JP6296177B2 - インジウムリン基板、インジウムリン基板の検査方法、およびインジウムリン基板の製造方法 - Google Patents

インジウムリン基板、インジウムリン基板の検査方法、およびインジウムリン基板の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、インジウムリン基板、インジウムリン基板の検査方法、およびインジウムリン基板の製造方法に関する。
インジウムリン（ＩｎＰ）基板は、発光する特性を持っていること、電子の移動速度が速いことなどにより、半導体レーザ、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ：発光ダイオード）、あるいは高速デバイスなどに広く用いられている。半導体レーザおよびＬＥＤでは、ＩｎＰ基板上にエピタキシャル膜を形成した後にＰＬ強度を測定することで、簡易的に発光性能を検査することができる。このＰＬ発光強度は強い方がよい。また、高速デバイスでは、ＩｎＰ基板とエピタキシャル膜との界面の不純物によるリークが問題になるので、界面にｎ型もしくはｐ型の不純物が少ない方が電気特性が安定する。
特許文献１（特開２００７−３１１４９０号公報）には、化合物半導体基板の表面粗さＲｍｓを０．２ｎｍ以下にすることにより、化合物半導体基板の表面の不純物を低減するする技術が開示されている。
特許文献２（特開２０１０−２４８０５０号公報）には、インジウムリン基板を硫酸過水およびリン酸で洗浄することにより、基板表面の不純物濃度を低減し、基板上にエピタキシャル層を成形した場合に、ＰＬ特性および電気特性が悪化することを抑制する技術が開示されている。
特開２００７−３１１４９０号公報 特開２０１０−２４８０５０号公報
特許文献１（特開２００７−３１１４９０号公報）の技術は、化合物半導体基板の表面粗さを規定するが、表面粗さの面内バラツキについて規定していない。したがって、化合物半導体基板の表面積が大きく、表面粗さに面内ばらつきがある場合、基板の表面の不純物濃度を一律に低減することができない。
特許文献２（特開２０１０−２４８０５０号公報）の技術は、基板表面の不純物濃度を低減するために、洗浄条件を規定している。基板表面の不純物濃度は、基板の表面粗さにも関係し、基板の表面粗さは、基板の研磨条件の影響を受ける。しかし、特許文献２（特開２０１０−２４８０５０号公報）には、基板の研磨条件により基板の表面粗さを制御することについては開示されていない。
本発明は、基板の表裏面粗さが制御され、基板上に成長させるエピタキシャル膜の均一性を良好にし、該エピタキシャル膜を用いたエピタキシャルウエハのＰＬ特性を向上させることのできるインジウムリン基板、ならびに、インジウムリン基板の検査方法、およびインジウムリン基板の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係るインジウムリン基板は、（１）第１の主面および第２の主面を含むインジウムリン基板であって、前記第１の主面の中心における表面粗さＲａ１、ならびに前記第１の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さＲａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５の平均値ｍ１は０．４ｎｍ以下であり、前記表面粗さＲａ１、Ｒａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５の標準偏差σ１は、前記平均値ｍ１の１０％以下であり、前記第２の主面の中心における表面粗さＲａ６、ならびに前記第２の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さＲａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０の平均値ｍ２は０．２ｎｍ以上３ｎｍ以下であり、前記表面粗さＲａ６、Ｒａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０の標準偏差σ２は、前記平均値ｍ２の１０％以下である、インジウムリン基板である。
（２）前記インジウムリン基板は、最大径が１５０ｍｍ以上であることが好ましい。
（３）本発明の一態様に係るインジウムリン基板の検査方法は、前記インジウムリン基板の主面の中心、および、主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所において、１μｍ四方の視野で、０．４ｎｍのピッチで、原子間力顕微鏡を用いてインジウムリン基板の表面粗さを測定する工程を含む、インジウムリン基板の検査方法である。
（４）本発明の一態様に係るインジウムリン基板の製造方法は、上記（１）または（２）に記載のインジウムリン基板の製造方法であって、第１の主面および第２の主面を含むインジウムリンウエハを準備する工程と、前記インジウムリンウエハの第１の主面および第２の主面を第１の研磨布を用いて両面研磨する工程と、前記両面研磨したインジウムリンウエハの第１の主面を第２の研磨布を用いて片面仕上げ研磨する工程と、前記片面仕上げ研磨したインジウムリンウエハを洗浄する工程とを備える、インジウムリン基板の製造方法である。
上記態様によれば、基板の表裏面粗さが制御され、基板上に成長させるエピタキシャル膜の均一性を良好にし、該エピタキシャル膜を用いたエピタキシャルウエハのＰＬ特性を向上させることのできるインジウムリン基板、ならびに、インジウムリン基板の検査方法、およびインジウムリン基板の製造方法を提供することが可能となる。
本発明の一態様にかかるインジウムリン基板を示す斜視模式図である。 図１のインジウムリン基板をＡ−Ａ線で切断した断面図である。 本発明の一態様にかかるインジウムリン基板を第１の主面側から見た平面図である。 本発明の一態様にかかるインジウムリン基板を第２の主面側から見た平面図である。 本発明の一態様にかかるインジウムリン基板の製造工程を示すフローチャートである。 （ａ）は両面研磨装置の概略図である。（ｂ）はインジウムリンウエハを設置したウエハキャリアの概略平面図である。 片面研磨装置の概略図である。
［本発明の実施形態の説明］
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。本明細書中においては、個別方位を［］、集合方位を＜＞、個別面を（）、集合面を｛｝でそれぞれ示している。また、負の指数については、結晶学上、“−”（バー）を数字の上につけることになっているが、本明細書中では、数字の前に負の符号を付けている。
本発明の一態様に係るインジウムリン基板は、（１）第１の主面および第２の主面を含むインジウムリン基板であって、前記第１の主面の中心における表面粗さＲａ１、ならびに前記第１の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さＲａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５の平均値ｍ１は０．４ｎｍ以下であり、前記表面粗さＲａ１、Ｒａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５の標準偏差σ１は、前記平均値ｍ１の１０％以下であり、前記第２の主面の中心における表面粗さＲａ６、ならびに前記第２の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さＲａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０の平均値ｍ２は０．２ｎｍ以上３ｎｍ以下であり、前記表面粗さＲａ６、Ｒａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０の標準偏差σ２は、前記平均値ｍ２の１０％以下である、インジウムリン基板である。ここで、前記第１の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所とは、前記第１の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所であって、オリエンテーションフラット方向（結晶の主面を（１００）とした場合、［０−１−１］方向）を基準にして、９０°の間隔で配置される４箇所を意味する。
上記のインジウムリン基板は、第１の主面の表面粗さの平均値が小さく、第１の主面の全面にわたって表面粗さのばらつきが小さいため、基板の第１の主面の表面粗さが制御され、第１の主面上に成長させるエピタキシャル膜の均一性を良好にし、該エピタキシャル膜のＰＬ特性を向上させることができる。
上記のインジウムリン基板は、第２の主面の表面粗さの平均値が小さく、第２の主面の全面にわたって表面粗さのばらつきが小さいため、基板の第１の主面上にエピタキシャル膜を形成する工程において、基板を支持するサセプタと基板の第２の主面との接触状態が局所的に変わることを抑制できる。このため、当該接触状態の変化に伴って基板の温度分布が偏るといった問題の発生を抑制でき、結果的に膜質の優れたエピタキシャル膜を形成できる。
（２）前記インジウムリン基板は、最大径が１５０ｍｍ以上であることが好ましい。
上記（１）のインジウムリン基板は、第１の主面および第２の主面の表面粗さが、主面全体にわたって制御されているため、最大径が１５０ｍｍ以上の大口径基板であっても、基板表面に均一なエピタキシャル膜を形成できる。また、このようにすれば、大面積の基板を用いることで当該基板に形成できる半導体素子（チップ）の数を増加させることができる。この結果、半導体素子を形成する工程（デバイス工程）での製造コストを低減できるとともに、生産性を改善できる。
本発明の一態様に係るインジウムリン基板の検査方法は、（３）前記インジウムリン基板の主面の中心、および、主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所において、１μｍ四方の視野で、０．４ｎｍのピッチで、原子間力顕微鏡を用いてインジウムリン基板の表面粗さを測定する工程を含む、インジウムリン基板の検査方法である。
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いて、０．４ｎｍのピッチで表面粗さを測定することによって、原子オーダーでの凹凸を確実に検出できる。さらに、表面粗さを主面の中心および外縁部４箇所の合計５か所において測定することにより、基板主面の全体における表面粗さのばらつきを算出できる。これにより、主面上にエピタキシャル膜を均一に形成できる基板を選別できる。また、既存のＡＦＭを用いることによって、選別のコストを低減できる。
本発明の一態様に係るインジウムリン基板の製造方法は、（４）上記（１）または（２）に記載のインジウムリン基板の製造方法であって、第１の主面および第２の主面を含むインジウムリンウエハを準備する工程と、前記インジウムリンウエハの第１の主面および第２の主面を第１の研磨布を用いて両面研磨する工程と、前記両面研磨したインジウムリンウエハの第１の主面を第２の研磨布を用いて片面仕上げ研磨する工程と、前記片面仕上げ研磨したインジウムリンウエハを洗浄する工程とを備える、インジウムリン基板の製造方法である。
これによると、基板の第１の主面と第２の主面の表面粗さの平均値および表面粗さのばらつきを、所望の範囲に制御することができる。
［本発明の実施形態の詳細］
本発明の実施形態にかかるインジウムリン基板、インジウムリン基板の検査方法およびインジウムリン基板の製造方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。
＜実施の形態１＞
本発明の一実施の形態におけるインジウムリン基板について、図１〜図４を用いて説明する。図１は、本発明の一態様にかかるインジウムリン基板１０を示す斜視模式図である。図２は、図１のインジウムリン基板１０をＡ−Ａ線で切断した断面図である。図３は、インジウムリン基板１０を第１の主面１１側から見た平面図である。図４は、インジウムリン基板１０を第２の主面１２側から見た平面図である。
インジウムリン基板（以下、ＩｎＰ基板とも記す）１０は、インジウムリン（ＩｎＰ）の単結晶からなる。図１に示されるように、ＩｎＰ基板１０は、平面視において略円形である。図２に示されるように、ＩｎＰ基板１０は、第１の主面１１と、第２の主面１２とを含み、第１の主面１１と第２の主面１２とは略平行である。ＩｎＰ基板を用いてエピタキシャル膜を成長させる際には、第１の主面１１上にエピタキシャル膜を成長させる。この際、第２の主面１２は、成膜装置のサセプタに接して載置される。
前記第１の主面１１の中心における表面粗さＲａ１、ならびに前記第１の主面１１の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さＲａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５の平均値ｍ１は０．４ｎｍ以下であり、前記表面粗さＲａ１、Ｒａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５の標準偏差σ１は、前記平均値ｍ１の１０％以下である。
ここで、表面粗さは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１に規定される算術平均粗さＲａをいい、粗さ曲線から、その平均線の方向に基準長さだけ抜き取り、この抜き取り部分の平均線から測定曲線までの距離（偏差の絶対値）を合計し平均した値と定義される。
第１の主面１１の中心における表面粗さＲａ１とは、以下の方法で測定した値である。第１の主面１１から、図３の四角で囲まれた１で示される領域のように、第１の主面１１の中心点を含むように、１μｍ四方の視野を抜き取る。該抜き取り範囲を０．４ｎｍのピッチで、原子間力顕微鏡を用いて表面粗さＲａ１を測定する。
第１の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所とは、図３の四角で囲まれた２〜５で示される領域のように、第１の主面の外縁部上で該外縁部を４等分する場所から、第１の主面の中心に向かって、５ｍｍの距離（図３中、ｄ１で示される）内側に位置する４つの領域である。前記４箇所における表面粗さＲａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５とは、以下の方法で測定した値である。第１の主面１１から、前記４箇所を含むように、１μｍ四方の視野を抜き取る。該抜き取り範囲を０．４ｎｍのピッチで、原子間力顕微鏡を用いて表面粗さＲａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５をそれぞれ測定する。
基板の第１の主面の５箇所における表面粗さＲａ１、Ｒａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５の平均値ｍ１は、上述のように０．４ｎｍ以下としているが、好ましくは０．１ｎｍ以上０．３ｎｍ以下である。表面粗さの平均値ｍ１を０．４ｎｍ以下にすることで、基板の第１の主面上に良好なエピタキシャル膜を形成することができる。
基板の第１の主面の５か所における表面粗さＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の標準偏差σ１は前記平均値ｍ１の１０％以下としているが、好ましくは８％以下、より好ましくは６％以下である。このように標準偏差σを前記平均値ｍ１の１０％以下にすることで、基板の第１の主面の表面粗さが制御され、基板表面に均一なエピタキシャル膜を形成できる。
第２の主面１２は、前記第２の主面１２の中心における表面粗さＲａ６、ならびに前記第２の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さＲａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０の平均値ｍ２は０．２ｎｍ以上３ｎｍ以下であり、前記表面粗さＲａ６、Ｒａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０の標準偏差σ２は、前記平均値ｍ２の１０％以下であることが好ましい。このように、第１の主面１１に加えて第２の主面１２についても表面粗さが管理されたＩｎＰ基板１０においては、第１の主面１１にエピタキシャル膜を成長させる際に、第２の主面１２と、ＩｎＰ基板１０が搭載された成膜装置のサセプタとの間の接触状態を第２の主面１２全体で均一化することができる。このため、局所的な接触状態のばらつきが発生することに起因するＩｎＰ基板１０での温度分布の発生を抑制できる。このため、形成されるエピタキシャル膜の結晶性や不純物濃度といった膜質の均一性を向上させることができる。この結果、当該エピタキシャル膜の歩留りを向上させることができる。
第２の主面１２の中心における表面粗さＲａ６とは、以下の方法で測定した値である。第２の主面１２から、図４の四角で囲まれた６で示される領域のように、第２の主面１２の中心点を含むように、１μｍ四方の視野を抜き取る。該抜き取り範囲を０．４ｎｍのピッチで、原子間力顕微鏡を用いて表面粗さＲａ６を測定する。
第２の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所とは、図４の四角で囲まれた７〜１０で示される領域のように、第２の主面の外延部上で該外縁部を４等分する場所から、第２の主面の中心に向かって、５ｍｍの距離（図４中、ｄ２で示される）内側に位置する４つの領域である。前記４箇所における表面粗さＲａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０とは、以下の方法で測定した値である。第２の主面１２から、前記４箇所を含むように、１μｍ四方の視野を抜き取る。該抜き取り範囲を０．４ｎｍのピッチで、原子間力顕微鏡を用いて表面粗さＲａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０をそれぞれ測定する。
基板の第２の主面の５箇所における表面粗さＲａ６、Ｒａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０の平均値ｍ２は０．２ｎｍ以上３ｎｍ以下であり、０．４ｎｍ以上３ｎｍ以下が好ましく、０．５ｎｍ以上２ｎｍ以下がさらに好ましい。なお、第２の主面における表面粗さの平均値ｍ２が３ｎｍを超えると、エピタキシャル膜の形成工程での、サセプタと基板の第２の主面との接触状態が局所的に変わる（ばらつく）ことから基板の温度分布が不均一となり、結果的に得られるエピタキシャル膜の品質が低下する恐れがある。また、第２の主面の表面粗さの平均値ｍ２を０．２ｎｍ未満にするためには高度な表面処理が必要であり、基板の製造コストが増大するとともに基板の製造工程における生産性が低下する。たとえば、基板裏面の表面粗さの平均値ｍ２を０．２ｎｍ未満にするためには、中性のダイヤモンドスラリーを用いた通常の研磨では難しく、コロイダルシリカとケミカル成分とを用いたＣＭＰ処理などが必要になる。
