JPH03147346A - 半導体発光素子用チップの自動検査器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、半導体発光素子用チップの自動検査器に関
し、特に、半導体発光素子用チップに通電した際の光学
的特性を測定し、測定値に基づいて、所定のランクに前
記半導体発光素子用チップを分類する自動検査器に関す
る。

［従来の技術］ 半導体発光素子用チップの自動検査器には、ＬＥＤベレ
ット自動分類機と称されるものが用いられる場合が多い
。

第３図および第４図は、ＬＥＤベレット自動分類機の一
例を示す側面図および平面図である。

作業台３０の隣には、測定台３１が設置され、ｉ１？Ｉ
定台３１の隣には、分類取出部３２が設置されている。

作業台３０と測定台３１の上方には、搬送用ハンドル３
３ａが設けられている。同様に、測定台３１と分類取出
部３２の上方にも搬送用ハンドル３３ｂが設けられてい
る。

搬送用ハンドル３３ａおよび３３ｂのそれぞれにコレッ
ト３４ａおよび３４ｂが取付けられている。

そして、搬送用ハンドル３３　ａとコレット３４ａなら
びに搬送用ハンドル３３ｂとコレット３４ｂによって保
持搬送手段３９ａおよび３９ｂが形成されている。この
保持搬送手段３９ａおよび３９ｂは、水平方向および鉛
直方向に移動することができる。

Ｊｌ定台３１には、円形の測定板３５が回転可能に支持
されている。測定板３５の上面の外周部には、作業台３
０側に通電用端子３６ａか、分類取出部３２側には通電
用端子３６ｂが取付けられている。さらに、通電周端−
ｆ−３６ａと３６ｂを結ぶ方向に対し垂直方向の両端部
に、２つの通電用端子゛３６Ｃおよび３６ｄが取付けら
れている。

また、通電用端子３６ｃの上方には、通電用プローブ３
７が設けられている。通電用プローブ３７は、」−ドの
移動がＭＪ能である。

また、通電用端子３６ｃの外周近傍に、受光検出部３８
が設置されている。さらに、制御部（図示省略）が、こ
の分類機に設けられており、他の構成部分の動作等を制
御する役割を果たしている。

このように構成されたＬＥＤベレット自動分類機を用い
た場合、以下に述べるような工程を経て半導体発光素子
用チップの検査が行なわれる。

まず、作業台３０においてコレット３４ａの真下にセッ
トされた半導体発光素子用チップ４０は、保持搬送手段
３９ａが下におりてきてコレット３４ａに保持される。

次に、？ｉｐ＋定台３１の上方まで運ばれ、測定板３５
に設置された通電用端子３６ａの上に降される。その後
、測定板３５が第４図に示すへの方向に９０’回転し、
半導体発光素子用チップは、通電用プローブ３７の真ド
に移動される。そして、通電用プローブ３７がｒに移動
し、半導体発光素子用チップの電極と接続することで、
通電が開始される。通電時において、半導体発光素子用
チップの発光は、受光検出部３８によって検出される。

検出された光は電気信号に変換されて制御部（図示省略
）に伝達される。検出が終了した後、測定板３５か第４
図に示すＡの方向に９０゛回転する。この回転によって
、半導体発光素子用チップは、分類取出部３２の側に移
動される。

その後、前記１６導体発光素子用チップは、コレット３
４ｂに保持され、保持搬送手段３９ｂによって、分類取
出部３２の上方に運ばれる。一方、発光の検出後に伝達
された電気信号は制御部（図示省略）により、判断され
分類取出部３２および保持搬送ｆ１段３９ｂの動作の指
令となる。この指令により、′１３導体発光素子用チッ
プは分類取出部３２」、の異なるパレットに降され、分
類が完了する。

［発明が解決１．ようとする課題］ 以−１−に述べたＬＥＤベレット自動分類機において、
半導体発光素子用チップに通電が行なわれ、その発光が
検出される時間は、わずかである。しかし、前述した保
持搬送手段と、測定台の上で９０゛ずつ回転して半導体
発光素子用チップを移動させる測定板とが、連動してい
るため、チップを移動させる一連の動作に時間がかかっ
ている。したがって、結果的に、１つの半導体発光素子
用チップを検査に供してから分類するまでに要する時間
（以下タクトタイムという）が長いという問題が生じて
いる。

また、従来のＬＥＤベレット自動分類機は、比較的面積
の大きなハ１定板を有するため、測定台が一定の面積を
占有し、ＬＥＤペレット自動分類機自体の占有面積も大
きくなってしまう。

そこで、この発明の目的は、タクトタイムがより短く、
かつ設備の占有面積が小さい半導体発光素子用チップの
自動検査器を提供するものである。

［課題を解決するための手段］ 前記１」的を達成するために、この発明の半導体発光素
子用チップの自動検査器においては、通電用端子をＨす
る測定台と、この７１Ｐｌ定台に半導体発光素子用チッ
プを運び、測定台上の前記通電用端子に半導体発光素子
用チップの一方の電極を接続させて検査に供１２、検査
終了後は次工程に搬送する、保持搬送手段と、通電用端
子に一方の電極が接続された半導体発光素子用チップの
他方の電極との接続により通電を行なう通電用プローブ
と、通電時における、半導体発光素子用チップの発光を
検出する受光検出部を備え、保持搬送手段は、通電用プ
ローブと、半導体発光素子用チップの通電時における発
光を受光検出部に伝達する先ファイバとを備えている。

［作用コ 上記のように構成された半導体発光素子用チップの自動
検査器は、以下に述べるような工程を経て半導体発光素
子用チップの検査を行なう。

まず、半導体発光素子用チップは、通電用プローブと光
ファイバが取付けられた保持搬送手段により、保持され
運ばれる。次に、測定台に取付けられた通電用端子の上
に降される。このとき、保持されたままで、半導体発光
素子用チップの一方の電極は通電用端子に、他力の電極
は通電用プロブに、接続される。通電された半導体発光
素子用チップの発光は、保持搬送手段に取付けられた先
ファイバによって検出され、受光検出部まで伝達される
。以上で検査が終了する。その後、半導体発光素子用チ
ップは保持搬送１段に保持されたまま搬送され、分類の
工程に供される。

このように、半導体発光素子用チップは、検査開始から
検査終了後の分類工程への移行まで、同じ保持搬送手段
によって保持され、搬送される。

したがって、前述した従来のＬＥＤベレット自動分類機
のように、半導体発光素子用チップを１度７１１１定台
の一端に載せた後、通電用プローブのｒまで移動させ、
そこからさらにｉ’ｌＰＩ定台の他端に移動させる必要
はない。したがって、このような移動のために必要であ
った７１Ｐｊ定板も不要となる。

したがって、この発明においては、従来のように保持搬
送手段と測定板の一連の動作にかかっていた時間が、短
縮され、タクトタイムは、より短くなる。

また、測定板をなくすことができるため、測定台は、通
電用端子をＨしていればよく、より小さな占有面積でそ
の役割を果たすことができる。したがって、結果的に、
検査器自体の占有面積を小さくすることができる。

［実施例］ 第１図は、この発明の半導体発光素子用チップの自動検
査器の一例を示す側面図である。

作業台１０の隣に測定台１１が設置され、測定台１１の
隣には、分類取出部１２が設置されている。

測定台１１の上には、通電用端子１５が取付けられてい
る。

作業台１０、測定台１１および分類取出部１２の上方に
またがって、搬送用ハンドル１３が設けられている。搬
送用ハンドル１３にはコレット１４が取付けられている
。そして、搬送用ハンドル１３とコレット１４によって
保持搬送手段】７が形成されている。なお、保持搬送手
段１７は、水′ｌ口方向および鉛直方向に移動できる。

第２図は、コレット１４の一例の先端部を示す断面図で
ある。

ｎ外状に形成されたコレット１４の先端部は吸引口２０
が形成されている。吸引口２０は、半導体発光素子用チ
ップ２２を吸引して保持できるようになっている。

通電用プローブ２３はコレット１４内を通りコレット１
４の先端の吸引口２０まで延びている。

そして、半導体発光素子用チップ２２が吸引口２０に保
持されたとき、このチップの電極２４に通電用プローブ
２３が接続できるようになっている。

また、半導体発光素子用チップ２２の他方の電極２１は
、通電用端子１５と接する。

さらに、光ファイバ２５がコレット１４の先端に取付け
られている。この光ファイバ２５の先端は、半導体発光
素子用チップから受光できる位置に設けられている。ま
た、光ファイバ２５は適当な場所に設置された受光検出
部（図示省略）に接続されている。

このように構成された半導体発光素子用チップを用いた
場合、以下に述べるような工程を経て、半導体発光素子
用チップの検査が行なイ〕れる。

作業台１０において、コレット１４の真下にセットされ
た半導体発光素子用チップ１６は、保持搬送手段１７が
下降しコレット１４によって保持され、測定台１１の上
まで運ばれる。次に、ｎ１定台１１に取付けられた通電
用端子１５の上に降るされる。このとき、半導体発光素
子用チップ２２は、コレット１４に保持されたままで、
一方の電極は通電用端子１５に、他方の電極はコレット
１４に取付けられた通電用プローブ２３に接続され、通
電される。通電時の半導体発光素子用チップ２２の発光
は、コレット１４に取付けられた光ファイバ２５によっ
て検出され、受光検出部（図示省略）まで伝達される。

伝達された光は、受光検出部（図示省略）で電気４５号
に変換され制御部（図示省略）に伝達される。以上のよ
うにして検査が完ｒした後、コレット１４に保持された
半導体発光素子用チップは、保持搬送手段】７が上昇し
、分類取出部１２の上方まで移動される。

−ノｊ、発光検出後に伝達された電気１ｄ号は、制御部
（図示省略）により判断され、分類取出部１２および保
ｔｊｆ搬送手段１７の動作の指令となる。

この指令により、半導体発光素子用チップは、分類取出
部１２上の異なるパレットに降ろされ分類が完了する。

以上のように構成された半導体発光素子用チップの自動
検査器を作動させ、半導体発光素子用チップの検査を行
なわせたところ、タクトタイムは、１秒であった。

比較として、従来より用いられてきたＬＥＤベレット自
動分類機を作動させた場合、タクトタイムは３〜１０秒
の範囲であった。

したがって、この発明に従う実施例の自動検査器では、
タクトタイムがより短くなることが明らかになった。

また、以上のように構成された半導体発光素子用チップ
の自動検査器が、占有する面積は０．７ｍＸ０．８ｍ−
０，５６ｍ２であった。

一方、従来より用いられてきたＬＥＤベレット自動分類
機の占Ｈ面積は、１ｍＸ０．８ｍ＝０゜８ｍ２であった
。

したがって、この発明に従う実施例の自動検査器は、従
来より場所をとらないことが明らかとなった。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明の半導体発光素子用チッ
プの自動検査器は、タクトタイムが短いものであるため
、半導体発光素子用チップの品質分類に使用される装置
において、より短時間に大量のチップの品質を検査し分
類できる装置に適している。

しかも、この発明の半導体発光素子用チップの自動検査
器は、場所をとらないので、半導体発光素子用チップの
品質分類に使用される装置の小型化を実現することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の半導体発光素子用チップの自動検
査器の一例を示す側面図である。 第２図は、この発明の半導体発光素子用チップの自動検
査器に取付けられる保持搬送手段の一例を示す断面図で
ある。 第３図は、従来より用いられてきたＬＥＤベレット自動
分類機の一例を示す側面図である。 第４図は、従来より用いられてきたＬＥＤベレット自動
分類機の一例を示す平面図である。 図において、１０は作業台、１１は測定台、１２は分類
取出部、１３は搬送用ハンドル、１４はコレット、１５
は通電用端子、１６は半導体発光素子用チップ、１７は
保持搬送子４段、２０は吸引口、２１は電極、２２は半
導体発光素子用チップ、２３は通電用プローブ、２４は
電極、２５は光ファイバ、３０は作業台、３１は測定台
、３２は分類取出部、３３ａおよび３３　ｂは搬送用ハ
ンドル、３４ａおよび３４ｂはコレット、３５はＭ１定
板、３６ａ、３６ｂ、３６ｃおよび”３６ｄは通電用端
子、３７は通電用プローブ、３８は受光検出部、３９ａ
および３９ｂは保持搬送手段、４０は半導体発光素子用
チップを示す。 第１図 搬送用ハンドル コレット 半導体発光 素子用チップ 作業台 第２図 通電用プローブ 光ファイバ コレット 半導体発光素子用 チップ 一−−ｉ−−−−−　１５ 通電用端子

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　通電用端子を有する測定台と、前記測定台に半導体発
   光素子用チップを運び、前記通電用端子に前記半導体発
   光素子用チップの一方の電極を接続させて検査に供し、
   検査終了後は次工程に前記半導体発光素子用チップを搬
   送する、保持搬送手段と、前記通電用端子に一方の電極
   が接続された前記半導体発光素子用チップの他方の電極
   との接続により通電を行なう通電用プローブと、前記通
   電時において、前記半導体発光素子用チップの発光を検
   出する受光検出部とを有する半導体発光素子用チップの
   自動検査器において、 前記保持搬送手段が、前記通電用プローブと、前記半導
   体発光素子用チップの通電時における発光を前記受光検
   出部に伝達する光ファイバとを備える半導体発光素子用
   チップの自動検査器。