JP6267624B2 - 炭化珪素半導体装置 - Google Patents
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- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 188
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 186
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 101
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 79
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical group [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 54
- 125000004436 sodium atom Chemical group 0.000 claims description 52
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 51
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 43
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 43
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 claims description 40
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 38
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 28
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 14
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 claims description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 26
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 23
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 23
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 description 22
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 22
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 21
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 239000005360 phosphosilicate glass Substances 0.000 description 18
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 15
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 14
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 5
- -1 sodium Chemical class 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 4
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910005883 NiSi Inorganic materials 0.000 description 2
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,5-dimethylphenyl)-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C=2N=C(N)SC=2)=C1 MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005524 hole trap Effects 0.000 description 1
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910021334 nickel silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- RUFLMLWJRZAWLJ-UHFFFAOYSA-N nickel silicide Chemical compound [Ni]=[Si]=[Ni] RUFLMLWJRZAWLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N nitrogen dioxide Inorganic materials O=[N]=O JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001730 nitrous oxide Drugs 0.000 description 1
- 235000013842 nitrous oxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000005092 sublimation method Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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Description
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。また、本明細書中の結晶学的記載においては、個別方位を[]、集合方位を<>、個別面を()、集合面を{}でそれぞれ示している。また、負の指数については、結晶学上、”−”(バー)を数字の上に付けることになっているが、本明細書中では、数字の前に負の符号を付けている。
まず、本発明の実施の形態1に係る炭化珪素半導体装置としてのMOSFET1の構成について説明する。
次に、本発明の実施の形態2に係る炭化珪素半導体装置としてのMOSFETの構成について説明する。実施の形態2に係るMOSFET1は、第3絶縁膜2cが、第2絶縁膜2bの第3の面2b3に接していない点において実施の形態1に係るMOSFETと異なっており、他の構成は、実施の形態1に係るMOSFETとほぼ同様である。そのため、同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
次に、本発明の実施の形態3に係る炭化珪素半導体装置としてのMOSFETの構成について説明する。実施の形態3に係るMOSFET1は、第3絶縁膜2cが、第2絶縁膜2bの第2の面2b2に接していない点において実施の形態1に係るMOSFETと異なっており、他の構成は、実施の形態1に係るMOSFETとほぼ同様である。そのため、同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
次に、本発明の実施の形態4に係る炭化珪素半導体装置としてのMOSFETの構成について説明する。実施の形態4に係るMOSFET1は、第2絶縁膜2bは、第3の面2b3において第1の主面10aに接する点において実施の形態1に係るMOSFETと異なっており、他の構成は、実施の形態1に係るMOSFETとほぼ同様である。そのため、同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
次に、本発明の実施の形態5に係る炭化珪素半導体装置としてのMOSFETの構成について説明する。実施の形態5に係るMOSFET1は、層間絶縁膜2が、第4絶縁膜2dおよび第5絶縁膜2eを有する点において実施の形態1に係るMOSFETと異なっており、他の構成は、実施の形態1に係るMOSFETとほぼ同様である。そのため、同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
2 層間絶縁膜
2a 第1絶縁膜
2a1 第4の面
2a2 第5の面
2a3 第6の面
2b 第2絶縁膜
2b1 第1の面
2b2 第2の面
2b3 第3の面
2c 第3絶縁膜
2d 第4絶縁膜
2e 第5絶縁膜
5 炭化珪素エピタキシャル層
5a,5b エッチングマスク
10 炭化珪素基板
10a 第1の主面(主面)
10b 第2の主面
11 炭化珪素単結晶基板
12 ドリフト領域(炭化珪素エピタキシャル層)
13 ボディ領域
14 ソース領域
15 ゲート絶縁膜(ゲート酸化膜)
15a 側面
16 ソース電極
17 バリア層
18 コンタクト領域
19 表面保護電極
20 ドレイン電極
23 裏面保護電極
27 ゲート電極
C1 第1の開口
C2 第2の開口
CH チャネル領域
Claims (26)
- 主面を有する炭化珪素基板と、
前記炭化珪素基板の前記主面上に設けられたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極と、
前記ゲート電極を覆うように設けられた層間絶縁膜とを備え、
前記層間絶縁膜は、前記ゲート電極と接し、珪素原子を含み、かつリン原子およびホウ素原子のいずれも含まない第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に設けられ、かつ珪素原子と、リン原子およびホウ素原子の少なくとも一方とを含む第2絶縁膜と、
珪素原子を含み、かつリン原子およびホウ素原子のいずれも含まない第3絶縁膜とを含み、
前記第2絶縁膜は、前記第1絶縁膜と接する第1の面と、前記第1の面の反対側の第2の面と、前記第1の面と前記第2の面とを繋ぐ第3の面とを有し、
前記第3絶縁膜は、前記第2の面および前記第3の面の少なくとも一方に接しており、
前記層間絶縁膜において前記第1絶縁膜と前記第2絶縁膜とが繰り返して積層されている、炭化珪素半導体装置。 - 前記第2絶縁膜は、前記第1絶縁膜と前記第3絶縁膜とにより形成される空間に閉じ込められている、請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第3絶縁膜は、前記第2の面に接している、請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第1絶縁膜は、前記ゲート絶縁膜と接する第4の面と、前記第4の面と反対側の第5の面と、前記第4の面と前記第5の面とを繋ぐ第6の面とを有しており、
前記第3絶縁膜は、前記第3の面と、前記第6の面とに接している、請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記第2絶縁膜は、前記第3の面において前記主面に接し、
前記第3絶縁膜は、前記第2の面に接し、かつ前記第2絶縁膜によって前記第1絶縁膜から離間している、請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記第1絶縁膜は、SiO2、SiNおよびSiONのいずれかを含む、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第2絶縁膜は、PSG、BSGおよびBPSGのいずれかを含む、請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第3絶縁膜は、SiO2、SiNおよびSiONのいずれかを含む、請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記ゲート絶縁膜におけるナトリウム原子の濃度の最大値は、1×1016atoms/cm3以下である、請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第2絶縁膜におけるナトリウム原子の濃度の最大値は、前記第1絶縁膜におけるナトリウム原子の濃度の最大値よりも高い、請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第2絶縁膜におけるナトリウム原子の濃度の最大値は、前記ゲート絶縁膜におけるナトリウム原子の濃度の最大値よりも高い、請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記炭化珪素基板に接し、かつアルミニウムを含むソース電極と、
前記ソース電極と前記層間絶縁膜との間に設けられたバリア層とをさらに備えた、請求項1〜請求項11のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記バリア層は、TiNを含む、請求項12に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記ソース電極は、TiAlSiを含む、請求項12または請求項13に記載の炭化珪素半導体装置。
- 175℃の温度下において、前記ゲート電極に対して−5Vのゲート電圧を100時間印加する第1のストレス試験を行う場合に、前記第1のストレス試験を行う前の閾値電圧を第1の閾値電圧とし、前記第1のストレス試験を行った後の閾値電圧を第2の閾値電圧とした場合、前記第1の閾値電圧と前記第2の閾値電圧との差の絶対値は、0.5V以下である、請求項1〜請求項14のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 主面を有する炭化珪素基板と、
前記炭化珪素基板の前記主面上に設けられたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極と、
前記ゲート電極を覆うように設けられた層間絶縁膜とを備え、
前記層間絶縁膜は、前記ゲート電極と接し、珪素原子を含み、かつリン原子およびホウ素原子のいずれも含まない第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に設けられ、かつ珪素原子と、リン原子およびホウ素原子の少なくとも一方とを含む第2絶縁膜と、
珪素原子を含み、かつリン原子およびホウ素原子のいずれも含まない第3絶縁膜とを含み、
前記第2絶縁膜は、前記第1絶縁膜と接する第1の面と、前記第1の面の反対側の第2の面と、前記第1の面と前記第2の面とを繋ぐ第3の面とを有し、
前記第3絶縁膜は、前記第2の面および前記第3の面の少なくとも一方に接しており、
前記第1絶縁膜は、前記ゲート絶縁膜と接する第4の面と、前記第4の面と反対側の第5の面と、前記第4の面と前記第5の面とを繋ぐ第6の面とを有しており、
前記第3絶縁膜は、前記第3の面と、前記第6の面とに接している、炭化珪素半導体装置。 - 前記第1絶縁膜は、SiO 2 、SiNおよびSiONのいずれかを含む、請求項16に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第2絶縁膜は、PSG、BSGおよびBPSGのいずれかを含む、請求項16または請求項17に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第3絶縁膜は、SiO 2 、SiNおよびSiONのいずれかを含む、請求項16〜請求項18のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記ゲート絶縁膜におけるナトリウム原子の濃度の最大値は、1×10 16 atoms/cm 3 以下である、請求項16〜請求項19のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第2絶縁膜におけるナトリウム原子の濃度の最大値は、前記第1絶縁膜におけるナトリウム原子の濃度の最大値よりも高い、請求項16〜請求項20のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記第2絶縁膜におけるナトリウム原子の濃度の最大値は、前記ゲート絶縁膜におけるナトリウム原子の濃度の最大値よりも高い、請求項16〜請求項21のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記炭化珪素基板に接し、かつアルミニウムを含むソース電極と、
前記ソース電極と前記層間絶縁膜との間に設けられたバリア層とをさらに備えた、請求項16〜請求項22のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記バリア層は、TiNを含む、請求項23に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記ソース電極は、TiAlSiを含む、請求項23または請求項24に記載の炭化珪素半導体装置。
- 175℃の温度下において、前記ゲート電極に対して−5Vのゲート電圧を100時間印加する第1のストレス試験を行う場合に、前記第1のストレス試験を行う前の閾値電圧を第1の閾値電圧とし、前記第1のストレス試験を行った後の閾値電圧を第2の閾値電圧とした場合、前記第1の閾値電圧と前記第2の閾値電圧との差の絶対値は、0.5V以下である、請求項16〜請求項25のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014217534A JP6267624B2 (ja) | 2014-10-24 | 2014-10-24 | 炭化珪素半導体装置 |
PCT/JP2015/074671 WO2016063630A1 (ja) | 2014-10-24 | 2015-08-31 | 炭化珪素半導体装置 |
CN201580051484.5A CN106716609B (zh) | 2014-10-24 | 2015-08-31 | 碳化硅半导体装置 |
DE112015004798.0T DE112015004798B4 (de) | 2014-10-24 | 2015-08-31 | Siliziumkarbid-Halbleitervorrichtung |
US15/512,916 US10014258B2 (en) | 2014-10-24 | 2015-08-31 | Silicon carbide semiconductor device having gate electrode |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014217534A JP6267624B2 (ja) | 2014-10-24 | 2014-10-24 | 炭化珪素半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016086064A JP2016086064A (ja) | 2016-05-19 |
JP6267624B2 true JP6267624B2 (ja) | 2018-01-24 |
Family
ID=55760677
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014217534A Active JP6267624B2 (ja) | 2014-10-24 | 2014-10-24 | 炭化珪素半導体装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10014258B2 (ja) |
JP (1) | JP6267624B2 (ja) |
CN (1) | CN106716609B (ja) |
DE (1) | DE112015004798B4 (ja) |
WO (1) | WO2016063630A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108010881B (zh) | 2016-10-31 | 2021-03-16 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体装置的制造方法 |
JP6822089B2 (ja) * | 2016-11-16 | 2021-01-27 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法、および炭化珪素半導体装置 |
KR20180104236A (ko) * | 2017-03-10 | 2018-09-20 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 전력 반도체 소자의 제조 방법 |
JP6785202B2 (ja) * | 2017-09-11 | 2020-11-18 | 株式会社豊田中央研究所 | 炭化珪素半導体装置 |
JP7006118B2 (ja) | 2017-10-17 | 2022-01-24 | 富士電機株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP7155634B2 (ja) * | 2018-06-12 | 2022-10-19 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置および炭化珪素半導体装置の製造方法 |
CN109742020B (zh) * | 2018-12-26 | 2021-09-28 | 芜湖启迪半导体有限公司 | 一种碳化硅器件的栅氧结构及其制备方法 |
JP7180425B2 (ja) | 2019-02-06 | 2022-11-30 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
US10998418B2 (en) * | 2019-05-16 | 2021-05-04 | Cree, Inc. | Power semiconductor devices having reflowed inter-metal dielectric layers |
US11342422B2 (en) * | 2020-07-30 | 2022-05-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Method of manufacturing semiconductor device and associated memory device |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5893324A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-03 | Nec Corp | 半導体装置 |
US5559052A (en) | 1994-12-29 | 1996-09-24 | Lucent Technologies Inc. | Integrated circuit fabrication with interlevel dielectric |
JPH11345964A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Rohm Co Ltd | Mosfetおよびその製造方法 |
JP2001007342A (ja) * | 1999-04-20 | 2001-01-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JP2004214610A (ja) * | 2002-12-20 | 2004-07-29 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
US7365009B2 (en) * | 2006-01-04 | 2008-04-29 | United Microelectronics Corp. | Structure of metal interconnect and fabrication method thereof |
JP4539684B2 (ja) * | 2007-06-21 | 2010-09-08 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
US8350293B2 (en) * | 2008-06-11 | 2013-01-08 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Field effect transistor and method of manufacturing the same |
JP5860580B2 (ja) * | 2009-05-25 | 2016-02-16 | 日産自動車株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP5893324B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2016-03-23 | サンスター株式会社 | メチルメルカプタン抑制剤 |
JP6297783B2 (ja) | 2013-03-08 | 2018-03-20 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
-
2014
- 2014-10-24 JP JP2014217534A patent/JP6267624B2/ja active Active
-
2015
- 2015-08-31 DE DE112015004798.0T patent/DE112015004798B4/de active Active
- 2015-08-31 CN CN201580051484.5A patent/CN106716609B/zh active Active
- 2015-08-31 US US15/512,916 patent/US10014258B2/en active Active
- 2015-08-31 WO PCT/JP2015/074671 patent/WO2016063630A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016063630A1 (ja) | 2016-04-28 |
US10014258B2 (en) | 2018-07-03 |
CN106716609A (zh) | 2017-05-24 |
US20170309574A1 (en) | 2017-10-26 |
DE112015004798T5 (de) | 2017-07-20 |
JP2016086064A (ja) | 2016-05-19 |
CN106716609B (zh) | 2020-09-01 |
DE112015004798B4 (de) | 2022-05-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
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|
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
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