JPH02134580A - 被測定体の選別方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は被測定体の選別方法に関する。

（従来の技術） 一般に被測定体、例えば半導体素子の選別方法は、半導
体製造工程における半導体チップが形成された半導体ウ
ェハの状態から、個々に分離して。

さらにパッケージングされた状態で検査デバイスプロー
バ内で使用されている。

即ち、デバイスブローバは、パッケージングされた半導
体素子を桝目状に形成したトレーに装着し、このトレー
ごと、ＸＹＺ軸方向及びθ回転方向に駆動制御される載
置台の頂面に載置し、プローブカードに設けられたプロ
ーブ針と接触させている。このプローブ針を介してテス
ターが良・不良を判定する。この検査結果に基づいて、
半導体素子を特定値に達し得なかった専用のトレーに移
し替で、良品素子と不良品素子とに選別している。

ところが、このような半導体素子の選別では、良品素子
と不良品素子とを選別するのに留まるため、この不良品
素子の中にも、一部を修正すれば十分に使用できるもの
があるのにも拘ず、総ての不良品を破棄している。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来の半導体素子の選別方法は、トレー
上の半導体素子の内で、良品半導体素子のみを注目した
方法なので不良品半導体素子の内にも一部の回路は、不
良であっても、例えば回路の一部のメモリは、正常の場
合がある。このメモリが正常に作動して、メモリの製品
として使用できるのにも拘ず破棄していた。

さらに、外観不良の場合、例えばリード端子の曲りによ
り、プローブ針が正確に接触しない時、−部の回路の不
適正値が検査される。この場合であっても、不良品とし
てしまう問題があった。

本発明の目的とするところは、上記問題点について鑑み
なされたもので被測定体の一部が良品であれば、選別可
能に改善した被測定体の選別方法を提供することにある
。

（発明の構成〕 （課題を解決するための手段） 本発明は、被測定体の電極にプローブ針を接触させて、
電気的特性検査を行った後、選別する方法において、上
記被測定体を完全良品、一部良品、不良品の何れかに認
識する工程と、この工程後。

上記被測定体を電気的特性検査結果に対応した収納箱に
移送する工程とを具備したことを特徴としている。

（作用効果） 即ち、本発明は、被測定体を完全良品、一部良品、不良
品の何れかに分けて、それぞれに対応した収納箱に移送
するようにしたので、被測定体の一部良品を選別するこ
とができる。この一部良品とした被測定体を一部良品の
性能を有した製品として使用可能になる。

従って、被測定体を無駄なく使用することができる。

（実施例） 以下、本発明の装置をデバイスプローバに適用した一実
施例を図面を参照して説明する。

上記デバイスプローバは、パッケージングされた半導体
素子を設定された環境ｕ度に加冷した状態でテスタと電
気的に接続したプローブ針を上記半導体素子電極に接触
させて検査している。この結果に基づいて、上記トレー
上の半導体素子を良品・不良品に選別する装置である。

上記装置は、第１図に示すように、半導体素子■を桝目
状のトレー■に装着した状態で検査する検査部■と、こ
の検査結果に基づいて、上記半導体素子■をピックアッ
プして選別する選別機構（イ）を有したソータ■とから
構成されている。ここで。

上記検査部■には各種の配線がテスタ０に電気的に接続
され、上記半導体素子ω電極に接触されたプローブ針■
から信号によりテスタで良・不良を判定するように設け
られている。

上記装置の検査部■と、ソータ■との配置は、ソータ■
の側部にトレー■を載置するための支持部■を備えた検
査部■が並列する如く設けられている。

上記検査部■の内部には各種の機構が備えられている。

即ち、半導体素子■が装着されたトレー■を３軸方向に
移動可能なチャック０に載せて検査中心部（１０）まで
搬送し、さらに、検査部のトレー■をソータ■側に受は
渡す位置、例えばポジション（１１）まで移動するよう
になっている。

上記トレー■が第２図に示すようにハンドリングアーム
（図示せず）を介して選別機構（イ）の下側を通過する
搬送路（１２）に受は渡すようになっている。上記選別
機構に）は下側を通過するトレー■から一列毎に、不良
半導体素子（１ａ）のみをピックアップする真空吸着パ
ッド（１３）が−列に設けられている。

上記搬送路（１２）と平行に不良半導体素子（１ａ）を
、装着する収納トレー（１４）が複数個設けられている
。

上記収納トレー（１４）は、一部が使用可能な半導体素
子（ｊａｂ）が収納されるトレー（１４ａ）と、完全に
不良の半導体素子（ｌａｃ）が収納される収納トレー（
１４ｂ）とから構成されている。

上記選別機構に）は、真空吸着パッド（１３）で吸着し
た半導体素子（ｌａｂ、　１ａｃ）を、上記収納トレー
（１４）まで搬送する如＜ＸＹ軸方向に駆動制御されて
いる。

次に上記デバイスプローバにおける不良半導体素子の選
別方法について説明する。

上記選別方法は、第３図に示すように搬送路（１２）を
介して選別中心（１５）に到達すると自動的に停止する
０選別機構に）はＸ軸方向に歩進して、第一列のトレー
■上に停止する。

上記選別機構（イ）は、予め検査部■検査し、この検査
結果を記憶情報にもとづいてでトレー■上の桝目と対応
した情報に従って、所定の不良半導体素子（ｌａｂ、　
１ａｃ）を真空吸着パッド（１３）の真空吸着で取り上
げる。例えば、第１列目のＡ−Ｂ−Ｄの半導体素子を取
り上げる。この状態で上記選別機構に）はＸＹ軸方向に
移動して、一部が使用できる。

半導体素子（ｔａｂ）を装着する収納トレー　（１４ａ
）上空に停止する。

そして、上記半導体素子、例えばＡ　（ｌａｂ）　、　
Ｂ（ｌａｂ）の素子、を装着する。さらに、上記選別機
構（イ）がＸＹ軸方向に移動して完全に不良の半導体素
子例えばＤ　（ｌａｃ）の素子を収納する収納トレー（
１４ｂ）に装着する。

上記双方の収納トレー（１４ａ、　１４ｂ）が−杯にな
ると搬出側（１６）自動的に移動するようになっている
。

本実施例の効果は、トレー■上の半導体素子■の全体の
回路は、不良であるが一部使用できるもの、例えば、メ
モリーのみ使用できるものは、このメモリー専用の製品
として出荷できるので、半導体素子を無駄にすることを
防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の方法をデバイスプローバに適用した
一実施例の全体構成説明図、 第２は、第１図の選別機構を説明するためのソータ部説
明図、 第３図は第１図における選別機構を用いて、部が製品と
して使用できる素子の選別方法を説明するための説明図
である。 １、半導体素子　　　　２．トレー ４、選別機構　　　　　５．ソータ １４ａｂ、収納トレー

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被測定体の電極にプローブ針を接触させて、電気的特性
   検査を行ったのち、この検査結果に基づいて良・不良の
   選別する方法で、上記被測定体を、選別するに際し、上
   記被測定体を完全良品、一部良品、不良品毎に選別する
   ようにしたことを特徴とする被測定体の選別方法。