第２の主面の表面粗さの標準偏差σ２は、前記平均値ｍ２の１０％以下であり、８％以下が好ましく、６％以下がさらに好ましい。このようにすれば、第２の主面とサセプタとの接触状態を第２の主面全体でほぼ均一にすることができ、結果的に第１の主面上に均一なエピタキシャル膜を形成できる。
ＩｎＰ基板１０の直径Ｄは、１５０ｍｍ以上であることが好ましく、１５０ｍｍ以上３００ｍｍ以下がさらに好ましい。ＩｎＰ基板１０は、第１の主面および第２の主面の表面粗さが、主面全体にわたって制御されているため、最大径が１５０ｍｍ以上の大口径基板であっても、基板表面に均一なエピタキシャル成長層を形成できる。また、このようにすれば、大面積の基板を用いることで当該基板に形成できる半導体素子（チップ）の数を増加させることができる。この結果、半導体素子を形成する工程（デバイス工程）での製造コストを低減できるとともに、生産性を改善できる。
ＩｎＰ基板１０の厚みは５００μｍ以上８００μｍ以下が好ましい。これによると、ＩｎＰ基板が比較的大型であっても、表裏面粗さが制御され、エピタキシャル層の形成工程や半導体素子の製造工程における歩留まりの低減を抑制できる。
＜実施の形態２＞
本発明の一実施の形態におけるインジウムリン基板の検査方法について、図３および図４を用いて説明する。
インジウムリン基板の検査方法は、前記インジウムリン基板の主面の中心、および、主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所において、１μｍ四方の視野で、０．４ｎｍのピッチで、原子間力顕微鏡を用いてインジウムリン基板の表面粗さを測定する工程を含む。
詳細には、まず、インジウムリン基板１０の主面の中心、および、主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所において、１μｍ四方の視野を抜き取る。ここで、ＩｎＰ基板１０の主面とは、第１の主面１１および第２の主面１２のいずれでもよい。主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所とは、図３の四角で囲まれた２〜５で示される領域や、図４の四角で囲まれた７〜１０で示される領域のように、主面の外延部上で該外縁部を４等分する場所から、主面の中心に向かって、５ｍｍの距離（図３のｄ１または図４のｄ２で示される距離）の内側に位置する領域である。なお、前記４箇所は、前記第１の主面または前記第２の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所であって、オリエンテーションフラット（結晶の（００１）方位）を基準にして、９０°の間隔で配置される４箇所である。インジウムリン基板がノッチ付ウエハの場合は、前記４箇所は以下の通り位置決めする。ノッチから、ノッチと基板の中心とを結ぶ線を、基板の中心を回転軸として４５°回転した線上で、第１の主面または前記第２の主面の外縁部から５ｍｍ内側の位置を基準Ａ点とした。基準Ａ点の位置から、基準Ａ点と基板の中心とを結ぶ線を、基板の中心を回転軸として、９０°間隔で回転させた線上で、第１の主面の外縁部から５ｍｍ内側の位置をＢ点、Ｃ点、Ｄ点とした。基準Ａ点と、Ｂ点、Ｃ点、Ｄ点を前記４箇所とする。測定する視野を合計５箇所とすることによって、ＩｎＰ基板の主面の全面についての表面粗さを測定できるので、ＩｎＰ基板の主面の全面について検査ができる。また、測定する視野を５箇所とすることによって、検査を迅速に行うことができる。視野は１μｍ四方である。
次に、上記視野において、０．４ｎｍのピッチで、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）（例えば、Ｖｅｅｃｏ社製の「Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３０００」）や走査型プローブ顕微鏡（例えば、Ｂｒｕｋｅｒ ＡＸＳ社製の「Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ ＩＣＯＮ」）を用いてＩｎＰ基板の表面粗さを測定する。
以上説明したように、実施の形態２におけるＩｎＰ基板の検査方法によれば、原子オーダーの凹凸を確実に検出できる。また、ＩｎＰ基板の表面について原子オーダーの凹凸を既存の原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）や、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）を用いて測定できるので、コストがかからない。この方法で測定した原子オーダーの凹凸と、エピタキシャル成長を実施したのち、ＳＩＭＳでエピタキシャル膜とＩｎＰ基板との界面の不純物量を評価したところ、原子オーダーでの凹凸と界面の不純物とに関係があることが判明した。この方法によって、コストを低減するとともに、ＩｎＰ基板に成長したエピタキシャル膜と基板との界面の不純物量を減少できる。
＜実施の形態３＞
実施の形態１に記載されたインジウムリン基板の製造方法について、図５を用いて説明する。図５に示されるように、インジウムリン基板の製造方法は、第１の主面および第２の主面を含むインジウムリンウエハを準備する工程（Ｓ１０）と、前記インジウムリンウエハの第１の主面および第２の主面を第１の研磨布を用いて両面研磨する工程（Ｓ２０）と、前記両面研磨したインジウムリンウエハの第１の主面を第２の研磨布を用いて片面仕上げ研磨する工程（Ｓ３０）と、前記片面仕上げ研磨したインジウムリンウエハを洗浄する工程（Ｓ４０）とを備える。
インジウムリンウエハ（以下、ＩｎＰウエハともいう）を準備する工程では（Ｓ１０）、まず、ＩｎＰインゴットを準備する。このインゴットは、ＩｎＰからなっていてもよく、Ｆｅ、Ｓ、Ｓｎ、およびＺｎからなる群より選ばれる少なくとも一種の物質よりなるドーパントを含んでいてもよい。
次に、準備したインゴットからＩｎＰウエハをスライス加工する。スライス加工する方法は特に限定されない。このＩｎＰウエハは、スライス加工によりダメージ層を含む。
