JP6164292B2 - チューナブルフィルタ - Google Patents

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Description

本発明は、複数の弾性波共振子を有するチューナブルフィルタに関し、より詳細には、ラダー型回路構成を有するチューナブルフィルタに関する。
従来、通過帯域を変化させ得るチューナブルフィルタが種々提案されている。例えば下記の特許文献1に記載のチューナブルフィルタでは、入力端と出力端とを結ぶ直列腕に直列腕共振子が配置されている。この直列腕共振子に帯域幅拡大用インダクタンスが直列に接続されている。
また、特許文献1には、他の構成として、複数の直列腕共振子と並列腕共振子とを有するラダー型回路構成のチューナブルフィルタも開示されている。このラダー型回路構成のチューナブルフィルタでは、直列腕共振子に直列及び並列に可変コンデンサが接続されている。
下記の特許文献2にも、ラダー型回路構成のチューナブルフィルタが開示されている。特許文献2では、直列腕共振子に直列及び並列にそれぞれ可変コンデンサが接続されている。同様に、並列腕共振子にも直列及び並列にそれぞれ可変コンデンサが接続されている。
WO2011/093449 A1号公報 特開2009−130831号公報
特許文献1に記載のラダー型回路構成を有するチューナブルフィルタや特許文献2に記載のラダー型回路構成を有するチューナブルフィルタでは、上記可変コンデンサを接続することにより通過帯域を変化させることができるだけでなく、周波数可変帯域幅を調整することができるとされている。しかしながら、可変コンデンサを接続するのみでは、共振子の帯域を十分な大きさとすることができなかった。
ところで、ラダー型フィルタでは、直列腕共振子のインピーダンスと並列腕共振子のインピーダンスの比を大きくとると、帯域外減衰量の拡大が図れる。しかしながら、直列腕共振子のインピーダンスを高くしすぎると、フィルタの挿入損失が大きくなる。したがって、通常、直列腕共振子のインピーダンスと並列腕共振子のインピーダンスの比は3倍〜6倍とされている。
一方、特許文献1に記載のチューナブルフィルタでは、直列腕共振子に直列にインダクタンスを接続することにより帯域幅の拡大が図られている。しかしながら、特許文献1のように、直列腕や並列腕の共振子にインダクタンスを接続して共振子の帯域を広帯域化しようとした場合、直列腕共振子と並列腕共振子のインピーダンスの比が3倍〜6倍とされている共振子において、該インピーダンスの比がさらに大きくなり、その結果、直列共振子の共振抵抗が大きくなって挿入損失が劣化してしまい、十分な特性が得られない、という問題がある。
本発明の目的は、可変帯域幅を拡げ得るだけでなく、帯域外減衰量を確保して、低損失のチューナブルフィルタを提供することにある。
本発明は、入力端と出力端とを結ぶ直列腕と、前記直列腕とグラウンド電位とを結ぶ並列腕とを有するラダー型回路構成のチューナブルフィルタである。本発明に係るチューナブルフィルタは、複数の直列腕共振子と、並列腕共振子と、第1の可変コンデンサと、第2の可変コンデンサと、第1のインダクタンスとを備える。上記複数の直列腕共振子は、直列腕において、互いに直列に接続されてなる。上記並列腕共振子は、並列腕に設けられてなる。
第1の可変コンデンサは直列腕共振子に直列に接続されている。第2の可変コンデンサは並列腕共振子に並列に接続されている。第1のインダクタンスは、各直列腕共振子に接続されている。本発明では、直列腕共振子の共振周波数における共振インピーダンスをZrs、並列腕共振子の共振周波数における共振インピーダンスをZrpとしたとき、比Zrs/Zrpが1以下である。好ましくは、Zrs<Zrpである。
本発明に係るチューナブルフィルタの他の局面では、前記第1のインダクタンスが前記各直列腕共振子に直列に接続されている。
本発明に係るチューナブルフィルタのある特定の局面では、前記直列腕共振子と該直列腕共振子に直列に接続されている前記第1のインダクタンスとを含む直列回路部分の共振インピーダンスをZrsとしたときに、ZrsがZrpの2倍〜6倍の範囲にある。
本発明に係るチューナブルフィルタの他の特定の局面では、前記並列腕共振子に並列に第2のインダクタンスが接続されている。
本発明に係るチューナブルフィルタのさらに他の特定の局面では、前記直列腕共振子と該直列腕共振子に直列に接続されている第1のインダクタンスからなる直列回路部分の共振インピーダンスをZrsとし、前記並列腕共振子と該並列腕共振子に並列に接続されている第2のインダクタンスとからなる並列回路部分の共振インピーダンスをZrpとしたとき、ZrsがZrpの2倍〜6倍の範囲にある。
本発明に係るチューナブルフィルタの別の特定の局面では、前記直列腕共振子と該直列腕共振子に直列に接続されている第1のインダクタンスからなる直列回路部分の反共振インピーダンスをZasとし、前記並列腕共振子と該並列腕共振子に並列に接続されている第2のインダクタンスとからなる並列回路部分の反共振インピーダンスをZapとしたとき、ZasがZapより大きい。
本発明に係るチューナブルフィルタのさらに別の特定の局面では、前記直列腕共振子の反共振インピーダンスと共振インピーダンスのインピーダンス比が65dB以上である。
本発明に係るチューナブルフィルタのさらに別の特定の局面では、前記並列腕共振子の反共振インピーダンスと共振インピーダンスのインピーダンス比が65dB以上である。
本発明に係るチューナブルフィルタの他の特定の局面では、前記第1のインダクタンスのQが40以上である。
本発明に係るチューナブルフィルタの他の特定の局面では、前記第1のインダクタンスが各直列腕共振子に並列に接続されている。
本発明に係るチューナブルフィルタの他の特定の局面では、前記並列腕共振子に並列に接続された第2のインダクタンスをさらに備える。
本発明に係るチューナブルフィルタの他の特定の局面では、前記並列腕共振子と前記第2のインダクタンスとを有する並列回路部分のインピーダンスをZrp、前記直列腕共振子と前記第1のインダクタンスとを有する直列回路部分のインピーダンスをZrsとしたとき、ZrpがZrsよりも小さい。
本発明に係るチューナブルフィルタの他の特定の局面では、前記並列腕共振子に直列に接続された第2のインダクタンスとをさらに備える。
本発明に係るチューナブルフィルタの他の特定の局面では、前記並列腕共振子と前記第2のインダクタンスとを有する並列回路部分のインピーダンスをZrp、前記直列腕共振子と前記第1のインダクタンスとを含む直列回路部分のインピーダンスをZrsとしたときに、ZrpがZrsよりも小さい。
本発明に係るチューナブルフィルタによれば、比Zrs/Zrpが1以下であり、直列腕共振子にインダクタンスが接続されているため、フィルタ帯域を広くすることができるとともに、低損失を維持しつつ、帯域外減衰量を確保することができる。しかも、直列腕共振子及び並列腕共振子に上記第1の可変コンデンサ及び第2の可変コンデンサがそれぞれ接続されているため、可変帯域幅を拡げることができる。
図1は、本発明の一実施形態に係るチューナブルフィルタの回路図である。 図2は、直列腕共振子に直列に種々のインダクタンス値の第1のインダクタンスを接続した場合の直列回路部分のインピーダンス特性を示す図である。 図3は、並列腕共振子に並列に種々のインダクタンス値の第2のインダクタンスを接続した場合の並列回路部分のインピーダンス特性を示す図である。 図4は、本発明の一実施形態のチューナブルフィルタで用いられる直列腕共振子及び並列腕共振子のインピーダンス特性を示す図である。 図5は、図4に特性を示した直列腕共振子に直列に第1のインダクタンスを接続した直列回路部分、並びに図4に特性を示した並列腕共振子に並列に第2のインダクタンスを接続してなる並列回路部分のインピーダンス特性を示す図である。 図6は、本発明の一実施形態に係るチューナブルフィルタのフィルタ特性を示す図である。 図7は、本発明の一実施形態のチューナブルフィルタで用いられる弾性波共振子を示す平面図である。 図8は、比較例のラダー型回路構成のチューナブルフィルタで用いられる、直列腕共振子及び並列腕共振子のインピーダンス特性を示す図である。 図9は、比較例のチューナブルフィルタのフィルタ特性を示す図である。 図10は、インダクタンスL1a,L1b,L2のQが50の場合のチューナブルフィルタの挿入損失−周波数特性を示す図である。 図11は、本発明のチューナブルフィルタの変形例を説明するための回路図である。 図12は、本発明のチューナブルフィルタの他の変形例の回路図である。 図13は、図11に示したチューナブルフィルタにおけるインダクターにおける伸張作用を説明するためのインピーダンス周波数特性を示す図である。 図14は、図12に示したチューナブルフィルタにおけるインダクターにおける伸張作用を説明するためのインピーダンス周波数特性を示す図である。
以下、図面を参照しつつ本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
