CN101821944A

CN101821944A - 弹性表面波谐振器以及梯型滤波器

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Publication number: CN101821944A
Application number: CN200880110814A
Authority: CN
Inventors: 田中伸拓
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2007-10-18
Filing date: 2008-08-01
Publication date: 2010-09-01
Anticipated expiration: 2028-08-01
Also published as: CN101821944B; WO2009050932A1; US7915976B2; EP2202882A4; EP2202882A1; JPWO2009050932A1; US20100176900A1; JP4831235B2

Abstract

本发明提供能够充分提高反共振频率下的阻抗、可改善构成梯型滤波器时的滤波器特性的弹性表面波谐振器。弹性表面波谐振器(1)，对IDT电极(3)进行交叉幅度加权，使交叉幅度随着向弹性表面波传播方向外侧而减少，第1母线(11)的内侧边(11a)具有相对于第1母线(11)侧的包络线部分(B1)相隔一定距离配置的倾斜的倾斜部分(11a1、11a2)，第2母线的内侧边(12a)具有与第2母线(12)侧的包络线部分(B2)相隔一定距离配置的倾斜部分(12a1、12a2)，在向弹性表面波传播方向延伸的直线从至少一个电极指(13、15)的前端到达第1或第2母线的边(11a、12a)为止相交的电极指以及虚设电极的总和为N时，N是11以上。

Description

弹性表面波谐振器以及梯型滤波器

技术领域

本发明涉及在IDT电极的弹性表面波传播方向两侧配置反射器的弹性表面波谐振器以及采用该弹性表面波谐振器的梯型滤波器，尤其涉及对IDT电极实施交叉幅度加权的弹性表面波谐振器以及采用该弹性表面波谐振器的梯型滤波器。

背景技术

一直以来，在移动电话机等通信设备中，为了构成谐振器或滤波器，而广泛应用了弹性表面波谐振器。

例如，在下述专利文献1中公开了图14所示的弹性表面波谐振器1001。弹性表面波谐振器1001通过在压电基板上形成图示的电极构造而构成。该弹性表面波谐振器1001是利用了与瑞利波(Rayleigh wave)相比电气机械结合系数k²大的拉夫波(Love wave)的弹性表面波谐振器。

在弹性表面波谐振器1001中，在压电基板上形成有IDT电极1002。IDT电极1002具有母线(bus bar)1003和与母线1003相对配置的母线1004。母线1003具有：母线部1003a，其在相对于表面波传播方向呈θ角度的方向上倾斜并延伸；以及母线部1003b，其以相对于弹性表面波传播方向呈-θ角度的方式延伸、且与母线部1003a相连。

同样，第2母线1004具有：母线部1004a，其以相对于弹性表面波传播方向呈-θ角度的方式延伸；以及母线部1004b，其与母线1004a相连、且在相对于弹性表面波传播方向呈θ角度的方向上延伸。

由母线部1003a、1003b、母线部1004a、1004b来构成大致菱形的形状。

多个电极指1005从母线部1003a、1003b向母线部1004a、1004b侧延伸。此外，相对于电极指1005的前端隔着间隙配置有虚设电极1006。虚设电极1006的一端与第2母线1004连接，另一端经由上述间隙与电极指1005对置。

同样，配置有多个电极指1007，其一端与第2母线部1004连接，另一端向第1母线1003侧延伸。相对于电极指1007的前端，在电极指长度方向上隔着间隙配置有虚设电极1008。虚设电极1008，一端与第1母线1003连接，另一端经由上述间隙与电极指1007对置。

在弹性表面波传播方向上，交替地配置有电极指1005和电极指1007。另外，在上述IDT电极1002中实施交叉幅度加权，并通过该交叉幅度加权，使表面波传播方向中心部分的交叉幅度成为最大，随着向表面波传播方向外侧，交叉幅度依次变小。

在弹性表面波谐振器1001上，上述最小交叉幅度部分的交叉幅度为0。在表面波传播方向外侧设置有仅存在虚设电极1006、1008的区域。

弹性表面波谐振器1001的特征为，如上所述地实施交叉幅度加权，且使经过上述交叉幅度加权而获得的包络线A和母线部1003a、1003b、1004a、1004b的内侧边平行。换言之，将母线部1003a～1004b的内侧边配置为与包络线平行。即，母线部1003a～1004b的内侧边相对于表面波传播方向呈θ或-θ角度地进行倾斜。因此，难以产生非调和高次模式的共振，所以能够降低寄生(spurious)。尤其，在专利文献1中，上述包络线和与该包络线平行延伸的母线的内侧边之间的部分作为反射器发挥功能。因此，例如图15中直线L₀所示，在已激励的弹性表面波到达母线1003b的内侧边为止，例如与5个电极指交叉。因为该5个电极指作为反射器发挥功能，所以能够有效抑制寄生，并能够实现小型化。

专利文献1：日本特开2000-286663号公报

为了构成振荡电路或滤波器等而采用弹性表面波谐振器。在构成滤波器电路的情况下，大多连接多个弹性表面波谐振器。例如，在具有多个弹性表面波谐振器的梯型滤波器中，至少1个弹性表面波谐振器与串联臂连接，至少1个弹性表面波谐振器与并联臂连接。在梯型滤波器中，如果没有充分提高串联臂谐振器的反共振频率的阻抗，则在通带高频侧的衰减量不充分大。

另外，在并联臂谐振器中，如果反共振频率的阻抗不充分高，则有可能增大通带中的插入损失。

但是，在专利文献1所述的弹性表面波谐振器中，反共振频率下的阻抗不充分大。另外，还有在高于反共振频率的频率区域、例如反共振频率的1.003倍左右的频率下回波损耗增大这样的问题。因此，在将该弹性表面波谐振器用作并联臂谐振器的梯型滤波器的通带高频侧，插入损失变大。

发明内容

本发明的目的是提供不仅能够消除上述现有技术的缺点并抑制非调和高次模式共振的寄生、还能够充分提高反共振频率下的阻抗的弹性表面波谐振器；和构成为将该弹性表面波谐振器用作并联臂谐振器并能够降低通带高频侧的插入损失的梯型滤波器。

本发明的弹性表面波谐振器具备：压电基板；形成在上述压电基板上的IDT电极；以及设置在上述IDT电极的弹性表面波传播方向两侧的一对反射器，其中，上述IDT电极具备：第1、第2母线；多个第1电极指，其从上述第1母线向第2母线延伸；多个第2电极指，其从上述第2母线向上述第1母线侧延伸；第1虚设电极，其相对于上述第1电极指的前端经由间隙而对置，并与上述第2母线连接；以及第2虚设电极，其相对于上述第2电极指的前端经由间隙而对置，且与上述第1母线连接。

在本发明中为了具有随着从上述IDT电极中的电极指交叉幅最大的部分向上述弹性表面波传播方向两侧、交叉幅度减少的交叉幅度加权部分，而对上述IDT电极实施交叉幅度加权，为了将上述第1母线的上述第1电极指以及第2虚设电极所连接的边配置成与上述交叉幅度加权的包络线相隔一定距离，而具有相对于弹性表面波传播方向倾斜的倾斜部分，为了将上述第2母线的上述第2电极指以及上述第1虚设电极所连接的边配置成与上述交叉幅度加权的包络线相隔一定距离，而具有相对于弹性表面波传播方向倾斜的倾斜部分，在上述IDT电极的最外侧电极指和上述反射器的IDT电极侧电极指邻接的部分，反射器的电极指长度与IDT电极的该电极指长度和对置于该IDT电极的电极指前端的虚设电极长度之和近似相等，在朝着弹性表面波传播方向延伸的直线，从上述IDT电极的至少一个电极指前端到达上述第1或第2母线的上述边为止相交的电极指以及虚设电极数的总和为N时，N是11以上，且上述一对反射器内的一个反射器所包含的电极指数量大致为N。

最好，N为17以上，在此情况下，当弹性表面波谐振器被用作梯型滤波器的并联臂谐振器时，可进一步提高反共振频率下的阻抗，并能够减小构成通带右肩的频率下的回波损耗。

在本发明的弹性表面波谐振器中，上述N最好为30以下。由此，能够有效地降低在通带高频侧端部附近的阻止频带上出现的纹波，并能够提高抗功率性。

本发明的梯型滤波器具有串联臂谐振器和并联臂谐振器，其中，上述串联臂谐振器以及并联臂谐振器内的至少两个谐振器由按照本发明所构成的弹性表面波谐振器组成。

在本发明的梯型滤波器中，最好作为上述至少两个弹性表面波谐振器，具有被配置为表面波传播方向平行的第1、第2弹性表面波谐振器，与上述第1、第2弹性表面波谐振器的第1、第2母线的上述第1或第2电极指以及第2或第1虚设电极所连接的边相反侧的外侧边倾斜为与上述包络线具有一定距离，上述第2弹性表面波谐振器的第2母线位于与上述第1弹性表面波谐振器的第1母线外侧边的弹性表面波传播方向垂直的方向外侧。由此，能够实现梯型滤波器的进一步小型化。

(发明效果)

在本发明的弹性表面波谐振器中，为了将第1母线的第1电极指以及第2虚设电极所连接的边配置成与交叉幅度加权的包络线相隔一定距离，而具有该边倾斜的倾斜部分，第2母线的第2电极指以及第1虚设电极所连接边也同样具有倾斜部分，所以与专利文献1所述的弹性表面波谐振器相同地难以产生非调和高次模式的共振，从而能够降低由此导致的寄生。而且，在本发明中，从上述IDT电极的至少一个电极指前端向弹性表面波传播方向延伸的直线到达第1或第2母线的上述边为止相交的电极指以及虚设电极数的总和为N时，N是11以上，且一对反射器内的一个反射器所包含的电极指数量大致为N，所以能够充分提高反共振频率下的阻抗。

由此，在采用本发明的弹性表面波谐振器构成的梯型滤波器中，当将上述弹性表面波谐振器用作串联臂谐振器时，可提高反共振频率的阻抗，所以能够充分增大通带高频侧的衰减量。另外，还能够降低通带高频侧的回波损耗。此外，在将上述弹性表面波谐振器用作并联臂谐振器时，能够充分减小通带中的插入损失。由此，能够提供具有良好滤波器特性的梯型滤波器。

附图说明

图1是示意地表示本发明一实施方式的压电谐振器的俯视图。

图2是用于说明图1所示的弹性边界波谐振器的主要部分的电极构造的部分切掉放大俯视图。

图3是用于说明图1所示的实施方式的弹性表面波元件的层叠构造的示意正面剖视图。

图4(a)和(b)是实验例以及比较例的表示各弹性表面波谐振器的阻抗频率特性以及相位频率特性的图。

图5(a)和(b)是实施方式以及比较例的各弹性表面波谐振器的表示阻抗特性的阻抗史密斯圆图以及表示回波损耗频率特性的图。

图6(a)和(b)是N＝13以及N＝17时的弹性表面波谐振器的表示阻抗特性的阻抗史密斯圆图以及表示回波损耗频率特性的图。

图7(a)和(b)是N＝17、N＝21以及N＝30时的弹性表面波谐振器的表示阻抗特性的阻抗史密斯圆图以及表示回波损耗频率特性的图。

图8(a)和(b)是N＝30以及N＝70时的表示弹性表面波谐振器的阻抗频率特性以及相位频率特性的图。

图9(a)和(b)是N＝30以及N＝70时的弹性表面波谐振器的表示阻抗特性的阻抗史密斯圆图以及表示回波损耗频率特性的图。

图10是使N变化时的反共振频率下的阻抗变化的图。

图11是作为本发明其它实施方式的梯型滤波器的示意俯视图。

图12是示出图11所示的梯型滤波器的电路结构的图。

图13是示出图11所示的梯型滤波器的滤波特性的图。

图14是示出现有弹性表面波谐振器一例的俯视图。

图15是示出图14所示的弹性表面波谐振器的主要部分的部分切掉俯视图。

符号说明

1...弹性表面波谐振器

2...压电基板

3...IDT电极

4、5...反射器

6...SiO₂膜

27...SiN膜

11...第1母线

12...第2母线

11a、12a...边

13...第1电极指

14...第2虚设电极

15...第2电极指

16...第1虚设电极

21...梯型滤波器

22...压电基板

B...包络线

B1、B2...包络线部分

S1～S7...串联臂谐振器

P1～P3...并联臂谐振器

L1、L2...电感

具体实施方式

以下，参照附图来说明本发明的具体实施方式，由此会更加清楚。

图1是示出本发明一实施方式的弹性表面波谐振器的俯视图。弹性表面波谐振器1具有压电基板2。在本发明中，压电基板2由切割角126°的LiNbO₃基板构成。不过，压电基板2可以由LiTaO₃或石英等其它压电单结晶形成，或者可以由钛酸锆酸铅系陶瓷这样的压电陶瓷形成。

在压电基板2上形成图1所示的电极构造。即，形成了IDT电极3和配置在IDT电极3的表面波传播方向两侧的反射器4、5。在图1中省略图示，但如图3所示，为了覆盖包含上述IDT电极3的电极构造，而按照此顺序来层叠SiO₂膜6以及SiN膜7。

本实施方式的弹性表面波谐振器1的特征在于由IDT电极3以及反射器4、5构成的电极构造。

即，IDT电极3具有：第1母线11和配置为与第1母线11对置的第2母线12。多个第1电极指13从第1母线11的内侧边11a向第2母线12延伸。相对于第1电极指13的前端，隔着间隙配置有第1虚设电极14。即，与第1电极指13的前端隔着间隙，配置有在第1电极指13的延长方向上延伸的第1虚设电极14。第1虚设电极14的一端与第2母线12的内侧边12a连接，另一端隔着上述间隙与第1电极指13对置。

同样，从第2母线12的内侧边12a向第1母线11侧配置第2电极指15。配置第2虚设电极16，使其与第2电极指15的前端隔着间隙对置。第2虚设电极16的一端与第1母线11的内侧边11a连接，另一端隔着上述间隙与第2电极指15的前端对置。

另外，上述IDT电极3进行交叉幅度加权。在IDT电极3的弹性表面波传播方向、即与电极指13、15的延伸方向垂直的方向上进行加权，以使在IDT电极3的中心交叉幅度成为最大，并随着向弹性表面波传播方向两端，交叉幅度依次变小。

因此，包围交叉幅度区域的包络线B内的接近第1母线11侧的包络线部分B 1，随着从IDT电极3的中央向左侧，而逐渐向接近第2母线12侧的包络线部分B2靠近，同样，随着从IDT电极3的中心向图1的右侧，而逐渐向位于第2母线12侧的包络线部分B2靠近。

相反，即使针对第2包络线部分B2，在弹性表面波传播方向中心，位于与弹性表面波传播方向垂直的方向最外侧，并随着接近弹性表面波传播方向两端，而向第1包络线部分B1靠近。

另一方面，具有第1母线的边11a倾斜的倾斜部分11a1、11a2，第1母线11的内侧边11a和上述第1母线11侧的包络线部分B1侧之间的距离大致恒定。同样，第2母线12的内侧边12a也具有倾斜部分12a1、12a2。倾斜部分12a1、12a2与上述包络线部分B2平行延伸。

因此，在IDT电极3中，与专利文献1所述的弹性表面波谐振器1001的情况相同，在交叉幅度区域的与弹性表面波垂直的方向外侧的区域中作为反射器发挥功能的虚设电极及电极指部分的长度变短。由此，针对弹性表面波的群速度方向作为上述反射器发挥功能的区域倾斜，所以难以产生非调和高次模式的共振。从而，能够减轻由非调和高次模式的共振而引起的寄生。

反射器4、5分别具有两端短路的多个电极指4a、5a。电极指4a、5a与IDT电极3的电极指13、15平行延伸。

在上述IDT电极3的弹性表面波传播方向最外侧的电极指和反射器4、5的IDT电极3侧的电极指4a、5a邻接的部分中，电极指4a、5a的长度和IDT电极侧的邻接电极指13、15的长度与在该电极指13、15的前端对置的第2或第1虚设电极14、16的长度之和大致相等。

本实施方式的弹性表面波谐振器1的特征在于，第1、第2母线11、12的内侧边11a、12a具有相对于如上所述地进行交叉幅度加权的包络线的包络线部分B1或包络线部分B2大致平行延伸的倾斜部分11a1、11a2、12a1、12a2，所以能够抑制非调和高次模式的寄生，以及如图2所示，在朝着弹性表面波传播方向延伸的直线L，从至少一个电极指13、15的前端到达第1母线11或第2母线12的内侧边11a或内侧边12a为止相交的电极指以及虚设电极的数量的总和为N的情况下，N是11以上，且反射器4、5内的一个反射器所包含的电极指4a、5a数大致为N。由此，能够充分提高反共振频率的阻抗。另外，能够改善在构成用作梯型滤波器的串联臂谐振器及并联臂谐振器的梯型滤波器时的通带高频侧的特性，并减轻回波损耗。根据具体实验例来对其进行说明。

(实验例1)

作为压电基板2，在切割角126°LiNbO₃基板上形成厚度为220nm的SiO₂膜。之后，在SiO₂膜上除去电极形成部分，形成抗蚀剂图案，并进行刻蚀，除去电极形成部分的SiO₂膜。然后，全面地形成电极形成用金属膜。作为电极形成用金属膜，形成从上依次以AlCu/Ti/Pt/NiCr的顺序层叠这些金属或合金而成的层叠金属膜。厚度为AlCu/Ti/Pt/NiCr＝100nm/10nm/80nm/10nm。另外，由IDT电极3中的电极指间距决定的波长为4μm，占空比为0.5。IDT电极3中的电极指的对数为88对，使最大交叉幅度部分中的交叉幅度为80μm，使最小交叉幅度部分中的交叉幅度为8μm。另外，使位于第1、第2电极指前端的间隙宽度、即间隙的与弹性表面波传播方向垂直方向的尺寸为0.4μm。在IDT电极3中央的第1、第2虚设电极14、16的长度为0，处于IDT电极3的弹性表面波传播方向两端的虚设电极的长度与虚设电极的个数成比例，在第2虚设电极的个数共计为17个时，是7.4μm。关于反射器4、5，由电极指间距决定的波长为4μm，占空比为0.5。另外，反射器4、5中的电极指个数与IDT电极3的N相同。反射器4、5的电极指开口长与IDT电极3的弹性表面波传播方向端部的开口长、即交叉幅度和虚设电极长度2倍的总和同一尺寸。

为了覆盖上述IDT电极以及反射器，而形成1000nm厚度的SiO₂膜，此外为了调整频率，还形成50nm厚度的SiN膜7。

关于上述弹性表面波谐振器的制造方法，在IDT的电极指对数为88对的构造中，制造了上述N为5个、11个、19个的各弹性表面波谐振器。为了比较，还制造了上述N为0的弹性表面波谐振器。

对如上所述获得的各弹性表面波谐振器的共振特性进行测定。

图4(a)以及(b)示出上述N为0个、5个、11个以及19个的各弹性表面波谐振器的阻抗频率特性以及相位频率特性。

另外，图5(a)以及(b)是N为0个、5个、11个以及19个的各弹性表面波谐振器的表示频率特性的阻抗史密斯圆图以及表示回波损耗的频率特性的图。

此外，在图4以及图5中用实线示出N＝19时的结果、用虚线示出N＝11时的结果、用单点划线示出N＝5时的结果、用二点划线示出N＝0时的结果。

由图4(a)、(b)以及图5(a)、(b)可知，与N为0或5的情况相比，在N＝11以及N＝19的情况下，可充分提高反共振频率中的阻抗。另外可知，与N为0或5的情况相比，在N＝11以及N＝19的情况下，能够减小回波损耗。此外还可知，在N＝19的情况下，与N＝11的情况相比，能够减小回波损耗。

(实验例2)

与实验例1不同点是，IDT电极3中的电极指的对数为111对，IDT电极3中的交叉幅最大部分的交叉幅度为100μm，最小交叉幅度部分中的交叉幅度为10μm。另外，制造了N为13个、17个、21个、30个以及70个的各弹性表面波谐振器。为了比较，制作出N为0的弹性表面波谐振器。其它的点与实验例1相同。

图6(a)、(b)是N＝13时和N＝17时的弹性表面波谐振器的表示频率特性的阻抗史密斯圆图以及表示回波损耗的频率特性的图。

在图6(a)、(b)中，用实线示出N＝13时的结果，用虚线示出N＝17时的结果。

由图6(a)、(b)可知，与N＝13的情况相比，在N＝17的情况下，能够进一步减小回波损耗。因此，根据前述图5(b)以及上述图6(b)的结果，优选N为17以上，由此可知，能够进一步减小回波损耗。

此外，如图7(a)、(b)所示，在N＝17、N＝21以及N＝30的情况下、即N＝17～30的范围内，几乎没有特性差。

另外，图8(a)、(b)示出N＝30以及N＝70时的各弹性表面波谐振器的阻抗频率特性以及相位频率特性。图9(a)、(b)是N＝70以及N＝30时的各弹性表面波谐振器的表示阻抗特性的阻抗史密斯圆图以及表示回波损耗频率特性的图。

由图8(a)、(b)以及图9(a)、(b)可知，与N为30个的情况相比，当N＝70时，如箭头C所示，在925～935MHz附近纹波(ripple)增大。因此，例如在用作梯型滤波器的并联臂谐振器的情况下，由于该纹波的增大，而有可能导致抗功率性降低。从而，为了降低上述纹波，最好使N为30以下。

如上所述，在弹性表面波谐振器1中，通过使N为11以上，可充分提高反共振频率中的阻抗，由此，在用作梯型滤波器的串联臂谐振器的情况下，可充分增加通带高频侧的衰减量，在用作并联臂谐振器的情况下，可抑制通带中的插入损失增大。

另外可知，在N为17以上的情况下，与反共振频率相比，能够降低高频侧的通带附近的回波损耗，并能够获得滤波器特性进一步良好的梯型滤波器。

此外如上所述可知，使N为30以下，由此与反共振频率相比，能够降低高频侧中的纹波，从而，优选在用作并联臂谐振器的情况下，能够降低梯型滤波器的通带高频侧端部附近的频带外的纹波。

因此，由本发明获得的弹性表面波谐振器优选用作梯型滤波器的并联臂谐振器及串联臂谐振器。

图10是示出使上述N变化时的弹性表面波谐振器的反共振频率中的阻抗变化图。由图10可知，在N为11以上时，能够充分增大阻抗，特别是N为15以上、最好为17以上时，能够进一步提高反共振频率中的阻抗。

(梯型滤波器的实施方式)

图11是用于说明作为本发明其它实施方式的梯型滤波器的示意俯视图。在图11的斜线部形成图1所示的电极构造。本实施方式的梯型滤波器用作中心频率为897.5MHz、通带为880-915MHz频带的GSM发送用滤波器。此外在图11中，省略了在前述弹性表面波谐振器中形成的SiO₂膜以及SiN膜的图示。不过，在采用本发明的弹性表面波谐振器以及该弹性表面波谐振器来构成的梯型滤波器中，未必形成有SiO₂膜6及SiN膜7。

如图11所示，在梯型滤波器21中，在压电基板22上形成有串联臂谐振器S1、S2、S3、S4、S5、S6、S7。另外，在压电基板22上还形成有并联臂谐振器P1～P3。这些串联臂谐振器S1～S7、并联臂谐振器P1～P3如图12所示地进行连接，形成梯型滤波器21。此外，图12中的电感L1、L2由插入并联臂谐振器P1、P2与接地电位之间的电感元件或通过布线而形成的电感部分构成。同样，即使插入并联臂谐振器P3与接地电位之间的电感L2，也由另外连接的电感元件或通过布线而形成的电感部分构成。

在如上所述的梯型滤波器21中，采用依据本发明而构成的弹性表面波谐振器，来构成串联臂谐振器S1～S7以及并联臂谐振器P1～P3，所以能够充分提高各弹性表面波谐振器的反共振频率中的阻抗。因此，能够改善通带高频侧的衰减特性，并且能够减轻通带高频侧的衰减区域中的回波损耗。由此，能够实现良好的滤波器特性。

图13是示出上述梯型滤波器的滤波器特性的图。在图13中，如箭头D所示可知，通带右肩中的滤波器特性是良好的。另外，在通带高频侧中，如箭头E所示可知，能够获得充分的衰减量。

(变形例)

此外，在上述实施方式的弹性表面波谐振器1中，形成一个交叉幅度加权部分，该部分是交叉幅度随着从最大交叉幅度部分向弹性表面波传播方向两侧而减少的部分，不过也可以在弹性表面波传播方向上配置多个这样的交叉幅度加权部分。换言之，当将实施弹性表面波谐振器1中的上述交叉幅度加权的部分设为1个周期时，也可以按照具有多个周期的方式设置交叉幅度加权部分。

另外，在上述弹性表面波谐振器1中，第1、第2母线的边11a、12a具有倾斜部分11a1、11a2、12a1、12a2，在倾斜部分11a1、12a1和倾斜部分11a2、12a2之间设置未倾斜的部分，不过也可以不设置该未倾斜的部分。即，可形成边11a、12a，使其仅具有从最大交叉幅度部分向弹性表面波传播方向两侧延伸的两个倾斜部分。

此外，在上述实施方式的弹性表面波谐振器1中，为了改善频率温度特性，而层叠SiO₂膜6，但也可以通过形成SiO₂以外的绝缘膜，从而同样地减轻频率温度系数。另外，为了调整频率，而层叠SiN膜7，但也可以通过形成SiN膜7以外的绝缘膜或金属膜等，由此进行频率调整。

此外，这些SiO₂膜或SiN膜并非必须形成。

另外，在上述实施方式的弹性表面波谐振器1中，实施交叉幅度加权，以使在弹性表面波传播方向中央交叉幅度最大，并随着向两侧而交叉幅度变小，不过这样的交叉幅度加权也可形成多个周期。

另外，在上述实施方式中，反射器4、5实施了电极指长度沿着弹性表面波传播方向变化的交叉幅度加权，不过也可以是电极指长度一定的正规型反射器。

Claims

1.一种弹性表面波谐振器，具备：压电基板；形成在上述压电基板上的IDT电极；以及设置在上述IDT电极的弹性表面波传播方向两侧的一对反射器，其中，

上述IDT电极具备：

第1母线、第2母线；

多个第1电极指，其从上述第1母线向第2母线延伸；

多个第2电极指，其从上述第2母线向上述第1母线侧延伸；

第1虚设电极，其相对于上述第1电极指的前端经由间隙而对置，并与上述第2母线连接；以及

第2虚设电极，其相对于上述第2电极指的前端经由间隙而对置，且与上述第1母线连接，

对上述IDT电极实施交叉幅度加权，以具有随着从上述IDT电极中的电极指交叉幅度最大的部分向上述弹性表面波传播方向两侧、交叉幅度减少的交叉幅度加权部分，

具有相对于弹性表面波传播方向倾斜的倾斜部分，以使上述第1母线的上述第1电极指以及第2虚设电极所连接的边配置成与上述交叉幅度加权的包络线相隔一定距离，

具有相对于弹性表面波传播方向倾斜的倾斜部分，以使上述第2母线的上述第2电极指以及上述第1虚设电极所连接的边配置成与上述交叉幅度加权的包络线相隔一定距离，

在上述IDT电极的最外侧电极指和上述反射器的IDT电极侧电极指邻接的部分，反射器的电极指长度与IDT电极的该电极指长度和对置于该IDT电极的电极指前端的虚设电极长度之和大致相等，

在向弹性表面波传播方向延伸的直线，从上述IDT电极的至少一个电极指前端到达上述第1母线或第2母线的上述边为止相交的电极指以及虚设电极的数量的总和为N时，N是11以上，且上述一对反射器内的一个反射器所包含的电极指的数量大致为N。

2.根据权利要求1所述的弹性表面波谐振器，其中，

N是17以上。

3.根据权利要求1或2所述的弹性表面波谐振器，其中，

N是30以下。

4.一种梯型滤波器，具有串联臂谐振器和并联臂谐振器，其中，

上述串联臂谐振器以及并联臂谐振器内的至少两个谐振器由权利要求1～3中任意1项所述的弹性表面波谐振器构成。

5.根据权利要求4所述的梯型滤波器，其中，

作为上述至少两个弹性表面波谐振器，具有被配置为表面波传播方向平行的第1弹性表面波谐振器、第2弹性表面波谐振器，

与上述第1弹性表面波谐振器、第2弹性表面波谐振器的第1母线、第2母线的上述第1电极指或第2电极指以及第2虚设电极或第1虚设电极所连接的边相反侧的外侧边倾斜为与上述包络线具有一定距离，上述第2弹性表面波谐振器的第2母线位于与上述第1弹性表面波谐振器的第1母线外侧边的弹性表面波传播方向正交的方向外侧。