次に、スライス加工したＩｎＰウエハの第１の主面および第２の主面を第１の研磨布を用いて両面研磨する（Ｓ２０）。両面研磨は、たとえば、図６（ａ）に示す両面研磨装置６０を用いて行うことができる。両面研磨装置６０は、回転運動する上定盤６１と、上定盤６１と回転軸を共有して回転運動する下定盤６２とを含む。上定盤６１の下面および下定盤６２の上面には、それぞれ第１の研磨布６３が装着されている。また、両面研磨装置６０は、上定盤６１と下定盤６２とによって挟まれるように設けられ、定盤と回転軸を共有して回転運動する、ＩｎＰウエハ６６を保持するウエハキャリヤ６５を含む。上定盤６１には、外部からＩｎＰウエハ６６の研磨面に研磨液を供給するための研磨液注入孔６４が形成されている。両面研磨工程では、ＩｎＰウエハ６６は、第１の主面が上定盤６１に対向し、第２の主面が下定盤６２に対向するように、ウエハキャリヤ６５に保持される。上定盤６１のＩｎＰウエハ６６に対する相対速度は、下定盤６２のＩｎＰウエハ６６に対する相対速度と同じであることが好ましい。
図６（ｂ）は、両面研磨装置のウエハキャリア６５にＩｎＰウエハ６６を設置した状態を示す概略平面図である。図６（ｂ）に示されるように、ＩｎＰウエハ６６は、ウエハキャリア６５の保持孔の内部に設置されている。ＩｎＰウエハ６６の厚みがウエハキャリア６５の厚みよりも大きくなるように、ウエハキャリア６５は形成されている。
上定盤６１および下定盤６２のサイズは径７５０ｍｍ以上であると、研磨後のＩｎＰウエハ表面の平坦度が向上するため好ましい。第１の研磨布としては、たとえば、不織布の基材にポリウレタンの樹脂を含浸させたものを用いることが好ましい。なお、第１の研磨布は、ＩｎＰウエハを研磨する前に、あらかじめダイヤモンドペレットを用いてドレッシングをしておくことが好ましい。これにより、第１の研磨布の表面の平坦度と表面粗さが均一になる。よって、第１の研磨布を用いて研磨したＩｎＰ基板も、表面粗さが均一になる。
両面研磨の条件は、たとえば、取り代の７／１０までは通常の条件で両面研磨を実施した後、取り代の残りの３／１０は、回転数を通常の５０％に落とすことで、研磨速度を１／３にして両面研磨することができる。なお、通常の両面研磨条件とは、例えば、上定盤５〜１０ｒｐｍ(正転方向)、下定盤２０〜３０ｒｐｍ(正転方向)、インターナルギア５〜１０ｒｐｍ(正転方向)、サンギア１０〜１５ｒｐｍ(正転方向)の回転数で各定盤および各ギアを回転させ、面圧８０〜１５０ｇ／ｃｍ２の荷重を負荷し、研磨材（例えば、（株）フジミインコーポレーテッド製の「ＩＮＳＥＣ ＩＰＰ」）を３００ｍｌ／ｍｉｎの流量で流しながら研磨する条件である。これによると、基板の表面粗さを効果的に低減することができる。よって、基板の表裏面粗さが制御される。両面研磨は、研磨液および界面活性剤を一定流量で流しながら行うことが好ましい。
両面研磨を行った後のＩｎＰウエハの第１の主面および第２の主面の表面粗さの平均値は、それぞれ１．０ｎｍ以下であることが好ましい。なお、表面粗さの平均値とは、ＩｎＰウエハの主面の中心および、主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さの平均値である。なお、これらの表面粗さの標準偏差は、０．１ｎｍ以下が好ましい。これによると、後の工程において、ＩｎＰ基板の表面粗さおよびばらつきを所望の範囲に調整することが容易である。
次に、両面研磨したウエハの第１の主面を第２の研磨布を用いて片面仕上げ研磨する（Ｓ３０）。片面仕上げ研磨は、例えば、図７に示す片面研磨装置７０を用いて行うことができる。具体的には、まず、円板状の陶器製の研磨プレート７２の表面に、ワックス７３を用いて、ＩｎＰウエハ７４を複数枚貼り付ける。または、陶器製の円板状の研磨プレート７２の表面にウエハ吸着用のバッキングフィルムを貼り付け、その上に、水の表面張力で、ＩｎＰウエハ７４を複数枚貼り付ける。径が６００ｍｍ以上の円板状の研磨定盤７７上に、第２の研磨布７６を貼り付ける。研磨定盤７７は回転軸７８によって回転可能に支持されている。研磨プレート７２は研磨ヘッド７２０から垂下されたシャフト７２２によって回転可能に保持されている。研磨定盤７７の上方には研磨液供給管７９があり、そこから研磨液７５が第２の研磨布７６の上に与えられる。研磨定盤７７と研磨プレート７２とを順方向に回転させることにより、ＩｎＰウエハ７４を研磨する。
第２の研磨布７６としては、不織布タイプの研磨布を用いることが好ましい。研磨液７５としては、公知のＩｎＰ研磨用研磨剤を用いることができる。
片面仕上げ研磨の条件は、たとえば、取り代の９／１０までは通常の条件で片面研磨を実施した後、取り代の残りの１／１０は、回転数を通常の５０％に落とすことで、研磨速度を１／２にして片面研磨することができる。なお、通常の片面研磨条件とは、下定盤５０〜８０ｒｐｍ(正転方向)、上定盤５０〜８０ｒｐｍ(正転方向)の回転数で各定盤を回転させ、面圧４０〜１００ｇ／ｃｍ２の荷重を負荷し、研磨材（例えば、（株）フジミインコーポレーテッド製の「ＩＮＳＥＣ ＳＰ」）を１４０ｍｌ／ｍｉｎの流量で流しながら研磨する条件である。これによると、基板の表面粗さを効果的に低減することができる。よって、基板の表裏面粗さが制御される。片面仕上げ研磨は、研磨液および界面活性剤を一定流量で流しながら行うことが好ましい。
片面仕上げ研磨を行った後のＩｎＰウエハの第１の主面の表面粗さの平均値は、０．４ｎｍ以下であることが好ましい。なお、表面粗さの平均値とは、ＩｎＰウエハの主面の中心および、主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さの平均値である。なお、これらの表面粗さの標準偏差は、０．０５ｎｍ以下が好ましい。これによると、後の工程において、ＩｎＰ基板の表面粗さおよびばらつきを所望の範囲に調整することが容易である。
次に、片面仕上げ研磨したインジウムリンウエハを洗浄する（Ｓ４０）。洗浄液には、希塩酸、希硫酸、希硝酸、および有機酸の少なくとも１つからなる酸性溶液を用いることができる。洗浄工程では、酸性溶液を用いて、ＩｎＰウエハの主面の原子オーダーでの凹凸を低減して、ＩｎＰ基板の第１の主面の表面粗さの平均値ｍ１を０．４ｎｍ以下にできる。
洗浄工程（Ｓ４０）で用いる酸性溶液は、希塩酸、希硫酸、希硝酸、および有機酸の少なくとも１つである。有機酸としては、たとえば蟻酸、酢酸、蓚酸、乳酸、りんご酸、およびクエン酸などを用いることが好ましい。酸性溶液のｐＨは、０〜４であることが好ましく、１〜３であることがより好ましい。希塩酸の濃度は０．００１％〜０．５％、希硫酸の濃度は０．００１％〜０．５％、希硝酸の濃度は０．００１％〜０．５％、有機酸の濃度は０．１％〜１％であることが好ましい。酸性溶液をこの範囲内とすることによって、ＩｎＰ基板の表面粗さをより低減できる。
洗浄工程（Ｓ４０）は、酸性溶液に酸化剤を添加して行なわれることが好ましい。酸化剤は、特に限定されず、たとえば過酸化水素水などを用いることができる。酸化剤を添加した酸性溶液を用いてＩｎＰウエハの表面を洗浄することにより、洗浄工程の速度を上げることができる。なお、酸化剤の濃度は、特に限定されないが、たとえば０．５ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下が好ましく、１ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下がより好ましい。酸化剤の濃度を０．５ｐｐｍ以上とすることによって、酸性溶液の洗浄能力の低減を抑制できる。酸化剤の濃度を１０ｐｐｍ以下とすることによって、ＩｎＰウエハ表面の酸化物、有機物、または微粒子等と反応することを防止できる。
洗浄工程（Ｓ４０）で用いられる酸性溶液の温度は特に限定されないが、室温とすることが好ましい。室温とすることによって、ＩｎＰウエハの表面処理を行なう設備を簡略化できる。
また、洗浄時間は特に限定されないが、たとえば１０秒以上３００秒以下が好ましい。この範囲内で洗浄工程（Ｓ４０）を実施すると、酸性溶液の費用を削減でき、生産性の向上を図ることができる。なお、これらの洗浄後には、酸あるいはアルカリ液などの洗浄液を除去するため、純水リンス工程が実施されてもよい。さらに、最終の洗浄工程後の純水リンス工程後には、遠心乾燥等でＩｎＰウエハの水分が除去される。この純水リンス工程時においては、９００〜２０００ｋＨｚの超音波を印加することで、微粒子の付着を防止できる。また、純水リンス時には、ＩｎＰウエハの表面の酸化防止のために、酸素濃度が１００ｐｐｂ以下に脱気された純水が用いられる。以上の工程により、ＩｎＰウエハからＩｎＰ基板が作製される。
＜実施の形態４＞
本実施の形態におけるエピタキシャルウエハについて説明する。エピタキシャルウエハは、実施の形態１におけるＩｎＰ基板と、ＩｎＰ基板の第１の主面上に形成されたエピタキシャル膜とを備えている。エピタキシャル膜は、１層であってもよく、複数層であってもよい。
ＩｎＰ基板とエピタキシャル膜との界面において、たとえば、Ｓｉ濃度は１．８×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下であり、Ｓ濃度は２×１０１３ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である。
続いて、本実施の形態におけるエピタキシャルウエハの製造方法について説明する。まず、実施の形態３にしたがって、ＩｎＰ基板を製造する。
次に、ＩｎＰ基板の表面上にエピタキシャル膜を形成する。エピタキシャル膜を形成する方法は特に限定されず、ＯＭＶＰＥ（Ｏｒｇａｎｏ Ｍｅｔａｌｌｉｃ Ｖａｐｏｒ Ｐｈａｓｅ Ｅｐｉｔａｘｙ：有機金属気相成長）法、ＨＶＰＥ（Ｈｙｄｒｉｄｅ Ｖａｐｏｒ Ｐｈａｓｅ Ｅｐｉｔａｘｙ：ハイドライド気相成長）法、ＭＢＥ（Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ Ｂｅａｍ Ｅｐｉｔａｘｙ：分子線エピタキシ）法などを採用することができる。
なお、所定の構造のエピタキシャル膜をＩｎＰ基板の第１の主面上に形成した後にＩｎＰ基板を個々の素子に分割するために、たとえばダイシングなどを行なう分割工程を行ってもよい。
以上の工程を実施することにより、エピタキシャルウエハを製造することができる。
このように製造されたエピタキシャルウエハは、たとえばリードフレームなどに搭載される。そして、ワイヤボンディング工程などを実施することにより、上記素子を用いた半導体装置を得ることができる。
本実施の形態におけるエピタキシャルウエハの製造方法は、実施の形態１のＩｎＰ基板１０を用いている。このため、ＰＬ特性の悪化が抑制されたエピタキシャルウエハを製造することができる。
このようなエピタキシャルウエハにおいて、ＩｎＰ基板がＦｅ、Ｓ、Ｓｎ、およびＺｎからなる群より選ばれた少なくとも一種の物質よりなるドーパントを含んでいる場合には、次の効果を有する。
ドーパントがＦｅの場合、エピタキシャルウエハは、たとえば１×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｃ以上１×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｃのドーパント濃度を有し、電気特性は半絶縁性である。この場合、ＩｎＰ基板とエピタキシャル層との界面において、Ｓｉ、Ｓの濃度が高いと電気特性異常（リーク）が発生する。しかし、本実施の形態では、ＩｎＰ基板とエピタキシャル層との界面において、Ｓｉ、Ｓの濃度を低減できるため、エピタキシャルウエハは、ＨＥＭＴ（Ｈｉｇｈ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｏｂｉｌｉｔｙ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：高電子移動度トランジスタ）、ＨＢＴ(Ｈｅｔｅｒｏｊｕｎｃｔｉｏｎ Ｂｉｐｏｌａｒ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：ヘテロ接合バイポーラトランジスタ）などに好適に用いられる。
ドーパントがＳの場合、エピタキシャルウエハは、たとえば０．５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｃ以上８×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｃのドーパント濃度を有し、電気特性はｎ型である。この場合、ＩｎＰ基板とエピタキシャル膜との界面において、Ｏ、Ｃの濃度が高いと電気特性異常および発光強度低下が発生する。しかし、本実施の形態では、ＩｎＰ基板とエピタキシャル層との界面において、Ｏ、Ｃの濃度を低減できるため、エピタキシャルウエハは、レーザなどに好適に用いられる。また、Ｈａｚｅを低減できる場合には、さらにエピタキシャルウエハの発光強度を向上することができる。
