CN109328431B - 弹性波滤波器装置 - Google Patents
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Abstract
提供一种能抑制横模纹波并谋求滤波器特性的陡峭性的提高及通带内的低损耗化的弹性波滤波器装置。一种由梯型滤波器构成的弹性波滤波器装置,该梯形滤波器具有由弹性波谐振器构成的串联臂谐振器(S1~S4)及并联臂谐振器(P1~P4)。在第1、第2边缘区域(A1、A2)中的声速低于中央区域(A0)中的声速的至少一个串联臂谐振器(S1)中,第1电极指(19)在第2边缘区域(A2)具有宽度比剩余的部分宽的宽幅部(19a),且第2电极指(20)在第1边缘区域(A1)具有宽度比剩余的部分宽的宽幅部(20a)。剩余的串联臂谐振器(S2~S4)及并联臂谐振器(P1~P4)之中的至少一个的第1、第2电极指(19、20)在第1边缘区域(A1)及第2边缘区域(A2)双方具有宽度比剩余的部分宽的宽幅部。
Description
技术领域
本发明涉及利用了声表面波、声边界波的弹性波滤波器装置,特别涉及利用了活塞模式的弹性波滤波器装置。
背景技术
以往,提出各种利用了活塞模式的弹性波滤波器。例如在下述的专利文献1中,在电极指交叉区域中,在中央区域的两侧设置有声速相对低的边缘区域。在边缘区域中被设为电极指的宽度比剩余的部分大。通过设置该宽幅部,从而形成了活塞模式,可谋求基于横模的纹波的抑制。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:JP特开2014-131351号公报
发明内容
发明要解决的课题
另一方面,在弹性波滤波器装置中,需要兼顾滤波器特性中的陡峭性的提高和通带内的低损耗化,以往考虑调整IDT电极的膜厚的方法、或者使用桥接电容来调整弹性波谐振器的相对频带的方法等。但是,在这些方法中,难以高精度地控制IDT电极的膜厚、弹性波谐振器的相对频带,以使得兼顾陡峭性的提高和通带内的低损耗化。
因此,本发明的目的在于,提供一种能够抑制横模纹波,并且能够同时可靠地谋求滤波器特性的陡峭性的提高以及通带内的低损耗化的弹性波滤波器装置。
用于解决课题的手段
本申请的第1发明所涉及的弹性波滤波器装置是具有由弹性波谐振器构成的串联臂谐振器以及并联臂谐振器的梯型滤波器,所述弹性波谐振器分别具有:压电体、被设置在所述压电体上并且相对置的第1汇流条以及第2汇流条、基端被连接于所述第1汇流条并且前端位于所述第2汇流条侧的多根第1电极指、和基端被连接于所述第2汇流条并且前端位于所述第1汇流条侧的多根第2电极指,所述多根第1电极指与所述多根第2电极指相互交替插入,将所述第1电极指与所述第2电极指在弹性波传播方向上相重叠的区域设为交叉区域的情况下,该交叉区域具有:在所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向位于中央的中央区域、位于所述中央区域的所述第1汇流条侧的第1边缘区域、和位于所述中央区域的所述第2汇流条侧的第2边缘区域,所述第1边缘区域以及第2边缘区域中的声速比所述中央区域中的声速低,关于至少一个所述串联臂谐振器,所述第1电极指在所述第2边缘区域中具有宽度比剩余的部分宽的宽幅部,并且所述第2电极指在所述第1边缘区域中具有宽度比剩余的部分宽的宽幅部,关于剩余的所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器之中的至少一个,所述第1电极指以及所述第2电极指在所述第1边缘区域以及所述第2边缘区域的双方中具有宽度比剩余的部分宽的宽幅部。
在第1发明所涉及的弹性波滤波器装置的某个特定的方面,在所述至少一个串联臂谐振器中,在将所述第1边缘区域以及第2边缘区域的沿着所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向的尺寸设为Apt1、将所述中央区域的沿着所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向的尺寸设为Apt2的情况下,Apt1/Apt2为0.0638以上且0.094047以下。在该情况下,能够进一步减小所述至少一个串联臂谐振器中的相对频带。因此,能够进一步提高通带高频侧的滤波器特性的陡峭性。
本申请的第2发明所涉及的弹性波滤波器装置是具有由弹性波谐振器构成的串联臂谐振器以及并联臂谐振器的梯型滤波器,所述弹性波谐振器分别具有:压电体、被设置在所述压电体上并且相对置的第1汇流条以及第2汇流条、基端被连接于所述第1汇流条并且前端位于所述第2汇流条侧的多根第1电极指、基端被连接于所述第2汇流条并且前端位于所述第1汇流条侧的多根第2电极指,所述多根第1电极指与所述多根第2电极指相互交替插入,将所述第1电极指与所述第2电极指在弹性波传播方向上相重叠的区域设为交叉区域的情况下,该交叉区域具有:在所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向位于中央的中央区域、位于所述中央区域的所述第1汇流条侧的第1边缘区域、和位于所述中央区域的所述第2汇流条侧的第2边缘区域,所述第1边缘区域以及第2边缘区域中的声速比所述中央区域中的声速低,关于至少一个所述串联臂谐振器、和剩余的所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器之中的至少一个,所述第1电极指以及所述第2电极指在所述第1边缘区域以及所述第2边缘区域的双方中具有宽度比剩余的部分宽的宽幅部,在将所述至少一个串联臂谐振器中的所述第1边缘区域以及第2边缘区域的沿着所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向的尺寸设为Apt3、将所述中央区域的沿着所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向的尺寸设为Apt4时,Apt3/Apt4为0.083423以上且0.10881以下。在该情况下,在剩余的串联臂谐振器以及并联臂谐振器中,能够有效地抑制横模,并且能够进一步缩窄相对频带。因此,滤波器特性的陡峭性也进一步地得到提高。
以下,将第1以及第2发明统称为本发明。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的另一特定的方面,所述至少一个串联臂谐振器是所述串联臂谐振器之中电极指间距最大的串联臂谐振器。在该情况下,能够进一步有效地提高通带高频侧的滤波器特性。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的又一特定的方面,所述至少一个串联臂谐振器是所述串联臂谐振器之中反谐振频率最低的串联臂谐振器。在该情况下,在滤波器特性中,能够进一步有效地提高通带高频侧的陡峭性。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的另一特定的方面,所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器构成在同一压电基板上。在该情况下,作为1芯片的部件,能够提供一种本发明所涉及的弹性波滤波器装置。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的其他特定的方面,在将所述梯型滤波器设为具有第1通带的第1带通型滤波器时,还具备:第2带通型滤波器,在一端侧与所述第1带通型滤波器共用连接,具有位于比所述第1通带更靠高频侧的第2通带。在该情况下,能够提供一种适合于载波聚合(CA)等的弹性波滤波器装置。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的又一特定的方面,构成了所述第1带通型滤波器为发送滤波器且所述第2带通型滤波器为接收滤波器的双工器。
发明效果
根据本发明所涉及的弹性波滤波器装置,能够抑制横模纹波,同时可靠地谋求滤波器特性的陡峭性的提高和通带内的低损耗化。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波滤波器装置的电路图。
图2是用于对第1类型的弹性波谐振器的电极构造进行说明的俯视图。
图3是将图2的一部分放大表示的局部切除俯视图。
图4是用于对本发明的第1实施方式中的剩余的串联臂谐振器的电极指的形状进行说明的局部切除俯视图。
图5是表示第1类型的弹性波谐振器、第2类型的弹性波谐振器以及被实施了交叉宽度加权的参考例的弹性波谐振器的谐振特性的图。
图6是表示第1实施方式以及比较例的发送滤波器的S32传输特性的图。
图7是将图6的主要部分放大表示的图。
图8是表示在第1类型的弹性波谐振器中固定静电电容并且变更交叉宽度的情况下的谐振特性的变化的图。
图9是表示在第2类型的弹性波谐振器中固定静电电容并且变更交叉宽度的情况下的谐振特性的变化的图。
图10是表示第1类型的弹性波谐振器的电极构造的第1变形例的俯视图。
图11是表示第1类型的弹性波谐振器的电极构造的第2变形例的俯视图。
图12是表示第1类型的弹性波谐振器的电极构造的第3变形例的俯视图。
图13是表示第1类型的弹性波谐振器的电极构造的第4变形例的俯视图。
图14是表示第1类型的弹性波谐振器的电极构造的第5变形例的俯视图。
图15是表示第1类型的弹性波谐振器的电极构造的第6变形例的俯视图。
图16是表示第1类型的弹性波谐振器的电极构造的第7变形例的俯视图。
图17是表示第1类型的弹性波谐振器的电极构造的第8变形例的俯视图。
图18是表示第1类型的弹性波谐振器的电极构造的第9变形例的俯视图。
图19是表示第1类型的弹性波谐振器的电极构造的第10变形例的俯视图。
图20是多个带通型滤波器收束于一端侧的收束型的弹性波滤波器装置的电路图。
具体实施方式
以下,边参照附图边对本发明的具体实施方式进行说明,从而使本发明清楚。
另外,预先指出的是:本说明书中所记载的各实施方式是示例性的,能够在不同实施方式间进行结构的局部置换或者组合。