図1は、本発明の一実施形態に係るチューナブルフィルタの回路図である。
チューナブルフィルタ1は、入力端子2と出力端子3とを有する。入力端子2と出力端子3とを結ぶ直列腕には、直列腕共振子S1,S2が互いに接続されている。直列腕共振子S1,S2間の接続点4とグラウンド電位とを結ぶ並列腕に並列腕共振子P1が設けられている。すなわち、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1を有するT型のラダー型回路が構成されている。
本実施形態では、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1は弾性表面波共振子からなる。もっとも、弾性境界波共振子などの他の弾性波共振子を用いてもよい。さらには、弾性波共振子だけでなく、その他の共振子であってもよい。
直列腕共振子S1に直列に可変コンデンサCss1が接続されている。また、直列腕共振子S1に、可変コンデンサCsp1が並列に接続されている。直列腕共振子S2に直列に可変コンデンサCss2が接続されており、並列に可変コンデンサCsp2が接続されている。
他方、並列腕共振子P1に並列に可変コンデンサCpp1が接続されている。並列腕共振子P1に直列に可変コンデンサCps1が接続されている。
上記可変コンデンサCss1,Csp1,Csp2,Css2,Cpp1,Cps1の静電容量を変化させることにより、通過帯域幅を調整することができる。このようなチューナブルフィルタの基本的構成は、前述した特許文献1にも記載されている。
チューナブルフィルタ1の特徴は、直列腕共振子S1,S2の共振インピーダンスをZrsとし、並列腕共振子P1の共振インピーダンスをZrpとしたとき、すなわち、可変コンデンサやインダクタンスを接続する前の直列腕共振子および並列腕共振子において、比Zrs/Zrpが1以下とされており、より好ましくは1よりも小さくされていることにある。ここで、共振インピーダンスとは、共振子の共振周波数におけるインピーダンスを指し、該共振周波数とは、共振子のインピーダンスが最小となる周波数を指す。また、反共振インピーダンスとは、共振子の反共振周波数におけるインピーダンスを指し、該反共振周波数とは、共振子のインピーダンスが最大となる周波数を指す。
上記のように、比Zrs/Zrpを1以下としたとしても、第1のインダクタンスL1a,L1bが直列腕共振子S1,S2にそれぞれ直列に接続されていることにより、十分な帯域幅の拡大を得ることができる。さらに、インダクタンスが接続された後の直列回路部分の共振インピーダンスをZrsとすると、ZrsとZrpの比が2倍〜6倍になるため、帯域外減衰量の拡大を図ることができる。また、第2のインダクタンスL2が並列腕共振子P1に並列に接続されているため、帯域幅がより一層拡げられる。これを、以下においてより具体的に説明する。
図2の実線Aは、第1のインダクタンスL1aが接続されていない直列腕共振子S1のインピーダンス特性を示す。破線B、実線C及び破線Dは、それぞれ、上記直列腕共振子S1に、直列にQ=40の1nH、1.5nH及び2nHのインダクタンス値の第1のインダクタンスを接続してなる直列回路部分のインピーダンス特性をそれぞれ示す。インダクタンスを接続することにより、共振子のインピーダンスが10〜15dB劣化しているが、共振子における元々の反共振周波数と共振周波数のインピーダンス比が60dB以上ある場合はそれほど問題とならない。本共振子は65dBのインピーダンス比を有している。
図2から明らかなように、直列腕共振子S1に直列に第1のインダクタンスL1aを接続してなる直列回路部分では、元の直列腕共振子S1の共振特性に比べ、共振抵抗が大きくなることがわかる。すなわち、接続される第1のインダクタンスL1aのインダクタンス値が大きくなるにつれ、共振周波数におけるインピーダンスが高くなり、かつ共振周波数が低くなることがわかる。
他方、図3の実線Eは上記並列腕共振子P1のインピーダンス特性を示す。図3の実線F、破線G及び一点鎖線Hは、それぞれ、並列腕共振子P1に並列にQ=40で1.5nH、1.85nH及び2nHのインダクタンス値の第2のインダクタンスL2を接続してなる並列回路部分のインピーダンス特性を示す。ここでもインピーダンス比の劣化が見られるが、共振子における元々の反共振周波数と共振周波数のインピーダンス比が60dB以上あれば問題とはならない。
