部電極との間に介在する、前記容量素子用の容量絶縁膜と、
前記第1層間絶縁膜上に、前記容量絶縁膜とは離間し、かつ、前記抵抗素子を覆うように形成されたキャップ絶縁膜と、
前記第1層間絶縁膜上に、前記抵抗素子、前記キャップ絶縁膜、前記第1配線、前記下部電極、前記容量絶縁膜および前記上部電極を覆うように形成された第2層間絶縁膜と、
前記第1層間絶縁膜に埋め込まれた第1コンタクトプラグであって、前記下部電極の下に配置されて前記下部電極と電気的に接続された前記第1コンタクトプラグと、
前記第2層間絶縁膜に埋め込まれた第2コンタクトプラグであって、前記上部電極上に配置されて前記上部電極と電気的に接続された前記第2コンタクトプラグと、
前記第2層間絶縁膜に埋め込まれた第3コンタクトプラグであって、前記第1配線上に配置されて前記第1配線に電気的に接続された前記第3コンタクトプラグと、
前記第1層間絶縁膜に埋め込まれた第4コンタクトプラグであって、前記抵抗素子の下に配置されて前記抵抗素子と電気的に接続された前記第4コンタクトプラグと、
を有し、
前記第1配線と前記上部電極とは、同層の導電膜パターンにより形成されており、
前記抵抗素子と前記下部電極とは、同層の導電膜パターンにより形成されており、
前記キャップ絶縁膜と前記容量絶縁膜とは、同層の絶縁膜パターンにより形成されており、
平面視において、前記下部電極は、前記容量絶縁膜に内包され、
平面視において、前記抵抗素子は、前記キャップ絶縁膜に内包され、
前記第2コンタクトプラグは、前記下部電極と平面視で重ならない部分の前記上部電極上に配置されており、
平面視において、前記下部電極と重なる部分の前記上部電極上には、前記第2層間絶縁膜に埋め込まれて前記上部電極に接続されるコンタクトプラグは形成されておらず、
前記抵抗素子上には、前記第2層間絶縁膜に埋め込まれて前記抵抗素子に接続されるコンタクトプラグは形成されていない、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第1配線は、アルミニウムを主成分とするアルミニウム配線であり、
前記下部電極は、アルミニウムの融点よりも高い融点を有する材料からなる、半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記下部電極は、窒化チタン膜、チタン膜、窒化タンタル膜、またはタンタル膜からなる、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第1配線および前記上部電極は、それぞれ、第1窒化チタン膜と、前記第1窒化チタン膜上のアルミニウムを主成分とする主導体膜と、前記主導体膜上の第2窒化チタン膜との積層膜からなり、
前記下部電極は、窒化チタン膜からなる、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
平面視において、前記容量絶縁膜は前記上部電極に内包されている、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
平面視において、前記下部電極は、前記上部電極に重なる部分と重ならない部分とを有し、
平面視において、前記上部電極と重ならない部分の前記下部電極上には、前記第2層間絶縁膜に埋め込まれて前記下部電極に接続されるコンタクトプラグは形成されていない、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記下部電極の厚みは、前記第1配線の厚みよりも小さい、半導体装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された第1層間絶縁膜と、
前記第1層間絶縁膜上に、互いに離間して形成された抵抗素子、第1配線および容量素子用の下部電極と、
前記第1層間絶縁膜上に、前記下部電極の少なくとも一部を覆うように形成された、前記容量素子用の上部電極と、
前記下部電極を覆い、かつ、前記下部電極と前記上部電極との間に介在する、前記容量素子用の容量絶縁膜と、
前記第1層間絶縁膜上に、前記容量絶縁膜とは離間し、かつ、前記抵抗素子を覆うように形成されたキャップ絶縁膜と、
前記第1層間絶縁膜上に、前記抵抗素子、前記キャップ絶縁膜、前記第1配線、前記下部電極、前記容量絶縁膜および前記上部電極を覆うように形成された第2層間絶縁膜と、
前記第1層間絶縁膜に埋め込まれた第1コンタクトプラグであって、前記下部電極の下に配置されて前記下部電極と電気的に接続された前記第1コンタクトプラグと、
前記第1層間絶縁膜に埋め込まれた第2コンタクトプラグであって、前記上部電極の下に配置されて前記上部電極と電気的に接続された前記第2コンタクトプラグと、
前記第2層間絶縁膜に埋め込まれた第3コンタクトプラグであって、前記第1配線上に配置されて前記第1配線に電気的に接続された前記第3コンタクトプラグと、
前記第1層間絶縁膜に埋め込まれた第4コンタクトプラグであって、前記抵抗素子の下に配置されて前記抵抗素子と電気的に接続された前記第4コンタクトプラグと、
を有し、
前記第1配線と前記上部電極とは、同層の導電膜パターンにより形成されており、
前記抵抗素子と前記下部電極とは、同層の導電膜パターンにより形成されており、
前記キャップ絶縁膜と前記容量絶縁膜とは、同層の絶縁膜パターンにより形成されており、
平面視において、前記下部電極は、前記容量絶縁膜に内包され、
平面視において、前記抵抗素子は、前記キャップ絶縁膜に内包され、
前記第2コンタクトプラグは、前記下部電極と平面視で重ならない部分の前記上部電極の下に配置されており、
平面視において、前記下部電極と重なる部分の前記上部電極上には、前記第2層間絶縁膜に埋め込まれて前記上部電極に接続されるコンタクトプラグは形成されておらず、
前記抵抗素子上には、前記第2層間絶縁膜に埋め込まれて前記抵抗素子に接続されるコンタクトプラグは形成されていない、半導体装置。 - 請求項8に記載の半導体装置において、
前記第1配線は、アルミニウムを主成分とするアルミニウム配線であり、
前記下部電極は、アルミニウムの融点よりも高い融点を有する材料からなる、半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
前記下部電極は、窒化チタン膜、チタン膜、窒化タンタル膜、またはタンタル膜からなる、半導体装置。 - 請求項8に記載の半導体装置において、
前記第1配線および前記上部電極は、それぞれ、第1窒化チタン膜と、前記第1窒化チタン膜上のアルミニウムを主成分とする主導体膜と、前記主導体膜上の第2窒化チタン膜との積層膜からなり、
前記下部電極は、窒化チタン膜からなる、半導体装置。 - 請求項8に記載の半導体装置において、
平面視において、前記容量絶縁膜は前記上部電極に内包されている、半導体装置。 - 請求項8に記載の半導体装置において、
平面視において、前記下部電極は、前記上部電極に重なる部分と重ならない部分とを有し、
平面視において、前記上部電極と重ならない部分の前記下部電極上には、前記第2層間絶縁膜に埋め込まれて前記下部電極に接続されるコンタクトプラグは形成されていない、半導体装置。 - 請求項8に記載の半導体装置において、
前記下部電極の厚みは、前記第1配線の厚みよりも小さい、半導体装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014116279A JP6336826B2 (ja) | 2014-06-04 | 2014-06-04 | 半導体装置 |
TW104114799A TW201608690A (zh) | 2014-06-04 | 2015-05-08 | 半導體裝置 |
US14/711,471 US20150357400A1 (en) | 2014-06-04 | 2015-05-13 | Semiconductor device |
KR1020150067834A KR20150139772A (ko) | 2014-06-04 | 2015-05-15 | 반도체장치 |
CN201510300351.9A CN105321931A (zh) | 2014-06-04 | 2015-06-03 | 半导体器件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014116279A JP6336826B2 (ja) | 2014-06-04 | 2014-06-04 | 半導体装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015230959A JP2015230959A (ja) | 2015-12-21 |
JP2015230959A5 JP2015230959A5 (ja) | 2016-12-15 |
JP6336826B2 true JP6336826B2 (ja) | 2018-06-06 |
Family
ID=54770234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014116279A Expired - Fee Related JP6336826B2 (ja) | 2014-06-04 | 2014-06-04 | 半導体装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20150357400A1 (ja) |
JP (1) | JP6336826B2 (ja) |
KR (1) | KR20150139772A (ja) |
CN (1) | CN105321931A (ja) |
TW (1) | TW201608690A (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6356536B2 (ja) * | 2014-08-25 | 2018-07-11 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US20170170215A1 (en) | 2015-12-15 | 2017-06-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device structure with anti-acid layer and method for forming the same |
CN108962879A (zh) * | 2017-05-22 | 2018-12-07 | 联华电子股份有限公司 | 电容器及其制造方法 |
KR102591627B1 (ko) * | 2018-08-17 | 2023-10-20 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 |
CN111211092B (zh) * | 2018-11-22 | 2023-02-17 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 | 半导体结构及其形成方法 |
US10910304B2 (en) * | 2019-01-24 | 2021-02-02 | Globalfoundries U.S. Inc. | Tight pitch wirings and capacitor(s) |
CN113192929B (zh) * | 2020-01-14 | 2023-07-25 | 联华电子股份有限公司 | 电阻式存储器结构及其制作方法 |
US11587865B2 (en) * | 2020-06-15 | 2023-02-21 | Semiconductor Device Including Capacitor And Resistor | Semiconductor device including capacitor and resistor |
TWI730868B (zh) * | 2020-08-06 | 2021-06-11 | 力晶積成電子製造股份有限公司 | 互補式金氧半導體影像感測器 |
KR20220159521A (ko) | 2021-05-25 | 2022-12-05 | 삼성전자주식회사 | 금속-절연체-금속 커패시터 |
US11894297B2 (en) * | 2021-07-29 | 2024-02-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Metal-insulator-metal capacitor having electrodes with increasing thickness |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3104843B2 (ja) * | 1994-08-19 | 2000-10-30 | 川崎製鉄株式会社 | アンチヒューズ型半導体集積回路装置 |
JP3853406B2 (ja) * | 1995-10-27 | 2006-12-06 | エルピーダメモリ株式会社 | 半導体集積回路装置及び当該装置の製造方法 |
JP3516593B2 (ja) * | 1998-09-22 | 2004-04-05 | シャープ株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
TW454330B (en) * | 1999-05-26 | 2001-09-11 | Matsushita Electronics Corp | Semiconductor apparatus and its manufacturing method |
JP3843708B2 (ja) * | 2000-07-14 | 2006-11-08 | 日本電気株式会社 | 半導体装置およびその製造方法ならびに薄膜コンデンサ |
JP3746979B2 (ja) * | 2001-10-03 | 2006-02-22 | 富士通株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003282726A (ja) * | 2002-03-27 | 2003-10-03 | Nec Electronics Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2004303908A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2006253268A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
KR100735521B1 (ko) * | 2005-10-19 | 2007-07-04 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
JP2008227344A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Nec Electronics Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2008114418A1 (ja) * | 2007-03-20 | 2008-09-25 | Fujitsu Microelectronics Limited | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2008311606A (ja) * | 2007-05-17 | 2008-12-25 | Panasonic Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2014
- 2014-06-04 JP JP2014116279A patent/JP6336826B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-05-08 TW TW104114799A patent/TW201608690A/zh unknown
- 2015-05-13 US US14/711,471 patent/US20150357400A1/en not_active Abandoned
- 2015-05-15 KR KR1020150067834A patent/KR20150139772A/ko unknown
- 2015-06-03 CN CN201510300351.9A patent/CN105321931A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150139772A (ko) | 2015-12-14 |
US20150357400A1 (en) | 2015-12-10 |
JP2015230959A (ja) | 2015-12-21 |
CN105321931A (zh) | 2016-02-10 |
TW201608690A (zh) | 2016-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6336826B2 (ja) | 半導体装置 | |
US10804304B2 (en) | Image sensors | |
US8274101B2 (en) | CMOS image sensor with heat management structures | |
US10566373B2 (en) | Solid state image sensor and manufacturing method thereof | |
JP5991739B2 (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法、ならびにカメラ | |
US11508771B2 (en) | Image sensors | |
US10411058B2 (en) | Semiconductor apparatus, system, and method of producing semiconductor apparatus | |
JP6246664B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US10892291B2 (en) | Bonding pad architecture using capacitive deep trench isolation (CDTI) structures for electrical connection | |
JP6700811B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
US20200185445A1 (en) | Semiconductor device | |
US10068941B2 (en) | Image pickup device and method for manufacturing the same | |
JP6083572B2 (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法 | |
TW201943090A (zh) | 電子器件 | |
US20220310676A1 (en) | Image sensor | |
US20160156817A1 (en) | Manufacturing method of imaging apparatus, imaging apparatus, and imaging system | |
JP5968481B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010157712A (ja) | イメージセンサ及びその製造方法 | |
JP2009283503A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US10186541B2 (en) | Semiconductor devices | |
KR20100052617A (ko) | 이미지 센서의 제조 방법 | |
US11257857B2 (en) | Image sensors including photoelectric conversion devices, trench, supporter, and isolation layer | |
JP2015023150A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6087107B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
TW201005933A (en) | Image sensor and method for manufacturing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161027 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161027 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170926 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180417 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6336826 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |