CN110582937B - 弹性波装置、滤波器以及复合滤波器装置 - Google Patents
弹性波装置、滤波器以及复合滤波器装置 Download PDFInfo
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- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 31
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14552—Transducers of particular shape or position comprising split fingers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/542—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material including passive elements
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6406—Filters characterised by a particular frequency characteristic
- H03H9/6409—SAW notch filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
- H03H9/725—Duplexers
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
提供一种改善了非线性特性的弹性波装置。在弹性波装置(11)中，在压电性基板(12)上设置IDT电极(13)，IDT电极(13)具有多根第1电极指(15)和连接于与多根第1电极指(15)不同的电位的多根第2电极指(16)，与第1、第2电极指(15、16)延伸的方向正交的方向是弹性波传播方向，IDT电极(13)具有设置在弹性波传播方向中央的第1区域(A)、在弹性波传播方向上设置于第1区域(A)的一侧及另一侧的第2区域(B1、B2)、和在弹性波传播方向上设置于第2区域(B1、B2)的与所述第1区域(A)相反一侧的第3区域(C1、C2)，在各第2区域(B1、B2)中第1电极指(15)和第2电极指(16)在弹性波传播方向上交替配置，在第1区域(A)及第3区域(C1、C2)中沿着弹性波传播方向相邻的电极指的电位相同者电极指不连接于电位。
Description
技术领域
本发明涉及在压电性基板上设置有IDT电极的弹性波装置、具有该弹性波装置的滤波器以及复合滤波器装置。
背景技术
以往，在便携式电话机、智能电话的RF级，使用了利用弹性波装置的多个滤波器。在这种滤波器中，连接有由弹性波谐振器构成的多个弹性波装置。在下述的专利文献1中，示出了作为这样的弹性波装置而使用的弹性波谐振器的一例。在专利文献1记载的弹性波装置中，在压电基板上，设置有IDT电极以及一对反射器。在IDT电极中，多根第1电极指和连接于与第1电极指不同的电位的多根第2电极指在弹性波传播方向上交替配置。即，多根电极指周期性地配置，使得沿着弹性波传播方向相邻的电极指的电位不同。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：WO2011/105317A1
发明内容
发明要解决的课题
在IDT电极中，通过在多根第1电极指与多根第2电极指之间施加交流电场，从而激励弹性波。不过，在弹性波装置中，连接于电位的电极指交替配置，因此由于非线性特性而产生物理上的失真。因此，有时弹性波装置的特性会劣化。此外，在包含使用了这样的弹性波装置的滤波器的多个滤波器在天线端侧被公共连接的情况下，有时会产生滤波器的特性的劣化。即，在一个滤波器中，若产生上述非线性特性所引起的互调失真(IMD)、谐波失真，则有时会对其他滤波器造成不良影响。特别是，在发送滤波器中，若最接近天线的弹性波谐振器的非线性特性失真大，则有时会对接收滤波器等其他滤波器的特性造成不良影响。另外，已知为了提高弹性波谐振器的线性特性而增大电极指交叉宽度×对数，但在此情况下，弹性波谐振器的阻抗特性(导纳特性)改变。为了在使用了弹性波谐振器的弹性波装置中获得希望的滤波器特性，寻求一种能够在不改变导纳特性的情况下改善非线性特性的弹性波谐振器。
本发明的目的在于，提供一种改善了非线性特性的弹性波装置、具有该弹性波装置的滤波器以及复合滤波器装置。
用于解决课题的手段
本发明涉及的弹性波装置具备：压电性基板；和设置在所述压电性基板上的IDT电极，所述IDT电极具有多根第1电极指、和连接于与所述多根第1电极指不同的电位的多根第2电极指，与所述第1电极指、第2电极指延伸的方向正交的方向是弹性波传播方向，所述IDT电极具有设置在弹性波传播方向中央的第1区域、在所述弹性波传播方向上设置于所述第1区域的一侧以及另一侧的第2区域、和在所述弹性波传播方向上设置于各所述第2区域的与所述第1区域相反的一侧的第3区域，在所述第2区域中，所述第1电极指和所述第2电极指在所述弹性波传播方向上交替配置，在所述第1区域以及所述第3区域中，沿着所述弹性波传播方向相邻的电极指的电位相同或者电极指不连接于电位。
在本发明涉及的弹性波装置的某特定的方式中，在所述第1区域以及所述第3区域中，沿着所述弹性波传播方向相邻的电极指被设为相同电位。在此情况下，也可以在所述第1区域以及所述第3区域的至少一方，具有与所述电极指相比沿着弹性波传播方向的宽度方向尺寸大的宽幅电极指。
在本发明涉及的弹性波装置的其他特定的方式中，所述第1区域以及所述第3区域的至少一方由不连接于电位的浮动电极指构成。
在本发明涉及的弹性波装置的又一其他特定的方式中，在两个所述第2区域中，所述第1区域侧的端部的所述电极指连接于相同电位。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的方式中，在两个所述第2区域中，所述第1区域侧的端部的所述电极指连接于不同的电位。
在本发明涉及的弹性波装置的又另一个特定的方式中，所述第1区域的所述电极指为奇数根，在两个所述第2区域中，所述第1区域侧的端部的所述电极指的极性彼此不同。
在本发明涉及的弹性波装置的又另一个特定的方式中，所述第1区域的所述电极指为偶数根，在两个所述第2区域中，所述第1区域侧的端部的所述电极指的极性彼此相同。
本发明涉及的滤波器具有由弹性波谐振器构成的多个弹性波装置，其中，所述多个弹性波装置中的至少一个弹性波装置具备压电性基板和设置在所述压电性基板上的IDT电极，所述IDT电极具有多根第1电极指和连接于与所述多根第1电极指不同的电位的多根第2电极指，与所述第1电极指、第2电极指延伸的方向正交的方向是弹性波传播方向，所述IDT电极具有设置在所述弹性波传播方向中央的第1区域、在所述弹性波传播方向上设置于所述第1区域的一侧以及另一侧的第2区域、和在所述弹性波传播方向上设置于各所述第2区域的与所述第1区域相反的一侧的第3区域，在所述第2区域中，所述第1电极指和所述第2电极指在所述弹性波传播方向上交替配置，在所述第1区域以及所述第3区域中，沿着所述弹性波传播方向相邻的电极指的电位相同或者电极指不连接于电位。
本发明涉及的复合滤波器装置具备n个滤波器，所述n个滤波器的一端被公共连接，所述n个滤波器中的至少一个滤波器具有按照本发明而构成的弹性波装置。
在本发明涉及的复合滤波器装置的某特定的方式中，具备n个滤波器和公共连接了所述n个滤波器的一端的天线端子，所述n个滤波器中的至少一个滤波器具有至少一个弹性波装置，在所述滤波器中，最接近所述天线端子的所述弹性波装置由按照本发明而构成的弹性波装置构成。
发明效果
根据本发明涉及的弹性波装置，能够改善非线性特性。因此，根据使用了本发明涉及的弹性波装置的本发明涉及的滤波器以及复合滤波器装置，不易产生电特性的劣化，并且不易产生其他滤波器的滤波器特性的劣化。
附图说明
图1是具有本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的复合滤波器装置的电路图。
图2是本发明的第1实施方式的弹性波装置的俯视图。
图3是用于说明本发明的第1实施方式的弹性波装置中的第1区域、第2区域以及第3区域的示意性主视图。
图4是示出实施例1以及比较例1的弹性波装置的导纳特性的图。
图5是示出实施例1以及比较例1的弹性波装置中的3次谐波失真的频率特性的图。
图6是示出实施例1以及比较例1的弹性波装置中的IMD特性的图。
图7是用于说明比较例1中的IDT电极的电极指的极性的示意图。
图8是用于说明第1实施方式的弹性波装置中的IDT电极的电极指的极性的示意图。
图9是用于说明第1实施方式的弹性波装置中的IDT电极的电极指的极性的示意图。
图10是用于说明第1实施方式的弹性波装置中的两侧的反射器所反射的主模式的弹性波以及高阶模式的传播状态的示意图。
图11是示出关于第1实施方式的实施例2的弹性波装置以及比较例1的弹性波装置的3次谐波失真的频率特性的图。
图12是示出关于第1实施方式的实施例2的弹性波装置以及比较例1的弹性波装置的IMD特性的图。
图13是本发明的第2实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
图14是示出关于第2实施方式的弹性波装置的实施例3以及比较例2的相位特性的图。
图15是作为使用了第2实施方式的弹性波装置的带通型滤波器的陷波滤波器的电路图。
图16是关于图15所示的陷波滤波器示出实施例4以及比较例3的通过特性的图。
图17是将图16所示的通过特性的一部分放大示出的图。
图18是示出作为第1区域的连续区域的结构的第1变形例的示意性俯视图。
图19是示出作为第1区域的连续区域的结构的第2变形例的示意性俯视图。
图20是示出本发明的弹性波装置中使用的IDT电极的变形例的示意性俯视图。
图21是示出本发明的弹性波装置中使用的IDT电极的其他变形例的示意性俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，由此明确本发明。
另外，预先指出的是，本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。
图1是具有本发明的第1实施方式的弹性波装置的复合滤波器装置的电路图。
复合滤波器装置1具有第1～第3滤波器5～7。在本实施方式中，第1～第3滤波器5～7分别为带通型滤波器。
复合滤波器装置1具有天线端子2。第1～第3滤波器5～7的一端公共连接于天线端子2。第1滤波器5是发送滤波器。第1滤波器5具有多个串联臂谐振器S1～S4以及多个并联臂谐振器P1、P2、P3。第1滤波器5因此是梯型的弹性波滤波器。第1滤波器5与发送端子3连接。第2滤波器6与接收端子4连接。
串联臂谐振器S1～S4以及并联臂谐振器P1～P3由单端口型弹性波谐振器构成。
复合滤波器装置1的特征在于，在第1滤波器5中，串联臂谐振器S1～S4以及并联臂谐振器P1～P3由本发明的弹性波装置构成。以下以串联臂谐振器S1为代表对此进行说明。
图2是构成了串联臂谐振器S1的第1实施方式的弹性波装置11的俯视图。图3是用于说明本发明的第1实施方式的弹性波装置中的第1区域、第2区域以及第3区域的示意性主视图。在弹性波装置11中，在压电性基板12上设置有IDT电极13以及反射器14a、14b。弹性波装置11是单端口型弹性波谐振器。如前述那样，在弹性波装置中，存在由于IDT电极中的非线性特性而产生失真这样的问题。相对于此，在弹性波装置11中，IDT电极13具备以下的结构，因此改善了非线性特性。
IDT电极13具有多根第1电极指15和多根第2电极指16。多根第1电极指15的一端连接于第1汇流条17。多根第2电极指16的一端连接于第2汇流条18。
另外，如前述那样，在以往的IDT电极中，多根第1、第2电极指沿着弹性波传播方向交替配置。相对于此，在IDT电极13中，如图2所示，在位于弹性波传播方向中央的第1区域A中，3根第1电极指15与第1汇流条17连接，使得相邻的第1电极指15成为相同电位。即，在第1区域A中，相邻的电极指连接于相同电位。
在第1区域A的弹性波传播方向两侧设置有第2区域B1、B2。在第2区域B1、B2中，第1电极指15和第2电极指16在弹性波传播方向上交替配置。因此，在第2区域B1、B2中，在第1、第2电极指15、16间施加了交流电场的情况下，激励弹性波。
在第2区域B1、B2的与第1区域A相反的一侧，设置有第3区域C1、C2。在第3区域C1、C2中，与第1区域A同样地，多根第1电极指15的一端连接于第1汇流条17，未配置第2电极指16。因此，在第3区域C1、C2中，也改善了非线性特性。
在第3区域C1、C2的弹性波传播方向外侧，设置有第4区域D1、D2。在第4区域D1、D2中，第1电极指15和第2电极指16在弹性波传播方向上交替配置。因此，在第4区域D1、D2中，也在驱动时激励弹性波。
在弹性波装置11中，IDT电极13具有上述第1区域A以及第3区域C1、C2，因此改善了非线性特性。因此，在驱动时，不易产生失真。特别是，在IDT电极13中，在弹性波传播方向上的中央区域，在驱动时产生大的应力。即，如上述那样，第1区域A被设为不具有第1、第2电极指的周期性构造的不连续部分，由此能够更有效地提高线性特性。
参照以下的实施例1以及比较例1对通过上述第1实施方式的弹性波装置11在不引起导纳特性、阻抗特性的变化的情况下改善非线性特性这一情况进行说明。
用以下的设计参数，制作了实施例1的弹性波装置11。作为压电性基板12，使用了LiNbO3。由电极指间距决定的波长λ设为4.6μm。IDT电极13中的占空比设为0.5。IDT电极13的电极指的根数整体设为237根。反射器14a、14b中的电极指的根数设为10根。在IDT电极13中，第1区域A的电极指的根数设为11根，第2区域B1、B2中的电极指的根数设为51根，第3区域C1、C2中的电极指的根数设为11根，第4区域D1、D2中的电极指的根数设为51根。此外，电极指交叉宽度设为110μm。
为了比较，除了电极指交叉宽度为100μm且在第1、第3区域中也是第1电极指和第2电极指在弹性波传播方向上交替配置以外，与上述实施例1同样地制作了比较例1的弹性波装置。另外，比较例1的弹性波装置中的电极指交叉宽度为100μm，相对于此，在实施例1中，电容不同，因此将电极指交叉宽度修改为110μm。
在图4中用实线示出实施例1的导纳特性，用虚线示出比较例1的导纳特性。另外，上述实施例1的弹性波谐振器中的谐振频率与反谐振频率之间的频率范围是800MHz～900MHz。
从图4明确可知，实线和虚线大体重叠，在实施例1的弹性波装置11中，谐振特性与比较例1的弹性波装置几乎没有变化。
图5是示出实施例1以及比较例1的弹性波装置中的3次谐波失真的频率特性的图，图6是示出IMD特性的图。实线示出实施例1的结果，虚线示出比较例1的结果。从图5以及图6明确可知，与比较例1相比，根据实施例1，能够减小3次谐波失真，并且IMD特性也得到改善。
另外，3次谐波的频率范围出现在2400MHz～2700MHz。
此外，在IMD＝2f1-f2中，设为f1＝825MHz～849MHz，且设为f2＝870MHz～894MHz。因此，2f1-f2＝780MHz～804MHz。
参照图7以及图8对如上所述在弹性波装置11中非线性特性得到改善的机制进行说明。
图7是示出比较例1的弹性波装置中的IDT电极的多根电极指的极性的示意图，图8是示出第1实施方式的弹性波装置11中的第1区域A附近的多根电极指的极性的示意图。在图7以及图8中，用“1”、“0.5”、“0”示意性地表示激励强度。即，在相邻的电极指的极性反转的情况下，激励强度为1，在相同极性的情况下为0。如图7所示，在比较例1的弹性波装置中，相邻的电极指的极性反转，因此激励强度高，但非线性特性变高。相对于此，如图8所示，在第1实施方式中，在第1区域A中，相邻的电极指的极性变得相等，因此激励强度被降低，但由此线性特性被提高。而且，由于第1区域A设置在弹性波传播方向中央，因此在应力大的中央区域中，能够更加有效地改善线性特性。
另外，在弹性波装置11中，第2区域B1的第1区域A侧的电极指是第2电极指16，第2区域B2的第1区域A侧的端部的电极指也是第2电极指16，两电极指是相同极性。
不过，对于从第2区域B1通过第1区域A向第2区域B2传播的波而言，优选第2区域B1和第2区域B2的极性不同。如图9所示，在第1区域A的IDT电极的电极指的根数为奇数根的情况下，将第2区域B1的第1区域A侧的端部的电极指设为第2电极指16，将第2区域B2的第1区域A侧的端部的电极指设为第1电极指15为宜。即，优选第2区域B1的第1区域A侧的端部的电极指的极性和第2区域B2的第1区域A侧的端部的电极指的极性不同。在第1区域A的IDT电极的电极指的根数为偶数根的情况下，将第2区域B1的第1区域A侧的端部的电极指设为第2电极指16，将第2区域B2的第1区域A侧的端部的电极指设为第2电极指16为宜。即，优选第2区域B1的第1区域A侧的端部的电极指的极性和第2区域B2的第1区域A侧的端部的电极指的极性相同。无论在哪种情况下，都能够抵消由反射器反射并通过了第1区域A的谐波，能够获得更良好的特性。参照图10对此进行说明。
如图10所示，若对IDT电极13进行驱动，则在第2区域B1中激励的主模式的弹性波、和在第2区域B2中激励的主模式的弹性波在图示的箭头所示的方向上传播。在此情况下，IDT电极13中的主模式的弹性波的反射系数大，因此箭头A1所示的弹性波在区域A中被反射而返回区域B1，箭头-A1所示的弹性波也同样地在区域A中被反射而返回区域B2，因此作为结果，主模式的弹性波不被抵消。相对于此，关于高阶模式，箭头B1a所示的高阶模式和箭头-B1a所示的高阶模式分别在箭头方向上传播，但IDT电极13中的高阶模式的反射系数小，因此各个高阶模式通过区域A，两者成为反相。因此，能够有效地抑制高阶模式的响应。像这样，对于从第2区域B1通过第1区域A向第2区域B2传播的波而言，使第2区域B1和第2区域B2的极性不同为宜。参照图11以及图12对关于这样的优选的弹性波装置的实施例2以及比较例1进行说明。
实施例2的设计参数除了将第2区域B1、B2的第1区域A侧的端部的电极指的极性设为相反极性之外，与实施例1设为同样。实施例2的弹性波装置以及比较例1的弹性波装置的导纳特性与图4所示的实施例1的导纳特性大体重叠。另一方面，图11是示出实施例2以及比较例1的弹性波装置的3次谐波失真的频率特性的图，图12是示出IMD特性的图。在图11以及图12中，实线示出实施例2的结果，虚线示出比较例1的结果。从图11明确可知，即使在实施例2中，与比较例1相比，也能够减小3次谐波的失真。此外，如图12所示可知，关于IMD特性，根据实施例2，与比较例1相比也能得到改善。即，通过IDT电极中的线性特性的提高，改善了3次谐波失真的频率特性以及IMD特性。
(第2实施方式)
图13是本发明的第2实施方式涉及的弹性波装置31的俯视图。在弹性波装置31中，在第1区域A、第3区域C1、C2中，设置有多根浮动电极指35。浮动电极指35既不与第1汇流条17电连接也不与第2汇流条18电连接。即，浮动电极指35电浮动。因此，例如在第1区域A中，通过多根浮动电极指35构成了反射器。在第3区域C1、C2中，也通过多根浮动电极指35构成了反射器。
在弹性波装置31中，第2区域B1、B2以及第4区域D1、D2与弹性波装置11同样地构成。
在弹性波装置31中，在IDT电极13中，上述第1区域A以及第3区域C1、C2被设为电极周期的不连续部分。即，在第1电极指15和第2电极指16交替配置的电极构造中，第1区域A以及第3区域C1、C2被设为该周期性的构造的不连续部分。而且，在第1区域A以及第3区域C1、C2中，不通过压电效应而激励弹性波，因此线性特性得到提高。因此，在弹性波装置31中，与弹性波装置11同样地，非线性特性得到改善。像这样，在本发明中，在上述第1区域A以及第3区域C1、C2中，也可以通过电极指不与其他电位连接来改善非线性特性。
将关于上述第2实施方式的弹性波装置31的实施例3以及比较例2的相位特性示于图14。
另外，作为实施例3的设计参数，在第1区域A以及第3区域C1、C2中，除了如以下那样构成之外，设为与实施例1同样。
第1区域A：配置了11根浮动电极指。
第3区域C1、C2：配置了11根浮动电极指。
使第2区域B1的第1区域A侧的端部的电极指的极性和第2区域B2的第1区域A侧的端部的电极指的极性不同。
使第4区域D1的第3区域C1侧的端部的电极指的极性和第2区域B1的第3区域C1侧的端部的电极指的极性不同。
使第4区域D2的第3区域C2侧的端部的电极指的极性和第2区域B2的第3区域C2侧的端部的电极指的极性不同。
在图14中，实线示出实施例3的结果，虚线示出比较例2的结果。另外，在实施例3中，谐振频率设计为2450MHz。图14中的箭头E1～E3全部示出无用波的响应。可知，与比较例2相比，根据实施例3，有效地抑制了箭头E1～E3所示的无用波。通过采取上述结构，能够在多个区域中实现无用波的抵消。即，从第2区域B1通过第1区域A进入到第2区域B2的高阶模式与第2区域B2的高阶模式抵消。从第4区域D1通过第3区域C1进入到第2区域B1的高阶模式与第2区域B1的高阶模式抵消。从第4区域D2通过第3区域C2进入到第2区域B2的高阶模式与第2区域B2的高阶模式抵消。因此，可有效地抑制无用波。
图15是作为本发明的第2实施方式的陷波滤波器的电路图。陷波滤波器41是具有设置于串联臂的电感L1、L2和设置于并联臂的静电电容的低通滤波器。在此，设置于并联臂的静电电容的一部分被谐振器R1、R2置换。构成为：在作为谐振器R1、R2的谐振频率的2.4GHz附近，可得到陡峭的衰减特性。由此，能够使2.5GHz～3.3GHz的频带的信号通过。另外，将谐振器R1、R2中的静电电容分别设为C1a、C2a。此外，将电感L1、L2的电感值设为L1a、L2a。
用以下的参数制作了作为关于第2实施方式的实施例的实施例4以及比较例3。
在实施例4中，L1a、L2a分别设为1.5nH，C1a、C2a分别设为1.5pF。谐振器R1、R2由实施例3的弹性波装置31构成。
在比较例3中，L1a、L2a分别设为1.5nH，C1a、C2a分别设为1.5pF。谐振器R1、R2除了如以下那样构成之外，设为与实施例3的弹性波装置31同样。
第2区域B1的第1区域A侧的端部的电极指的极性和第2区域B2的第1区域A侧的端部的电极指的极性被设为相同。
第4区域D1的第3区域C1侧的端部的电极指的极性和第2区域B1的第3区域C1侧的端部的电极指的极性被设为相同。
第4区域D2的第3区域C2侧的端部的电极指的极性和第2区域B2的第3区域C2侧的端部的电极指的极性被设为相同。
图16示出实施例4以及比较例3的陷波滤波器的通过特性，图17是将图16的一部分放大示出的图。另外，实线示出实施例4，虚线示出比较例3的结果。
从图16以及图17可知，根据实施例4，在作为通带的2.7GHz～3.3GHz附近，能够大幅地减小无用波所引起的局部的插入损耗的劣化。
在上述第1实施方式以及第2实施方式中，在第1区域A、第3区域C1、C2中，作为中期的不连续部分，示出了相邻的电极指连接于相同电位的结构、多个浮动电极指，但关于它们的形成图案，没有特别限定。例如，在图2中，也可以将成为相同电位的3根相邻的第1电极指15间金属化。即，弹性波传播方向两侧的第1电极指15间也可以由金属膜构成。在此情况下，成为在IDT电极13中具有最大的电极指宽度的电极指且具有除了该电极指之外的电极指中的平均电极指宽度的2倍以上的电极指宽度的宽幅电极指(填充电极)。此外，也可以如图18所示的第1变形例那样，仅由一根浮动电极指35构成第1区域。此外，也可以如图19所示的第2变形例那样，在第1区域中，将相邻的浮动电极指35间金属化。在此情况下，图19所示的图成为弹性波传播方向两侧的浮动电极指35间由金属膜构成。此外，为了将多个浮动电极指的至少一部分的浮动电极指的电位设为相同，也可一部分的浮动电极指间在交叉宽度方向的端部电连接。另外，在图18以及图19中，将浮动电极35中的激励强度示出为x1。
此外，在第1、第2实施方式以及图18及图19所示的各结构中，相对于第1区域A，两侧的第2区域B1、B2的第1区域A侧的端部的电极指如前述那样优选为不同的极性，但也可以为相同极性。
此外，如图20所示，也可以在IDT电极51中实施交叉宽度加权。进而，也可以如图21所示的IDT电极52那样实施交叉宽度加权，进一步地，汇流条相对于弹性波传播方向倾斜。此外，也可以如IDT电极52那样设置有第1、第2虚设电极指53、54。
此外，作为对弹性波进行激励的压电材料层，可以是钽酸锂、铌酸锂、石英等，没有特别限定。此外，也可以是在容易产生高阶模式的压电材料层上形成了氧化硅、氮化硅等介电膜的层叠构造、将压电材料层贴附于硅、矾土、蓝宝石等支承基板的层叠构造。
附图标记说明
1…复合滤波器装置；
2…天线端子；
3…发送端子；
4…接收端子；
5～7…第1～第3滤波器；
11…弹性波装置；
12…压电性基板；
13…IDT电极；
14a、14b…反射器；
15、16…第1、第2电极指；
17、18…第1、第2汇流条；
31…弹性波装置；
35…浮动电极指；
41…陷波滤波器；
51…IDT电极；
52…IDT电极；
53、54…第1、第2虚设电极指；
P1～P3…并联臂谐振器；
S1～S4…串联臂谐振器。
Claims (9)
1.一种弹性波装置，具备：压电性基板；和设置在所述压电性基板上的IDT电极，
所述IDT电极具有多根第1电极指、和连接于与所述多根第1电极指不同的电位的多根第2电极指，
与所述第1电极指、第2电极指延伸的方向正交的方向是弹性波传播方向，
所述IDT电极具有设置在弹性波传播方向中央的第1区域、在所述弹性波传播方向上设置于所述第1区域的一侧以及另一侧的第2区域、和在所述弹性波传播方向上设置于各所述第2区域的与所述第1区域相反的一侧的第3区域，在所述第2区域中，所述第1电极指和所述第2电极指在所述弹性波传播方向上交替配置，在所述第1区域以及所述第3区域中，沿着所述弹性波传播方向相邻的电极指的电位相同或者电极指不连接于电位，
所述第1区域的所述电极指为奇数根，在两个所述第2区域中，所述第1区域侧的端部的所述电极指的极性彼此不同；或者，
所述第1区域的所述电极指为偶数根，在两个所述第2区域中，所述第1区域侧的端部的所述电极指的极性彼此相同。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
在所述第1区域以及所述第3区域中，沿着所述弹性波传播方向相邻的电极指被设为相同电位。
3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，
在所述第1区域以及所述第3区域的至少一方，具有与所述电极指相比沿着弹性波传播方向的宽度方向尺寸大的宽幅电极指。
4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
所述第1区域以及所述第3区域的至少一方由不连接于电位的浮动电极指构成。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，
在两个所述第2区域中，所述第1区域侧的端部的所述电极指连接于相同电位。
6.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，
在两个所述第2区域中，所述第1区域侧的端部的所述电极指连接于不同的电位。
7.一种滤波器，具有由弹性波谐振器构成的多个弹性波装置，其中，
所述多个弹性波装置中的至少一个弹性波装置具备压电性基板和设置在所述压电性基板上的IDT电极，
所述IDT电极具有多根第1电极指和连接于与所述多根第1电极指不同的电位的多根第2电极指，
与所述第1电极指、第2电极指延伸的方向正交的方向是弹性波传播方向，
所述IDT电极具有设置在所述弹性波传播方向中央的第1区域、在所述弹性波传播方向上设置于所述第1区域的一侧以及另一侧的第2区域、和在所述弹性波传播方向上设置于各所述第2区域的与所述第1区域相反的一侧的第3区域，在所述第2区域中，所述第1电极指和所述第2电极指在所述弹性波传播方向上交替配置，在所述第1区域以及所述第3区域中，沿着所述弹性波传播方向相邻的电极指的电位相同或者不连接于电位，
所述第1区域的所述电极指为奇数根，在两个所述第2区域中，所述第1区域侧的端部的所述电极指的极性彼此不同；或者，
所述第1区域的所述电极指为偶数根，在两个所述第2区域中，所述第1区域侧的端部的所述电极指的极性彼此相同。
8.一种复合滤波器装置，
具备n个滤波器，所述n个滤波器的一端被公共连接，
所述n个滤波器中的至少一个滤波器具有权利要求1～6中任一项所述的弹性波装置。
9.一种复合滤波器装置，具备：
n个滤波器；和
公共连接了所述n个滤波器的一端的天线端子，
所述n个滤波器中的至少一个滤波器具有至少一个弹性波装置，在所述滤波器中，最接近所述天线端子的所述弹性波装置由权利要求1～6中任一项所述的弹性波装置构成。
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017090499 | 2017-04-28 | ||
| JP2017-090499 | 2017-04-28 | ||
| JP2017-126121 | 2017-06-28 | ||
| JP2017126121 | 2017-06-28 | ||
| PCT/JP2018/016562 WO2018199070A1 (ja) | 2017-04-28 | 2018-04-24 | 弾性波装置、フィルタ及び複合フィルタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110582937A CN110582937A (zh) | 2019-12-17 |
| CN110582937B true CN110582937B (zh) | 2023-08-25 |
Family
ID=63918355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201880027238.XA Active CN110582937B (zh) | 2017-04-28 | 2018-04-24 | 弹性波装置、滤波器以及复合滤波器装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11165409B2 (zh) |
| CN (1) | CN110582937B (zh) |
| WO (1) | WO2018199070A1 (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102316353B1 (ko) * | 2017-05-26 | 2021-10-22 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 필터, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
| JP2020123819A (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ |
| US11784627B2 (en) * | 2021-02-01 | 2023-10-10 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Lamb wave resonator and method of fabricating the same |
| WO2023048280A1 (ja) * | 2021-09-27 | 2023-03-30 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置 |
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Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0746095B1 (en) | 1995-05-29 | 2007-02-14 | SANYO ELECTRIC Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter |
| JP3824499B2 (ja) * | 2001-04-20 | 2006-09-20 | 富士通株式会社 | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
| JP2011182117A (ja) | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Taiyo Yuden Co Ltd | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
-
2018
- 2018-04-24 CN CN201880027238.XA patent/CN110582937B/zh active Active
- 2018-04-24 WO PCT/JP2018/016562 patent/WO2018199070A1/ja active Application Filing
-
2019
- 2019-10-21 US US16/658,211 patent/US11165409B2/en active Active
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2018199070A1 (ja) | 2018-11-01 |
| CN110582937A (zh) | 2019-12-17 |
| US11165409B2 (en) | 2021-11-02 |
| US20200052675A1 (en) | 2020-02-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |