JP6188281B2 - 光電変換装置 - Google Patents

光電変換装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6188281B2
JP6188281B2 JP2012118613A JP2012118613A JP6188281B2 JP 6188281 B2 JP6188281 B2 JP 6188281B2 JP 2012118613 A JP2012118613 A JP 2012118613A JP 2012118613 A JP2012118613 A JP 2012118613A JP 6188281 B2 JP6188281 B2 JP 6188281B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
region
photoelectric conversion
pixels
impurity diffusion
wiring layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2012118613A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2013247182A5 (enExample
JP2013247182A (ja
Inventor
享裕 黒田
享裕 黒田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2012118613A priority Critical patent/JP6188281B2/ja
Priority to US13/871,742 priority patent/US9236406B2/en
Publication of JP2013247182A publication Critical patent/JP2013247182A/ja
Publication of JP2013247182A5 publication Critical patent/JP2013247182A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6188281B2 publication Critical patent/JP6188281B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10—Integrated devices
    • H10F39/12—Image sensors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/80—Constructional details of image sensors
    • H10F39/802—Geometry or disposition of elements in pixels, e.g. address-lines or gate electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/80—Constructional details of image sensors
    • H10F39/813—Electronic components shared by multiple pixels, e.g. one amplifier shared by two pixels

Landscapes

  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
JP2012118613A 2012-05-24 2012-05-24 光電変換装置 Expired - Fee Related JP6188281B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012118613A JP6188281B2 (ja) 2012-05-24 2012-05-24 光電変換装置
US13/871,742 US9236406B2 (en) 2012-05-24 2013-04-26 Photoelectric conversion apparatus with gate control lines and wiring at same height

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012118613A JP6188281B2 (ja) 2012-05-24 2012-05-24 光電変換装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013247182A JP2013247182A (ja) 2013-12-09
JP2013247182A5 JP2013247182A5 (enExample) 2015-07-02
JP6188281B2 true JP6188281B2 (ja) 2017-08-30

Family

ID=49620918

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012118613A Expired - Fee Related JP6188281B2 (ja) 2012-05-24 2012-05-24 光電変換装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US9236406B2 (enExample)
JP (1) JP6188281B2 (enExample)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014175553A (ja) 2013-03-11 2014-09-22 Canon Inc 固体撮像装置およびカメラ
JP6223055B2 (ja) 2013-08-12 2017-11-01 キヤノン株式会社 光電変換装置
JP2015079899A (ja) * 2013-10-18 2015-04-23 ソニー株式会社 固体撮像素子および電子機器
JP6457822B2 (ja) 2015-01-21 2019-01-23 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像システム
JP6946046B2 (ja) 2017-04-28 2021-10-06 キヤノン株式会社 光電変換装置及びその駆動方法
JP2019133982A (ja) 2018-01-29 2019-08-08 キヤノン株式会社 撮像装置、撮像システム及び移動体
JP7146424B2 (ja) 2018-03-19 2022-10-04 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像システム
JP7171213B2 (ja) 2018-04-02 2022-11-15 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像システム
DE112019002463T5 (de) 2018-05-16 2021-04-22 Sony Semiconductor Solutions Corporation Festkörperbildgebungselement und festkörperbildgebungsvorrichtung
JP7152912B2 (ja) 2018-09-06 2022-10-13 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像システム
JP6852041B2 (ja) 2018-11-21 2021-03-31 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像システム
JP7292868B2 (ja) 2018-12-18 2023-06-19 キヤノン株式会社 検出器
CN111781756A (zh) * 2020-06-05 2020-10-16 北京小米移动软件有限公司 显示模组及其制作方法、电子设备
JP7527871B2 (ja) 2020-07-10 2024-08-05 キヤノン株式会社 光電変換装置及びその駆動方法
US12119334B2 (en) 2020-10-14 2024-10-15 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric conversion apparatus, photo-detection system, and movable body
JP7059338B2 (ja) * 2020-11-13 2022-04-25 キヤノン株式会社 撮像装置、撮像システム、および撮像装置の駆動方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2723890B2 (ja) * 1987-11-06 1998-03-09 株式会社日立製作所 カラーラインセンサ
KR0186201B1 (ko) * 1995-12-27 1999-05-01 엘지반도체 주식회사 컬러 선형 씨씨디 영상소자 및 이의 구동방법
JP3461265B2 (ja) * 1996-09-19 2003-10-27 株式会社東芝 固体撮像装置および固体撮像装置応用システム
JP3410016B2 (ja) * 1998-03-31 2003-05-26 株式会社東芝 増幅型固体撮像装置
JP3908411B2 (ja) * 1999-06-10 2007-04-25 富士通株式会社 固体撮像装置
JP2002354196A (ja) * 2001-05-30 2002-12-06 Canon Inc 画像読み取り装置
JP4298276B2 (ja) * 2002-12-03 2009-07-15 キヤノン株式会社 光電変換装置
JP2004335582A (ja) * 2003-05-01 2004-11-25 Canon Inc 光電変換装置
JP4578792B2 (ja) * 2003-09-26 2010-11-10 富士通セミコンダクター株式会社 固体撮像装置
JP4553612B2 (ja) * 2004-03-18 2010-09-29 ルネサスエレクトロニクス株式会社 撮像素子およびそれを備えた撮像装置
JP4230406B2 (ja) * 2004-04-27 2009-02-25 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 固体撮像装置
JP2006073736A (ja) * 2004-09-01 2006-03-16 Canon Inc 光電変換装置、固体撮像装置及び固体撮像システム
JP4508891B2 (ja) * 2005-01-28 2010-07-21 キヤノン株式会社 光電変換装置、マルチチップ型イメージセンサ、密着型イメージセンサおよび画像読取装置
JP4518996B2 (ja) * 2005-04-22 2010-08-04 シャープ株式会社 固体撮像装置の製造方法および電子情報装置
JP4331160B2 (ja) * 2005-12-07 2009-09-16 株式会社東芝 赤外線センサおよびその駆動方法
JP2007312047A (ja) * 2006-05-18 2007-11-29 Konica Minolta Holdings Inc 固体撮像装置
JP5132102B2 (ja) * 2006-08-01 2013-01-30 キヤノン株式会社 光電変換装置および光電変換装置を用いた撮像システム
JP5305622B2 (ja) * 2006-08-31 2013-10-02 キヤノン株式会社 光電変換装置の製造方法
JP2008118250A (ja) * 2006-11-01 2008-05-22 Seiko Epson Corp 固体撮像装置
JP4350768B2 (ja) * 2007-04-16 2009-10-21 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像装置
JP5063223B2 (ja) 2007-07-02 2012-10-31 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像システム
JP5038188B2 (ja) 2008-02-28 2012-10-03 キヤノン株式会社 撮像装置及びそれを用いた撮像システム
JP5221982B2 (ja) 2008-02-29 2013-06-26 キヤノン株式会社 固体撮像装置及びカメラ
JP5241454B2 (ja) * 2008-12-01 2013-07-17 キヤノン株式会社 固体撮像装置及びそれを用いた撮像システム
JP5284132B2 (ja) 2009-02-06 2013-09-11 キヤノン株式会社 固体撮像装置、撮像システム、および撮像装置の駆動方法
JP5440056B2 (ja) * 2009-09-15 2014-03-12 株式会社ニコン 固体撮像素子
JP2012147183A (ja) 2011-01-11 2012-08-02 Canon Inc 光電変換装置
JP6045136B2 (ja) 2011-01-31 2016-12-14 キヤノン株式会社 光電変換装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013247182A (ja) 2013-12-09
US20130313622A1 (en) 2013-11-28
US9236406B2 (en) 2016-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6188281B2 (ja) 光電変換装置
KR102545845B1 (ko) 반도체 장치 및 전자 기기
US11710753B2 (en) Solid-state imaging device and method of manufacturing the same, and imaging apparatus
JP4788742B2 (ja) 固体撮像装置及び電子機器
JP6619631B2 (ja) 固体撮像装置および撮像システム
JP5644177B2 (ja) 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器
JP6018376B2 (ja) 固体撮像装置およびカメラ
CN101764141B (zh) 固态图像获取装置及利用其的电子设备
CN109218635B (zh) 具有共享像素结构的图像传感器
WO2012005014A1 (ja) 固体撮像装置
JP2017195410A (ja) 固体撮像装置
JP2013084744A (ja) 固体撮像素子および電子機器
JP6526159B2 (ja) 固体撮像装置およびカメラ
CN113658966A (zh) 半导体装置和电子设备
JP6813971B2 (ja) 光電変換装置及び撮像システム
JP2014146820A (ja) 固体撮像装置
US20110115043A1 (en) Solid-state image sensor and imaging device
JP2010219563A (ja) 固体撮像装置及び電子機器
JP2020005131A (ja) 固体撮像素子及び撮像システム
JP2017011300A (ja) 固体撮像装置およびカメラ
CN116158088A (zh) 固态成像设备
JP2012212940A (ja) 光電変換装置および光電変換装置を用いた撮像システム
JP2006059847A (ja) 固体撮像装置
JP2014239183A (ja) 光電変換装置
JP2020005001A (ja) 固体撮像素子および撮像装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150513

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150513

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160309

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160426

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160621

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161206

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170206

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170704

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170801

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6188281

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees