JP6168353B2 - 光偏向装置、画像形成装置、車両、光偏向装置の制御方法、及び光偏向装置の調整方法 - Google Patents
光偏向装置、画像形成装置、車両、光偏向装置の制御方法、及び光偏向装置の調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6168353B2 JP6168353B2 JP2013190410A JP2013190410A JP6168353B2 JP 6168353 B2 JP6168353 B2 JP 6168353B2 JP 2013190410 A JP2013190410 A JP 2013190410A JP 2013190410 A JP2013190410 A JP 2013190410A JP 6168353 B2 JP6168353 B2 JP 6168353B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- voltages
- axis
- light
- beams
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N9/00—Details of colour television systems
- H04N9/12—Picture reproducers
- H04N9/31—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
- H04N9/3129—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] scanning a light beam on the display screen
- H04N9/3135—Driving therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013190410A JP6168353B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | 光偏向装置、画像形成装置、車両、光偏向装置の制御方法、及び光偏向装置の調整方法 |
| CN201410443147.8A CN104459995B (zh) | 2013-09-13 | 2014-09-02 | 光偏转装置以及控制和调整方法、图像形成装置、车辆 |
| EP14183435.8A EP2848978B1 (en) | 2013-09-13 | 2014-09-03 | Optical deflecting device, apparatus including the same, and method of controlling optical deflecting device |
| US14/483,393 US9291817B2 (en) | 2013-09-13 | 2014-09-11 | Optical deflection device, apparatus including the same, and method of controlling optical deflecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013190410A JP6168353B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | 光偏向装置、画像形成装置、車両、光偏向装置の制御方法、及び光偏向装置の調整方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015055829A JP2015055829A (ja) | 2015-03-23 |
| JP2015055829A5 JP2015055829A5 (enExample) | 2016-08-18 |
| JP6168353B2 true JP6168353B2 (ja) | 2017-07-26 |
Family
ID=51453695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013190410A Active JP6168353B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | 光偏向装置、画像形成装置、車両、光偏向装置の制御方法、及び光偏向装置の調整方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9291817B2 (enExample) |
| EP (1) | EP2848978B1 (enExample) |
| JP (1) | JP6168353B2 (enExample) |
| CN (1) | CN104459995B (enExample) |
Families Citing this family (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6311314B2 (ja) * | 2014-01-06 | 2018-04-18 | 株式会社リコー | 光偏向装置、光走査装置、画像表示装置及び画像形成装置 |
| JP6332736B2 (ja) * | 2014-02-25 | 2018-05-30 | 株式会社リコー | 傾斜動作装置並びにこれを用いた光走査装置及び画像表示装置 |
| JP6533365B2 (ja) * | 2014-03-13 | 2019-06-19 | 株式会社リコー | 光偏向装置、光偏向ミラー及び画像表示装置 |
| JP2016191853A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | 投影表示装置 |
| EP3109685B1 (en) * | 2015-06-22 | 2021-07-28 | Ricoh Company, Ltd. | Optical deflection apparatus, image forming apparatus, image display apparatus, object apparatus and method of adjusting optical deflection apparatus |
| JP6891402B2 (ja) * | 2015-06-22 | 2021-06-18 | 株式会社リコー | 光偏向装置、画像形成装置、画像表示装置、物体装置、及び光偏向装置の調整方法 |
| JP6617444B2 (ja) * | 2015-06-24 | 2019-12-11 | 株式会社リコー | 圧電アクチュエータ装置、光偏向器、画像投影装置、画像形成装置及び移動体装置 |
| JP6790523B2 (ja) * | 2015-08-26 | 2020-11-25 | 株式会社リコー | アクチュエータ制御装置、駆動システム、映像機器、画像投影装置、アクチュエータ制御方法、および移動体 |
| CN106646857B (zh) * | 2015-11-02 | 2020-01-21 | 华为技术有限公司 | 一种压电微镜和控制方法 |
| JP6686480B2 (ja) * | 2016-02-02 | 2020-04-22 | 株式会社リコー | 光偏向器及び画像投影装置 |
| EP3220183B1 (en) | 2016-03-17 | 2021-11-10 | Ricoh Company, Ltd. | Control unit, optical deflection system, image projection apparatus, and control method |
| JP6915292B2 (ja) * | 2016-03-17 | 2021-08-04 | 株式会社リコー | 制御装置、光偏向システム、画像投影装置、車両、移動体、非移動体、光書込装置、物体認識装置及び制御方法 |
| ITUA20162170A1 (it) * | 2016-03-31 | 2017-10-01 | St Microelectronics Srl | Dispositivo mems oscillante intorno a due assi e dotato di un sistema di rilevamento di posizione, in particolare di tipo piezoresistivo |
| JP6888354B2 (ja) * | 2017-03-21 | 2021-06-16 | 株式会社リコー | 光走査システム、画像投影装置、物体認識装置 |
| JP2019058993A (ja) * | 2017-09-27 | 2019-04-18 | セイコーエプソン株式会社 | ロボットシステム |
| JP7161094B2 (ja) * | 2018-04-18 | 2022-10-26 | ミツミ電機株式会社 | 走査駆動装置、光走査制御装置及び駆動波形生成方法 |
| US11040452B2 (en) * | 2018-05-29 | 2021-06-22 | Abb Schweiz Ag | Depth sensing robotic hand-eye camera using structured light |
| JP7167500B2 (ja) * | 2018-06-25 | 2022-11-09 | 株式会社リコー | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び車両 |
| DE102018215528A1 (de) * | 2018-09-12 | 2020-03-12 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil |
| CN109192011A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-01-11 | 上海极矩教育科技有限公司 | 双对称轴函数成周期及波动图形演示系统及方法 |
| US10514446B1 (en) | 2018-12-07 | 2019-12-24 | Didi Research America, Llc | System and methods for controlling micro-mirror array |
| JP7172557B2 (ja) * | 2018-12-19 | 2022-11-16 | 株式会社リコー | 光偏向装置、画像投影装置、レーザヘッドランプ及び移動体 |
| US11307403B2 (en) * | 2019-04-05 | 2022-04-19 | Infineon Technologies Ag | Synchronization of microelectromechanical system (MEMS) mirrors |
| JP7363177B2 (ja) | 2019-08-07 | 2023-10-18 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査システム、画像投影装置、画像形成装置、レーザレーダ |
| US11750779B2 (en) | 2019-08-20 | 2023-09-05 | Ricoh Company, Ltd. | Light deflector, optical scanning system, image projection device, image forming apparatus, and lidar device |
| JP7481099B2 (ja) | 2019-09-11 | 2024-05-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光走査システムの製造方法、光走査装置の製造方法及びデータ取得方法 |
| US11796793B2 (en) | 2019-11-27 | 2023-10-24 | Ricoh Company, Ltd. | Optical deflector, deflection apparatus, distance measuring apparatus, image projecting apparatus, and movable body |
| JP7354797B2 (ja) | 2019-11-27 | 2023-10-03 | 株式会社リコー | 光偏向器、偏向装置、距離測定装置、画像投影装置、及び車両 |
| WO2021106488A1 (ja) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光制御システム及び光学反射素子 |
| US11789258B2 (en) | 2019-11-27 | 2023-10-17 | Ricoh Company, Ltd. | Light deflector, deflecting device, object recognition device, image projection device, and mobile object |
| JP2021101219A (ja) * | 2019-12-24 | 2021-07-08 | 株式会社リコー | 回転装置、光偏向装置、表示システムおよび移動体 |
| JP7469940B2 (ja) * | 2020-03-31 | 2024-04-17 | パイオニア株式会社 | 光偏向器 |
| US12164103B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-12-10 | STMicroelectronics (Research &Develoment) Limited | Compact line scan MEMS time of flight system with actuated lens |
| US11747611B2 (en) | 2020-12-16 | 2023-09-05 | Stmicroelectronics (Research & Development) Limited | Compact line scan mems time of flight system with actuated lens |
| US11703685B1 (en) * | 2022-01-28 | 2023-07-18 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Dynamic adjustment of micromirror for heads-up display using photochromatic material |
| JP2024011911A (ja) * | 2022-07-15 | 2024-01-25 | 株式会社リコー | 可動装置、光偏向装置、画像投影装置、移動体およびヘッドマウントディスプレイ |
| WO2024180943A1 (ja) * | 2023-02-27 | 2024-09-06 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 音叉型駆動素子、光偏向素子および駆動装置 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6054335A (en) * | 1997-12-12 | 2000-04-25 | Xerox Corporation | Fabrication of scanning III-V compound light emitters integrated with Si-based actuators |
| CN1107937C (zh) * | 1998-07-15 | 2003-05-07 | 精工爱普生株式会社 | 图像显示装置及图像显示装置的调整方法 |
| US8081363B2 (en) * | 2007-08-23 | 2011-12-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical beam scanning apparatus and image forming apparatus |
| US8780096B2 (en) * | 2009-11-19 | 2014-07-15 | Panasonic Corporation | Scanning image display apparatus |
| JP5397184B2 (ja) | 2009-11-19 | 2014-01-22 | コニカミノルタ株式会社 | 2次元光スキャナ駆動装置 |
| JP5293668B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2013-09-18 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子 |
| US9541758B2 (en) * | 2010-05-26 | 2017-01-10 | Bernd Ludewig | Display, in particular head-up-display of a vehicle |
| JP5670227B2 (ja) * | 2011-03-04 | 2015-02-18 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器の駆動装置 |
| JP2012198314A (ja) | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Ricoh Co Ltd | アクチュエータ装置、光偏向装置、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
| JP5659056B2 (ja) * | 2011-03-22 | 2015-01-28 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器の駆動装置 |
| JP2013029669A (ja) * | 2011-07-28 | 2013-02-07 | Kyocera Document Solutions Inc | 画像形成装置 |
| JP2014048571A (ja) * | 2012-09-03 | 2014-03-17 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、画像形成装置及び画像投影装置 |
| JP6229309B2 (ja) * | 2013-05-24 | 2017-11-15 | 株式会社リコー | 光走査装置、画像形成装置、画像投影装置 |
-
2013
- 2013-09-13 JP JP2013190410A patent/JP6168353B2/ja active Active
-
2014
- 2014-09-02 CN CN201410443147.8A patent/CN104459995B/zh active Active
- 2014-09-03 EP EP14183435.8A patent/EP2848978B1/en active Active
- 2014-09-11 US US14/483,393 patent/US9291817B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2015055829A (ja) | 2015-03-23 |
| CN104459995B (zh) | 2017-05-17 |
| CN104459995A (zh) | 2015-03-25 |
| US20150077823A1 (en) | 2015-03-19 |
| EP2848978B1 (en) | 2017-06-21 |
| US9291817B2 (en) | 2016-03-22 |
| EP2848978A1 (en) | 2015-03-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6168353B2 (ja) | 光偏向装置、画像形成装置、車両、光偏向装置の制御方法、及び光偏向装置の調整方法 | |
| JP6891402B2 (ja) | 光偏向装置、画像形成装置、画像表示装置、物体装置、及び光偏向装置の調整方法 | |
| JP6641709B2 (ja) | 光偏向装置、画像形成装置、画像表示装置、移動体装置、及び光偏向装置の調整方法 | |
| JP5687880B2 (ja) | 画像表示装置 | |
| JP6485013B2 (ja) | 光偏向器、画像表示装置及び物体装置 | |
| JP4161971B2 (ja) | 光走査装置及び画像表示装置 | |
| US9414032B2 (en) | Video projection apparatus capable of operating at optimum resonant frequency and its controlling method | |
| JP5549459B2 (ja) | 画像表示装置 | |
| JP6278180B2 (ja) | 光走査装置、画像表示装置及び移動体 | |
| US20130278984A1 (en) | Optical scanning device | |
| JP5083452B2 (ja) | 光走査装置、光走査装置の制御方法及び画像表示装置 | |
| JP4929738B2 (ja) | 光走査装置、光走査装置の制御方法及び画像表示装置 | |
| JP6398599B2 (ja) | 光偏向装置、光走査装置、画像投影装置、及びヘッドアップディスプレイ | |
| JP6311314B2 (ja) | 光偏向装置、光走査装置、画像表示装置及び画像形成装置 | |
| EP3109685B1 (en) | Optical deflection apparatus, image forming apparatus, image display apparatus, object apparatus and method of adjusting optical deflection apparatus | |
| JP2015040928A (ja) | 光偏向装置、画像形成装置、車両及び光偏向装置の制御方法 | |
| JP6508563B2 (ja) | 光偏向装置、画像形成装置、画像表示装置、物体装置及び光偏向器の駆動方法 | |
| JP6478008B2 (ja) | 画像表示装置 | |
| JP4735608B2 (ja) | 画像表示装置 | |
| JP6123877B2 (ja) | 画像表示装置 | |
| JP5863998B2 (ja) | 画像表示装置 | |
| JP2021101219A (ja) | 回転装置、光偏向装置、表示システムおよび移動体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160630 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160630 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170324 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170403 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170525 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170601 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170614 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6168353 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |