JP6274826B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/30—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region
Description
<半導体装置の構造について>
本実施の形態および以下の実施の形態の半導体装置は、不揮発性メモリ(不揮発性記憶素子、フラッシュメモリ、不揮発性半導体記憶装置)を備えた半導体装置である。本実施の形態および以下の実施の形態では、不揮発性メモリは、nチャネル型MISFET(MISFET:Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor)を基本としたメモリセルをもとに説明を行う。また、本実施の形態および以下の実施の形態での極性(書込・消去・読出時の印加電圧の極性やキャリアの極性)は、nチャネル型MISFETを基本としたメモリセルの場合の動作を説明するためのものであり、pチャネル型MISFETを基本とする場合は、印加電位やキャリアの導電型等の全ての極性を反転させることで、原理的には同じ動作を得ることができる。
図5は、本実施の形態の「書込」、「消去」および「読出」時における選択メモリセルの各部位への電圧の印加条件の一例を示す表である。図5の表には、「書込」、「消去」および「読出」時のそれぞれにおいて、図1〜4に示されるようなメモリセル(選択メモリセル)の各部位に印加する電圧(Vd,Vcg,Vmg,Vs,Vb)が示されている。ここで、電圧Vmgは、メモリゲート電極MGに印加する電圧Vmgである。また、電圧Vsは、半導体領域MS(ソース領域)に印加する電圧Vsである。また、電圧Vcgは、制御ゲート電極CGに印加する電圧Vcgである。また、電圧Vdは、半導体領域MD(ドレイン領域)に印加する電圧Vdである。また、ベース電圧Vbは、p型ウエルPWに印加されるベース電圧Vbである。なお、図5の表に示したものは電圧の印加条件の好適な一例であり、これに限定されるものではなく、必要に応じて種々変更可能である。また、本実施の形態では、メモリトランジスタの絶縁膜MZ中の電荷蓄積部(ここでは絶縁膜MZ2)への電子の注入を「書込」、ホール(hole:正孔)の注入を「消去」と定義する。
次に、本実施の形態の半導体装置の製造方法について説明する。
まず、本発明者が検討した第1検討例の半導体装置について説明する。図33は、本発明者が検討した第1検討例の半導体装置の要部断面図であり、本実施の形態の上記図2に相当するものである。なお、図33は、図33の点線の円で囲まれた領域の拡大図を、図33の下側に抜き出して示してある。また、図34は、図33の点線の円で囲まれた領域を示す断面図であり、本実施の形態の上記図3に相当するものであり、図面を見やすくするためにハッチングを省略している。図33の下側に抜き出して点線の円で囲んで示された断面図と、図34に点線の円で囲んで示された断面図とは、同じ領域の断面図であるが、ハッチングの有無が相違している(図33はハッチング有りで、図34はハッチング無し)。
次に、本実施の形態の主要な特徴と効果について説明する。
図面を見やすくするためにハッチングを省略している。
図43は、本実施の形態2の半導体装置の要部断面図であり、上記実施の形態1の上記図2に相当するものである。上記図2と同様に、図43は、図43の点線の円で囲まれた領域の拡大図を、図43の下側に抜き出して示してある。
図47は、本実施の形態3の半導体装置の要部断面図であり、上記実施の形態1の上記図2に相当するものである。上記図2と同様に、図47は、図47の点線の円で囲まれた領域の拡大図を、図47の下側に抜き出して示してある。
図51および図52は、本実施の形態4の半導体装置の製造工程の一部を示すプロセスフロー図であり、上記実施の形態1の上記図6および図7に対応するものである。なお、図51に示されるプロセスフローが行われてから、図52に示されるプロセスフローが行われる。図53〜図65は、本実施の形態の半導体装置の製造工程中の要部断面図である。図53〜図65のうち、図53、図54、図56、図57、図60および図64には、上記実施の形態1の上記図9〜図13、図18、図20、図22、図23および図25〜図32に相当する断面領域が示されている。また、図53〜図65のうち、図55、図58、図59、図61〜図63および図65には、上記実施の形態1の上記図14〜図17、図19、図21および図24に相当する断面領域が示されている。
1B 周辺回路領域
CG,CG100 制御ゲート電極
CG1,CG101 側面
CT コンタクトホール
EX1,EX2,EX3,EX101,EX102 n−型半導体領域
GE ゲート電極
GI,GI100 絶縁膜
GP,GP1,GP2 エネルギー障壁
IL1 層間絶縁膜
IL2 絶縁膜
KD 角部
M1 配線
MC,MC100 メモリセル
MD,MS 半導体領域
ME 金属膜
MG,MG100,MG200 メモリゲート電極
MG1,MG101 下面
MG2,MG102 側面
MG3,MG103,MG203 角部