ドーパントがＳｎの場合、エピタキシャルウエハは、たとえば１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｃ以上６×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｃのドーパント濃度を有し、電気特性はｎ型である。この場合、ＩｎＰ基板とエピタキシャル膜との界面において、Ｏ、Ｃの濃度が高いと電気特性異常および発光強度低下が発生する。しかし、本実施の形態では、ＩｎＰ基板とエピタキシャル層との界面において、Ｏ、Ｃの濃度を低減できるため、エピタキシャルウエハは、レーザなどに好適に用いられる。また、Ｈａｚｅを低減できる場合には、さらにエピタキシャルウエハの発光強度を向上することができる。
ドーパントがＺｎの場合、エピタキシャルウエハは、たとえば３×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｃ以上８×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｃのドーパント濃度を有し、電気特性はｐ型である。この場合、ＩｎＰ基板１０とエピタキシャル膜との界面において、Ｓｉ、Ｓの濃度が高いと電気特性異常および発光強度低下が発生する。しかし、本実施の形態では、ＩｎＰ基板とエピタキシャル層との界面において、Ｓｉ、Ｓの濃度を低減できるため、エピタキシャルウエハは、レーザなどに好適に用いられる。また、Ｈａｚｅを低減できる場合には、さらにエピタキシャルウエハの発光強度を向上することができる。
本発明を実施例によりさらに具体的に説明する。ただし、これらの実施例により本発明が限定されるものではない。
＜製造例Ａ〜Ｌ＞
（ＩｎＰ基板の製造）
まず、ＩｎＰ単結晶を垂直ブリッジマン法（Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ｂｒｉｄｇｅｍａｎ法、ＶＢ法）により［１００］方向に結晶成長させて、ＩｎＰインゴット得た。次に、ＩｎＰインゴットをスライス加工して、主面が（１００）から［１１０］方向に２°オフしたＩｎＰウエハを得た。ＩｎＰウエハは、直径が１５３ｍｍ、厚み７８０μｍの円盤状であった。
次に、両面研磨装置（定盤サイズ７５０ｍｍ）を用いてＩｎＰウエハの主面の両面を研磨した。研磨布には、不織布の基材にポリウレタンの樹脂を含浸させたもの（ニッタハース社製のＳｕｂａＩＶ）を用いた。なお、研磨布はあらかじめダイヤモンドペレット（（株）フジミインコーポレーテッド社製のＰａｄｌｅｓｓ２００Ｈ）でドレッシングされたものである。表１に示される「（ａ）両面研磨条件」の具体的な内容は以下の通りである。
標準：上定盤８ｒｐｍ(正転方向)、下定盤２４ｒｐｍ(正転方向)、インターナルギア７ｒｐｍ(正転方向)、サンギア１１ｒｐｍ(正転方向)の回転数で各定盤、各ギアを回転させ、面圧１００ｇ／ｃｍ２の荷重を負荷し、研磨材（例えば、（株）フジミインコーポレーテッド製の「ＩＮＳＥＣ ＩＰＰ」）を３００ｍｌ／ｍｉｎの流量で流しながら研磨する。
変更：両面研磨の取り代の７／１０までは、上記の標準の条件で両面研磨を実施する。その後、回転数を通常の５０％に落とすことで、研磨速度を１／３にして取り代の残りの３／１０を両面研磨する。
表１に示される「（ａ−１）界面活性剤」の具体的な内容は以下の通りである。
有：上記の（ａ）両面研磨条件において、取り代の残りの３／１０の厚みを研磨する際に、研磨液とともに、界面活性剤（和光純薬社製のＮＣＷ１００１）を一定の流量で流しながら両面研磨する。
無：上記の（ａ）両面研磨条件において、界面活性剤を使用しない。
表１に示される「（ａ−２）取り代（μｍ）」とは、取り代の厚みを示す。
次に、両面研磨後のＩｎＰウエハの片面（第１の主面に該当）を、片面研磨装置（定盤サイズ８３０ｍｍ）を用いて研磨した。研磨布には、不織布（千代田（株）社製のＣＩＥＧＡＬ ＰＳ８４１０）を用い、研磨材には仕上げ研磨材（（株）フジミインコーポレーテッド社製のＩＮＳＥＣ ＳＰ）を用いた。表１に示される「（ｂ）片面仕上げ研磨条件」の具体的な内容は以下の通りである。
標準：下定盤６０ｒｐｍ(正転方向)、上定盤６０ｒｐｍ(正転方向)の回転数で各定盤を回転させ、面圧８０ｇ／ｃｍ２の荷重を負荷し、研磨材（例えば、（株）フジミインコーポレーテッド製の「ＩＮＳＥＣ ＳＰ」）を１４０ｍｌ／ｍｉｎの流量で流しながら研磨する。片面仕上げ研磨の取り代は約１μｍである。
変更：片面仕上げ研磨の取り代の９／１０までは、上記の標準の条件で片面研磨を実施する。その後、回転数を通常の５０％に落とすことで、研磨速度を１／２にして取り代の残りの１／１０を片面研磨する。
表１に示される「（ｂ−１）界面活性剤」の具体的な内容は以下の通りである。
有：上記の（ｂ）片面仕上げ研磨条件において、取り代の残りの１／１０の厚みを研磨する際に、研磨液とともに界面活性剤（和光純薬社製のＮＣＷ１００１）を一定の流量で流しながら両面研磨する。
無：上記の（ｂ）片面仕上げ研磨条件において、界面活性剤を使用しない。
次に、０．１％のフッ化水素でＩｎＰウエハを洗浄した後、溶存酸素量５０ｐｐｂの超純水でリンスを行い、ＩＰＡ蒸気乾燥機にて乾燥を実施した。これにより、製造例Ａ〜ＬのＩｎＰ基板を得た。
（ＩｎＰ基板の測定）
得られたＩｎＰ基板について、図３および図４に示すように、基板中心および基板の外縁から５ｍｍ内側の４点において、０．２μｍ四方の視野で、それぞれ表面粗さＲａ１〜Ｒａ１０を測定した。具体的には、ＩｎＰ基板の第１の主面および第２の主面について、ＡＦＭ装置（Ｖｅｅｃｏ社製の「Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３０００」）で、各箇所について、０．４０ｎｍのピッチで、１列当たり５１２サンプルで５１２列について表面粗さを測定した。この時、タッピングモードを用いた。表面粗さの測定値から、表面粗さの平均値ｍ１、ｍ２、標準偏差σ１、σ２、σ１／ｍ１、σ２／ｍ２を算出した。結果を表１に示す。