图1是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波滤波器装置的电路图。弹性波滤波器装置1是用于便携式电话机的RF级的双工器。弹性波滤波器装置1具有与天线连接的天线端子2。此外,天线端子2与共用连接点3连接。在该共用连接点3与基准电位之间连接有阻抗调整用电感器L1。在共用连接点3与发送端子4之间连接有发送滤波器11。在共用连接点3与接收端子5之间连接有接收滤波器12。
弹性波滤波器装置1的特征在于作为梯型滤波器的发送滤波器11。
另外,接收滤波器12的通带位于比发送滤波器11的通带更靠高频侧。
发送滤波器11具有:多个串联臂谐振器S1、S2、S3、S4、和并联臂谐振器P1、P2、P3、P4。
串联臂谐振器S1、串联臂谐振器S2、串联臂谐振器S3以及串联臂谐振器S4如图1所示那样从发送端子4侧起依次配置。此外,并联臂谐振器P1被连接于发送端子4与基准电位之间。并联臂谐振器P2被连接于串联臂谐振器S1与串联臂谐振器S2之间的连接点和共用连接点13之间。在并联臂谐振器P1与基准电位之间连接有电感器L2。
并联臂谐振器P3被连接于串联臂谐振器S2与串联臂谐振器S3之间的连接点和共用连接点13之间。在共用连接点13与接地电位之间连接有电感器L3。
并联臂谐振器P4被连接于串联臂谐振器S3与串联臂谐振器S4之间的连接点和基准电位之间。另外,在并联臂谐振器P4与基准电位之间连接有电感器L4。
接收滤波器12并非特别限定,但在本实施方式中具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器101、串联臂谐振器S102、S103、S104、和并联臂谐振器P105、P106。
在上述发送滤波器11中,串联臂谐振器S1~S4以及并联臂谐振器P1~P4分别由弹性波谐振器构成。此外,在发送滤波器11中,为了抑制横模纹波而在交叉区域设置了第1、第2边缘区域。如专利文献1所记载的那样,以往,为了抑制横模纹波,已知在交叉区域中在中央区域的两侧设置了边缘区域的构造。不过,在梯型滤波器等中,在具有多个串联臂谐振器的情况下,在全部串联臂谐振器中形成了同样的边缘区域。
与此相对地,在发送滤波器11中,多个串联臂谐振器S1~S4之中最接近于发送端子4的串联臂谐振器S1具有与剩余的串联臂谐振器S2、S3、S4不同的电极构造。由此,能够谋求兼顾滤波器特性的陡峭性的提高和通带内的插入损耗的减少。以下对此进一步详细地进行说明。
另外,以下,将具有串联臂谐振器S1的电极构造的弹性波谐振器设为第1类型的弹性波谐振器。将具有剩余的串联臂谐振器S2~S4的电极构造的弹性波谐振器设为第2类型的弹性波谐振器。
图2是用于对第1类型的弹性波谐振器的电极构造进行说明的俯视图。在第1类型的弹性波谐振器中,在压电基板15上设置有图示的电极构造。在图2中示出IDT电极16和反射器16A。虽省略图示,但在与IDT电极16的设置有反射器16A的一侧相反的一侧也同样地设置有反射器。由此,构成了1端口型弹性波谐振器。
IDT电极16具有相对置的第1以及第2汇流条17、18。在第1汇流条17连接有第1电极指19的基端。第1电极指19的前端位于第2汇流条18侧。第2电极指20的基端连接在第2汇流条18,前端位于第1汇流条17侧。多根第1电极指19与多根第2电极指20相互交替插入。
在弹性波传播方向上观察第1电极指19和第2电极指20时相重叠的区域是交叉区域A。在交叉区域A中,在第1电极指19与第2电极指20之间施加电压,激发弹性波。
然而,为了抑制横模纹波,在交叉区域A中,在中央区域A0的一侧设置有第1边缘区域A1,在另一侧设置有第2边缘区域A2。在第1、第2边缘区域A1、A2中,声速被设得比中央区域A0低。并且,在第1边缘区域A1的外侧以及第2边缘区域A2的外侧,设置有声速比第1、第2边缘区域A1、A2高的区域。即,第1窄汇流条21与第2电极指20的前端之间成为声速相对高的区域。此外,在第2窄汇流条22与第1电极指19的前端之间的区域中,声速被设得比第2边缘区域A2高。由此,可谋求横模纹波的抑制。
然而,在第1类型的弹性波谐振器中,多根第1电极指19在第2边缘区域A2中具有宽幅部19a。宽幅部19a是与第1电极指19的剩余的部分相比宽度较宽的部分。由此,第2边缘区域A2的声速被降低。同样地,在第1边缘区域A1中,第2电极指20具有宽幅部20a。由此,第1边缘区域A1的声速被降低。
另外,在弹性波传播方向上位于端部的第1电极指19以及第2电极指20中,前端的宽幅部19a、20a的宽度比剩余的第1、第2电极指19、20的宽幅部19a、20a的宽度窄。这并非被特别限定,但这是为了在IDT电极的弹性波传播方向两端使第1、第2电极指19、20的外侧端缘为直线状。
另外,为了在第1、第2窄汇流条21、22的外侧进一步设置高声速区域以及中声速区域,而设置有虚设电极23、24。这种第1、第2窄汇流条21、22、虚设电极23、24也可以不必被设置。
如图3所示,在第2电极指20中,由于在前端设置有宽幅部20a,因此通过设置有宽幅部20a的部分而构成了第1边缘区域A1。由此,第1边缘区域A1中的声速被降低。
如前述那样,串联臂谐振器S1由这种第1类型的弹性波谐振器构成。
另一方面,图4是用于对第2类型的弹性波谐振器的电极构造进行说明的局部切除俯视图。
在第2类型的弹性波谐振器31中,在IDT电极32的弹性波传播方向一侧设置有反射器33。虽省略了图示,但在弹性波传播方向另一侧也设置有反射器。由此,构成了1端口型弹性波谐振器。如图4所示,多根第1电极指19A与多根第2电极指20A被设置为相互交替插入。与第1类型的弹性波谐振器不同之处在于,第1电极指19A在第1边缘区域中具有宽幅部19b。此外,虽在图4中未图示,但在第2电极指20A中也不仅在前端侧还在第2边缘区域具有宽幅部。即,在第2类型的弹性波谐振器31中,在第1边缘区域以及第2边缘区域的双方中,第1电极指19A以及第2电极指20A具有宽幅部。因此,能够更加有效地降低第1边缘区域以及第2边缘区域中的声速。
图5是表示除了宽幅部的结构不同以外被同样构成的第1类型的弹性波谐振器、第2类型的弹性波谐振器以及参考例的弹性波谐振器的谐振特性的图。在参考例中,被实施了交叉宽度加权以使得由包络线包围的部分的区域是菱形。实线是参考例的弹性波谐振器的谐振特性。虚线是第1类型的弹性波谐振器的谐振特性,单点划线是第2类型的弹性波谐振器的谐振特性。在利用了上述活塞模式的第1以及第2类型的弹性波谐振器中,谐振频率与反谐振频率之间的频率差即相对频带较窄。进一步地,第1类型的弹性波谐振器的相对频带比第2类型的弹性波谐振器的相对频带窄。
在本实施方式的发送滤波器11中,串联臂谐振器S1由第1类型的弹性波谐振器构成。
第1类型的弹性波谐振器与第2类型的弹性波谐振器相比,虽然Q较低,但是相对频带较窄,因此能够提高滤波器特性的陡峭性。这是由于串联臂谐振器S1~S4的反谐振频率构成发送滤波器11的高频侧衰减极。至少一个串联臂谐振器S1由第1类型的弹性波谐振器构成,剩余的串联臂谐振器S2~S4由第2类型的弹性波谐振器构成。因此,第1类型的弹性波谐振器的反谐振频率位于比第2类型的弹性波谐振器的反谐振频率更靠低频侧,因此能够有效地提高作为梯型滤波器的发送滤波器11的高频侧的陡峭性。
图6表示第1实施方式以及比较例的发送滤波器的S32传输特性,图7是将图6中的被圆B包围的部分放大表示的图。另外,发送滤波器11的通带为1850Hz~1910Hz。
在图6以及图7中,实线表示上述第1实施方式的发送滤波器11的S32传输特性。虚线表示除了全部串联臂谐振器由第2类型的弹性波谐振器构成以外被与上述第1实施方式同样地构成的比较例的发送滤波器的S32传输特性。
上述第1实施方式以及比较例的发送滤波器中的通带高频侧的衰减量在3dB、3.5dB、50dB以及55dB处的频率位置如下述的表1所示。作为3.5dB处的衰减量与50dB处的衰减量之差的陡峭性、和作为3.5dB处的衰减量与55dB处的衰减量之差的陡峭性也在下述的表1中一并示出。
[表1]
如表1明确的那样,与比较例相比,根据上述第1实施方式,能够有效地提高通带高频侧的滤波器特性的陡峭性。此外,如图6以及图7明确的那样可知,不仅可提高滤波器特性的陡峭性,还能够减小通带内的插入损耗。
另外,在上述第1实施方式中,串联臂谐振器S1是第1类型的弹性波谐振器,剩余的串联臂谐振器S2~S4由第2类型的弹性波谐振器构成。不过,在本发明中,并不限定于此,只要至少一个串联臂谐振器是第1类型的弹性波谐振器,剩余的串联臂谐振器以及并联臂谐振器之中的至少一个是第2类型的弹性波谐振器即可。由此,通过一部分使用第1类型的弹性波谐振器,从而能够提高滤波器特性的陡峭性,并且减小插入损耗。
图8是表示在上述第1类型的弹性波谐振器中固定静电电容并且将交叉宽度设为30.0λ、20.0λ、17.5λ、15.0λ、12.5λ或者7.5λ的情况下的谐振特性的图。
另外,λ是由IDT电极的电极指间距规定的波长。
下述的表2表示交叉宽度如上述那样变化的情况下的相对频带与Apt1/Apt2的值的关系。
[表2]
在表2中,Apt1是第1、第2边缘区域A1、A2的沿着第1、第2电极指延伸的方向的尺寸。此外,Apt2是中央区域A0的沿着第1、第2电极指延伸的方向的尺寸。
如表2明确的那样,在固定电容并且变更交叉宽度的情况下,在交叉宽度为17.5λ以下时,相对频带较之于20λ以上的情况窄。另外,交叉宽度如图8明确的那样,在交叉宽度为7.5λ时,横模纹波出现于谐振频率与反谐振频率之间,在交叉宽度为12.5λ时,横模纹波稍稍出现。因此,优选的是,最好将Apt1/Apt2设为0.0638以上且0.094047以下。由此,能够抑制横模纹波,并且使相对频带充分窄。更优选的是,Apt1/Apt2为0.0759以下,在该情况下,能够更加有效地抑制横模纹波。
图9是表示在第2类型的弹性波谐振器中固定静电电容并且将交叉宽度变更为30.0λ、20.0λ、17.5λ、15.0λ、12.5λ、10.0λ、7.5λ的情况下的谐振特性的变化的图。
此外,在下述表3中示出交叉宽度为这些宽度的情况下的相对频带的大小与Apt3/Apt4的关系。
[表3]
在表3中,Apt3是第1、第2边缘区域A1、A2的沿着第1、第2电极指延伸的方向的尺寸。此外,Apt4是中央区域A0的沿着第1、第2电极指延伸的方向的尺寸。
如表3明确的那样可知,在第2类型的弹性波谐振器中,若交叉宽度为10λ以上,则能够有效地抑制横模纹波。因此,Apt3/Apt4最好为0.10881以下。此外,若Apt3/Apt4为0.083423以上,则能够缩窄相对频带。因此,优选的是,Apt3/Apt4最好设为0.083423以上且0.10881以下。
第1类型的弹性波谐振器中的电极构造并不限定于图2所示的构造,也可以如以下的图10~图19所示的第1~第10变形例那样变形。在图10所示的第1变形例中,未设置前述的第1、第2窄汇流条21、22以及虚设电极指23、24。这样,也可以不预先设置第1、第2窄汇流条21、22。
在图11所示的第2变形例中,第2电极指20的第1边缘区域A1中的宽幅部20a偏离第2电极指20的弹性波传播方向上的中心。这样,宽幅部的中心也可以在弹性波传播方向上偏离设置有该宽幅部的电极指的剩余的部分的中心。
在图12所示的第3变形例中,在第1电极指19中,在弹性波传播方向上与第2电极指20的前端重叠的部分设置有宽幅部19c,在第2电极指20中,在与第1电极指19的前端部重叠的区域设置有宽幅部20c。即,第1电极指19在第1边缘区域A1中具有宽幅部19c,第2电极指20在第2边缘区域A2中具有宽幅部20c。
在图13所示的第4变形例中,虚设电极23A、24A被设置为与第2电极指20以及第1电极指19的前端对置。
在图14所示的第5变形例中,宽幅部19a、20a的剩余的电极指部分还具有两种宽度的部分。即,设置有比宽幅部19a、20a窄的部分19d、20d、和进一步窄的部分19e、20e。
在图15所示的第6变形例中,设置有比宽幅部19a、20a窄的部分19d、20d、和比宽幅部19a、20a窄但相比于较窄的部分19d、20d更宽的部分19f、20f。
在图16所示的第7变形例中,设置有电介质层41、42。在第1边缘区域A1中,电介质层41在弹性波传播方向延伸,以使得在宽幅部20a上通过。在第2边缘区域A2中,电介质层42在弹性波传播方向延伸,以使得在宽幅部19a上通过。作为这种电介质,能够使用SiO2等各种电介质。
在图17所示的第8变形例中,在第1边缘区域A1或者第2边缘区域A2中,在第1、第2电极指19、20设置有宽度比剩余的电极指部分相对窄的窄幅部19g、20g。在该情况下,也是只要通过宽幅部19a和窄幅部20g预先使得第2边缘区域A2的声速低于中央区域,通过宽幅部20a和窄幅部19g预先使得第1边缘区域A1的声速低于中央区域即可。
在图18所示的第9变形例中,在图17所示的变形例的构造的基础上,在第1、第2边缘区域A1、A2的外侧的高声速区域中第1电极指19以及第2电极指20的宽度被设得较宽。这样,只要与作为低声速区域的第1、第2边缘区域A1、A2相比是高声速,也可以使外侧的高声速区域中的第1、第2电极指19、20的宽度稍宽。
如图19所示的第10变形例那样,也可以使中央区域A0中的第1、第2电极指19、20的宽度比第1边缘区域A1或者第2边缘区域A2以及外侧的高声速区域中的第1、第2电极指19、20的宽度宽。
如图10~图19所示,第1类型的弹性波谐振器中的宽幅部以及其他的宽度的部分的电极形状能够适当地变形。另外,在第2类型的弹性波谐振器中也是同样的。
此外,如图20所示,能够将本发明也应用于多个带通型滤波器51~53收束于一端侧的弹性波滤波器装置。在双工器以及上述收束型的弹性波滤波器装置中,也优选的是,通过按照本发明而构成的梯型滤波器来构成具有通带相对较低的第1通带的带通型滤波器。在该情况下,能够有效地提高第1带通型滤波器的第1通带高频侧的滤波器特性的陡峭性。
符号说明
1...弹性波滤波器装置;
2...天线端子;
3...共用连接点;
4...发送端子;
5...接收端子;
11...发送滤波器;
12...接收滤波器;
13...共用连接点;
15...压电基板;
16...IDT电极;
16A...反射器;
17、18...第1、第2汇流条;
19、20...第1、第2电极指;
19A、20A...第1、第2电极指;
19a、19b、19c、20a、20c...宽幅部;
19d、20d、19e、20e、19f、20f...部分;
19g、20g...窄幅部;
21、22...第1、第2窄汇流条;
23、23A、24、24A...虚设电极;
31...弹性波谐振器;
32...IDT电极;
33...反射器;
41、42...电介质层;
51~53...带通型滤波器;
101...纵耦合谐振器型弹性波滤波器;
A0...中央区域;
A1、A2...第1、第2边缘区域;
L1...阻抗调整用电感器;
L2、L3、L4...电感器;
S1、S2、S3、S4...串联臂谐振器;
P1、P2、P3、P4...并联臂谐振器;
S102、S103、S104...串联臂谐振器;
P105、P106...并联臂谐振器。
Claims (8)
1.一种弹性波滤波器装置,是具有由弹性波谐振器构成的串联臂谐振器以及并联臂谐振器的梯型滤波器,其中,
所述弹性波谐振器分别具有:压电体、被设置在所述压电体上并且相对置的第1汇流条以及第2汇流条、基端被连接于所述第1汇流条并且前端位于所述第2汇流条侧的多根第1电极指、和基端被连接于所述第2汇流条并且前端位于所述第1汇流条侧的多根第2电极指,所述多根第1电极指与所述多根第2电极指相互交替插入,
将所述第1电极指与所述第2电极指在弹性波传播方向上相重叠的区域设为交叉区域的情况下,该交叉区域具有:在所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向位于中央的中央区域、位于所述中央区域的所述第1汇流条侧的第1边缘区域、和位于所述中央区域的所述第2汇流条侧的第2边缘区域,所述第1边缘区域以及第2边缘区域中的声速比所述中央区域中的声速低,
关于至少一个所述串联臂谐振器,所述第1电极指在所述第2边缘区域中具有宽度比剩余的部分宽的宽幅部,并且所述第2电极指在所述第1边缘区域中具有宽度比剩余的部分宽的宽幅部,
关于剩余的所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器之中的至少一个,所述第1电极指以及所述第2电极指在所述第1边缘区域以及所述第2边缘区域的双方中具有宽度比剩余的部分宽的宽幅部。
2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器装置,其中,
在所述至少一个串联臂谐振器中,在将所述第1边缘区域以及第2边缘区域的沿着所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向的尺寸设为Apt1、将所述中央区域的沿着所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向的尺寸设为Apt2的情况下,Apt1/Apt2为0.0638以上且0.094047以下。
3.一种弹性波滤波器装置,是具有由弹性波谐振器构成的串联臂谐振器以及并联臂谐振器的梯型滤波器,其中,
所述弹性波谐振器分别具有:压电体、被设置在所述压电体上并且相对置的第1汇流条以及第2汇流条、基端被连接于所述第1汇流条并且前端位于所述第2汇流条侧的多根第1电极指、基端被连接于所述第2汇流条并且前端位于所述第1汇流条侧的多根第2电极指,所述多根第1电极指与所述多根第2电极指相互交替插入,
将所述第1电极指与所述第2电极指在弹性波传播方向上相重叠的区域设为交叉区域的情况下,该交叉区域具有:在所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向位于中央的中央区域、位于所述中央区域的所述第1汇流条侧的第1边缘区域、和位于所述中央区域的所述第2汇流条侧的第2边缘区域,所述第1边缘区域以及第2边缘区域中的声速比所述中央区域中的声速低,
关于至少一个所述串联臂谐振器、和剩余的所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器之中的至少一个,所述第1电极指以及所述第2电极指在所述第1边缘区域以及所述第2边缘区域的双方中具有宽度比剩余的部分宽的宽幅部,
在将所述至少一个串联臂谐振器中的所述第1边缘区域以及第2边缘区域的沿着所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向的尺寸设为Apt3、将所述中央区域的沿着所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向的尺寸设为Apt4时,Apt3/Apt4为0.083423以上且0.10881以下。
4.根据权利要求1~3的任意一项所述的弹性波滤波器装置,其中,
所述至少一个串联臂谐振器是所述串联臂谐振器之中电极指间距最大的串联臂谐振器。
5.根据权利要求1~3的任意一项所述的弹性波滤波器装置,其中,
所述至少一个串联臂谐振器是所述串联臂谐振器之中反谐振频率最低的串联臂谐振器。
6.根据权利要求1~3的任意一项所述的弹性波滤波器装置,其中,
所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器构成在同一压电基板上。
7.根据权利要求1~3的任意一项所述的弹性波滤波器装置,其中,
在将所述梯型滤波器设为具有第1通带的第1带通型滤波器时,
所述弹性波滤波器装置还具备:第2带通型滤波器,在一端侧与所述第1带通型滤波器共用连接,具有位于比所述第1通带更靠高频侧的第2通带。
8.根据权利要求7所述的弹性波滤波器装置,其中,
所述弹性波滤波器装置构成了所述第1带通型滤波器为发送滤波器且所述第2带通型滤波器为接收滤波器的双工器。
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---|---|---|---|---|
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US11171627B2 (en) | 2018-10-01 | 2021-11-09 | Qorvo Us, Inc. | Wave apodization for guided SAW resonators |
DE102018131952A1 (de) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | RF360 Europe GmbH | Elektroakustischer Resonator mit unterdrückter Anregungtransversaler Spaltmoden und verringerten transversalen Moden |
JP6819834B1 (ja) * | 2019-02-18 | 2021-01-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
DE102019120942A1 (de) * | 2019-08-02 | 2021-02-04 | RF360 Europe GmbH | Elektroakustischer Resonator |
JP7268747B2 (ja) * | 2019-08-30 | 2023-05-08 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN110798167A (zh) * | 2019-11-25 | 2020-02-14 | 开元通信技术(厦门)有限公司 | 声波器件及其制作方法 |
KR20220113752A (ko) * | 2020-01-20 | 2022-08-16 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 필터 장치, 멀티플렉서, 고주파 프론트엔드 회로 및 통신 장치 |
JP7188402B2 (ja) * | 2020-01-31 | 2022-12-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ |
CN116097565A (zh) * | 2020-08-28 | 2023-05-09 | 京瓷株式会社 | 弹性波元件以及通信装置 |
CN115989635A (zh) * | 2020-11-03 | 2023-04-18 | 华为技术有限公司 | 谐振器、滤波器及电子设备 |
CN117795852A (zh) * | 2021-07-14 | 2024-03-29 | 京瓷株式会社 | 弹性波装置、滤波器、分波器以及通信装置 |
US20230133161A1 (en) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | Qorvo Us, Inc. | Surface acoustic wave (saw) structures with transverse mode suppression |
KR20230069710A (ko) * | 2021-11-12 | 2023-05-19 | 삼성전자주식회사 | 지향성 음향 센서 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1753304A (zh) * | 2004-09-24 | 2006-03-29 | 精工爱普生株式会社 | 压电振动片和压电器件 |
JP2006319887A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置 |
CN102110841A (zh) * | 2009-12-25 | 2011-06-29 | 三洋电机株式会社 | 蓄电池系统及具备该蓄电池系统的电动车辆 |
CN102365822A (zh) * | 2009-04-07 | 2012-02-29 | 株式会社村田制作所 | 弹性边界波谐振器以及梯型滤波器 |
CN102986138A (zh) * | 2010-05-28 | 2013-03-20 | 日本碍子株式会社 | 阻抗匹配元件 |
WO2016084136A1 (ja) * | 2014-11-25 | 2016-06-02 | ルビコン株式会社 | 四端子スナバコンデンサ及びコンデンサモジュール |
CN105684308A (zh) * | 2013-10-31 | 2016-06-15 | 京瓷株式会社 | 弹性波元件、滤波器元件以及通信装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3651291B2 (ja) * | 1998-12-14 | 2005-05-25 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置 |
US7939989B2 (en) | 2009-09-22 | 2011-05-10 | Triquint Semiconductor, Inc. | Piston mode acoustic wave device and method providing a high coupling factor |
DE102010005596B4 (de) * | 2010-01-25 | 2015-11-05 | Epcos Ag | Elektroakustischer Wandler mit verringerten Verlusten durch transversale Emission und verbesserter Performance durch Unterdrückung transversaler Moden |
JP5936393B2 (ja) * | 2011-03-07 | 2016-06-22 | トライクイント・セミコンダクター・インコーポレイテッドTriQuint Semiconductor,Inc. | トリミング効果とピストンモードでの不安定性を最小化する音響波導波装置および方法 |
CN104702239B (zh) * | 2011-06-23 | 2017-09-22 | 天工滤波方案日本有限公司 | 梯型弹性波滤波器及使用该弹性波滤波器的天线双工器 |
JP6179594B2 (ja) | 2013-05-29 | 2017-08-16 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
DE112015000642B4 (de) * | 2014-02-04 | 2019-10-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
JP6281639B2 (ja) * | 2014-06-23 | 2018-02-21 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
KR102636251B1 (ko) * | 2016-02-24 | 2024-02-14 | (주)와이솔 | 횡모드 억제를 위한 표면 탄성파 디바이스 |
JP6509151B2 (ja) * | 2016-03-11 | 2019-05-08 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
DE112017003190T5 (de) * | 2016-06-27 | 2019-03-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
-
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-
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1753304A (zh) * | 2004-09-24 | 2006-03-29 | 精工爱普生株式会社 | 压电振动片和压电器件 |
JP2006319887A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置 |
CN102365822A (zh) * | 2009-04-07 | 2012-02-29 | 株式会社村田制作所 | 弹性边界波谐振器以及梯型滤波器 |
CN102110841A (zh) * | 2009-12-25 | 2011-06-29 | 三洋电机株式会社 | 蓄电池系统及具备该蓄电池系统的电动车辆 |
CN102986138A (zh) * | 2010-05-28 | 2013-03-20 | 日本碍子株式会社 | 阻抗匹配元件 |
CN105684308A (zh) * | 2013-10-31 | 2016-06-15 | 京瓷株式会社 | 弹性波元件、滤波器元件以及通信装置 |
WO2016084136A1 (ja) * | 2014-11-25 | 2016-06-02 | ルビコン株式会社 | 四端子スナバコンデンサ及びコンデンサモジュール |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
"Analysis of the leaky surface acoustic wave radiation in YX-LiTaO3 for symmetric and non-symmetric IDTs";P. Kazdailis;《2009 IEEE International Ultrasonics Symposium》;20091231;2049-2052 * |
高频低损耗声表面波滤波器研制;傅金桥;《压电与声光》;19960820;第18卷(第4期);227-230 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11843363B2 (en) | 2023-12-12 |
US20210067135A1 (en) | 2021-03-04 |
WO2018003338A1 (ja) | 2018-01-04 |
US10862452B2 (en) | 2020-12-08 |
US20190131954A1 (en) | 2019-05-02 |
JPWO2018003338A1 (ja) | 2018-09-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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