MZ,MZ1,MZ2,MZ3,MZ4,MZ5 絶縁膜
MZ1c,MZ2c 角部
MZ2a,MZ2b 部分
MZ6 高誘電率絶縁膜
MZ6a ベース膜
MZ100,MZ101,MZ102,MZ103 絶縁膜
MZ102a,MZ102b 部分
MZ102c 角部
OX 酸化膜
PG プラグ
PS1,PS1a,PS2 シリコン膜
PW,PW2,PW100 p型ウエル
SB,SB100 半導体基板
SD1,SD2,SD3 n+型半導体領域
SL,SL100 金属シリサイド層
SP シリコンスペーサ
ST 素子分離領域
SW,SW100 サイドウォールスペーサ
Claims (17)
- 不揮発性メモリのメモリセルを備える半導体装置であって、
半導体基板と、
前記半導体基板上に第1ゲート絶縁膜を介して形成され、前記メモリセルを構成する第1ゲート電極と、
前記半導体基板上に積層絶縁膜を介して形成され、前記第1ゲート電極と前記積層絶縁膜を介して隣り合い、前記メモリセルを構成する第2ゲート電極と、
を有し、
前記積層絶縁膜は、前記半導体基板と前記第2ゲート電極との間と、前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極との間とにわたって形成され、
前記積層絶縁膜は、第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜上の第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜上の第3絶縁膜とを有し、
前記第2絶縁膜は、電荷蓄積機能を有する絶縁膜であり、前記第1絶縁膜および前記第3絶縁膜のそれぞれのバンドギャップは、前記第2絶縁膜のバンドギャップよりも大きく、
前記第2絶縁膜の前記半導体基板と前記第2ゲート電極との間に延在する部分と前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極との間に延在する部分との成す角が、90°以上であり、
前記第2ゲート電極の前記半導体基板に対向する側の第1面と前記第1ゲート電極に対向する側の第2面とによって形成される第1角部の内角が、90°未満であり、
前記第2ゲート電極の前記第1角部に接する位置での前記第3絶縁膜の第1厚みは、前記半導体基板と前記第2ゲート電極との間に延在する部分の前記第3絶縁膜の第2厚みよりも小さい、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記半導体基板から前記積層絶縁膜の前記第2絶縁膜に第1極性の電荷を注入することにより、前記メモリセルの書き込みを行い、
前記第2ゲート電極から前記積層絶縁膜の前記第2絶縁膜に前記第1極性とは反対の第2極性の電荷を注入することにより前記メモリセルの消去を行う、半導体装置。 - 請求項2記載の半導体装置において、
前記第1極性の電荷は電子であり、
前記第2極性の電荷はホールである、半導体装置。 - 請求項3記載の半導体装置において、
前記メモリセルの書き込みでは、ソースサイド注入により、前記積層絶縁膜の前記第1ゲート電極側に電子が注入される、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1厚みは、前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極との間に延在する部分の前記第3絶縁膜の第3厚みよりも小さい、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1絶縁膜は、酸化シリコン膜からなり、
前記第2絶縁膜は、窒化シリコン膜からなり、
前記第3絶縁膜は、酸化シリコン膜からなる、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1絶縁膜は、酸化シリコン膜からなり、
前記第2絶縁膜は、窒化シリコン膜からなり、
前記第3絶縁膜は、酸窒化シリコン膜と該酸窒化シリコン膜上の酸化シリコン膜との積層膜からなる、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第3絶縁膜は、高誘電率絶縁膜からなる、半導体装置。 - 請求項8記載の半導体装置において、
前記第1絶縁膜および前記第2絶縁膜の一方または両方が、高誘電率絶縁膜からなる、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第2絶縁膜の前記半導体基板と前記第2ゲート電極との間に延在する部分と前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極との間に延在する部分との間に形成される角部は、丸みを帯びている、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第2絶縁膜の前記半導体基板と前記第2ゲート電極との間に延在する部分と前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極との間に延在する部分との成す角が、90°である、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第2絶縁膜の前記半導体基板と前記第2ゲート電極との間に延在する部分と前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極との間に延在する部分との成す角が、90°よりも大きい、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記半導体基板と前記第2ゲート電極との間に延在する部分の前記第3絶縁膜の厚みは、前記第1角部に近づくにしたがって徐々に薄くなり、
