JPWO2009050932A1 - 弾性表面波共振子及びラダー型フィルタ - Google Patents
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Abstract
Description
(発明の効果)
2…圧電基板
3…IDT電極
4,5…反射器
6…SiO2膜
7…SiN膜
11…第1のバスバー
12…第2のバスバー
11a,12a…辺
13…第1の電極指
14…第2のダミー電極
15…第2の電極指
16…第1のダミー電極
21…ラダー型フィルタ
22…圧電基板
B…包絡線
B1,B2…包絡線部分
S1〜S7…直列腕共振子
P1〜P3…並列腕共振子
L1,L2…インダクタンス
圧電基板2として、カット角126°LiNbO3基板上に、220nmの厚みとなるようにSiO2膜を成膜した。しかる後、SiO2膜上に電極形成部分を除いてレジストパターンを形成し、しかる後エッチングし、電極形成部分におけるSiO2膜を除去した。そして、全面に、電極形成用金属膜を形成した。電極形成用金属膜として、上から順に、AlCu/Ti/Pt/NiCrの順でこれらの金属もしくは合金を積層してなる積層金属膜を形成した。厚みは、AlCu/Ti/Pt/NiCr=100nm/10nm/80nm/10nmとした。また、IDT電極3における電極指ピッチで決まる波長は4μmとし、デューティ比は0.5とした。IDT電極3における電極指の対数は88対とし、最大交叉幅部分における交叉幅を80μmとし、最小交叉幅部分における交叉幅を8μmとした。また、第1,第2の電極指の先端に位置しているギャップの幅、すなわちギャップの弾性表面波伝搬方向と直交する方向の寸法を0.4μmとした。IDT電極3の中央における第1,第2のダミー電極14,16の長さは0とし、IDT電極3の弾性表面波伝搬方向両端におけるダミー電極の長さはダミー電極の本数に比例するものとし、第2のダミー電極の本数の合計が17本のときに、7.4μmとした。反射器4,5についても、電極指ピッチで決まる波長は4μmとし、デューティ比は0.5とした。また、反射器4,5における電極指の本数は、IDT電極3のNと同一とした。反射器4,5の電極指の開口長は、IDT電極3の弾性表面波伝搬方向端部における開口長、すなわち交叉幅とダミー電極の長さの2倍の合計と同一寸法とした。
実験例1と同様にして、ただし、IDT電極3における電極指の対数は111対とし、IDT電極3における交叉幅最大部分の交叉幅を100μm、最小交叉幅部分における交叉幅を10μmとした。また、Nが、13本、17本、21本、30本及び70本の各弾性表面波共振子を製造した。比較のために、Nが0である弾性表面波共振子を作製した。その他の点は、実験例1と同様とした。
図11は、本発明の他の実施形態としてのラダー型フィルタを説明するための模式的平面図である。図11の斜線部に図1に示す電極構造が形成されている。本実施形態のラダー型フィルタは、中心周波数897.5MHz、通過帯域が880〜915MHz帯であるGSM送信用フィルタとして用いられるものである。なお、図11では、前述した弾性表面波共振子において形成されていたSiO2膜及びSiN膜の図示は省略されている。もっとも、本発明に係る弾性表面波共振子及び該弾性表面波共振子を用いて構成されたラダー型フィルタでは、SiO2膜6やSiN膜7は必ずしも形成されずともよい。
なお、上述した実施形態の弾性表面波共振子1では、最大交叉幅部分から弾性表面波伝搬方向両側にいくに連れて交叉幅が減少する交叉幅重み付け部分が1つ形成されていたが、このような交叉幅重み付け部分が弾性表面波伝搬方向に複数配置されていてもよい。言い換えれば、弾性表面波共振子1における上記交叉幅重み付けが施こされている部分を1つの周期とすると、複数の周期を有するように交叉幅重み付け部分が設けられていてもよい。
Claims (5)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されたIDT電極と、
前記IDT電極の弾性表面波伝搬方向両側に設けられた一対の反射器とを備える弾性表面波共振子であって、
前記IDT電極が、第1,第2のバスバーと、
前記第1のバスバーから第2のバスバーに向って延ばされた複数本の第1の電極指と、
前記第2のバスバーから前記第1のバスバー側に向って延ばされた複数本の第2の電極指と、
前記第1の電極指の先端に対してギャップを介して対向されており、前記第2のバスバーに接続されている第1のダミー電極と、
前記第2の電極指の先端に対してギャップを介して対向されており、かつ前記第1のバスバーに接続されている第2のダミー電極とを備え、
前記IDT電極における電極指交叉幅が最大となる部分から前記弾性表面波伝搬方向両側にいくに連れて交叉幅が減少する交叉幅重み付け部分を有するように前記IDT電極に交叉幅重み付けが施こされており、
前記第1のバスバーの前記第1の電極指及び第2のダミー電極が接続されている辺が、前記交叉幅重み付けの包絡線と一定の距離を隔てて配置されるように、弾性表面波伝搬方向に対して傾斜された傾斜部分を有し、
前記第2のバスバーの前記第2の電極指及び前記第1のダミー電極が接続されている辺が、前記交叉幅重み付けの包絡線に一定の距離を隔てて配置されるように、弾性表面波伝搬方向に対して傾斜された傾斜部分を有し、
前記IDT電極の最外側電極指と、前記反射器のIDT電極側の電極指とが隣り合う部分において、反射器の電極指の長さが、IDT電極の該電極指の長さと、IDT電極の電極指先端に対向されているダミー電極の長さの和と略同等とされており、
前記IDT電極の少なくとも1つの電極指の先端から、弾性表面波伝搬方向に延びる直線が前記第1または第2のバスバーの前記辺に至るまでに交わる電極指及びダミー電極の数の総和をNとした場合に、Nが11以上であり、かつ前記一対の反射器の内の1つの反射器に含まれる電極指の数が略Nとされている、弾性表面波共振子。 - Nが17以上である、請求項1に記載の弾性表面波共振子。
- Nが30以下である、請求項1または2に記載の弾性表面波共振子。
- 直列腕共振子と、並列腕共振子とを有するラダー型フィルタであって、前記直列腕共振子及び並列腕共振子の内、少なくとも2個の共振子が、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性表面波共振子からなるラダー型フィルタ。
- 前記少なくとも2個の弾性表面波共振子として、表面波伝搬方向が平行となるように配置された第1,第2の弾性表面波共振子を有し、
前記第1,第2の弾性表面波共振子の第1,第2のバスバーの前記第1または第2の電極指及び第2または第1のダミー電極が接続されている辺とは反対側の外側の辺が前記包絡線と一定の距離を有するように傾斜されており、前記第1の弾性表面波共振子の第1のバスバーの外側の辺の弾性表面波伝搬方向と直交する方向外側に、前記第2の弾性表面波共振子の第2のバスバーが位置されている、請求項4に記載のラダー型フィルタ。
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