JP6277265B2 - 半導体発光素子用の光測定装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施形態を、図1を用いて詳細に説明する。
図1は、本発明の実施形態における半導体発光素子用の光測定装置が適用されるLED(Light Emitting Diode)検査システム1の全体概略図である。
LEDは、本発明における半導体発光素子の一例である。つまり、半導体発光素子とは、光を発光する素子であればどのようなものであっても良い。ここで、光は可視光に限定されるものではなく、例えば、赤外線、紫外線等であってよい。
2 入口
3 導入用アーム
4,4A 載置部
5 カメラ
6 排出用アーム
7 出口
10,10A ウェハー
20AP 電極
41 吸引ポンプ
42 ホース
43 接続治具
100,101 光測定装置
110,110A 積分球
111,111A 開口部
112 出射開口部
120 光測定部
121 ライトガイド
121A 入射端部
200 吸着基礎部
200A,200B 壁面
200C 端面
201A,203,204,205 吸引穴
201,201B,201C,201D,201E 穴
202 横穴
210 電子基板
300,300A,310,320,330,340 プローブ
301 プローブ先端部
302 バネ
303 プローブ基礎部
303A 固定側
340P 突起部
Claims (5)
- 半導体発光素子に電力を供給するプローブと、
前記半導体発光素子から発光された光の発光量を測定する光測定部と、
内部に前記プローブを収容する空間を備え、前記半導体発光素子が載置される吸着基礎部と、
前記吸着基礎部の前記半導体発光素子に接触する面から間隔をあけて前記吸着基礎部の前記空間に着脱自在に設けられ、前記プローブが取り付けられる電子基板と、
を有し、
前記プローブの先端は、前記半導体発光素子に接触する面から一部表出しており、
前記吸着基礎部は、
前記半導体発光素子に接触する面に形成され、前記半導体発光素子を吸引する吸引穴と、
前記吸着基礎部の側面に形成され、前記吸引穴及び前記空間に連通する横穴と、
を備え、
前記半導体発光素子を吸引して前記半導体発光素子を前記プローブに接触させることにより前記プローブを変形させた状態で通電し、
前記電子基板は、前記吸引穴から前記空間を介して前記横穴へ抜ける空気通路が形成されるように配置されている、
半導体発光素子用の光測定装置。 - 前記プローブは、前記半導体発光素子に接触する面に対して垂直方向よりも傾いて設けられる
請求項1に記載の半導体発光素子用の光測定装置。 - 前記吸着基礎部の前記空間に設けられ、前記プローブに電力を供給するケーブルを更に備え、
前記ケーブルは、前記電子基板を介して前記プローブに電気的に接続されている、
請求項1又は2に記載の半導体発光素子用の光測定装置。 - 前記横穴は、前記吸着基礎部の外部の吸引ポンプと繋がっている
請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体発光素子用の光測定装置。 - 前記半導体発光素子に接触する面には、前記プローブが貫通する穴が、前記吸引穴とは別々の穴として形成されている
請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体発光素子用の光測定装置。
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