CN213846631U - 弹性波谐振器及多工器 - Google Patents

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道上彰
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Abstract

提供一种弹性波谐振器及多工器，能够改善用于带通型滤波器的情况下的通带内的特性和通带外的特性的双方。弹性波谐振器(1)具备直接或间接地设置在压电板(2)上并且实施了间隔剔除加权的IDT电极(3)，IDT电极(3)具有沿着弹性波传播方向配置的多个区域(31～33)，多个区域(31～33)的各区域至少两个周期以上地周期地被实施了间隔剔除加权，至少一个所述区域(31、32或33)的周期的间隔剔除加权与其他的至少一个区域(31、32或33)的周期的间隔剔除加权不同。

Description

弹性波谐振器及多工器
技术领域
本实用新型涉及弹性波谐振器及具有弹性波谐振器的多工器。
背景技术
以往，在移动体通信设备中，作为带通型滤波器，广泛使用梯型弹性波滤波器。梯型弹性波滤波器具有串联臂谐振器和并联臂谐振器。串联臂谐振器及并联臂谐振器分别包括弹性波谐振器。梯型弹性波滤波器的滤波器特性中的急剧性大致由谐振器的谐振频率fr与反谐振频率fa的频率差Δf决定。
在下述的专利文献1及2所记载的弹性波谐振器中，对IDT电极实施了间隔剔除加权。在专利文献1中，IDT电极的电极指周期地被间隔剔除。另外，在下述的专利文献2中，IDT电极的电极指非周期地被间隔剔除。根据这些结构，能够减小声表面波谐振器的谐振频率与反谐振频率的频率差Δf。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平11-163664号公报
专利文献2：日本特开2002-319842号公报
实用新型内容
实用新型要解决的课题
但是，在将电极指周期地被间隔剔除的专利文献1所记载的弹性波谐振器用于梯型滤波器时，在该梯型滤波器的通带外产生杂散。因此，在一端共同连接有多个带通型滤波器的多工器中，存在共同连接的其他带通型滤波器的通过特性发生劣化的情况。
另一方面，当使用电极指非周期地被间隔剔除的专利文献2所记载的弹性波谐振器时，虽然能够抑制具有该弹性波谐振器的梯型滤波器的通带外的杂散，但通带内的通过特性可能发生劣化。
因此，在使用弹性波谐振器而构成的多工器中，难以同时实现具有该弹性波谐振器的梯型滤波器中的通带内的特性的提高和通带外的特性的提高。
本实用新型的目的在于，提供一种能够改善用于带通型滤波器的情况下的通带内的特性和通带外的特性的双方的弹性波谐振器。另外，本实用新型的另一目的在于，提供一种具有本实用新型的弹性波谐振器的多工器。
用于解决课题的手段
本实用新型的弹性波谐振器具备压电体；以及IDT电极，其直接或间接地设置在所述压电体上，并且被实施了间隔剔除加权，所述IDT电极具有在弹性波传播方向上配置的多个区域，所述多个区域的各区域至少两个周期以上地周期地被实施了间隔剔除加权，至少一个所述区域的周期的间隔剔除加权的周期性与其他的至少一个区域的周期的间隔剔除加权的周期性不同。
本实用新型的多工器具备：共同端子；以及多个带通型滤波器，其一端与所述共同端子共同连接，至少一个所述带通型滤波器的通带与其他的带通型滤波器的通带不同，所述至少一个带通型滤波器是具有多个弹性波谐振器的弹性波滤波器，所述多个弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器是按照本实用新型而构成的弹性波谐振器。
实用新型效果
在本实用新型的弹性波谐振器中，能够改善具有该弹性波谐振器的带通型滤波器中的通带内的特性和通带外的特性的双方。在本实用新型的多工器中，能够实现具有上述本实用新型的弹性波谐振器的带通型滤波器的通带内特性的提高和通带外特性的提高。
附图说明
图1是用于说明本实用新型的第一实施方式的弹性波谐振器的俯视图。
图2是用于说明第一实施方式的弹性波谐振器中的IDT电极的第一区域的间隔剔除加权的局部切口放大俯视图。
图3是用于说明第一实施方式的弹性波谐振器中的IDT电极的第二区域的间隔剔除加权的局部切口放大俯视图。
图4是用于说明第一实施方式的弹性波谐振器中的IDT电极的第三区域的间隔剔除加权的局部切口放大俯视图。
图5是用于说明第一实施方式的弹性波谐振器的反射器的俯视图。
图6是第一实施方式的弹性波谐振器的正面剖视图。
图7是示出实施例1及比较例1的弹性波谐振器的阻抗特性的图。
图8是示出实施例1及比较例1的弹性波谐振器的回波损耗特性的图。
图9是示出比较例1及比较例2的弹性波谐振器的阻抗特性的图。
图10是示出比较例1及比较例2的弹性波谐振器的回波损耗特性的图。
图11是示出比较例1及比较例3的弹性波谐振器的阻抗特性的图。
图12是示出比较例1及比较例3的弹性波谐振器的回波损耗特性的图。
图13是用于说明作为本实用新型的第二实施方式的多工器的简略的电路图。
图14是示出图13所示的多工器的具体的电路结构的图。
图15是示出实施例2及比较例4的多工器中的作为Band3的发送滤波器的带通型滤波器的通过特性的图。
图16是示出实施例2及比较例4的多工器中的作为Band3的发送滤波器的带通型滤波器的天线侧的端子即共同端子侧的回波损耗特性的图。
图17是放大示出图15的圆A所示的部分的放大图。
图18是示出实施例2及比较例4的多工器中的作为Band3的接收滤波器的带通型滤波器的通过特性的图。
图19是示出实施例2及比较例4的多工器中的作为Band3的接收滤波器的带通型滤波器的天线侧的端子即共同端子侧的回波损耗特性的图。
图20是示出实施例2及比较例4的多工器中的从Band3的发送滤波器到Band1的接收滤波器的隔离特性的图。
图21是示出实施例2及比较例4的多工器中的从共同端子到Band1 的接收滤波器的通过特性的图。
图22是用于说明间隔剔除加权的其他例的IDT电极的一部分的俯视图。
具体实施方式
以下，通过参照附图对本实用新型的具体的实施方式进行说明而使本实用新型变得清楚。
需要说明的是，本说明书所记载的各实施方式是例示，预先指出在不同的实施方式之间能够进行结构的部分置换或组合。
图1是用于说明本实用新型的第一实施方式的弹性波谐振器的俯视图。弹性波谐振器1具有作为压电体的压电板2。在压电板2上设置有IDT 电极3。在IDT电极3的弹性波传播方向两侧设置有反射器4、5。弹性波谐振器1是单端口型的弹性波谐振器。图6是弹性波谐振器的正面剖视图。在压电板2上设置有IDT电极3及反射器4、5。虽然IDT电极3及反射器4、5直接设置在压电板2上，但也可以经由绝缘层等间接地设置。压电板2包括LiNbO3或LiTaO3等压电单晶、或者压电陶瓷等适当的压电材料。
另外，也可以代替压电板2而使用在半导体层、绝缘层上层叠压电膜而成的压电性基板。在压电性基板的情况下，压电膜相当于上述压电体。
对IDT电极3实施了间隔剔除加权。在IDT电极3上设置有第一区域 31～第三区域33作为沿弹性波传播方向配置的多个区域。在IDT电极3 上，间隔剔除加权的周期在第一区域31～第三区域33不同。这里，周期是指，例如以每9根电极指间隔剔除1根电极指的部分为例时，该部分存在两个以上，即存在两个周期以上。周期性不同是指，该周期的间隔剔除不同。例如，针对9根间隔剔除1根的加权与针对6根间隔剔除1根的加权的周期性不同。
图2是用于说明第一区域31的间隔剔除加权的局部切口放大俯视图。
IDT电极3的第一汇流条3A与第二汇流条3B在弹性波传播方向上延伸。在第一汇流条3A连接有多根第一电极指6a的一端。在第二汇流条3B连接有多根第二电极指6b的一端。多根第一电极指6a与多根第二电极指6b相互交替插入。
另外，与第一电极指6a的前端隔开间隙而设置有虚设电极指6c。虚设电极指6c与第二汇流条3B相连。与第二电极指6b的前端隔开间隙而设置有虚设电极指6d。虚设电极指6d与第一汇流条3A相连。需要说明的是，也可以不设置虚设电极指6c、6d。
在第一区域31，在弹性波传播方向上按照针对9根间隔剔除1根的比例对电极指进行间隔剔除，在间隔剔除后的部分设置有宽幅电极指7a、7b。这里，电极指的宽度方向尺寸是指沿着弹性波传播方向的尺寸。如上所述，按照针对9根间隔剔除1根的比例对第一电极指6a或第二电极指6b进行间隔剔除。在弹性波传播方向上周期地配置有按照针对9根间隔剔除1根的比例对电极指进行间隔剔除而得到的多个部分31a～31e。因此，第一区域31周期地被间隔剔除加权。
与第一汇流条3A相连的宽幅电极指7a具有在弹性波传播方向上相互最接近的第一电极指6a与第一电极指6a之间的区域被金属化的形状。与第二汇流条3B相连的宽幅电极指7b具有在弹性波传播方向上相互最接近的第二电极指6b与第二电极指6b之间的区域被金属化的形状。在宽幅电极指7a与最近的宽幅电极指7b之间合计配置有6根第一电极指6a、第二电极指6b。需要说明的是，与第二汇流条3B相连的宽幅虚设电极指8a 和与第一汇流条3A相连的宽幅虚设电极指8b分别与宽幅电极指7a、7b 隔开间隙而对置。
图3是用于说明第二区域32的间隔剔除加权的局部切口放大俯视图。在第二区域32，在弹性波传播方向上，按照针对10根间隔剔除1根的比例对电极指进行间隔剔除。由此，实施间隔剔除加权。在该间隔剔除加权中的周期性以外，第二区域32与第一区域31同样地构成。在弹性波传播方向上相互最接近的第二电极指6b间的区域被金属化。因此，设置有宽幅电极指9。在相邻的宽幅电极指9之间配置有合计7根第一电极指6a、第二电极指6b。宽幅电极指9与第二汇流条3B相连。以与宽幅电极指9 隔开间隙对置的方式配置有宽幅虚设电极指10。
在第二区域32，在弹性波传播方向上配置有多个部分32a～32e。各部分32a、32b、32c、32d或者32e是按照上述的针对10根间隔剔除1根的比例对电极指进行间隔剔除而得到的部分。因此，在第二区域32也周期地被间隔剔除加权。
图4是用于说明第三区域33的间隔剔除加权的局部切口俯视图。在第三区域33，部分33a～33e被实施加权，使得按照针对11根间隔剔除1 根的比例对电极指进行间隔剔除。其他结构与第一区域31及第二区域32 同样。如上所述，按照针对11根间隔剔除1根的比例对电极指进行间隔剔除。因此，设置有与第一汇流条3A相连的宽幅电极指11a和与第二汇流条3B相连的宽幅电极指11b。在宽幅电极指11a与最近的宽幅电极指 11b之间配置有合计8根第一电极指6a、第二电极指6b。宽幅虚设电极指 12a与第二汇流条3B相连。宽幅虚设电极指12b与第一汇流条3A相连。宽幅虚设电极指12a、12b分别与宽幅电极指11a、11b隔开间隙而对置。
如图2～图4所示，在上述第一区域31～第三区域33，电极指均在弹性波传播方向上等间隔地被间隔剔除。即，实施了周期的间隔剔除加权。这里，周期是指，例如以每9根电极指间隔剔除1根电极指的部分为例时，该部分存在2个以上，即存在两个周期以上。
另一方面，如上所述，第一区域31中的周期的间隔剔除加权、第二区域32中的周期的间隔剔除加权、以及第三区域33中的周期的间隔剔除加权不同。换言之，第一区域31中的周期的间隔剔除加权的周期性、第二区域32中的周期的间隔剔除加权的周期性、以及第三区域33中的周期的间隔剔除加权的周期性不同。
返回图1，反射器4、5是通常的光栅型反射器。如图5所示，在反射器4中，多根电极指的两端被短路。
上述IDT电极3、反射器4、5包括AlCu合金等适当的金属或合金。另外，也可以使用层叠有多个金属膜的层叠金属膜。
弹性波谐振器1的特征在于，IDT电极3具有在弹性波传播方向上配置的第一区域31～第三区域33，第一区域31～第三区域33均周期地被间隔剔除加权，并且，间隔剔除加权的周期性在第一区域31～第三区域33 全部不同。不过，本实用新型不限于间隔剔除加权的周期性在多个区域全部不同，至少一个区域的周期的间隔剔除加权与其他的至少一个区域的周期的间隔剔除加权不同即可，另外，区域的数量也不限于3个，是多个即可。
另外，上述IDT电极3优选弹性波传播方向两侧的间隔剔除加权相对于IDT电极3的中心为非对称。在该情况下，能够更进一步有效地改善上述通带内的特性与通带外的特性的双方。
在本实施方式的弹性波谐振器1中，在使用该弹性波谐振器而构成带通型滤波器的情况下，能够改善通带内的特性，并且，在通带外，也能够实现纹波的抑制等，能够改善特性。参照图7～图12对此进行说明。图7 的实线示出实施例1的弹性波谐振器的阻抗特性，虚线示出比较例1的弹性波谐振器的阻抗特性。图8的实线示出实施例1的弹性波谐振器的回波损耗特性，虚线示出比较例1的弹性波谐振器的回波损耗特性。
需要说明的是，实施例1的弹性波谐振器的设计参数如下所述。
在IDT电极3中，在第一区域31，按照针对11根间隔剔除1根的比例对电极指进行间隔剔除加权，在第二区域32，按照针对12根间隔剔除 1根的比例对电极指进行间隔剔除加权，在第三区域33，按照针对13根间隔剔除1根的比例对电极指进行间隔剔除加权。而且，在第一区域31～第三区域33，上述间隔剔除加权被重复15个周期。
IDT电极3的其他的设计参数如下所述。
构成压电板2的压电材料＝LiTaO3
IDT电极3及反射器4、5的材料＝Ti、AlCu
IDT电极3及反射器4、5的膜厚＝12nm、145nm
由电极指间距决定的波长λ＝2.04μm
电极指的根数＝540根
宽幅电极指的宽度＝1.53μm
交叉宽度＝45μm
反射器的电极指的根数＝21根
在比较例1中，除了按照每12根电极指间隔剔除1根的比例对IDT 电极整体进行间隔剔除加权之外，与实施例1的弹性波谐振器是同样的。即，在比较例1的弹性波谐振器中，在整体范围内周期地实施了间隔剔除加权。根据图7及图8可知，在比较例1中，在1600MHz附近及2260MHz 附近表现出较大的纹波。与此相对，在实施例1的弹性波谐振器中，能够抑制这样的纹波。另外，关于图7的阻抗特性，可知在实施例1中，与比较例1同样地，谐振电阻足够低。因此，能够在维持谐振特性的同时，能够有效地抑制比谐振频率靠低频率侧以及比反谐振频率靠高频率侧的上述纹波。
准备了除了未实施上述间隔剔除加权之外与实施例1同样地构成的比较例2的弹性波谐振器。因此，在比较例2的弹性波谐振器的IDT电极中，未实施间隔剔除加权。图9中用实线示出比较例2的弹性波谐振器的阻抗特性。另外，图10中用实线示出比较例2的弹性波谐振器的回波损耗特性。为了进行比较，图9中用虚线示出上述的比较例1的弹性波谐振器的阻抗特性，图10中用虚线示出回波损耗特性。
根据图9及图10可知，在具有未实施间隔剔除加权的IDT电极的比较例2的弹性波谐振器中，未产生1600MHz附近的纹波，也未产生 2260MHz附近的纹波。不过，根据图9可知，在比较例2的弹性波谐振器中，谐振频率与反谐振频率的频率差Δf相较于比较例1的弹性波谐振器中的频率差Δf而变大。因此，在使用了比较例2的弹性波谐振器的情况下，例如难以提高梯型滤波器中的滤波器特性的急剧性。因此，在使用了比较例2的弹性波谐振器的情况下，难以得到良好的滤波器特性。
接着，准备了不具有周期性而随机地实施了间隔剔除加权的弹性波谐振器作为比较例3的弹性波谐振器。这里，电极指的间隔剔除根数为针对 12根间隔剔除1根的比例，但在弹性波传播方向上随机地配置了间隔剔除的部分。即，不具有周期性而对IDT电极实施了间隔剔除加权。图11的单点划线示出比较例3的弹性波谐振器的阻抗特性，虚线示出比较例1的弹性波谐振器的阻抗特性。另，外图12的单点划线示出比较例3的弹性波谐振器的回波损耗特性，虚线示出比较例1的弹性波谐振器的回波损耗特性。
根据图11可知，在比较例1的弹性波谐振器中表现出的1600MHz附近的纹波及2260MHz附近的纹波未在比较例3的弹性波谐振器中表现出。但是，虽然在图11中不一定明确，但在比较例1的弹性波谐振器中，谐振频率中的阻抗为-10dB，与此相对，在比较例3的弹性波谐振器中，劣化为-8dB。
因此，可知与比较例1的弹性波谐振器、即IDT电极整体周期地被间隔剔除加权的弹性波谐振器相比，在IDT电极整体随机地被间隔剔除加权的比较例3中，谐振阻力劣化，得不到良好的频带内特性。
如上所述，根据图7～图12可知，在第一区域31～第三区域33的各区域内周期地实施间隔剔除加权且第一区域31～第三区域33的间隔剔除加权的周期性不同的情况下，难以产生谐振阻力的劣化，能够减小谐振频率与反谐振频率的频率差。因此，在使用了带通型滤波器的情况下，能够改善该带通型滤波器的通带内的特性。另一方面，抑制了在谐振频率与反谐振频率之间的频带之外表现出的纹波。因此，在使用了实施例1的弹性波谐振器的带通型滤波器中，能够改善通带外的特性。因此，能够改善与该带通型滤波器共同连接且通带不同的其他的带通型滤波器的通带内的特性。
需要说明的是，如上所述，在本实用新型中，在多个区域中，至少一个区域中的间隔剔除加权的周期性与其他的至少一个区域中的间隔剔除加权的周期性不同即可。无需如上述实施方式那样使多个区域即第一区域 31～第三区域33的间隔剔除加权的周期全部不同。不过，优选如上述实施方式那样多个区域的间隔剔除加权的周期性全部不同，在该情况下，能够更加有效地改善通带内的特性及通带外的特性的双方。
需要说明的是，在第一实施方式中，实施了间隔剔除加权，使得具有宽幅电极指7a、7b、9、11a、11b等，但如图22所示，也可以通过在IDT 电极的一个区域内设置浮置电极指50来实施间隔剔除加权。浮置电极指 50是在第一电极指或第二电极指所处的部分的一部分代替第一电极指或第二电极指而设置的。即，IDT电极的间隔剔除加权不限于具有宽幅电极指，也可以为使用了浮置电极指的间隔剔除加权。在该情况下，也是多个区域中的至少一个区域的间隔剔除加权的周期性与其他的至少一个区域的间隔剔除加权的周期性不同即可。
在弹性波谐振器1中，如上述那样对IDT电极3进行间隔剔除加权，因此，在使用弹性波谐振器1构成了带通型滤波器例如梯型弹性波滤波器的情况下，能够提高通带内的特性与通带外的特性的双方。这通过说明图13及图14所示的多工器的实施方式而变得清楚。
图13是用于说明作为本实用新型的第二实施方式的多工器41的简略的电路图，图14是示出图13所示的多工器41的具体的电路结构的图。
多工器41具有作为天线侧的端子的共同端子42。在共同端子42共同连接有作为多个带通型滤波器的第一带通型滤波器43～第四带通型滤波器46的一端。多工器41是具有第一带通型滤波器43～第四带通型滤波器 46的四工器。需要说明的是，在共同端子42与接地电位之间连接有电感器L1。电感器L1是为了实现阻抗匹配而设置的。
如图14所示，第一带通型滤波器43～第四带通型滤波器46均是具有多个串联臂谐振器及多个并联臂谐振器的梯型弹性波滤波器。串联臂谐振器及并联臂谐振器包括弹性波谐振器。
第一带通型滤波器43是Band1的发送滤波器。第二带通型滤波器44 是Band1的接收滤波器。
第三带通型滤波器45是Band3的发送滤波器。第四带通型滤波器46 是Band3的接收滤波器。
Band1的发送滤波器的通带为1920MHz～1980MHz。Band1的接收滤波器的通带为2110MHz～2170MHz。Band3的发送滤波器的通带为 1710MHz～1785MHz。Band3的接收滤波器的通带为1805MHz～ 1880MHz。
因此，第一带通型滤波器43～第四带通型滤波器46的通带全部不同。
在多工器41中，构成第一带通型滤波器43～第四带通型滤波器46的弹性波谐振器的IDT电极如上述实施方式所示那样被间隔剔除加权。
第一带通型滤波器43连接在Band1的发送端子51与共同端子42之间。在该发送端子51与共同端子42之间连接有串联臂谐振器S1～S4。另外，并联臂谐振器P1～P4连接在串联臂与接地电位之间。需要说明的是，串联臂谐振器S1、S2及S3被分割为两个谐振器。串联臂谐振器S4 被分割为三部分。在串联臂谐振器S1并联地连接有电感器L2。
在第二带通型滤波器44中，在Band1的接收端子52与共同端子42 之间连接有串联臂谐振器S11～S15。并联臂谐振器P11～P17连接在串联臂与接地电位之间。在并联臂谐振器P12与接地电位之间连接有电感器L3。在并联臂谐振器P14与接地电位之间连接有电感器L4。在并联臂谐振器P15与接地电位之间连接有电感器L5。在并联臂谐振器P17与接地电位之间连接有电感器L6。串联臂谐振器S11被分割为三部分。
第三带通型滤波器45连接在Band3的发送端子53与共同端子42之间。从发送端子53侧依次设置有串联臂谐振器S21、S22、S23、S24。串联臂谐振器S21、S24被分割为三部分，串联臂谐振器S22、S23被分割为两部分。在发送端子53与串联臂谐振器S21之间连接有电感器L7。
在串联臂与接地电位之间连接有并联臂谐振器P21～P25。在并联臂谐振器P21与接地电位之间连接有电感器L8。并联臂谐振器P22及并联臂谐振器P24的一端彼此共同连接，并且经由电感器L9而与接地电位连接。在并联臂谐振器P25与接地电位之间连接有电感器L10。
第四带通型滤波器46连接在Band3的接收端子54与共同端子42之间。从共同端子42侧配置有串联臂谐振器S31～S35。串联臂谐振器S31 及串联臂谐振器S34被分割为两部分。在串联臂与接地电位之间连接有并联臂谐振器P31～P34。在并联臂谐振器P34的接地电位侧端部与接地电位之间连接有电感器L11。
需要说明的是，作为第二实施方式的实施例2的第一带通型滤波器 43～第四带通型滤波器46的设计参数如以下的表1至表4所示。
[表1]
第一带通型滤波器43(B1Tx)
S1 P1 S2 P2 S3 P3，P4 S4
IDT波长(μm) 1.924 2.003 1.93 2.011 1.937 2.011 1.922
REF波长(μm) 1.924 2.003 1.93 2.011 1.937 2.011 1.922
交叉宽度(μm) 29 37 12 56 81 27 32
IDT的电极指的对数 140 200 200 118 120 82 140
REF的电极指的对数 10 10 10 10 10 10 10
占空比 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
[表2]
第二带通型滤波器44(B1Rx)
S11 P11，P12 S12 P13，P14 S13 P15 S14 P16，P17 S15
IDT波长(μm) 1.745 1.842 1.819 1.898 1.808 1.896 1.805 1.872 1.825
REF波长(μm) 1.745 1.842 1.819 1.898 1.808 1.896 1.805 1.872 1.825
交叉宽度(μm) 22 23 23 19 21 19 20 24 33
IDT的电极指的对数 120 235 80 110 150 110 100 245 165
REF的电极指的对数 10 10 10 10 10 10 10 10 10
占空比 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
[表3]
第三带通型滤波器45(B3Tx)
S21 P21 S22 P22 S23 P23，P24 S24 P25
IDT波长(μm) 2.141 2.252 2.173 2.254 2.175 2.256 2.157 2.268
REF波长(μm) 2.141 2.252 2.173 2.254 2.175 2.256 2.157 2.268
交叉宽度(μm) 26 42 68 117 32 65 46 27.6
IDT的电极指的对数 200 33 293 60 230 130 230 200
REF的电极指的对数 10 10 10 10 10 10 10 10
占空比 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
[表4]
第四带通型滤波器46(B3Rx)
S31 P31 S32 P32 S33 P33 S34 P34 S35
IDT波长(μm) 2.027 2.121 2.033 2.126 2.045 2.123 2.035 2.125 2.048
REF波长(μm) 2.027 2.121 2.033 2.126 2.045 2.123 2.035 2.125 2.048
交叉宽度(μm) 26 31 40 57 18 45 19 43 36
IDT的电极指的对数 12C 200 90 200 120 150 180 150 165
REF的电极指的对数 10 10 10 10 10 10 10 10 10
占空比 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
另外，为了进行比较，除了构成第一带通型滤波器43～第四带通型滤波器46的弹性波谐振器的IDT电极由上述的比较例1的弹性波谐振器构成之外，与上述实施例2同样地准备了比较例4的多工器。
图15的实线示出实施例2的多工器41中的Band3的发送滤波器、即第三带通型滤波器45的通过特性。图15的虚线示出比较例4的多工器的 Band3的发送滤波器的通过特性。图16的实线示出实施例2的多工器41 中的Band3的发送滤波器、即第三带通型滤波器45的共同端子42侧的回波损耗特性，虚线示出比较例4的Band3的发送滤波器的共同端子侧的回波损耗特性。
在图16中，在比较例4中，在作为Band1的接收滤波器的通带的 2110MHz～2170MHz内表现出箭头A1、A2所示的纹波。图17中放大示出由图15的圆A包围的部分。可知相对于在比较例4中表现出箭头A1、 A2所示的大纹波，在实施例2中充分地抑制了这些纹波。根据实施例2，与比较例4相比，通过抑制该纹波，能够将表现出该纹波的部分处的衰减特性改善3dB。
图18的实线示出实施例2的Band3的接收滤波器、即第四带通型滤波器46的通过特性，虚线示出比较例4的Band3的接收滤波器的通过特性。另外，图19的实线示出实施例2的第四带通型滤波器46中的共同端子42侧的回波损耗特性，虚线示出比较例4的Band3的接收滤波器的共同端子侧的回波损耗特性。根据图18及图19可知，在作为Band1的接收滤波器的通带的2110MHz～2170MHz内，在比较例4中表现出箭头A3 所示的纹波，与此相对，在实施例2中抑制该大纹波。
因此，可知在作为Band3的接收滤波器的第四带通型滤波器46中，也能够在维持通带内的特性的同时抑制在通带外产生的纹波。
图20的实线示出实施例2中的从Band3的发送滤波器到Band1的接收滤波器侧的隔离特性，虚线示出比较例4的隔离特性。图21示出从天线侧到Band1的接收滤波器侧的通过特性，实线示出实施例2的结果，虚线示出比较例4的结果。
根据图20可知，在2090MHz～2100MHz附近，在比较例4中表现出 12dB左右的大峰值。与此相对，在实施例2中，未表现出这样的峰值。即，有效地改善了隔离特性。
另外，根据图21可知，关于该通过特性，在比较例4中，在2130MHz 附近的频带内也表现出0.2dB左右的大纹波。与此相对，在实施例2中，未表现出这样的纹波。
因此，可知能够改善Band1的接收频带的通带内的特性，能够减小损耗。
如上所述，在本实用新型的实施例的多工器中，通过使用第一带通型滤波器43～第四带通型滤波器46，在维持各带通型滤波器43～46的通带内的特性的同时还改善了通带外的特性。因此，还能够改善共同连接的其他的带通型滤波器中的通带内的特性。
需要说明的是，在上述实施方式中，针对具有第一带通型滤波器43～第四带通型滤波器46的四工器进行了说明，但本实用新型的多工器不限于四工器。也可以是双工器、三工器，还可以是共同连接有5个以上的带通型滤波器的多工器。
另外，多个带通型滤波器的通带也可以不一定全部不同，至少一个带通型滤波器的通带与其他的至少一个带通型滤波器的通带不同即可。
附图标记说明：
1...弹性波谐振器；
2...压电板；
3...IDT电极；
3A...第一汇流条；
3B...第二汇流条；
4、5...反射器；
6a、6b...第一电极指、第二电极指；
6c、6d...虚设电极指；
7a、7b...宽幅电极指；
8a、8b...宽幅虚设电极指；
9...宽幅电极指；
10...宽幅虚设电极指；
11a、11b...宽幅电极指；
12a、12b...宽幅虚设电极指；
31～33...第一区域～第三区域；
31a～31e...部分；
32a～32e...部分；
33a～33e...部分；
41...多工器；
42...共同端子；
43～46...第一带通型滤波器～第四带通型滤波器；
50...浮置电极指；
51...发送端子；
52...接收端子；
53...发送端子；
54...接收端子；
L1～L11...电感器；
P1～P4...并联臂谐振器；
P11～P17...并联臂谐振器；
P21～P25...并联臂谐振器；
P31～P34...并联臂谐振器；
S1～S4...串联臂谐振器；
S11～S15...串联臂谐振器；
S21～S24...串联臂谐振器；
S31～S35...串联臂谐振器。

Claims (9)

1.一种弹性波谐振器，其特征在于，
所述弹性波谐振器具备：
压电体；以及
IDT电极，其直接或间接地设置在所述压电体上，并且被实施了间隔剔除加权，
所述IDT电极具有在弹性波传播方向上配置的多个区域，所述多个区域的各区域至少两个周期以上地周期地被实施了间隔剔除加权，
至少一个所述区域的周期的间隔剔除加权的周期性与其他的至少一个区域的周期的间隔剔除加权的周期性不同。
2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，
所述多个区域的所述间隔剔除加权的周期性全部不同。
3.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，
相对于所述IDT电极的中心非对称地实施弹性波传播方向两侧的所述间隔剔除加权。
4.根据权利要求2所述的弹性波谐振器，其特征在于，
相对于所述IDT电极的中心非对称地实施弹性波传播方向两侧的所述间隔剔除加权。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波谐振器，其特征在于，
所述IDT电极具有相互交替插入的多根第一电极指及第二电极指，并且被实施所述间隔剔除加权，使得具有沿着弹性波传播方向的宽度方向尺寸比所述第一电极指大的宽幅电极指。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波谐振器，其特征在于，
所述IDT电极具有相互交替插入的多根第一电极指及第二电极指，并且被实施所述间隔剔除加权，使得在所述第一电极指或所述第二电极指所处的部分的一部分具有代替第一电极指或第二电极指而设置的浮置电极指。
7.一种多工器，其特征在于，
所述多工器具备：
共同端子；以及
多个带通型滤波器，其一端与所述共同端子共同连接，
至少一个所述带通型滤波器的通带与其他的带通型滤波器的通带不同，
所述至少一个带通型滤波器是具有多个弹性波谐振器的弹性波滤波器，
所述多个弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器是权利要求1至6中任一项所述的弹性波谐振器。
8.根据权利要求7所述的多工器，其特征在于，
所述多个带通型滤波器的通带全部不同。
9.根据权利要求7或8所述的多工器，其特征在于，
所述多个带通型滤波器分别是具有多个弹性波谐振器的弹性波滤波器。
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