（エピタキシャル膜の形成）
得られたＩｎＰ基板の第１の主面上に、ＯＭＶＰＥ法により３００ｎｍの厚みを有するＩｎＰ膜を形成した。このＩｎＰ膜上に、ＯＭＶＰＥ法により５ｎｍの厚みを有するＩｎＧａＡｓ膜を形成した。このＩｎＧａＡｓ膜上に、ＯＭＶＰＥ法により３００ｎｍの厚みを有するＩｎＰ膜を形成した。これにより、ＩｎＰ基板上にエピタキシャル膜が形成されたエピタキシャルウエハを製造した。エピタキシャル膜形成時のＩｎＰ基板温度は５８０℃であった。
＜評価＞
製造例Ａ〜製造例Ｌのエピタキシャルウエハについて、ＩｎＧａＡｓ膜のＰＬ強度を測定した。ＰＬ測定は、励起光波長５３２ｎｍの半導体レーザを用い、照射ビーム径１００μｍ、測定温度２５℃、励起光強度３００ｍＷの条件で行い、測定波長範囲はＩｎＧａＡｓ層からの発光波長に相当する１２５０ｎｍ〜１５００ｎｍであった。又、ＰＬ強度は、発光波長のピーク強度とした。測定機は、ナノメトリクス社製のＰＬＭ１５０を用いた。結果を表１に示す。
Figure 0006296177
＜評価結果＞
製造例Ａ〜Ｃ、Ｅ〜Ｇは、第１の主面は、表面粗さの平均値ｍ１が０．４ｎｍ以下であり、表面粗さの標準偏差σ１は、前記平均値ｍ１の１０％以下であり、第２の主面は、表面粗さの平均値ｍ２が０．２ｎｍ以上３ｎｍ以下であり、表面粗さの標準偏差σ２は、前記平均値ｍ２の１０％以下である。これらの製造例は、基板の表裏面粗さを面内で制御することで、エピタキシャル成長時の基板温度が面内で均一になり、エピタキシャル成長膜のＰＬ特性が優れていた。
製造例Ｄ、Ｈ、Ｌは、第２の主面の表面粗さの平均値ｍ２が４．４ｎｍを超えており、基板の表裏面粗さの面内での制御が不十分で、エピタキシャル成長時の基板温度が面内では十分に均一にならず、エピタキシャル成長膜のＰＬ特性が劣っていた。
製造例Ｉ、Ｊ、Ｋは、第１の主面の表面粗さの平均値ｍ１が０．４ｎｍを超えており、エピタキシャル成長膜のＰＬ特性が劣っていた。
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態ではなく請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明のインジウムリン基板は、半導体レーザ、ＬＥＤ、光束デバイス等に用いると有益である。
１０ インジウムリン基板、１１ 第１の主面、１２ 第２の主面、６０ 両面研磨装置、６１ 上定盤、６２ 下定盤、６３ 研磨布、６４ 研磨液注入孔、７０ 片面研磨装置、７４ ＩｎＰウエハ、７５ 研磨液、７６ 第２の研磨布、７７ 研磨定盤、７８ 回転軸、７９ 研磨液供給管、７２０ 研磨ヘッド、７２２ シャフト。

Claims (4)

  1. 第１の主面および第２の主面を含むインジウムリン基板であって、
    前記第１の主面の中心における表面粗さＲａ１、ならびに前記第１の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さＲａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５の平均値ｍ１は０．４ｎｍ以下であり、
    前記表面粗さＲａ１、Ｒａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５の標準偏差σ１は、前記平均値ｍ１の１０％以下であり、
    前記第２の主面の中心における表面粗さＲａ６、ならびに前記第２の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さＲａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０の平均値ｍ２は０．４ｎｍより大きく３ｎｍ以下であり、
    前記表面粗さＲａ６、Ｒａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０の標準偏差σ２は、前記平均値ｍ２の１０％以下である、
    インジウムリン基板。
  2. 前記インジウムリン基板は、最大径が１５０ｍｍ以上である、
    請求項１に記載のインジウムリン基板。
  3. インジウムリン基板の検査方法であって、
    前記インジウムリン基板の主面の中心、および、主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所において、１μｍ四方の視野で、０．４ｎｍのピッチで、原子間力顕微鏡を用いて前記インジウムリン基板の表面粗さを測定する工程を含む、
    インジウムリン基板の検査方法。
  4. 第１の主面および第２の主面を含むインジウムリン基板の製造方法であって、
    前記第１の主面の中心における表面粗さＲａ１、ならびに前記第１の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さＲａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５の平均値ｍ１は０．４ｎｍ以下であり、
    前記表面粗さＲａ１、Ｒａ２、Ｒａ３、Ｒａ４およびＲａ５の標準偏差σ１は、前記平均値ｍ１の１０％以下であり、
    前記第２の主面の中心における表面粗さＲａ６、ならびに前記第２の主面の外縁部から５ｍｍ内側に前記外縁部に沿って等間隔に配置される４箇所における表面粗さＲａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０の平均値ｍ２は０．２ｎｍ以上３ｎｍ以下であり、
    前記表面粗さＲａ６、Ｒａ７、Ｒａ８、Ｒａ９およびＲａ１０の標準偏差σ２は、前記平均値ｍ２の１０％以下であり、
    第１の主面および第２の主面を含むインジウムリンウエハを準備する工程と、
    前記インジウムリンウエハの第１の主面および第２の主面を第１の研磨布を用いて両面研磨する工程と、
    両面研磨した前記インジウムリンウエハの第１の主面を第２の研磨布を用いて片面仕上げ研磨する工程と、
    片面仕上げ研磨した前記インジウムリンウエハを洗浄する工程とを備える、
    インジウムリン基板の製造方法。
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