前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極との間に延在する部分の前記第3絶縁膜の厚みは、前記第1角部に近づくにしたがって徐々に薄くなる、半導体装置。 - 不揮発性メモリのメモリセルを備える半導体装置であって、
半導体基板と、
前記半導体基板上に第1ゲート絶縁膜を介して形成され、前記メモリセルを構成する第1ゲート電極と、
前記半導体基板上に積層絶縁膜を介して形成され、前記第1ゲート電極と前記積層絶縁膜を介して隣り合い、前記メモリセルを構成する第2ゲート電極と、
を有し、
前記積層絶縁膜は、前記半導体基板と前記第2ゲート電極との間と、前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極との間とにわたって形成され、
前記積層絶縁膜は、第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜上の第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜上の第3絶縁膜とを有し、
前記第2絶縁膜は、電荷蓄積機能を有する絶縁膜であり、前記第1絶縁膜および前記第3絶縁膜のそれぞれのバンドギャップは、前記第2絶縁膜のバンドギャップよりも大きく、
前記第2絶縁膜の前記半導体基板と前記第2ゲート電極との間に延在する部分と前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極との間に延在する部分との成す角が、90°以上であり、
前記第2ゲート電極の前記半導体基板に対向する側の第1面と前記第1ゲート電極に対向する側の第2面とによって形成される第1角部の内角が、90°未満であり、
前記半導体基板から前記積層絶縁膜の前記第2絶縁膜に第1極性の電荷を注入することにより、前記メモリセルの書き込みを行い、
前記第2ゲート電極から前記積層絶縁膜の前記第2絶縁膜に前記第1極性とは反対の第2極性の電荷を注入することにより前記メモリセルの消去を行う、半導体装置。 - 不揮発性メモリのメモリセルを備える半導体装置の製造方法であって、
(a)半導体基板を用意する工程、
(b)前記半導体基板上に、第1ゲート絶縁膜を介して、前記メモリセルを構成する第1ゲート電極を形成する工程、
(c)第1絶縁膜と前記第1絶縁膜上の第2絶縁膜と前記第2絶縁膜上の第3絶縁膜とを有する積層絶縁膜を、前記半導体基板の主面と前記第1ゲート電極の表面とに形成する工程、
(d)前記積層絶縁膜上に、前記メモリセルを構成する第2ゲート電極用の導電膜を形成する工程、
(e)前記導電膜をエッチバックすることにより、前記第1ゲート電極の側壁上に前記積層絶縁膜を介して前記導電膜を残して、前記第2ゲート電極を形成する工程、
を有し、
前記(c)工程では、酸化処理により、前記第3絶縁膜が形成され、
前記積層絶縁膜は、前記半導体基板と前記第2ゲート電極との間と、前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極との間とにわたって延在し、
前記第2絶縁膜は、電荷蓄積機能を有する絶縁膜であり、前記第1絶縁膜および前記第3絶縁膜のそれぞれのバンドギャップは、前記第2絶縁膜のバンドギャップよりも大きく、
前記第2絶縁膜の前記半導体基板と前記第2ゲート電極との間に延在する部分と前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極との間に延在する部分との成す角が、90°以上であり、
前記第2ゲート電極の前記半導体基板に対向する側の第1面と前記第1ゲート電極に対向する側の第2面とによって形成される第1角部の内角が、90°未満である、半導体装置の製造方法。 - 請求項15記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3絶縁膜は酸化シリコン膜からなり、
前記(c)工程では、ISSG酸化により、前記第3絶縁膜が形成される、半導体装置の製造方法。 - 請求項15記載の半導体装置の製造方法において、
(f)前記(e)工程後、酸化処理を行う工程、
(g)前記(f)工程後、前記積層絶縁膜の露出部を除去する工程、
を更に有する、半導体装置の製造方法。
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