JP6508563B2 - 光偏向装置、画像形成装置、画像表示装置、物体装置及び光偏向器の駆動方法 - Google Patents
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Description
また、各駆動波形における定昇圧時間帯と定降圧時間帯は、略同一時間である。
また、各駆動波形における高定電圧時間帯と低定電圧時間帯の合計時間の1周期に対する割合は、1割〜3割である。
Claims (11)
- 反射面を有するミラー構造部と、
前記ミラー構造部に接続された、複数の梁が蛇行するように連続する蛇行部と前記複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材とを含み、前記ミラー構造部を揺動可能に支持する支持構造部と、
隣り合う2つの前記梁に個別に設けられた2つの前記圧電部材に異なる2つの周期波形の電圧を並行して個別に印加する駆動装置と、を備え、
前記2つの周期波形それぞれは、電圧が上昇する昇圧時間帯、電圧が降下する降圧時間帯、及び前記昇圧時間帯と前記降圧時間帯との間の電圧が一定の定電圧時間帯を1周期に含み、かつ前記2つの周期波形は位相が180°ずれた略同一の波形であり、かつ前記昇圧時間帯と前記降圧時間帯は略同一の時間であることを特徴とする光偏向装置。 - 前記定電圧時間帯は、前記昇圧時間帯後かつ前記降圧時間帯前の高定電圧時間帯、及び前記降圧時間帯後かつ前記昇圧時間帯前の低定電圧時間帯の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1に記載の光偏向装置。
- 前記高定電圧時間帯と前記低定電圧時間帯の合計の前記1周期に対する割合は、1割〜3割であることを特徴とする請求項2に記載の光偏向装置。
- 前記昇圧時間帯及び前記降圧時間帯それぞれにおける電圧の時間に対する変化は、一定であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光偏向装置。
- 画像情報に基づいて変調された光を出射する光源部と、
前記光源部からの光を偏向する請求項1〜4のいずれか一項に記載の光偏向装置と、を備える画像形成装置。 - 前記昇圧時間帯と前記降圧時間帯の合計は、1画面を表示する時間に相当することを特徴とする請求項5に記載の画像形成装置。
- 前記昇圧時間帯及び前記降圧時間帯それぞれは、1画面を表示する時間に相当することを特徴とする請求項5に記載の画像形成装置。
- スクリーンと、
前記スクリーンに画像を形成する請求項5〜7のいずれか一項に記載の画像形成装置と、を備え、
前記画像を形成した光を透過反射部材に入射させる画像表示装置。 - 請求項8に記載の画像表示装置と、
前記画像表示装置が搭載される物体と、を備える物体装置。 - 反射面を有するミラー構造部と、
前記ミラー構造部に接続された、複数の梁が蛇行するように連続する蛇行部と、前記複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材とを含み、前記ミラー構造部を揺動可能に支持する支持構造部と、を備える光偏向器の駆動方法であって、
隣り合う2つの前記梁に個別に設けられた2つの前記圧電部材に異なる2つの周期波形の電圧を並行して個別に印加する工程を含み、
前記印加する工程は、
電圧を上昇させる昇圧工程と、
電圧を下降させる降圧工程と、
前記昇圧工程と前記降圧工程との間に行われる定電圧維持工程と、を含み、
前記昇圧工程における電圧を上昇させる昇圧時間帯、前記降圧工程における電圧を降下させる降圧時間帯、及び前記定電圧維持工程における電圧が一定の定電圧時間帯を1周期に含み、かつ前記2つの周期波形は位相が180°ずれた略同一の波形であり、かつ前記昇圧時間帯と前記降圧時間帯は略同一の時間であることを特徴とする光偏向器の駆動方法。 - 前記定電圧維持工程は、前記昇圧工程後かつ前記降圧工程前の高定電圧維持工程、及び前記降圧工程後かつ前記昇圧工程前の低定電圧維持工程の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項10に記載の光偏向器の駆動方法。
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