JP6083572B2 - 固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態に係る固体撮像装置について図1と図2を参照しながら説明する。
次に、本実施形態の変形例の固体撮像装置について説明する。
B 遮光部
C 周辺回路部
D 第1の除去領域
E 第2の除去領域
1 半導体基板
2 n型層
3 p型層
4 ゲート絶縁膜
5 ゲート電極
6 下層絶縁膜
7 下地絶縁膜
8 第1の層間絶縁膜
9 第1の内部配線
10 第1のライナ膜
11 第2の層間絶縁膜
12 第2の内部配線
13 第2のライナ膜
14 第3の層間絶縁膜
15 第3の内部配線
16 第3のライナ膜
17 凹部
18 第1の埋め込み層
19 第2の埋め込み層
20 コンタクトホール
21 パッド電極
22 遮光膜
23 第3の絶縁膜
24 絶縁膜
25 遮光膜溝
26 パッド電極溝
27 隔壁溝
28 パッド開口部
29a 青色フィルタ
29b 赤色フィルタ
30 マイクロレンズ
31 コンタクトホール
32 下部電極
33 光電変換膜
34 上部電極
35 第1の保護膜
36 第2の保護膜
40 フォトダイオード
50 第1の絶縁膜
60 第2の絶縁膜
70 光電変換素子
Claims (16)
- 入射する光の光電変換を行う画素部を有する固体撮像装置であって、
半導体基板と、
前記半導体基板の上に形成された第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜の上に形成された第3の絶縁膜とを備え、
前記画素部では、
前記第2の絶縁膜の上に、複数のカラーフィルタが形成され、
隣接する前記カラーフィルタ同士の間には、前記第3の絶縁膜の一部からなる隔壁が挿設され、
前記画素部の外側の領域では、
前記第2の絶縁膜の上に、少なくとも一部が前記第3の絶縁膜に覆われるように導電膜が形成され、
前記第3の絶縁膜は、前記導電膜または前記第2の絶縁膜により生じた段差を低減する膜である
固体撮像装置。 - さらに、
前記半導体基板と前記第2の絶縁膜の間に第1の絶縁膜を備え、
前記画素部では、
前記半導体基板に複数のフォトダイオードが形成されており、
前記第1の絶縁膜は、前記複数のフォトダイオードの各々の上方に位置する部分に凹部を有し、
前記第2の絶縁膜は前記凹部を埋め込み、
前記凹部内の前記第2の絶縁膜は、前記フォトダイオードに光を導く光導波路を構成する
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記画素部は、
前記半導体基板と前記第2の絶縁膜との間に光電変換膜を備える
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記導電膜の上と前記導電膜の周辺の前記第2の絶縁膜の上とに形成された前記第3の絶縁膜の膜厚は、前記隔壁の膜厚よりも小さい
請求項1〜3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記画素部の外側の領域では、
前記導電膜の周辺の前記第3の絶縁膜に溝部が形成されており、
前記溝部の内壁面のうち前記導電膜より遠い方の内壁面から前記導電膜までの距離が、前記隔壁の膜厚以上である
請求項1〜4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記第3の絶縁膜は、前記第2の絶縁膜より屈折率が低い膜からなる
請求項1〜5のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記画素部の外側の領域は遮光部を含み、
前記導電膜は前記遮光部に形成される遮光膜である
請求項1〜6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記画素部の外側の領域は周辺回路部を含み、
前記周辺回路部は、
前記第1の絶縁膜に形成された配線と、
前記配線の上に形成され、前記配線と電気的に接続されたパッド電極とを有し、
前記導電膜は前記パッド電極である
請求項2〜4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記画素部の外側の領域は遮光部と前記遮光部の外側に形成された周辺回路部とを含み、
前記導電膜は第1の導電膜と第2の導電膜とを含み、
前記第1の導電膜は前記遮光部に形成された遮光膜であり、
前記周辺回路部は、
前記第1の絶縁膜に形成された配線と、
前記配線の上に形成され、前記配線と電気的に接続されたパッド電極とを有し、
前記第2の導電膜は前記パッド電極である
請求項2〜4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記画素部の外側の領域では、
前記導電膜の周辺の前記第2の絶縁膜の上に形成された前記第3の絶縁膜の膜厚が前記隔壁の膜厚よりも薄い部分が前記導電膜の周囲を取り囲むように形成されている
請求項1〜9のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - さらに、
前記第2の絶縁膜と前記第3の絶縁膜との間に形成された第4の絶縁膜を備え、
前記導電膜は前記第4の絶縁膜の上に形成されており、
前記画素部では、
前記カラーフィルタは前記第3の絶縁膜及び前記第4の絶縁膜を貫通するように形成されている
請求項1〜10のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記導電膜はアルミニウムを含む膜からなる単層膜である
請求項1〜11のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記導電膜は少なくともアルミニウムを含む膜を有する積層膜である
請求項1〜11のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 画素部を有する固体撮像装置の製造方法であって、
半導体基板における前記画素部に複数のフォトダイオードを形成する工程と、
前記半導体基板の上に、前記複数のフォトダイオードを覆うように第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜における前記複数のフォトダイオードの各々の上方に位置する部分に凹部を選択的に形成する工程と、
前記第1の絶縁膜の上に、前記凹部を埋め込むように第2の絶縁膜を形成することにより、前記フォトダイオードに光を導く光導波路を形成する工程と、
前記画素部の外側の領域であって前記第2の絶縁膜の上に導電膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜の上及び前記導電膜の上に第3の絶縁膜を形成する工程と、
前記画素部の外側の領域であって前記導電膜の上及び前記導電膜の周辺に形成されている第3の絶縁膜を薄膜化して、前記導電膜及び前記第2の絶縁膜により生じた段差を低減する工程と、
前記画素部において、前記第3の絶縁膜を貫通するように隔壁溝を形成する工程と、
前記隔壁溝にカラーフィルタを形成する工程とを備えている
固体撮像装置の製造方法。 - 前記画素部の外側の領域は遮光部と前記遮光部の外側に形成された周辺回路部とを含み、
前記導電膜を形成する工程において、前記導電膜として第1の導電膜及び第2の導電膜を形成し、
前記第1の導電膜は前記遮光部に形成され、
前記第2の導電膜は前記周辺回路部に形成される
請求項14に記載の固体撮像装置の製造方法。 - さらに、前記周辺回路部における前記第1の絶縁膜に配線を形成する工程を備え、
前記第2の導電膜は前記配線と電気的に接続されるように形成される
請求項15に記載の固体撮像装置の製造方法。
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