図3から明らかなように、並列腕共振子P2に並列に第2のインダクタンスL2を接続した場合、共振周波数におけるインピーダンス値は変化せず、反共振周波数が高くなることがわかる。また、反共振周波数におけるインピーダンス値は低くなる。
もっとも、上記第2のインダクタンスL2のインダクタンス値が小さい方が反共振周波数がより高くなっていくことがわかる。
図4は、上記実施形態で用いられている直列腕共振子S1及び並列腕共振子P1のインピーダンス特性を示す図である。図4の破線S1が直列腕共振子S1のインピーダンス特性を示し、実線P1が並列腕共振子P1のインピーダンス特性を示す。ここでZrp=0.47Ω、Zrs=0.40Ωである。
図4から明らかなように、直列腕共振子S1の共振周波数における共振インピーダンスZrsは、並列腕共振子P1の共振周波数における共振インピーダンスZrpよりも小さくなっている。従って、低損失を維持しつつ、帯域外減衰量を確保できる。
他方、図5は、上記直列腕共振子S1にインダクタンス値1.5nHの第1のインダクタンスL1aを接続してなる直列回路部分S0及び上記並列腕共振子P1に並列にインダクタンス値1.85nHの第2のインダクタンスL2を接続した並列回路部分P0のインピーダンス特性を示す。図5の矢印Uで示すように直列回路部分では、共振周波数付近におけるインピーダンスが高められている。一方、反共振インピーダンスも直列回路部分のほうが大きくなっており、直列回路部分の反共振インピーダンスをZas、並列回路部分の反共振インピーダンスをZapとしたとき、Zas>Zapである。
従って、直列回路部分の共振周波数におけるインピーダンスは、並列回路部分の共振周波数におけるインピーダンスよりも高められている。すなわち、Zrs>Zrpである。よって、本実施形態では、可変コンデンサやインダクタンスを接続する前の比Zrs/Zrpが1よりも小さい直列腕共振子S1及び並列腕共振子P1を用いているが、可変コンデンサやインダクタンスを接続した後の共振インピーダンスの関係はZrs>Zrpであるため、帯域外減衰量を十分に大きくすることができる。また、Zas>Zap、では、帯域外減衰量をより大きくすることができる。そして、上記回路構成に従って可変コンデンサの容量を調整することにより通過帯域の位置および帯域幅を変化させることができる。
なお、本実施形態では、第2のインダクタンスL2が用いられているが、第2のインダクタンスL2は省略されてもよい。もっとも、好ましくは、第2のインダクタンスL2を備え、さらに、Zas>Zapであることが望ましい。それによって、より一層帯域幅を拡げることができる。
図6は、上記実施形態のチューナブルフィルタ1において、可変コンデンサCss1,Csp1,Csp2,Css2,Cpp1,Cps1を下記の表1のX,YまたはZの組み合わせとした場合のフィルタ特性を示す図である。
Figure 0006164292
なお、L1a=L1b=1.5nH、L2=1.85nHとした。
図6から明らかなように、可変コンデンサの静電容量を調整することにより、34%の大きな周波数可変幅が得られることがわかる。
比較のために、図9に比較例のチューナブルフィルタのフィルタ特性を示す。この比較例のチューナブルフィルタでは、直列腕共振子S1及び並列腕共振子P1のインピーダンス特性を図8に示すとおりとした。ここでは、直列腕共振子S1の共振周波数における共振インピーダンスZrsを、並列腕共振子P1の共振周波数における共振インピーダンスZrpの4倍とした。また、直列腕共振子S1及び並列腕共振子P1の共振周波数−反共振周波数差である帯域幅は約17%である。
このような直列腕共振子S1及び並列腕共振子P1を用い、第1及び第2のインダクタンスL1a,L1b,L2を接続しなかったことを除いては上記実施形態と同様のチューナブルフィルタを構成した。そして、表2に示したように可変コンデンサCss1,Csp1,Csp2,Css2,Cpp1,Cps1の静電容量を設定した。
Figure 0006164292
図9から明らかなように、この比較例のチューナブルフィルタでは、周波数可変範囲は約9%と狭いことがわかる。
また、図6と図9とを対比すれば明らかなように、比較例のチューナブルフィルタの帯域外減衰量に比べ、図6に示した実施形態のチューナブルフィルタにおける帯域外減衰量はほぼ同等であることがわかる。従って、Zrs>Zrpではなく、比Zrs/Zrpが1より小さい上記実施形態の場合においても、低損失を維持しつつ、十分な帯域外減衰量を得ることができることがわかる。
よって、上記実施形態のチューナブルフィルタによれば、低損失を維持しつつ、帯域外減衰量の確保及び周波数可変幅の拡大を図ることが可能となる。
なお、前述した直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1を構成する弾性波共振子は特に限定されず、例えば図7に示す弾性表面波共振子を用いて構成することができる。この弾性表面波共振子では、圧電基板11上に、IDT電極12が形成されている。IDT電極12の弾性表面波伝播方向両側に反射器13,14が形成されている。そして、IDT電極12及び反射器13,14を覆うようにSiOなどからなる誘電体層15が形成されている。なお、誘電体層15は形成されておらずともよい。
このような一般的な1ポート型弾性表面波共振子を用いて、直列腕共振子S1や並列腕共振子P1を構成することができる。もっとも、弾性境界波共振子などの他の弾性波共振子を用いてもよい。
また、上記実施形態では、図1に示すように、2個の直列腕共振子S1,S2と1個の並列腕共振子P1が用いられていたが、ラダー型回路構成における直列腕共振子及び並列腕共振子の数は上記実施形態の構成に限定されるものではない。ここでは、T型のラダー型フィルタの回路構成を示したが、π型のラダー型フィルタでも同様の条件で本件の効果を得ることができる。これらのラダー型フィルタの構成を有する限り、上記実施形態を適宜変形することができる。
また、上記チューナブルフィルタを構成するに際し、可変コンデンサCsp1,Csp2や可変コンデンサCps1などは省略されてもよい。
なお、インダクタンスL1a,L1b及びL2のインダクタンスのQ値をある程度の値とすることにより挿入損失をより一層改善することができる。本願発明者の実験によれば、上記インダクタンスL1a,L1b,L2のインダクタンスのQの値を40以上とすれば、挿入損失をより効果的に改善し得ることがわかっている。図10は、このインダクタンスL1a,L1b,L2のQが50の場合であって、直列腕共振子を3つ、並列腕共振子を2つ、計共振子が5個接続されているラダー型チューナブルフィルタの周波数特性を示す。図10から明らかなように、挿入損失が効果的に改善されている。なお、挿入損失を改善するためには、Qの上限は、大きい方が望ましい。もっとも、実際に存在するインダクタンスのQ値は、高くとも150である。
なお、図10に示した周波数特性が、下記の表3に示す仕様で各回路要素の値を設定した場合の特性である。
Figure 0006164292
上記のように、図1に示した回路構成が望ましく、それによって帯域減衰量を確保することができる。もっとも、挿入損失を重視する場合には、図11に示す変形例のチューナブルラダー型フィルタや図12に示す他の変形例のチューナブルラダー型フィルタが望ましい。
図11に示すチューナブルフィルタ31では、インダクタンスL1aが、直列腕共振子S1に並列に接続されており、インダクタンスL1bも直列腕共振子S2に並列に接続されている。その他の構成は図1に示したチューナブルフィルタ1と同様である。
また、図12に示すチューナブルフィルタ41では、インダクタンスL1aが、直列腕共振子S1に並列に接続されており、インダクタンスL1bも直列腕共振子S2に並列に接続されている。そして、インダクタンスL2は、接続点4と、可変容量Cps1との間に接続されている。その他の構成は、チューナブルフィルタ41はチューナブルフィルタ1と同様である。
図13は、図11に示したチューナブルフィルタ31の周波数特性を説明するための図である。図13の破線Lで示す共振特性がインダクタンスL2の伸張作用により、実線で示す特性に変化し、一点鎖線Mで示す共振特性がインダクタンスL1a,L1bによる伸張作用により破線Nで示す特性に変化され、それによって図13に実線で示す周波数特性が得られている。
図14は、図12に示したチューナブルフィルタにおけるインダクタンスの伸張作用を説明するための周波数特性を示す図である。図14に示すように、チューナブルフィルタ41では、一点鎖線Wで示す共振特性が矢印で示すように、インダクタンスL2による伸張作用により実線で示す共振点付近の特性にシフトされている。また一点鎖線Xで示す特性が矢印で示すようにインダクタンスL1a,L1bによる伸張作用により、破線Yで示す特性にシフトされている。チューナブルフィルタ31,41では、挿入損失は、インダクタンスL1a,L1b,L2のQの値にチューナブルフィルタ1に比べて影響され難い。この場合においても、直列腕と並列腕とのインピーダンス関係については、ZrpがZrsよりも小さいことが望ましい。
1…チューナブルフィルタ
2…入力端子
3…出力端子
4…接続点
11…圧電基板
12…IDT電極
13,14…反射器
15…誘電体層
L1a,L1b,L2…インダクタンス
S1,S2…直列腕共振子
P1…並列腕共振子
Css1,Csp1,Csp2,Css2,Cpp1,Cps1…可変コンデンサ

Claims (15)

  1. 入力端と出力端とを結ぶ直列腕と、前記直列腕とグラウンド電位とを結ぶ並列腕とを有するラダー型回路構成のチューナブルフィルタであって、
    前記直列腕において互いに直列に接続されてなる複数の直列腕共振子と、
    前記並列腕に設けられてなる並列腕共振子と、
    前記直列腕共振子に直列に接続されている第1の可変コンデンサと、
    前記並列腕共振子に並列に接続されている第2の可変コンデンサと、
    前記各直列腕共振子に接続されている第1のインダクタンスとを備え、
    前記第1のインダクタンスが接続されている前記直列腕共振子において、前記第1のインダクタンスが接続されていない状態での前記直列腕共振子の共振インピーダンスをZrs、前記第2の可変コンデンサが接続されていない状態での前記並列腕共振子の共振インピーダンスをZrpとしたとき、比Zrs/Zrpが1以下である、チューナブルフィルタ。
  2. 前記第1のインダクタンスが前記各直列腕共振子に直列に接続されている、請求項1に記載のチューナブルフィルタ。
  3. Zrs<Zrpである、請求項1または2に記載のチューナブルフィルタ。
  4. 前記直列腕共振子と該直列腕共振子に直列に接続されている前記第1のインダクタンスとを含む直列回路部分の共振インピーダンスをZrsとしたときに、ZrsがZrpの2倍〜6倍の範囲にある、請求項1〜3のいずれか1項に記載のチューナブルフィルタ。
  5. 前記並列腕共振子に並列に第2のインダクタンスが接続されている、請求項2に記載のチューナブルフィルタ。
  6. 前記直列腕共振子と該直列腕共振子に直列に接続されている第1のインダクタンスからなる直列回路部分の共振インピーダンスをZrsとし、前記並列腕共振子と該並列腕共振子に並列に接続されている第2のインダクタンスとからなる並列回路部分の共振インピーダンスをZrpとしたとき、ZrsがZrpの2倍〜6倍の範囲にある、請求項5に記載のチューナブルフィルタ。
  7. 前記直列腕共振子と該直列腕共振子に直列に接続されている第1のインダクタンスからなる直列回路部分の反共振インピーダンスをZasとし、前記並列腕共振子と該並列腕共振子に並列に接続されている第2のインダクタンスとからなる並列回路部分の反共振インピーダンスをZapとしたとき、ZasがZapより大きい、請求項5に記載のチューナブルフィルタ。
  8. 前記直列腕共振子の反共振インピーダンスと共振インピーダンスのインピーダンス比が65dB以上である、請求項1〜7のいずれか1項に記載のチューナブルフィルタ。
  9. 前記並列腕共振子の反共振インピーダンスと共振インピーダンスのインピーダンス比が65dB以上である、請求項1〜7のいずれか1項に記載のチューナブルフィルタ。
  10. 前記第1のインダクタンスのQが40以上である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のチューナブルフィルタ。
  11. 前記第1のインダクタンスが各直列腕共振子に並列に接続されている、請求項1に記載のチューナブルフィルタ。
  12. 前記並列腕共振子に並列に接続された第2のインダクタンスをさらに備える、請求項11に記載のチューナブルフィルタ。
  13. 前記並列腕共振子と前記第2のインダクタンスとを有する並列回路部分のインピーダンスをZrp、前記直列腕共振子と前記第1のインダクタンスとを有する直列回路部分のインピーダンスをZrsとしたとき、ZrpがZrsよりも小さい、請求項12に記載のチューナブルフィルタ。
  14. 前記並列腕共振子に直列に接続された第2のインダクタンスとをさらに備える、請求項11に記載のチューナブルフィルタ。
  15. 前記並列腕共振子と前記第2のインダクタンスとを有する並列回路部分のインピーダンスをZrp、前記直列腕共振子と前記第1のインダクタンスとを含む直列回路部分のインピーダンスをZrsとしたときに、ZrpがZrsよりも小さい、請求項14に記載のチューナブルフィルタ。
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